專利名稱:彈性波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及彈性波濾波器,詳細來說涉及梯型彈性波濾波器,其具備串聯(lián)臂諧振器、并聯(lián)臂諧振器、以及按照與串聯(lián)臂諧振器并聯(lián)的方式與串聯(lián)臂連接的電感器。
背景技術(shù):
近年來,例如,在下述專利文獻1等中提出了一種采用彈性波諧振器的梯型彈性波濾波器。具體而言,在專利文獻1中記載了一種所謂η狀的梯型彈性波濾波器。專利文獻1 日本特開2006-238101號公報圖19表示專利文獻1所記載的π狀梯型彈性波濾波器的基本電路結(jié)構(gòu)。如圖19 所示,η狀梯型彈性波濾波器100中,與連接輸入端子101和輸出端子102的串聯(lián)臂103并聯(lián)地配置一個串聯(lián)臂諧振器104和一個電感器105。并且,在將串聯(lián)臂103與接地電位連接的兩個并聯(lián)臂106,分別配置并聯(lián)臂諧振器107。在該π狀梯型彈性波濾波器100中,由于相對于配置在串聯(lián)臂103的串聯(lián)臂諧振器104并聯(lián)設置有電感器105,因此能得到低通濾波特性。另外,作為上述π狀梯型彈性波濾波器以外的類型的梯型彈性波濾波器,公知有一種T狀梯型彈性波濾波器。圖20表示T狀梯型彈性波濾波器的基本電路結(jié)構(gòu)。如圖20 所示,T狀梯型彈性波濾波器110,在將輸入端子111和輸出端子112連接的串聯(lián)臂113,串聯(lián)連接有兩個串聯(lián)臂諧振器114、115。并且,在將串聯(lián)臂諧振器114和串聯(lián)臂諧振器115之間的連接點與接地電位連接的并聯(lián)臂116配置有并聯(lián)臂諧振器117。另外,在串聯(lián)臂113, 以與串聯(lián)臂諧振器114、115并聯(lián)的方式連接有電感器118。通常,在通過串聯(lián)臂諧振器的反諧振點與并聯(lián)臂諧振器的諧振點形成阻止頻帶的情況下,與T狀梯型彈性波濾波器相比,π狀梯型彈性波濾波器具有更高的衰減特性。從而,根據(jù)實現(xiàn)高衰減特性的觀點來看,采用η狀梯型彈性波濾波器是更有利的。因此,作為陷波器,較多采用η狀梯型彈性波濾波器。然而,在這樣的π狀梯型彈性波濾波器中,要實現(xiàn)具有更高衰減特性的多個阻止頻帶,只能增加級數(shù),增加電感器的個數(shù)。因此,η狀梯型濾波器存在小型化以及低價格化的問題。尤其,根據(jù)形成多個阻止頻帶的目的、以及得到高衰減特性的目的,在將η狀梯型彈性波濾波器多級連接的情況下,存在梯型濾波器的大型化以及高價格化顯著的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述問題而形成的,其目的在于提供一種具有良好的濾波特性的小型彈性波濾波器。本發(fā)明的彈性波濾波器,具備多個串聯(lián)臂諧振器、電感器、以及多個并聯(lián)臂諧振器。多個串聯(lián)臂諧振器,在連接輸入端子和輸出端子的串聯(lián)臂相互串聯(lián)連接。電感器,按照與多個串聯(lián)臂諧振器中的兩個以上的串聯(lián)臂諧振器并聯(lián)的方式與串聯(lián)臂連接。多個并聯(lián)臂諧振器,被配置在將電感器和串聯(lián)臂之間的連接點與接地電位連接的并聯(lián)臂、以及將鄰接的串聯(lián)臂諧振器的連接點與接地電位連接的并聯(lián)臂。在本發(fā)明的某個特定技術(shù)方案中,將電感器并聯(lián)連接的兩個以上的串聯(lián)臂諧振器包括第一串聯(lián)臂諧振器、以及第二串聯(lián)臂諧振器,該第二串聯(lián)臂諧振器的諧振頻率為上述第一串聯(lián)臂諧振器的反諧振頻率以上。彈性波諧振器,在施加了諧振頻率與反諧振頻率之間的頻率時成為L性,在施加除此以外的頻率時成為C性。根據(jù)該結(jié)構(gòu),由于第一以及第二串聯(lián)臂諧振器中的一方的串聯(lián)臂諧振器為L性,另一方的串聯(lián)臂諧振器為C性,因此能夠由電感器和第一及第二串聯(lián)臂諧振器形成LC濾波器。因此,能夠進一步改善衰減特性。尤其,在彈性波濾波器是具有多個阻止頻帶的陷波器的情況下,由于可使第一串聯(lián)臂諧振器的諧振頻率和第二串聯(lián)臂諧振器的諧振頻率位于互不相同的阻止頻帶,因此能夠期待更大的衰減特性的改善效果。在本發(fā)明的另一特定技術(shù)方案中,彈性波濾波器具有阻止頻帶、和位于上述阻止頻帶的低頻側(cè)的通過頻帶。在本發(fā)明的又一特定技術(shù)方案中,彈性波濾波器具備多個電感器。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠期待更大的衰減特性的改善效果。在本發(fā)明的又一其他特定技術(shù)方案中,彈性波濾波器具備濾波器主體,其中形成有多個串聯(lián)臂諧振器和多個并聯(lián)臂諧振器,并連接有多個電感器,多個電感器,相對于濾波器主體的中心呈點對稱配置。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)更加良好的濾波特性。在本發(fā)明的又一其他特定技術(shù)方案中,電感器被設置為與兩個串聯(lián)臂諧振器并聯(lián),在多個并聯(lián)臂分別設置一個并聯(lián)臂諧振器。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠進一步降低通過頻帶的插入損失。在本發(fā)明的又一其他特定技術(shù)方案中,還具備連接有多個并聯(lián)臂的多個接地端子電極,多個接地端子電極相對于彈性波濾波器的中心呈點對稱配置。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)崿F(xiàn)更加良好的濾波特性。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明,由于按照與兩個以上的串聯(lián)臂諧振器并聯(lián)的方式設置有與串聯(lián)臂連接的電感器,因此與η狀梯型彈性波濾波器相比,能夠使諧振器的數(shù)量對應的電感器的數(shù)量更少,可實現(xiàn)小型化,且由于能夠使電感器的數(shù)量對應的諧振器的數(shù)量的比例變高,因此能夠?qū)崿F(xiàn)高濾波特性、尤其實現(xiàn)阻止頻帶的寬頻化以及阻止頻帶的高衰減量。
