專利名稱：：Mems開關器件、邏輯門以及集成電路的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及半導體
技術領域：
，尤其涉及MEMS開關器件、邏輯門以及集成電路。技術背景邏輯門主要應用于數(shù)字
技術領域：
以及模擬
技術領域：
，邏輯門的種類繁多，主要包括與門，非門，或門，與非門，或非門，與或非門，選擇器，觸發(fā)器，三態(tài)門等?，F(xiàn)有技術中的邏輯門通過MOS晶體管的組合實現(xiàn)一定的邏輯功能，MOS晶體管為金屬-氧化物-半導體(Metal-Oxide-Semiconductor)結構的晶體管，簡稱MOS晶體管，其包括位于襯底內的源區(qū)、漏區(qū)，位于襯底上的柵極；源區(qū)和漏區(qū)之間具有溝道，在源區(qū)、漏區(qū)和柵極上具有通孔以及互連線，通過通孔以及互連線與外部電極連接，通過控制施加在外部電極的電壓，控制施加在源區(qū)、漏區(qū)以及柵極上的電壓，可以使源區(qū)和漏區(qū)之間的溝道處于導通或截止，也就是說，可以使MOS晶體管處于關閉或斷開，從而利用MOS晶體管的組合可以實現(xiàn)一定的邏輯功能。然而，通過MOS晶體管的組合實現(xiàn)一定的邏輯功能，存在以下缺點1、MOS晶體管在截止狀態(tài)下，存在漏電流，導致了邏輯門的功耗大；2、M0S晶體管的形成方法比較復雜。2009年4月四日公開的公開號為CN101420216A的中國專利申請，公開了一種“邏輯門以及使用該邏輯門的半導體集成電路裝置”，然而，沒有解決以上所述的技術問題，現(xiàn)有技術中，有許多關于邏輯門的專利，均沒有解決以上所述的技術問題。
發(fā)明內容本發(fā)明解決的問題是提供一種邏輯門，結構簡單，使用器件數(shù)目少，漏電流極小。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種MEMS開關器件，包括可動極板；第一參考電極、第二參考電極，所述可動極板位于所述第一參考電極和所述第二參考電極之間，可以在第一參考電極、第二參考電極之間移動；第一連接端、第二連接端和第三連接端，當所述可動極板靠近第二參考電極時，第一連接端和第二連接端通過可動極板電性導通；當所述可動極板靠近第一參考電極時，第一連接端和第三連接端通過可動極板電性導通。可選的，所述可動極板包括至少一層導電層，通過控制所述導電層和所述第一參考電極、所述第二參考電極之間的電勢差使所述可動極板在所述第一參考電極和第二參考電極之間移動；與所述導電層絕緣的導電接觸端，在所述可動極板靠近第二參考電極時，第一連接端和第二連接端通過所述導電接觸端電性導通，在所述可動極板靠近第一參考電極時，第一連接端和第三連接端通過所述導電接觸端電性導通?？蛇x的，所述可動極板還包括絕緣層，位于所述導電層的表面?？蛇x的，所述第一連接端包括第一連接部和第二連接部；所述第一連接部和所述第二連接端在同一金屬層；所述第二連接部和所述第三連接端在同一金屬層。可選的，所述第一參考電極包括至少一層導電層?？蛇x的，所述導電層表面具有絕緣層。可選的，所述第二參考電極包括至少一層導電層?？蛇x的，所述導電層表面有絕緣層。可選的，所述導電接觸端的表面具有鈍化層或者所述第一連接端、第二連接端、第三連接端的表面具有鈍化層。本發(fā)明還提供一種邏輯門，包括至少一輸入端，一輸出端，所述輸入端和所述輸出端之間通過至少一MEMS開關器件連接，以實現(xiàn)邏輯功能，所述MEMS開關器件為以上所述的MEMS開關器件。本發(fā)明還提供一種集成電路，包括以上所述的邏輯門電路。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點本發(fā)明的MEMS開關器件為單刀雙擲型，結構簡單，相應的工藝流程簡單，不需要CMOS工藝中的P型離子注入以及N型離子注入工藝等，從而可以節(jié)約成本。并且此MEMS開關器件形成的電路和CMOS電路兼容。利用本發(fā)明MEMS開關器件的組合形成本發(fā)明的邏輯門實現(xiàn)一定的邏輯功能時，使用的MEMS開關器件的數(shù)目少，而且邏輯門的結構簡單，流程也相應簡單，從而可以節(jié)約成本。利用本發(fā)明邏輯門構成的集成電路，結構簡單，漏電流小，從而可以節(jié)省布局面積，降低功耗。圖Ia是本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件的剖面結構示意圖Ib是圖Ia所示的本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件沿a_a、b_b方向的組合剖面結構示意圖Ic是圖Ia所示的本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件第一連接端和第二連接端導通的剖面結構示意圖Id是圖Ic所示的本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件沿a_a、b_b方向的組合剖面結構示意圖加為第一參考電極接電壓VCC1+，第二參考電極接電壓VCCl-的MEMS開關器件的符號圖2b為第一參考電極接電壓VCC1-，第二參考電極接電壓VCCl+的MEMS開關器件的符號圖3a為本發(fā)明非門的第一具體實施例的電路圖北為本發(fā)明非門的第二具體實施例的電路圖如為本發(fā)明與門第一具體實施例的電路圖4b為本發(fā)明與門第二具體實施例的電路圖fe為本發(fā)明或門的第一具體實施例的電路圖；15圖恥為本發(fā)明或門的第二具體實施例的電路圖6a為本發(fā)明兩輸入與非門的第一具體實施例的電路圖6b為本發(fā)明兩輸入與非門的第二具體實施例的電路圖6c為本發(fā)明兩輸入與非門的第三具體實施例的電路圖6d為本發(fā)明兩輸入與非門的第四具體實施例的電路圖6e本發(fā)明與非門的第五具體實施例的電路圖6f本發(fā)明與非門的第六具體實施例的電路圖7a為本發(fā)明或非門的第一具體實施例的電路圖7b為本發(fā)明或非門的第二具體實施例的電路圖7c為本發(fā)明或非門的第三具體實施例的電路圖7d為本發(fā)明或非門的第四具體實施例的電路圖7e為本發(fā)明或非門的第五具體實施例的電路圖7f為本發(fā)明或非門的第六具體實施例的電路圖為本發(fā)明第一具體實施例的四輸入與或非門的電路圖8b為本發(fā)明第二具體實施例的四輸入與或非門的電路圖9a為本發(fā)明同或門的第一具體實施例的電路圖9b為本發(fā)明同或門的第二具體實施例的電路圖9c為本發(fā)明同或門的第三具體實施例的電路圖9d為本發(fā)明同或門的第四具體實施例的電路圖9e為本發(fā)明同或門第五具體實施例的電路圖9f為本發(fā)明同或門第六具體實施例的電路圖IOa為本發(fā)明異或門的第一具體實施例的電路圖IOb為本發(fā)明異或門的第二具體實施例的電路圖IOc為本發(fā)明異或門的第三具體實施例的電路圖IOd為本發(fā)明異或門的第四具體實施例的電路圖IOe為本發(fā)明異或門的第五具體實施例的電路圖IOf為本發(fā)明異或門的第六具體實施例的電路圖Ila為本發(fā)明二選一選擇器的電路圖lib為本發(fā)明四選一選擇器的電路圖Ilc為一個MEMS開關器件表示的選擇器的符號示意圖Ild為本發(fā)明具體實施例的十六選一選擇器應用于查找表的原理圖12a為本發(fā)明三態(tài)門的第一具體實施例的電路圖12b為本發(fā)明三態(tài)門的第二具體實施例的電路圖13a為本發(fā)明觸發(fā)器的第一具體實施例的電路圖13b為本發(fā)明觸發(fā)器的第二具體實施例的電路圖13c為本發(fā)明觸發(fā)器的第三具體實施例的電路圖13d為本發(fā)明觸發(fā)器的第四具體實施例的電路圖14a為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第一具體實施例的電路圖14b為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第二具體實施例的電路圖14c為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第三具體實施例的電路圖14d為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第四具體實施例的電路圖。具體實施方式本發(fā)明具體實施方式的邏輯門，利用微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems,MEMS)開關的組合實現(xiàn)邏輯功能。為了實現(xiàn)本發(fā)明具體實施方式的邏輯門，本發(fā)明提供一種MEMS開關器件，為單刀雙擲型，本發(fā)明的MEMS開關器件的結構簡單，相應的工藝流程簡單，不需要CMOS工藝中的P型離子注入以及N型離子注入工藝等，從而可以節(jié)約成本。并且此MEMS開關器件形成的電路和CMOS電路兼容。圖Ia為本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件的剖面結構示意圖，圖Ib是圖Ia所示的本發(fā)明具體實施例的MEMS開關器件沿a-a、b_b方向的組合剖面結構示意圖；參考圖Ia和圖lb，本發(fā)明具體實施方式的MEMS開關器件包括可動極板10；第一參考電極21、第二參考電極22，第一連接端31、第二連接端32和第三連接端33。所述可動極板10位于所述第一參考電極21和所述第二參考電極22之間，可以在第一參考電極21、第二參考電極22之間移動；當所述可動極板10靠近第二參考電極22時，第一連接端31和第二連接端32通過可動極板10電性導通(參考圖Ic和圖Id)；當所述可動極板10靠近第一參考電極21時，第一連接端31和第三連接端33通過可動極板10電性導通(沒有在圖示中表示出第一連接端31和第三連接端33電性導通，本領域技術人員根據(jù)第一連接端31和第二連接端32電性導通的例子，可以獲知在什么情況下，第一連接端31和第三連接端33電性導通)。所述可動極板10包含至少一層導電層11，通過控制所述導電層11和所述第一參考電極21、所述第二參考電極22之間的電勢差使所述可動極板10在所述第一參考電極21和第二參考電極22之間移動；與所述導電層11絕緣的導電接觸端12，在所述可動極板10靠近第二參考電極22時，第一連接端31和第二連接端32通過所述導電接觸端12電性導通，在所述可動極板10靠近第一參考電極21時，第一連接端31和第三連接端33通過所述導電接觸端12電性導通。在本發(fā)明的具體實施例中，可動極板10包括導電層11，在導電層11的表面具有絕緣層13，可動極板10通過兩連接端14形成在介質層41上，兩連接端14與導電層11電性連接，通過兩連接端14可以對導電層11施加電壓。而且，在該具體實施例中，兩連接端14以及絕緣層13起到支撐架的作用，起到支撐可動極板10的作用。導電接觸端12具有兩端，分別為第一端121和第二端122，通過第一端121和第二端122可以使第一連接端31和第二連接端32電性導通、第一連接端31和第三連接端33電性導通，其中，第一端121用于與第一連接端31接觸，第二端122用于與第二連接端32或與第三連接端33接觸。通過控制第一參考電極21、第二參考電極22以及可動極板10的導電層11之間的電勢差，可以使可動極板10在第一參考電極21和第二參考電極22之間移動，使第一連接端31和第二連接端32通過所述導電接觸端12電性導通，或者，第一連接端31和第三連接端33通過所述導電接觸端12電性導通。參考圖Ic和圖ld，當在第一參考電極21施加高電壓，例如第一參考電極21接電源正極，對第一參考電極21施加電源電壓，第二參考電極22施加低電壓，例如第二參考電極22接地，對第二參考電極22施加零電壓，同時通過連接端14對導電層11施加高電壓，如電源電壓時，第二參考電極22和導電層11之間存在電勢差，兩者之間存在相互作用力，因此，可動極板10在相互作用力的作用下向第二參考電極22方向移動，使導電接觸端12連接第一連接端31和第二連接端32，即第一端121與第一連接端31接觸、第二端122與第二連接端32接觸，從而使第一連接端31和第二連接端32電性導通。需要說明的是，在此只說明了第一連接端31和第二連接端32電性導通的實例，本領域技術人員根據(jù)此推導，可以毫無疑問的獲知第一連接端31和第三連接端33電性導通的情況?？偟膩碚f，當?shù)谝粎⒖茧姌O21和導電層11之間存在電勢差，從而存在相互作用力時，第一連接端31和第三連接端33電性導通；當?shù)诙⒖茧姌O22和導電層11之間存在電勢差，從而存在相互作用力時，第一連接端31和第二連接端32電性導通。在本發(fā)明中，導電層11至少為一層，在本發(fā)明具體實施例中，導電層11為兩層，與一層導電層11相比可以增大導電層11與第一參考電極21、第二參考電極22之間的相互作用力，從而可以增大MEMS開關器件的靈敏度。當然，導電層11不限于兩層，也可以為兩層以上，也可以為一層。在導電層11表面上形成的絕緣層可以防止第二參考電極22與導電層11接觸。在本發(fā)明的具體實施例中，所述第二參考電極22位于基底40上，具體為，位于基底40表面上的介質層41上，所述第一參考電極21位于所述第二參考電極22上方，第一參考電極21和第二參考電極22為導電層，可動極板10位于第一參考電極21和第二參考電極22之間。在本發(fā)明的其他實施例中，也可以沒有基底40。在本發(fā)明的具體實施例中，所述第一連接端31包括第一連接部311和第二連接部312，其中第一連接部311和第二連接部312是電性連接的，圖中并沒有示出第一連接部311和第二連接部312的電性連接關系。第一連接部311和所述第二連接端32在同一金屬層，在本發(fā)明實施例中，所述第二參考電極22也可以與第一連接部311和所述第二連接端32在同一金屬層；第二連接部312和所述第三連接端33在同一金屬層，在本發(fā)明具體實施例中，所述第一參考電極21也可以與第二連接部312和所述第三連接端33在同一金屬層。第一參考電極21靠近可動極板10的表面具有絕緣層23，以防止在可動極板10靠近第一參考電極21時，第一參考電極21與導電層11接觸。在本發(fā)明的具體實施例中，第二參考電極22的表面沒有絕緣層，這是因為與其相對的可動極板10有絕緣層13，可以防止第二參考電極22與導電層11接觸，當然，第二參考電極22的表面也可以具有絕緣層。需要說明的是，為了防止第一參考電極與可動極板上的導電層接觸，以及第二參考電極與可動極板上的導電層接觸，本發(fā)明的具體實施例中，可動極板相對于第二參考電極的表面設有絕緣層，第一參考電極相對于可動極板的表面設有絕緣層，然而，此只為本發(fā)明的一個具體實施例。在本發(fā)明的其他具體實施例中，可動極板上的絕緣層，第一參考電極上的絕緣層以及第二參考電極上的絕緣層可以根據(jù)需要進行設置，只要起到可以防止第一參考電極與可動極板上的導電層接觸、以及第二參考電極與可動極板上的導電層接觸。第一參考電極、第二參考電極也可以沒有絕緣層，只要可以保證第一參考電極不會與可動極板上的導電層接觸、以及第二參考電極不會與可動極板上的導電層接觸。而且，在本發(fā)明的具體實施例中，所述導電接觸端的表面可以具有鈍化層或所述第一連接端、第二連接端、第三連接端的表面具有鈍化層?？梢詾閷щ娊佑|端的表面具有鈍化層，第一連接端、第二連接端、第三連接端的表面沒有鈍化層；也可以為導電接觸端的表面沒有鈍化層，第一連接端、第二連接端、第三連接端的表面具有鈍化層。在本發(fā)明具體實施例中，可動極板10包括的導電層11的材料可以為鋁、鈦、銅、鈷、鎳、鉭、鉈、鉬、銀、金等或其組合，以及本領域技術人員公知的其他導電材料。導電接觸端12的材料可以為鋁、鈦、銅、鈷、鎳、鉭、鉈、鉬、銀、金等或其組合，以及本領域技術人員公知的其他導電材料。第一參考電極21和第二參考電極22的材料可以為鋁、鈦、銅、鈷、鎳、鉭、鉈、鉬、銀、金等或其組合，以及本領域技術人員公知的其他導電材料。第一連接端31、第二連接端32和第三連接端33的材料可以為鋁、鈦、銅、鈷、鎳、鉭、鉈、鉬、銀、金等或其組合，以及本領域技術人員公知的其他導電材料。導電層11表面的絕緣層13的材料為SiO2,Si3N4，SiNx,SiON,SiCOx等等。第一參考電極21表面的絕緣層的材料為SiO2,Si3N4,SiNx,SiON,SiCOx等等。在本發(fā)明具體實施例中，基底40可以為單晶硅或硅鍺(SiGe)，也可以是絕緣體上硅(SOI)，還可以包括其它的材料，例如銻化銦、碲化鉛、砷化銦、磷化銦、砷化鎵或銻化鎵。在基底40內還可以具有MOS器件。需要說明的是，以上所述僅是本發(fā)明的一個具體實施例，在其他實施例中，第一連接端、第二連接端和第三連接端的分布方式也不限于以上所述的方式，本領域技術人員根據(jù)其推導可以對其做相應的變動，然而均不脫離本發(fā)明的精神。例如，在其他實施例中，第一連接部311和第二連接部312不連接時，第一連接部311可以作為第二連接端，第二連接部312可以作為第三連接端，第三連接端33和第二連接端32電性連接后作為第一連接端。利用以上所述的本發(fā)明的MEMS開關器件，本發(fā)明提供一種邏輯門，包括與門，非門，或門，與非門，或非門，與或非門，選擇器，觸發(fā)器，三態(tài)門等本領域技術人員公知的其他邏輯門，在本發(fā)明的具體實施例中，僅列出有限種類的邏輯門。本發(fā)明具體實施方式的邏輯門，包括至少一輸入端，一輸出端，所述輸入端和所述輸出端之間通過至少一MEMS開關器件連接，以實現(xiàn)邏輯功能，所述MEMS開關器件為以上所述的MEMS開關器件。在說明本發(fā)明具體實施例的邏輯門之前，首先介紹本發(fā)明的MEMS開關器件的符號。圖加為第一參考電極21接電壓VCC1+，第二參考電極22接電壓VCCl-的MEMS開關器件的符號圖；圖2b為第一參考電極21接電壓VCC1-，第二參考電極22接電壓VCCl+的MEMS開關器件的符號圖。參考圖加和圖2b，并結合參考圖I^Atl表示可動極板10的導電層11，Btl表示第二連接端32，C0表示第三連接端33，D0表示第一連接端31，表示導電接觸端12。其中，電壓VCCl+和電壓VCCl-的值可以根據(jù)實際情況進行確定，VCCl+大于VCC1-，例如電壓VCCl+可以為電源電壓，電壓VCCl-可以為零。下面結合具體實施例詳細說明本發(fā)明具體實施方式的邏輯門。下面說明邏輯門中的非門，OUT=A。圖3a為本發(fā)明非門的第一具體實施例的電路圖，圖北為本發(fā)明非門的第二具體實施例的電路圖，參考圖3a和圖北，本發(fā)明具體實施方式的非門包括一個輸入端(圖中未示)和一個MEMS開關器件，MEMS開關器件的可動極板與所述輸入端連接，在本發(fā)明的具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述輸入端連接；第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三連接端輸入邏輯低電平；所述第一連接端與所述輸出端連接；第一參考電極輸入第一電壓，第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三連接端輸入邏輯高電平；所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓。參考圖3a，在本發(fā)明的非門的第一具體實施例中，第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明中第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，其中電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定，只要滿足VCC+大于VCC-即可；所述第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的非門的第一具體實施例中，當通過輸入端向可動極板的導電層輸入信號A為1時，即通過輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，則輸出信號OUT為電壓VCC-，為邏輯0;當通過輸入端向可動極板的導電層輸入A信號為0時，即通過輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，則輸出信號OUT為電壓VCC+，為邏輯1；從而實現(xiàn)非門的邏輯功能，即Of/Γ=A。參考圖:，在本發(fā)明非門的第二具體實施例中，所述第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三連接端輸入邏輯高電平，在本發(fā)明中第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，其中電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定，只要滿足VCC+大于VCC-即可；所述第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于所述第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的非門的第二具體實施例中，當通過輸入端向可動極板的導電層輸入的信號A為1時，即通過輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，則第一連接端的輸出信號OUT為電壓VCC-，為邏輯0；當通過輸入端向可動極板的導電層輸入信號A為0時，即通過輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，則第一連接端的輸出信號OUT為電壓VCC+，為邏輯1；從而實現(xiàn)非門的邏輯功能，即OUT=I。本發(fā)明的非門真值表如下AOUT1(VCC+)0(VCC")0(VCC")1(VCC+)下面說明邏輯門中的與門，OUT=A·B。圖如為本發(fā)明的與門第一具體實施例的電路圖，圖4b為本發(fā)明與門第二具體實施例的電路圖，參考圖如和圖4b，本發(fā)明具體實施方式的兩輸入與門，包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為一個；所述MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明的具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述輸入端連接；所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接；所述第二電壓大于所述第一電壓。參考圖4a，在本發(fā)明與門的第一具體實施例中，所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明中第三連接端輸入電壓VCC-，其中電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的與門的第一具體實施例中，當通過第一輸入端向可動極板的導電層輸入的信號A為1時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，則第一連接端的輸出信號OUT為通過第二輸入端向第二連接端輸入的信號B，如果B為高電壓，即B為邏輯1時，則輸出信號OUT為邏輯1，如果B為低電壓，SPB為邏輯0時，則輸出信號OUT為邏輯0。