圖1是第一實施方式的彈性波濾波器的概略示意圖。圖2是構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器以及并聯(lián)臂諧振器的彈性表面波諧振器的概略剖視圖。圖3是彈性表面波諧振器的示意俯視圖。圖4是表示π狀梯型彈性波濾波器和T狀梯型彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。另外,在圖4中,實線表示π狀梯型彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示T狀梯型彈性波濾波器。圖5是表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性、和π狀彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖5中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示 η狀彈性波濾波器的衰減特性。
圖6是表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性和π狀彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖6中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示 η狀彈性波濾波器的衰減特性。圖7是表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性和圖9所示的彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖7中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖9所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖8是表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性和圖9所示的彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖8中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖9所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖9是2級連接的π狀彈性波濾波器的概略示意圖。圖10是第二實施方式的彈性波濾波器的概略示意圖。圖11是3級連接的π狀梯型彈性波濾波器的概略示意圖。圖12是表示第二實施方式的彈性波濾波器以及3級連接的π狀梯型彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖12中,實線表示第二實施方式的彈性波濾波器的衰減特性, 虛線表示圖11所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖13是第三實施方式的彈性波濾波器的概略示意圖。圖14是2級連接的帶通彈性波濾波器的概略示意圖。圖15是表示第三實施方式的彈性波濾波器以及圖14所示的彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖15中,實線表示第三實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖14所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖16是第四實施方式的彈性波濾波器的概略后視圖。圖17是參考例的彈性波濾波器的概略后視圖。圖18是第四實施方式的彈性波濾波器以及圖17所示的彈性波濾波器的衰減特性的曲線圖。在圖18中,實線表示第四實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖17 所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖19是表示π狀梯型彈性波濾波器的基本電路結(jié)構(gòu)。圖20是表示T狀梯型彈性波濾波器的基本電路結(jié)構(gòu)。符號說明Sl-第一串聯(lián)臂諧振器,S2-第二串聯(lián)臂諧振器,S3-第三串聯(lián)臂諧振器,S4-第四串聯(lián)臂諧振器,Pl-第一并聯(lián)臂諧振器,Ρ2-第二并聯(lián)臂諧振器,Ρ3-第三并聯(lián)臂諧振器,Ρ4-第四并聯(lián)臂諧振器,Ρ5-第五并聯(lián)臂諧振器,1 5-彈性波濾波器,8、9、14、15、17、 18-連接點,10-輸入端子,11-輸出端子,12-串聯(lián)臂,13a-電感器,13b_電感器,13c_電感器,16a-第一并聯(lián)臂,16b-第二并聯(lián)臂,16c-第三并聯(lián)臂,16d_第四并聯(lián)臂,20-彈性表面波諧振器,21-壓電基板,22-IDT電極,22a、22b-梳狀電極,23-第一柵狀反射器,24-第二柵狀反射器,30-濾波器芯片,31-輸入端側(cè)電極,32-輸出端側(cè)電極,33、34-接地端子電極, 35,36-電感器芯片,40-濾波器芯片,41 43-接地端子電極,44-輸入端側(cè)電極,45-輸出端側(cè)電極