當通過第一輸入端向可動極板的導電層輸入的信號A為0時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，無論信號B為邏輯1還是邏輯0，輸出信號OUT均為零，為邏輯0；從而實現(xiàn)與門的邏輯功能，即OUT=A·B。參考圖4b，在本發(fā)明第二具體實施例的與門中，所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于通過第一輸入端輸入A信號，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明中第二連接端輸入電壓VCC-，其中電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，用于通過第二輸入端輸入B信號，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。也就是說，第二具體實施例的與門與第一具體實施例的與門相比較，如果第一參考電極和第二參考電極輸入的電壓高低相反，則第二連接端和第三連接端的電路連接方式要互換。在本發(fā)明的與門的第二具體實施例中，當信號A為1時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，則輸出信號OUT為通過第二輸入端向第三連接端輸入的信號B，如果B為高電壓，即邏輯1，則輸出信號OUT為邏輯1，如果B為低電壓，即為邏輯0，則輸出信號OUT為邏輯0。當信號A為0時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，無論信號B為邏輯1還是邏輯0，輸出信號OUT均為邏輯0；從而實現(xiàn)與門的邏輯功能，即OUT=A·B。本發(fā)明的與門的真值表為ABOUT1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)下面說明本發(fā)明具體實施例的或門，OUT=A+B。圖fe為本發(fā)明或門的第一具體實施例的電路圖，圖恥為本發(fā)明或門的第二具體實施例的電路圖，參考圖fe和圖恥，本發(fā)明具體實施方式的兩輸入或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為一個；所述MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明的具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述輸入端連接；所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二電壓小于所述第一電壓。參考圖fe，在本發(fā)明的或門的第一具體實施例中，所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，輸入A信號；所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入B信號，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，在本發(fā)明中第三連接端輸入電壓VCC+，其中電壓VCC+的值根據(jù)實際的電路進行確定；所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的或門的第一具體實施例中，當A信號為邏輯1時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，無論B信號為邏輯1還是邏輯0，輸出信號OUT為電壓VCC+，為邏輯1。當信號A為邏輯0時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，則輸出信號OUT與B信號相同，如果B信號為低電壓，即邏輯0，則輸出信號OUT為邏輯0，如果B信號為高電壓，即邏輯1，則輸出信號OUT為邏輯1，從而可以實現(xiàn)邏輯或功能，即OUT=A+B。參考圖恥，在本發(fā)明的或門的第二具體實施例中，所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，輸入A信號；所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，在本發(fā)明中第二連接端輸入電壓VCC+，其中電壓VCC+的值根據(jù)實際的電路進行確定；所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，輸入B信號，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出輸出信號OUT;在本發(fā)明的第二具體實施例中，所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。也就是說，第二具體實施例的或門與第一具體實施例的或門相比較，如果第一參考電極和第二參考電極輸入的電壓高低相反，則第二連接端和第三連接端的電路連接方式要互換。在本發(fā)明的或門的第二具體實施例中，當信號A為邏輯1時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，無論B信號為邏輯0還是邏輯1，輸出信號OUT均為電壓VCC+，即邏輯1。當信號A為0時，即通過第一輸入端由可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，則輸出信號OUT為B信號，如果B信號為低電壓，即邏輯0，則輸出信號OUT為邏輯0，如果B信號為高電壓，即邏輯1，則輸出信號OUT為邏輯1，從而可以實現(xiàn)邏輯或功能，即OUT=A+B。本發(fā)明的或門的真值表為ABOUT1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)下面說明本發(fā)明具體實施例的兩輸入與非門，S卩Of/r=ZT^。圖6a為本發(fā)明的兩輸入與非門第一具體實施例的電路圖，圖6b為本發(fā)明的兩輸入與非門第二具體實施例的電路圖，圖6c為本發(fā)明的兩輸入與非門第三具體實施例的電路圖，圖6d為本發(fā)明的兩輸入與非門第四具體實施例的電路圖，參考圖6a、圖6b、圖6c和圖6d，本發(fā)明具體實施方式的兩輸入與非門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，一輸出端(圖中未示)，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件61和第二MEMS開關器件62；所述第一MEMS開關器件61的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件61的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件61的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件61的第一連接端與所述第二MEMS開關器件62的可動極板連接，在本發(fā)明的具體實施例中，通過第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層與所述第一MEMS開關器件61的第一連接端連接；所述第一MEMS開關器件61的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件61的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件61的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件61的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件62的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件62的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第四電壓小于所述第三電壓。根據(jù)本發(fā)明的與非門的具體實施方式，可以看出，每一個MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端的連接方式隨著第一參考電極和第二參考電極的連接方式的改變而改變，如果第一參考電極輸入的參考電壓和第二參考電極輸入的參考電壓互換，則第二連接端和第三連接端的連接方式也要互換，從而可以保證與非門的實現(xiàn)。參考圖6a，在本發(fā)明的與非門的第一具體實施例中，所述第一MEMS開關器件61的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入A信號，所述第一MEMS開關器件61的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入B信號，所述第一MEMS開關器件61的第三連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明中第三連接端輸入電壓VCC-，其中，電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定；所述第一MEMS開關器件61的第一連接端與所述第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCCl+,所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件62的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明中第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，其中電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際的電路進行確定，其中，VCC+大于VCC-。所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT;所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的與非門的第一具體實施例中，當信號A為邏輯1時，即通過第一輸入端由第一MEMS開關器件61的可動極板的導電層輸入高電壓時，第一MEMS開關器件的可動極板在相互作用力的作用下向第一MEMS開關器件的第二參考電極的方向移動，第一MEMS開關器件61的第一連接端輸出信號B，此時如果信號B為邏輯1，即為高電壓時，與第一MEMS開關器件61的第一連接端連接的第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層輸入B信號，為高電壓，第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層向第二MEMS開關器件62的第一參考電極方向移動，第二MEMS開關器件62的第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，輸出的輸出信號OUT為電壓VCC-，即為邏輯0；如果信號B為邏輯0，即為低電壓時，與第一MEMS開關器件61的第一連接端連接的第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層輸入B信號，為低電壓，第二MEMS開關器件62的可動極板向第二MEMS開關器件62的第二參考電極方向移動，第二MEMS開關器件62的第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，輸出的輸出信號OUT為電壓VCC+，即為邏輯1。