具體實施方式
下面參照附圖,通過說明本發(fā)明的具體實施方式
,便能明了本發(fā)明。(第一實施方式)在本實施方式中,針對作為陷波器的彈性波濾波器進行說明,該陷波器中將地面波數(shù)字廣播接收頻帶G70 770MHz)作為通過頻帶,且將RF發(fā)送頻帶(800MHz附近以及 900MHz附近)作為阻止頻帶。圖1是第一實施方式的彈性波濾波器的概略示意圖。如圖1所示,彈性波濾波器1 在將輸入端子10和輸出端子11連接的串聯(lián)臂12,具備相互串聯(lián)連接的多個串聯(lián)臂諧振器 S1、S2。具體而言,在本實施方式中,在串聯(lián)臂12設置有第一串聯(lián)臂諧振器Si、和第二串聯(lián)臂諧振器S2。在本實施方式中,將第一串聯(lián)臂諧振器Sl的反諧振頻率設為第二串聯(lián)臂諧振器S2的諧振頻率以下。并且,在串聯(lián)臂12連接有電感器13a。電感器13a,被設置為與第一以及第二串聯(lián)臂諧振器Si、S2并聯(lián)。具體而言,電感器13a,被連接在第一串聯(lián)臂諧振器Sl和輸入端子 10之間的連接點14、與第二串聯(lián)臂諧振器S2和輸出端子11之間的連接點15之間。電感器13a和串聯(lián)臂12之間的連接點14與接地電位,通過第一并聯(lián)臂16a連接。 電感器13a和串聯(lián)臂12之間的連接點15與接地電位,通過第三并聯(lián)臂16c連接。并且,相互鄰接的第一串聯(lián)臂諧振器Sl和第二串聯(lián)臂諧振器S2之間的連接點17與接地電位,通過第二并聯(lián)臂16b連接。在并聯(lián)臂16a 16c中分別配置有并聯(lián)臂諧振器Pl P3。在本實施方式中,上述串聯(lián)臂諧振器Si、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3由彈性波諧振器構(gòu)成。更具體而言,通過彈性表面波諧振器連接。不過,串聯(lián)臂諧振器S1、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3,也可以是利用彈性表面波以外的彈性波的彈性波諧振器。例如,串聯(lián)臂諧振器Si、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3,也可以是利用了彈性邊界波的彈性邊界波諧振器,還可以是薄膜體聲波諧振器。圖2表示構(gòu)成串聯(lián)臂諧振器S1、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3的彈性表面波諧振器20的概略剖視圖。并且,圖3表示彈性表面波諧振器20的概略俯視圖。如圖2以及圖 3所示,彈性表面波諧振器20具備在壓電基板21上形成的IDT電極22、在IDT電極22的彈性表面波的傳播方向χ的兩側(cè)配置的第一以及第二柵狀(grating)反射器23、24。如圖 3所示,IDT電極22,具有交指型第一以及第二梳狀電極22a以及22b。壓電基板21,可以由LiNbO3或LiI^aO3等壓電材料構(gòu)成的基板構(gòu)成。壓電基板21, 可以由例如42° Y切X傳播LiTaO3基板構(gòu)成。IDT電極22以及第一及第二柵狀反射器23、 M,可以由公知的一種或多種導電材料形成。IDT電極22以及第一及第二柵狀反射器23、 M,可以由例如Al形成。另外,串聯(lián)臂諧振器Si、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3可以形成在同一壓電基板上,也可以形成在不同的壓電基板上。在本實施方式中,針對串聯(lián)臂諧振器S1、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3形成于同一壓電基板21上的例子進行說明。另外,在本實施方式中,形成串聯(lián)臂諧振器Si、S2以及并聯(lián)臂諧振器Pl P3的壓電基板21是面朝下安裝于未圖示的氧化鋁基板的。安裝在氧化鋁基板上的壓電基板21由未圖示的密封樹脂密封。然而,如上述,梯型彈性波濾波器,有如圖19所示那樣的π狀梯型彈性波濾波器、 以及如圖20所示那樣的T狀梯型彈性波濾波器。如果將π狀梯型彈性波濾波器與T狀梯型彈性波濾波器進行比較,則如圖4所示,π狀梯型彈性波濾波器具有較高的衰減特性。因此,根據(jù)實現(xiàn)高衰減特性的觀點,采用η狀梯型彈性波濾波器比較有利。然而,若要采用如圖19所示這樣的π狀梯型彈性波濾波器實現(xiàn)具有更高衰減量的多個阻止頻帶(衰減特性),則只有增加級數(shù)的方法。在增加級數(shù)的情況下,由于每一級都需要電感器,因此變得大型化,同時成本提高。與此相對,在本實施方式的彈性波濾波器1中,設置有按照與第一以及第二串聯(lián)臂諧振器S1、S2并聯(lián)的方式與串聯(lián)臂12連接的電感器13a。并且,設置有并聯(lián)臂16a、16c, 其將電感器13a和串聯(lián)臂12之間的連接點14、15與接地電位之間連接;以及并聯(lián)臂諧振器 P1、P3,其配置于并聯(lián)臂16a、16c。因此,相對于兩個串聯(lián)臂諧振器以及三個并聯(lián)臂諧振器, 僅存在一個電感器13a。因此,在彈性波濾波器1中,諧振器的數(shù)量對應的電感器的數(shù)量減少。從而,能夠使彈性波濾波器1小型化。并且,在本實施方式中,由于諧振器的數(shù)量對電感器的數(shù)量的比例高,因此如以下具體所示,能夠?qū)崿F(xiàn)更高的濾波特性。圖5以及圖6是表示本實施方式的彈性波濾波器1的衰減特性和圖19所示的π 狀梯型彈性波濾波器100的衰減特性。另外,在圖5以及圖6中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示η狀彈性波濾波器的衰減特性。圖5以及圖6中的彈性波濾波器1的設計參數(shù)以及彈性波濾波器100的設計參數(shù)如下述。彈性波濾波器1的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器PlIDT電極的波長4. 3039 μ m、反射器的波長4. 3039 μ m、交叉寬度48. 63 μ m、IDT 電極的對數(shù)79對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率902MHz,反諧振頻率 935MHz第一串聯(lián)臂諧振器Sl IDT電極的波長4. 7255 μ m、反射器的波長4. 7255 μ m、交叉寬度57. 17 μ m、IDT 電極的對數(shù)72對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 549,諧振頻率830MHz,反諧振頻率 859MHz第二并聯(lián)臂諧振器P2:IDT電極的波長4. 7843 μ m、反射器的波長4. 7843 μ m、交叉寬度54. 9 μ m、IDT 電極的對數(shù)65對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率819MHz,反諧振頻率 848MHz第二串聯(lián)臂諧振器S2 IDT電極的波長4. 2941 μ m、反射器的波長4. 2941 μ m、交叉寬度50. 98 μ m、IDT 電極的對數(shù)96對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 669,諧振頻率904MHz,反諧振頻率 936MHz第三并聯(lián)臂諧振器P3:IDT電極的波長4. 2001 μ m、反射器的波長4. 2001 μ m、交叉寬度54. 9 μ m、IDT 電極的對數(shù)87對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率922MHz,反諧振頻率 956MHz電感器 13a :7. 8nH彈性波濾波器100的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器107a
IDT電極的波長4. 7353 μ m、反射器的波長4. 7353 μ m、交叉寬度:40. 24 μ m、IDT 電極的對數(shù)90對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率827MHz,反諧振頻率 857MHz串聯(lián)臂諧振器104:IDT電極的波長4. 0784 μ m、反射器的波長4. 0784 μ m、交叉寬度60. 71 μ m、IDT 電極的對數(shù)58對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率946MHz,反諧振頻率 980MHz第二并聯(lián)臂諧振器107b IDT電極的波長4. 3039 μ m、反射器的波長4. 3039 μ m、交叉寬度97. 41 μ m、IDT 電極的對數(shù)55對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率904MHz,反諧振頻率 936MHz電感器 105 6. 4nH另外,圖7以及圖8表示彈性波濾波器1的衰減特性和圖9所示的2級連接的π 狀彈性波濾波器300的衰減特性。另外,在圖7以及圖8中,實線表示第一實施方式的彈性波濾波器1的衰減特性,虛線表示圖9所示的彈性波濾波器的衰減特性。圖7中的彈性波濾波器1的設計參數(shù),與上述設計參數(shù)同樣。圖9所示的彈性波濾波器300的設計參數(shù)與下述同樣。彈性波濾波器300的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器107a IDT電極的波長4. 2353 μ m、反射器的波長4. 2353 μ m、交叉寬度40 μ m、IDT電極的對數(shù)90對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率915MHz,反諧振頻率 949MHz第一串聯(lián)臂諧振器10 IDT電極的波長4. 6351 μ m、反射器的波長4. 6351 μ m、交叉寬度:60. 78 μ m、IDT 電極的對數(shù)104對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率844MHz,反諧振頻率875MHz第二并聯(lián)臂諧振器107b IDT電極的波長4. 7353 μ m、反射器的波長4. 7353 μ m、交叉寬度45. 49 μ m、IDT 電極的對數(shù)60對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率^6MHz,反諧振頻率 856MHz第二串聯(lián)臂諧振器104b IDT電極的波長4. 2059 μ m、反射器的波長4. 2059 μ m、交叉寬度75. 69 μ m、IDT 電極的對數(shù)61對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率922MHz,反諧振頻率 955MHz第三并聯(lián)臂諧振器107c IDT電極的波長4. 2059 μ m、反射器的波長4. 2059 μ m、交叉寬度41. 18 μ m、IDT 電極的對數(shù)100對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率921MHz,反諧振頻率%4MHz電感器 105a :3. 2nH