當信號A為邏輯0時，即通過第一輸入端由第一MEMS開關器件61的可動極板的24導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一MEMS開關器件的第一參考電極方向移動，第一MEMS開關器件61的第一連接端輸出低電壓VCC-，與第一MEMS開關器件61的第一連接端連接的第二MEMS開關器件62的可動極板的導電層輸入低電壓VCC-，第二MEMS開關器件62的可動極板向第二MEMS開關器件62的第二參考電極方向移動，第二MEMS開關器件62的第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，此時，無論B信號為邏輯0還是邏輯1，第二MEMS開關器件62的第一連接端輸出的輸出信號OUT為電壓VCC+，為邏輯1。參考圖6b，本發(fā)明的與非門的第二具體實施例與第一具體實施例的區(qū)別在于所述第二MEMS開關器件62的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件62的第三連接端輸入邏輯高電平；所述第二MEMS開關器件62的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。第一MEMS開關器件61的連接方式不變，由于第二MEMS開關器件62的第一參考電極和第二參考電極的輸入?yún)⒖茧妷夯Q，因此第二MEMS開關器件62的第二連接端和第三連接端的連接方式也相應的進行了互換。關于第二具體實施例的與非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的與非門的工作原理的描述，可以推導出第二具體實施例的與非門的工作原理。參考圖6c，本發(fā)明的與非門的第三具體實施例與第一具體實施例的區(qū)別在于第一MEMS開關器件61的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件61的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件61的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件61的第三連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入B信號；所述第一MEMS開關器件61的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第一MEMS開關器件61的第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。第二MEMS開關器件的連接方式沒有發(fā)生變化。關于第三具體實施例的與非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的與非門的工作原理的描述，可以推導出第三具體實施例的與非門的工作原理。參考圖6d，本發(fā)明的與非門的第四具體實施例與第一具體實施例的區(qū)別在于第一MEMS開關器件61的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件61的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換；第二MEMS開關器件62的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，相應的第二MEMS開關器件62的第二連接端和第三連接端的連接方式也相應的進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件61的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件61的第三連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入B信號；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件62的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平；所述第二MEMS開關器件62的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第四具體實施例的與非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的與非門的工作原理的描述，可以推導出第四具體實施例的與非門的工作原理。以上所述的本發(fā)明四個具體實施例的與非門中，可以將第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件疊置，且第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。圖6e為本發(fā)明的與非門的第五具體實施例的電路圖，圖6f為本發(fā)明的與非門的第六具體實施例的電路圖，參考圖6e和圖6f，本發(fā)明的另一種具體實施方式的與非門可以通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)，其前提為由兩個輸入端輸入的信號經由前級電路變?yōu)檫壿嫹切盘枺簿褪钦f，這些非信號是指在前級電路中已經出現(xiàn)，而這級正好要使用這些非信號，即由第一輸入端輸入的信號A經由前級電路變?yōu)樵盘朅的邏輯非信號2,由第二輸入端輸入的信號B經由前級電路變?yōu)樵盘朆的邏輯非信號云。參考圖6e和圖6f，本發(fā)明的另一具體實施方式的與非門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述第一輸入端輸入第一信號，所述第二輸入端輸入第二信號，所述與非門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號；所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號；所述第二電壓小于所述第一電壓。參考圖6e，本發(fā)明第五具體實施例的與非門，所述第一輸入端輸入第一信號，為信號A，所述第二輸入端輸入第二信號，為信號B；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，即信號所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，即信號云；所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，在本實例中第三連接端輸入電壓VCC+，VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的第五具體實施例的與非門中，當信號A為邏輯1時，則通過MEMS開關器件可動極板的導電層輸入的信號為信號A的邏輯反信號2,即邏輯0，此時可動極板向第二參考電極方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，輸出端輸出的信號OUT為信號B的邏輯反信號萬,此時如果信號B為邏輯1，則輸出信號OUT為邏輯0，如果信號B為邏輯0，則輸出信號OUT為邏輯1。當信號A為邏輯0時，則通過MEMS開關器件可動極板的導電層輸入的信號為信號A的邏輯反信號即邏輯1，此時可動極板向第一參考電極方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，此時無論信號B為邏輯0還是邏輯1，輸出端輸出的信號OUT均為電壓VCC+，為邏輯1。參考圖6f，本發(fā)明第六具體實施例的與非門與第五具體實施例的與非門的區(qū)別在于MEMS開關器件的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，在本實例中第二連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，在該具體實施例中為信號云；所述第二電壓小于所述第一電壓，在該具體實施例中，所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第六具體實施例的與非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第五具體實施例的與非門的工作原理的描述，可以推導出第六具體實施例的與非門的工作原理。本發(fā)明的與非門OfZr=IT^的真值表為ABOUT1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)[οι60]下面說明本發(fā)明的兩輸入或非門of/r=m的具體實施方式。圖7a為本發(fā)明的或非門的第一具體實施例的電路圖；圖7b為本發(fā)明的或非門的第二具體實施例的電路圖；圖7c為本發(fā)明的或非門的第三具體實施例的電路圖；圖7d為本發(fā)明的或非門的第四具體實施例的電路圖；參考圖7a圖7d，本發(fā)明具體實施方式的兩輸入或非門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件71和第二MEMS開關器件72；所述第一MEMS開關器件71的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述第一輸入端連接；所述第一MEMS開關器件71的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件71的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件71的第一連接端與所述第二MEMS開關器件72的可動極板的導電層連接；所述第一MEMS開關器件71的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件71的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件71的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件72的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件72的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件72的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件72的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件72的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件72的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。下面結合具體實施例詳述兩輸入或非門。