電感器 105b 4. 5nH如圖5以及圖6所示,在本實施方式的彈性波濾波器1中,通過由電感器13a和并聯(lián)臂諧振器Pl P3的C分量構(gòu)成低通濾波器,從而形成寬的通過頻帶。并且,在該通過頻帶內(nèi)通過并聯(lián)臂諧振器Pl P3的諧振點,形成兩個阻止頻帶。另外,在本實施方式中,將第一串聯(lián)臂諧振器Sl的反諧振頻率設為第二串聯(lián)臂諧振器S2的諧振頻率以下。因此,第一以及第二串聯(lián)臂諧振器Si、S2中的一方的串聯(lián)臂諧振器成為L性,另一方的串聯(lián)臂諧振器成為C性。從而,能夠由電感器13a和第一及第二串聯(lián)臂諧振器Si、S2形成具有兩個衰減極的LC濾波器,通過將兩個衰減極配置在上述兩個阻止頻帶,從而能夠改善衰減特性。因此,本實施方式,與以往的1級連接的η狀彈性波濾波器相比,阻止頻帶的衰減量變大,且阻止頻帶變成寬范圍。另外,如圖7以及圖8所示,可知盡管本實施方式的彈性波濾波器1與以往的2級連接的η狀彈性波濾波器相比,電感器的數(shù)量更少,也能得到幾乎同等的衰減特性。以上可知,根據(jù)本實施方式,能夠?qū)崿F(xiàn)小型且具有高衰減特性的彈性波濾波器。以下針對實施本發(fā)明的優(yōu)選方式的其他例子進行說明。另外,在以下說明中,對于與上述第一實施方式實質(zhì)上具有相同功能的部件,參照相同的符號進行說明。(第二實施方式)圖10是第二實施方式涉及的彈性波濾波器2的概略示意圖。如圖10所示,本實施方式的彈性波濾波器2,在上述第一實施方式的彈性波濾波器的后級進一步連接有π狀梯型濾波器部。具體而言,彈性波濾波器2,在串聯(lián)臂12具備相互串聯(lián)連接的第一 第三串聯(lián)臂諧振器Sl S3。在第一串聯(lián)臂諧振器Sl和輸入端子10之間的連接點14、與第二串聯(lián)臂諧振器S2和第三串聯(lián)臂諧振器S3之間的連接點15之間,連接有電感器13a。并且, 在連接點15、與第三串聯(lián)臂諧振器S2和輸出端子11之間的連接點18之間,連接有電感器 13b。連接點14、17、15、18與接地電位,通過第一 第四并聯(lián)臂16a 16d連接。在第一 第四并聯(lián)臂16a 16d,分別配置有并聯(lián)臂諧振器Pl P4。在本實施方式中,與上述第一實施方式同樣地,第一串聯(lián)臂諧振器Sl的反諧振頻率,被設為第二串聯(lián)臂諧振器S2的諧振頻率以下。圖12表示本實施方式的彈性波濾波器2的衰減特性。并且,為進行比較,圖11所示的3級連接的π狀梯型彈性波濾波器400的衰減特性進一步圖示在圖12中。在圖12 中,實線表示第二實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖11所示的彈性波濾波器的衰減特性。另外,在圖12中,彈性波濾波器2的設計參數(shù)以及彈性波濾波器400的設計參數(shù)如下述。彈性波濾波器2的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器Pl IDT電極的波長4. 3137 μ m、反射器的波長4. 3137 μ m、交叉寬度:40. 39 μ m、IDT 電極的對數(shù)56對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率899MHz,反諧振頻率 931MHz第一串聯(lián)臂諧振器Sl IDT電極的波長4. 6961 μ m、反射器的波長4. 6961 μ m、交叉寬度:40. 39 μ m、IDT 電極的對數(shù)101對,反射器的對數(shù)1. 5對,占空比0. 569,諧振頻率^9MHz,反諧振頻率859MHz第二并聯(lián)臂諧振器P2:IDT電極的波長4. 7255 μ m、反射器的波長4. 7255 μ m、交叉寬度47. 06 μ m、IDT 電極的對數(shù)115對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率^8MHz,反諧振頻率857MHz第二串聯(lián)臂諧振器S2 IDT電極的波長4. 2251 μ m、反射器的波長4. 2251 μ m、交叉寬度72. 55 μ m、IDT 電極的對數(shù)66對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 539,諧振頻率920MHz,反諧振頻率 953MHz第三并聯(lián)臂諧振器P3:IDT電極的波長4. 2743 μ m、反射器的波長4. 2743 μ m、交叉寬度69. 02 μ m、IDT 電極的對數(shù)75對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率908MHz,反諧振頻率 941MHz第三串聯(lián)臂諧振器S3 IDT電極的波長4. 1176 μ m、反射器的波長4. 1176 μ m、交叉寬度102. 35 μ m、 IDT電極的對數(shù)21對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率:936MHz,反諧振頻率967MHz第四并聯(lián)臂諧振器P4:IDT電極的波長4. 1863 μ m、反射器的波長4. 1863 μ m、交叉寬度:67. 84 μ m、IDT 電極的對數(shù)53對,反射器的對數(shù)3. 5對,占空比0. 569,諧振頻率:922MHz,反諧振頻率 956MHz電感器 13a :7. 