參考圖7a，本發(fā)明的第一具體實施例的或非門，所述第一MEMS開關器件71的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件71的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述第一MEMS開關器件71的第三連接端輸入邏輯高電平，在本具體實施例中輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述第一MEMS開關器件71的第一連接端與所述第二MEMS開關器件72的可動極板的導電層連接；所述第一MEMS開關器件71的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件71的第二參考電極輸入第二電壓；在該具體實施例中，所述第一MEMS開關器件71的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件72的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件72的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件72的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件72的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的第一具體實施例的或非門中，當信號A為邏輯1時，即通過第一輸入端由第一MEMS開關器件71的可動極板的導電層輸入高電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一MEMS開關器件71的第一參考電極的方向移動，第一MEMS開關器件71的第一連接端與第三連接端電導通，輸出電壓VCC+，與第一MEMS開關器件71的第一連接端連接的第二MEMS開關器件72的可動極板的導電層輸入電壓VCC+，第二MEMS開關器件72的可動極板向第二MEMS開關器件72的第一參考電極方向移動，第二MEMS開關器件72的第一連接端與第三連接端電導通，此時，無論信號B為邏輯0還是邏輯1，第二MEMS開關器件72的第一連接端輸出的輸出信號OUT為電壓VCC-，即為邏輯0。當信號A為邏輯0時，即通過第一輸入端由第一MEMS開關器件71的可動極板的導電層輸入低電壓時，可動極板在相互作用力的作用下向第一MEMS開關器件71的第二參考電極的方向移動，第一MEMS開關器件71的第一連接端與第二連接端電導通，輸出信號B;與第一MEMS開關器件71的第一連接端連接的第二MEMS開關器件72的可動極板的導電層輸入信號B，此時，如果信號B為邏輯0，為低電壓時，第二MEMS開關器件72的可動極板向第二MEMS開關器件72的第二參考電極方向移動，第二MEMS開關器件72的第一連接端與第二連接端電導通，輸出電壓VCC+，為邏輯1；如果信號B為邏輯1，為高電壓時，第二MEMS開關器件72的可動極板向第二MEMS開關器件72的第一參考電極方向移動，第二MEMS開關器件72的第一連接端與第三連接端電導通，輸出電壓VCC-，為邏輯0。參考圖7b，本發(fā)明的第二具體實施例的或非門與第一具體實施例的或非門的區(qū)別在于第二MEMS開關器件72的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第二MEMS開關器件72的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第二MEMS開關器件72的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件72的第三連接端輸入邏輯高電平，在本發(fā)明具體實施例中，第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+和電壓VCC-的具體值根據(jù)實際情況進行確定，只要滿足VCC+大于VCC-的條件即可；所述第二MEMS開關器件72的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。第一MEMS開關器件71的連接方式沒有發(fā)生變化。關于第二具體實施例的或非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的或非門的工作原理的描述，可以推導出第二具體實施例的或非門的工作原理。參考圖7c，本發(fā)明的第三具體實施例的或非門與第一具體實施例的或非門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件71的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件71的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件71的第二連接端輸入邏輯高電平，在本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC+,電壓VCC+的具體值根據(jù)實際情況確定；所述第一MEMS開關器件71的第三連接端輸入信號B；所述第一MEMS開關器件71的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。第二MEMS開關器件72的連接方式沒有發(fā)生變化。關于第三具體實施例的或非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的或非門的工作原理的描述，可以推導出第三具體實施例的或非門的工作原理。參考圖7d，本發(fā)明的第四具體實施例的或非門與第一具體實施例的或非門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件71的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件71的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換；第二MEMS開關器件72的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第二MEMS開關器件72的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件71的第二連接端輸入邏輯高電平，該具體實施例中輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述第一MEMS開關器件71的第三連接端輸入信號B；所述第一MEMS開關器件71的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件72的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件72的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中，第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+,電壓VCC+和電壓VCC-的具體值根據(jù)實際情況確定，滿足VCC+大于VCC-即可；所述第二MEMS開關器件72的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第四具體實施例的或非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第一具體實施例的或非門的工作原理的描述，可以推導出第四具體實施例的或非門的工作原理。以上所述的本發(fā)明四個具體實施例的或非門的第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置，且第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。圖7e為本發(fā)明的或非門的第五具體實施例的電路圖，圖7f本發(fā)明的或非門的第六具體實施例的電路圖，參考圖7e和圖7f，本發(fā)明的另一種具體實施方式的或非門可以通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)，其前提為由兩個輸入端輸入的信號經由前級電路變?yōu)檫壿嫹切盘?，也就是說，這些非信號是指在前級電路中已經出現(xiàn)，而這級正好要使用原信號的非信號，即由第一輸入端輸入的信號A經由前級電路變?yōu)樾盘朅的邏輯非信號2,由第二輸入端輸入的信號B經由前級電路變?yōu)樾盘朆的邏輯非信號萬。參考圖7e和圖7f，本發(fā)明的另一具體實施方式的或非門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述第一輸入端輸入第一信號，所述第二輸入端輸入第二信號，所述或非門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號；所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號；所述第二電壓大于所述第一電壓。參考圖7e，本發(fā)明第五具體實施例的或非門，所述第一輸入端輸入第一信號，為信號A，所述第二輸入端輸入第二信號，為信號B；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，即信號A的邏輯非信號I;所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，即信號B的邏輯非信號云；所述MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC-，電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定。所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在本發(fā)明的第五具體實施例的或非門中，當信號A為邏輯1時，則通過MEMS開關器件可動極板的導電層輸入的信號為信號A的邏輯非信號2,即邏輯0，此時可動極板向第一參考電極方向移動，第一連接端與第三連接端電導通，此時無論信號B為邏輯0還是邏輯1，輸出端輸出的信號OUT均為電壓VCC-，為邏輯0。當信號A為邏輯0時，則通過MEMS開關器件可動極板的導電層輸入的信號為信號A的邏輯非信號即邏輯1，此時可動極板向第二參考電極方向移動，第一連接端與第二連接端電導通，此時，如果信號B為邏輯0，則輸出端輸出信號OUT為信號B的邏輯非信號萬,為邏輯1，如果信號B為邏輯1，則輸出端輸出信號OUT為信號B的邏輯非信號云,為邏輯0。參考圖7f，本發(fā)明第六具體實施例的或非門與第五具體實施例的或非門的區(qū)別在于MEMS開關器件的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC-，電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定；所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，在該具體實施例中為信號云；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第六具體實施例的或非門的工作原理不做描述，本領域技術人員根據(jù)對第五具體實施例的或非門的工作原理的描述，可以推導出第六具體實施例的或非門的工作原理。本發(fā)明的或非門Ofzr=IT^的真值表為ABOUT1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)下面結合具體實施例詳細說明本發(fā)明具體實施方式的四輸入與或非門OUT={A*E)+{C*D)。圖8a為本發(fā)明第一具體實施例的四輸入與或非門的電路圖，參考圖8a，本發(fā)明具體實施方式的四輸入與或非門括四個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端、第三輸入端和第四輸入端，四個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件81、第二MEMS開關器件82、第三MEMS開關器件83和第四MEMS開關器件84。所述第一MEMS開關器件81的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件81的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入B信號，所述第一MEMS開關器件81的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC-，電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，所述第一MEMS開關器件81的第一連接端與所述第三MEMS開關器件83的第二連接端連接；所述第一MEMS開關器件81的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件82的可動極板與所述第三輸入端連接，在本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述第三輸入端連接，用于輸入C信號；所述第二MEMS開關器件82的第二連接端與所述第四輸入端連接，用于輸入D信號；所述第二MEMS開關器件82的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC-，電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定；所述第二MEMS開關器件82的第一連接端與所述第三MEMS開關器件83的可動極板連接，在本發(fā)明具體實施例中，與可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件82的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第三MEMS開關器件83的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述第三MEMS開關器件83的第一連接端與所述第四MEMS開關器件84的可動極板連接，在本發(fā)明的具體實施例中，與可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件83的第一參考電極輸入第五電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第六電壓VCC1+，所述第六電壓大于第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第四MEMS開關器件84的第二連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述第四MEMS開關器件84的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC-，電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定；所述第四MEMS開關器件84的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第八電壓VCC1+，所述第八電壓大于第七電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及根據(jù)以上對與門，或門，非門，與非門以及或非門的工作原理的分析，本領域的技術人員可以推導出本發(fā)明的第一具體實施例的四輸入與或非的工作原理，此不做贅述。本發(fā)明的四輸入與或非門OUT={A*B)+{C·D)的真值表為ABCDOUT0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)根據(jù)本發(fā)明的與或非門的第一具體實施例，如果第一MEMS開關器件81的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第一MEMS開關器件81的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓。如果第二MEMS開關器件82的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第二MEMS開關器件82的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為第二MEMS開關器件82的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件82的第三連接端與所述第四輸入端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓。如果第四MEMS開關器件84的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第四MEMS開關器件84的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓小于所述第七電壓。圖8b為本發(fā)明的四輸入與或非門的第二具體實施例的電路圖，該第二具體實施例的四輸入與或非門與第一具體實施例的與或非門的區(qū)別在于所述第三MEMS開關器件83的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第三MEMS開關器件83的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第三MEMS開關器件83的第二連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中輸入電壓VCC+，電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定；所述第三MEMS開關器件83的第三連接端與所述第一MEMS開關器件81的第一連接端連接，所述第六電壓小于所述第五電壓，在該具體實施例中，所述第三MEMS開關器件83的第一參考電極輸入第五電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第六電壓VCC1-，所述第六電壓小于第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。根據(jù)本發(fā)明的四輸入與或非門的第二具體實施例，如果第一MEMS開關器件81的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第一MEMS開關器件81的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓。如果第二MEMS開關器件82的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第二MEMS開關器件82的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為第二MEMS開關器件82的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件82的第三連接端與所述第四輸入端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓。如果第四MEMS開關器件84的第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則第四MEMS開關器件84的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行相應的互換。具體為所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓小于所述第七電壓。以上所述的本發(fā)明的四輸入與或非門，第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。第二MEMS開關器件和第三MEMS開關器件可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。也可是其他兩兩MEMS開關共用第一參考電極或第二參考電極。四個MEMS開關器件可以疊置，節(jié)省三個參考電極，例如，第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件疊置共用第一參考電極，第二MEMS開關器件和第三MEMS開關器件疊置共用第二參考電極，第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件疊置共用第一參考電極。以上僅列出了MEMS開關器件共用參考電極的一些例子，本領域技術人員根據(jù)其精神，可以推導出其他共用參考電極的方式。下面說明本發(fā)明的邏輯門為同或門時，同或門Of/Γ=^8+1云的具體實施方式。結合具體實施例以及附圖詳細說明本發(fā)明的同或門的具體實施方式。圖9a為本發(fā)明的同或門的第一具體實施例的電路圖；圖9b為本發(fā)明的同或門的第二具體實施例的電路圖；圖9c為本發(fā)明的同或門的第三具體實施例的電路圖；圖9d為本發(fā)明的同或門的第四具體實施例的電路圖。參考圖9a，本發(fā)明第一具體實施例的同或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件91、第二MEMS開關器件92。所述第一MEMS開關器件91的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明具體實施例中，可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件91的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件91的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中，第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC-和電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定，其中VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件91的第一連接端與所述第二MEMS開關器件92的第二連接端連接；所述第一MEMS開關器件91的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件92的可動極板與所述第二輸入端連接，在本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述第二MEMS開關器件92的第三連接端與所述第一MEMS開關器件91的可動極板連接，在本發(fā)明具體實施例中，與可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件92的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件92的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖％，本發(fā)明的第二具體實施例的同或門與第一具體實施例的同或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件91的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件91的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件91的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件91的第三連接端輸入邏輯低電平，在本發(fā)明具體實施例中第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件91的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。