2nH電感器 13b :7. InH彈性波濾波器400的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器107a IDT電極的波長4. 2647 μ m、反射器的波長4. 2647 μ m、交叉寬度40. 78 μ m、IDT 電極的對數(shù)66對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率909MHz,反諧振頻率 942MHz第一串聯(lián)臂諧振器10 IDT電極的波長4. 6471 μ m、反射器的波長4. 6471 μ m、交叉寬度55. 69 μ m、IDT 電極的對數(shù)104對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率842MHz,反諧振頻率873MHz第二并聯(lián)臂諧振器107b IDT電極的波長4. 7353 μ m、反射器的波長4. 7353 μ m、交叉寬度40μπκ IDT電極的對數(shù)94對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率827MHz,反諧振頻率 857MHz第二串聯(lián)臂諧振器104b IDT電極的波長4. 2255 μ m、反射器的波長4. 2255 μ m、交叉寬度70. 2 μ m、IDT 電極的對數(shù)62對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率919MHz,反諧振頻率951MHz第三并聯(lián)臂諧振器107c IDT電極的波長4. 2549 μ m、反射器的波長4. 2549 μ m、交叉寬度58. 04 μ m、IDT 電極的對數(shù)94對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率912MHz,反諧振頻率 945MHz第三串聯(lián)臂諧振器l(Mc IDT電極的波長4. 1373 μ m、反射器的波長4. 1373 μ m、交叉寬度49. 41 μ m、IDT 電極的對數(shù)58對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率934MHz,反諧振頻率 967MHz第四并聯(lián)臂諧振器107d IDT電極的波長4. 1667 μ m、反射器的波長4. 1667 μ m、交叉寬度54. 9 μ m、IDT 電極的對數(shù)52對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率^6MHz,反諧振頻率 960MHz電感器 105a :3. 6nH電感器 l(^b:4.8nH電感器 105c :4. 6nH由圖12所示的結(jié)果可知,盡管本實施方式的彈性波濾波器2比3級連接的彈性波濾波器400的電感器的數(shù)量更少,但是本實施方式的彈性波濾波器2仍然具有與3級連接的彈性波濾波器400同等程度以上的衰減特性。(第三實施方式)圖13是第三實施方式的彈性波濾波器4的概略示意圖。如圖13所示,本實施方式的彈性波濾波器4,是將上述第一實施方式的彈性波濾波器1進行2級連接而成的。具體而言,在彈性波濾波器4中,在串聯(lián)臂12配置有相互串聯(lián)連接的第一 第四串聯(lián)臂諧振器 Sl S4。在第一串聯(lián)臂諧振器Sl和輸入端子10之間的連接點14、與第二串聯(lián)臂諧振器 S2和第三串聯(lián)臂諧振器S3之間的連接點15之間,連接有電感器13a。并且,在連接點15、 與第四串聯(lián)臂諧振器S4和輸出端子11之間的連接點8之間,連接有電感器13c。在上述連接點14、15、8、9和接地電位之間、第一串聯(lián)臂諧振器Sl和第二串聯(lián)臂諧振器S2之間的連接點17與接地電位之間、以及第三串聯(lián)臂諧振器S3和第四串聯(lián)臂諧振器S4之間的連接點 9與接地電位之間,連接有第一 第五并聯(lián)臂16a 16e。在第一 第五并聯(lián)臂16a 16e 中,配置有第一 第五并聯(lián)臂諧振器Pl P5。本實施方式的彈性波濾波器4,具有兩個阻止頻帶,該兩個阻止頻帶位于通過頻帶的高頻側(cè)。在本實施方式中,與上述第一實施方式同樣,第一串聯(lián)臂諧振器Sl的反諧振頻率被設為第二串聯(lián)臂諧振器S2的諧振頻率以下。另外,第三串聯(lián)臂諧振器S3的反諧振頻率被設為第四串聯(lián)臂諧振器S4的諧振頻率以下。圖15表示本實施方式的彈性波濾波器3的衰減特性。并且,為進行比較,圖14所示的帶通型彈性波濾波器600的衰減特性還圖示在圖15中。在圖15中,實線表示第三實施方式的彈性波濾波器4的衰減特性,虛線表示圖14所示的彈性波濾波器600的衰減特性。 另外,在圖15中,彈性波濾波器4的設計參數(shù)以及彈性波濾波器600的設計參數(shù)如下述。
彈性波濾波器4的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器Pl IDT電極的波長4. 2785 μ m、反射器的波長4. 2785 μ m、交叉寬度57. 88 μ m、IDT 電極的對數(shù)70對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率905MHz,反諧振頻率 939MHz第一串聯(lián)臂諧振器Sl IDT電極的波長4. 7431 μ m、反射器的波長4. 7431 μ m、交叉寬度85. 88 μ m、IDT 電極的對數(shù)109對,反射器的對數(shù)1. 5對,占空比0. 569,諧振頻率^6MHz,反諧振頻率857MHz第二并聯(lián)臂諧振器P2:IDT電極的波長4. 7823 μ m、反射器的波長4. 