以上所述的第一具體實施例的同或門和第二具體實施例的同或門，為本發(fā)明第一具體實施方式的同或門。下面結合本發(fā)明的第三具體實施例的同或門和第四具體實施例的同或門詳細說明本發(fā)明第二具體實施方式的同或門。參考圖9c和圖9d，第二具體實施方式的同或門與第一具體實施方式的同或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件91的第一連接端與所述第二MEMS開關器件92的第三連接端連接；第二MEMS開關器件92的第二連接端與所述第一MEMS開關器件91的可動極板連接。下面結合圖9c和圖9d詳細說明本發(fā)明第二具體實施方式的同或門。參考圖9c，本發(fā)明第三具體實施例的同或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件91、第二MEMS開關器件92。所述第一MEMS開關器件91的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件91的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件91的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中，第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC-和電壓VCC+的值根據(jù)實際情況確定，VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件91的第一連接端與所述第二MEMS開關器件92的第三連接端連接；所述第一MEMS開關器件91的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件92的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述第二MEMS開關器件92的第二連接端與所述第一MEMS開關器件91的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件92的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件92的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖9d，本發(fā)明第四具體實施例的同或門與第三具體實施例的同或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件91的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件91的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件91的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件91的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中，第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件91的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于以上所述的本發(fā)明的第一具體實施例、第二具體實施例、第三具體實施例以及第四具體實施例的同或門的工作原理，在此不做贅述，本領域的技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及根據(jù)以上對與門，或門，非門，與非門以及或非門的工作原理的分析，可以推導出其工作原理。本發(fā)明具體實施例的同或門的第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置且共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。本發(fā)明的同或門=+I云也可以通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)，其前提為前面的邏輯級已經有B信號的邏輯非信號，即云。圖9e為本發(fā)明第五具體實施例的同或門的電路圖；圖9f為本發(fā)明第六具體實施例的同或門的電路圖。參考圖9e，本發(fā)明第五具體實施例的同或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述同或門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，在本發(fā)明的具體實施例中，可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，即輸入信號B的邏輯非信號云,非信號是指在前級電路中已經出現(xiàn)，而這級正好要使用原信號的非信號，即信號B經由前級電路變?yōu)樵盘朆的邏輯非信號萬；所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖9f，本發(fā)明第六具體實施例的同或門與第五具體實施例的同或門的區(qū)別在于MEMS開關器件的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，即云,非信號是指在前級電路中已經出現(xiàn)，而這級正好要使用原信號的非信號，即信號B經由前級電路變?yōu)樵盘朆的邏輯非信號云；所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B；在該具體實施例中，第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第五具體實施例的同或門和第六具體實施例的同或門的工作原理，在此不做贅述，本領域的技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及根據(jù)以上對與門，或門，非門，與非門以及或非門的工作原理的分析，可以推導出其工作原理。以上所述的本發(fā)明的第一具體實施例的同或門、第二具體實施例的同或門、第三具體實施例的同或門、第四具體實施例的同或門、第五具體實施例的同或門、第六具體實施例的同或門的真值表為ABOUT0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)下面說明本發(fā)明的邏輯門為異或門時，異或門=J云+▲的具體實施方式。結合具體實施例以及附圖詳細說明本發(fā)明的異或門的具體實施方式。圖IOa為本發(fā)明的異或門的第一具體實施例的電路圖；圖IOb為本發(fā)明的異或門的第二具體實施例的電路圖；圖IOc為本發(fā)明的異或門的第三具體實施例的電路圖；圖IOd為本發(fā)明的異或門的第四具體實施例的電路圖。參考圖10a，本發(fā)明第一具體實施例的異或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件101、第二MEMS開關器件102。所述第一MEMS開關器件101的可動極板與所述第一輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件101的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中，第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，其中，VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件101的第一連接端與所述第二MEMS開關器件102的第二連接端連接；所述第一MEMS開關器件101的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件102的可動極板與所述第二輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述第二MEMS開關器件102的第三連接端與所述第一MEMS開關器件101的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，第二MEMS開關器件102的第三連接端與所述第一MEMS開關器件101的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件102的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件102的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖10b，本發(fā)明的第二具體實施例的異或門與第一具體實施例的異或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件101的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件101的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件101的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中，第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，其中，VCC+大于VCC-；所述第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。以上所述的第一具體實施例的異或門和第二具體實施例的異或門，為本發(fā)明第一具體實施方式的異或門。下面結合本發(fā)明的第三具體實施例的異或門和第四具體實施例的異或門詳細說明本發(fā)明第二具體實施方式的異或門。參考圖IOc和圖10d，第二具體實施方式的異或門與第一具體實施方式的異或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件101的第一連接端與所述第二MEMS開關器件102的第三連接端連接；第二MEMS開關器件102的第二連接端與所述第一MEMS開關器件101的可動極板的導電層連接。下面結合圖IOc和圖IOd詳細說明本發(fā)明第二具體實施方式的異或門。參考圖10c，本發(fā)明第三具體實施例的異或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件101、第二MEMS開關器件102。