7823 μ m、交叉寬度42. 59 μ m、IDT 電極的對數(shù)53對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率819MHz,反諧振頻率 848MHz第二串聯(lián)臂諧振器S2 IDT電極的波長4. 1765 μ m、反射器的波長4. 1765 μ m、交叉寬度:80. 24 μ m、IDT 電極的對數(shù)60對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 619,諧振頻率^6MHz,反諧振頻率 960MHz第三并聯(lián)臂諧振器P3:IDT電極的波長4. 1765 μ m、反射器的波長4. 1765 μ m、交叉寬度81. 88 μ m、IDT 電極的對數(shù)85對,反射器的對數(shù)3. 5對,占空比0. 569,諧振頻率924MHz,反諧振頻率 960MHz第三串聯(lián)臂諧振器S3 IDT電極的波長4. 7039 μ m、反射器的波長4. 7039 μ m、交叉寬度72. 42 μ m、IDT 電極的對數(shù)95對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率832MHz,反諧振頻率 862MHz第四并聯(lián)臂諧振器P4:IDT電極的波長4. 8117 μ m、反射器的波長4. 8117 μ m、交叉寬度81. 41 μ m、IDT 電極的對數(shù)33對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率:814MHz,反諧振頻率 842MHz第四串聯(lián)臂諧振器S4:IDT電極的波長4. 1765 μ m、反射器的波長4. 1765 μ m、交叉寬度65. 18 μ m、IDT 電極的對數(shù)72對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 619,諧振頻率^6MHz,反諧振頻率 960MHz第五并聯(lián)臂諧振器P5:IDT電極的波長4. 3187 μ m、反射器的波長4. 3187 μ m、交叉寬度86. 54 μ m、IDT 電極的對數(shù)61對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 569,諧振頻率900MHz,反諧振頻率 934MHz電感器 13a :9. 5nH電感器 13c :10. OnH
彈性波濾波器600的設計參數(shù)第一并聯(lián)臂諧振器601 IDT電極的波長4. 6863 μ m、反射器的波長4. 6863 μ m、交叉寬度69. 16 μ m、IDT 電極的對數(shù)49對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 385第二并聯(lián)臂諧振器602 IDT電極的波長5. ^47μπκ反射器的波長5. ^47μπκ交叉寬度45μπκ IDT電極的對數(shù)39對,反射器的對數(shù)3. 5對,占空比0. 385第一串聯(lián)臂諧振器603 IDT電極的波長5. 6667 μ m、反射器的波長5. 6667 μ m、交叉寬度82. 8 μ m、IDT 電極的對數(shù)105對,反射器的對數(shù)1. 5對,占空比0. 391第三并聯(lián)臂諧振器604 IDT電極的波長4. 8039 μ m、反射器的波長4. 8039 μ m、交叉寬度49. 26 μ m、IDT 電極的對數(shù)74對,反射器的對數(shù)1. 5對,占空比0. 385第四并聯(lián)臂諧振器605:IDT電極的波長4. 8235 μ m、反射器的波長4. 8235 μ m、交叉寬度51. 43 μ m、IDT 電極的對數(shù)43對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 385第二串聯(lián)臂諧振器606 IDT電極的波長5. 6471 μ m、反射器的波長5. 6471 μ m、交叉寬度67. 27 μ m、IDT 電極的對數(shù)105對,反射器的對數(shù)1. 5對,占空比0. 391第五并聯(lián)臂諧振器607 IDT電極的波長4. 7157 μ m、反射器的波長4. 7157 μ m、交叉寬度53. 16 μ m、IDT 電極的對數(shù)52對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 385第六并聯(lián)臂諧振器608:IDT電極的波長5. 3039 μ m、反射器的波長5. 3039 μ m、交叉寬度45μπκ IDT電極的對數(shù)63對,反射器的對數(shù)4. 5對,占空比0. 385電感器 609:19nH電感器 610:27nH電感器 611:19nH根據(jù)圖15所示的結(jié)果,可知盡管本實施方式的彈性波濾波器4比彈性波濾波器 600的電感器的數(shù)量少,但本實施方式的彈性波濾波器4具有與帶通型彈性波濾波器600同等程度以上的衰減特性,且比帶通型彈性波濾波器600的通過頻帶的插入損失更小。另外,在本實施方式中,針對將上述第一實施方式的彈性波濾波器進行2級連接的例子作了說明。但本發(fā)明并非限定于該結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明中,也可以對上述第一實施方式的彈性波濾波器進行3級以上的連接。這樣,通過增加連接級數(shù),從而可形成更多的衰減極。(第四實施方式)本實施方式的彈性波濾波器,具有與上述第三實施方式的彈性波濾波器同樣的電路結(jié)構(gòu)。因此,在本實施方式中,圖13參照與上述第三實施方式同樣的構(gòu)成要素。在本實施方式中,如圖16所示,彈性波濾波器,具備作為濾波器主體的濾波器芯片30,該濾波器主體是對安裝了壓電基板的氧化鋁基板進行樹脂密封而成的,該壓電基板中形成了第一 第三串聯(lián)臂諧振器Sl S3以及第一 第四并聯(lián)臂諧振器Pl P4。在濾波器芯片30的背面,形成有與輸入端子10連接的輸入端側(cè)電極31、以及與輸出端子11連接的輸出端側(cè)電極32。輸入端側(cè)電極31和輸出端側(cè)電極32,當從背面看時,相對于作為濾波器主體的濾波器芯片30的中心呈點對稱方式配置。另外,在濾波器芯片30的背面,形成與接地電位連接的接地端子電極33、34。接地端子電極33、34,當從背面看時,相對于彈性波濾波器的中心、即濾波器芯片30的中心呈點對稱地配置。另外,在本實施方式中,電感器13a、13b分別形成于電感器芯片35、36內(nèi)。然后, 電感器芯片35、36被安裝于濾波器芯片30內(nèi)。圖18表示本實施方式的彈性波濾波器的衰減特性。另外,為了比較,如圖17所示,接地端子電極41 43沒有相對于濾波器芯片40的中心呈點對稱配置,輸入端側(cè)電極 44和輸出端側(cè)電極45也沒有相對濾波器芯片40的中心呈點對稱配置,這樣的彈性波濾波器的衰減特性還根據(jù)圖18來進行圖示。在圖18中,實線表示第四實施方式的彈性波濾波器的衰減特性,虛線表示圖17所示的彈性波濾波器的衰減特性。另外,在圖18中,第四實施方式的彈性波濾波器以及圖17所示的彈性波濾波器的設計參數(shù),與上述第三實施方式的彈性波濾波器的設計參數(shù)同樣。根據(jù)圖18所示的結(jié)果,將輸入端側(cè)電極和輸出端側(cè)電極相對于濾波器芯片30的中心呈點對稱配置、且將多個接地端子電極相對于濾波器芯片30的中心呈點對稱配置時, 與非點對稱配置的情況相比,能得到更高的衰減特性。另外,在本發(fā)明中,電感器不需要由與濾波器主體獨立設置的電感器芯片構(gòu)成。電感器,例如也可以由在濾波器主體形成的線圈圖案等構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種彈性波濾波器,其特征在于,包括多個串聯(lián)臂諧振器,其在連接輸入端子和輸出端子的串聯(lián)臂中相互串聯(lián)連接;電感器,其按照與上述多個串聯(lián)臂諧振器中的兩個以上的串聯(lián)臂諧振器并聯(lián)的方式, 與上述串聯(lián)臂連接;和多個并聯(lián)臂諧振器,其配置于將上述電感器和上述串聯(lián)臂之間的連接點與接地電位連接的并聯(lián)臂、以及將鄰接的上述串聯(lián)臂諧振器的連接點與接地電位連接的并聯(lián)臂。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波濾波器,其特征在于,將上述電感器并聯(lián)連接的兩個以上的串聯(lián)臂諧振器,包括第一串聯(lián)臂諧振器、以及第二串聯(lián)臂諧振器,該第二串聯(lián)臂諧振器的諧振頻率為上述第一串聯(lián)臂諧振器的反諧振頻率以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波濾波器,其特征在于,所述彈性波濾波器具有阻止頻帶、和位于上述阻止頻帶的低頻側(cè)的通過頻帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的彈性波濾波器,其特征在于,所述彈性波濾波器具備多個上述電感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的彈性波濾波器,其特征在于,所述彈性波濾波器具備濾波器主體,該濾波器主體形成有上述多個串聯(lián)臂諧振器和上述多個并聯(lián)臂諧振器,并連接有上述多個電感器,上述多個電感器,相對于上述濾波器主體的中心呈點對稱配置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的彈性波濾波器,其特征在于,上述電感器被設置為與兩個上述串聯(lián)臂諧振器并聯(lián),在多個上述并聯(lián)臂分別設置有一個上述并聯(lián)臂諧振器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的彈性波濾波器,其特征在于,所述彈性波濾波器還具備連接有多個上述并聯(lián)臂的多個接地端子電極,上述多個接地端子電極相對于上述彈性波濾波器的中心呈點對稱配置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具有良好濾波特性的小型彈性波濾波器。彈性波濾波器(1)具備多個串聯(lián)臂諧振器(S1、S2)、電感器13a、以及多個并聯(lián)臂諧振器(P1~P3)。多個串聯(lián)臂諧振器(S1、S2)在將輸入端子(10)和輸出端子(11)連接的串聯(lián)臂(12)中相互串聯(lián)連接。電感器(13a)按照與多個串聯(lián)臂諧振器(S1、S2)中的兩個以上的串聯(lián)臂諧振器(S1、S2)并聯(lián)的方式與串聯(lián)臂(12)連接。多個并聯(lián)臂諧振器(P1~P3)被配置于將電感器(13a)和串聯(lián)臂(12)之間的連接點(14、15)與接地電位連接的并聯(lián)臂(16a、16c)、以及將鄰接的串聯(lián)臂諧振器(S1、S2)的連接點(17)與接地電位連接的并聯(lián)臂(16b)。
文檔編號H03H9/64GK102362431SQ201080012849
公開日2012年2月22日 申請日期2010年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月30日
發(fā)明者谷口康政 申請人:株式會社村田制作所