所述第一MEMS開關器件101的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件101的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明具體實施例中，第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，其中，VCC+大于VCC-；所述第一MEMS開關器件101的第一連接端與所述第二MEMS開關器件102的第三連接端連接；所述第一MEMS開關器件101的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件102的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述第二MEMS開關器件102的第二連接端與所述第一MEMS開關器件101的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件102的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件102的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖10d，本發(fā)明第四具體實施例的異或門與第三具體實施例的異或門的區(qū)別在于第一MEMS開關器件101的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件101的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件101的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明具體實施例中，第一MEMS開關器件101的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，其中，VCC+大于VCC-；所述第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于以上所述的本發(fā)明的第一具體實施例、第二具體實施例、第三具體實施例以及第四具體實施例的異或門的工作原理，在此不做贅述，本領域的技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及根據(jù)以上對與門，或門，非門，與非門以及或非門的工作原理的分析，可以推導出其工作原理。本發(fā)明具體實施例的異或門的第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置且共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。本發(fā)明的異或門OfZr=J萬+▲也可以通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)，其前提為前面的邏輯級已經有B信號的邏輯非信號，即云。圖IOe為本發(fā)明第五具體實施例的異或門的電路圖；圖IOf為本發(fā)明第六具體實施例的異或門的電路圖。該第五具體實施例和第六具體實施例為異或門的第三種具體實施方式。參考圖10e，本發(fā)明第五具體實施例的異或門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述異或門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，本發(fā)明具體實例中，可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，即輸入信號B的邏輯非信號云,非信號是指在前級電路中已經出現(xiàn)，而這級正好要使用原信號的非信號，信號B經由前級電路變?yōu)樵盘朆的邏輯非信號云；所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出輸出信號OUT；所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。參考圖10f，本發(fā)明第六具體實施例的異或門與第五具體實施例的異或門的區(qū)別在于MEMS開關器件的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B；所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，即信號B的邏輯非信號云；所述第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。關于第五具體實施例的異或門和第六具體實施例的異或門的工作原理，在此不做贅述，本領域的技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及根據(jù)以上對與門，或門，非門，與非門以及或非門的工作原理的分析，可以推導出其工作原理。以上所述的本發(fā)明的第一具體實施例的異或門、第二具體實施例的異或門、第三具體實施例的異或門、第四具體實施例的異或門、第五具體實施例的異或門、第六具體實施例的異或門的真值表為ABOUT0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)1(VCC+)1(VCC+)1(VCC+)0(VCC-)下面說明邏輯門為多路選擇器時，多路選擇器的具體實施方式，下面結合附圖以及具體實施例詳細說明本發(fā)明的多路選擇器的具體實施方式。圖Ila為本發(fā)明二選一選擇器的電路圖，圖lib為本發(fā)明四選一選擇器的電路圖。結合參考圖Ila圖11b，本發(fā)明具體實施方式的多路選擇器，所述多路為2n路，η為自然數(shù)，也就是說，如果為二選一選擇器，則η為1，如果為四選一選擇器，η為2，依次類推。所述輸入端為2η+η個。所述多路選擇器分為η級，分別為第1級依次增加1直至增到第η級，從所述第1級依次至第η級每一級依次包括的MEMS開關器件個數(shù)為2°依次至211-1，也就是說，多路選擇器根據(jù)η值被分為η級，每一級包括的MEMS開關器件的個數(shù)為2m個，其中m為級次減去1；舉例來說，如果為十六選一選擇器，則η為4，十六選一選擇器被分成4級，第1級包括一個0°)MEMS開關器件，第2級包括兩個(20MEMS開關器件，第3級包括四個Q2)MEMS開關器件，第4級包括八個O3)MEMS開關器件。第1級中的MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出被選擇的信號；在η大于1時，相鄰兩級的MEMS開關器件中，上一級的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與下一級的MEMS開關器件的第一連接端連接；每一級MEMS開關器件的可動極板分別與其中一個輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，每一級MEMS開關器件的可動極板的導電層分別與其中一個輸入端連接，輸入控制信號，并且，同一級的MEMS開關器件的可動極板輸入相同的控制信號；第η級中，每一個MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與其中一個輸入端連接，輸入選擇信號。下面結合具體實施例以及附圖詳細說明本發(fā)明具體實施方式的多路選擇器。參考圖Ila為二選一選擇器的電路圖，在該具體實施例中，所述η為1，輸入端為三個，分別為第一輸入端、第二輸入端和第三輸入端(圖中未示)；MEMS開關器件的個數(shù)也為一個，二選一選擇器的級數(shù)為1級。所述MEMS開關器件的可動極板與第一輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，可動極板的導電層與第一輸入端連接，用于輸入控制信號S，所述MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第二輸入端、第三輸入端連接，輸入選擇信號，具體為，第二連接端輸入選擇信號Α，第三連接端輸入選擇信號B，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出的輸出信號OUT為被選擇的信號。在圖Ila所示的具體實施例中，第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。圖Ila所示的二選一選擇器的選擇關系為當控制信號S為0時，可動極板向第一參考電極的方向移動，第一連接端與第三連接端通過導電接觸端電性導通，輸出信號OUT為信號B，該信號B作為被選擇的信號輸出。當控制信號S為1時，可動極板向第二參考電極的方向移動，第一連接端與第二連接端通過導電接觸端電性導通，輸出信號OUT為信號A，該信號A作為被選擇的信號輸出。需要說明的是，如果第一參考電極與第二參考電極的連接方式發(fā)生變化，則選擇器的選擇方式發(fā)生變化。例如，當?shù)谝粎⒖茧姌O接VCCI-時，第二參考電極接VCCl+時，VCCl+大于VCC1-，輸出的信號OUT相反，S卩，當S為0時，輸出信號OUT為信號A，當S為1時，輸出信號OUT為信號B，該信號B作為被選擇的信號輸出。圖lib為本發(fā)明具體實施例的四選一選擇器的電路圖，參考圖11b，在該具體實施例中，所述η為2，輸入端為六個，分別為第一輸入端、第二輸入端、第三輸入端、第四輸入端、第五輸入端和第六輸入端；MEMS開關器件的個數(shù)為三個，四選一選擇器的級數(shù)為2級，第1級包括一個MEMS開關器件，為第一MEMS開關器件111，第2級包括兩個MEMS開關器件，分別第二MEMS開關器件112和第三MEMS開關器件113。第1級中的第一MEMS開關器件111的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出被選擇的信號，即第一MEMS開關器件111的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號0UT，該輸出信號OUT為被選擇的信號，為信號A、信號B、信號C、信號D其中之一。第1級的第一MEMS開關器件111的第二連接端和第三連接端分別與第2級的第三MEMS開關器件113、第二MEMS開關器件112的第一連接端連接；在圖示具體實施例中，第一MEMS開關器件111的第二連接端與第三MEMS開關器件113的第一連接端連接，第一MEMS開關器件111的第三連接端與第二MEMS開關器件112的第一連接端連接；在其他實施例中，也可以為第一MEMS開關器件111的第三連接端與第三MEMS開關器件113的第一連接端連接，第一MEMS開關器件111的第二連接端與第二MEMS開關器件112的第一連接端連接。第1級的第一MEMS開關器件的可動極板與第一輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層與第一輸入端連接，輸入第一控制信號，即第一MEMS開關器件111的可動極板的導電層與第一輸入端連接，輸入第一控制信號Sl；第2級的第二MEMS開關器件112和第三MEMS開關器件113的可動極板與第二輸入端連接，輸入第二控制信號S2，本發(fā)明具體實施例中，通過第二MEMS開關器件112和第三MEMS開關器件113的可動極板的導電層與第二輸入端連接，輸入第二控制信號，即第二MEMS開關器件112的可動極板的導電層、第三MEMS開關器件113的可動極板的導電層與第二輸入端連接，輸入第二控制信號S2。第2級中，第二MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第三輸入端、第四輸入端連接，第三MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第五輸入端、第六輸入端連接，輸入選擇信號。在圖lib所示的具體實施例中，第二MEMS開關器件112的第二連接端輸入選擇信號A，第二MEMS開關器件112的第三連接端輸入選擇信號B，第三MEMS開關器件113的第二連接端輸入選擇信號C，第三MEMS開關器件113的第三連接端輸入選41擇信號D。在本發(fā)明的具體實施例中，第一MEMS開關器件111的第一參考電極輸入第一電壓VCCl+,所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可；在其他實施例中，也可為第二電壓大于第一電壓；具體的第一電壓和第二電壓的關系可以根據(jù)選擇電路的選擇信號的實際情況進行確定。第二MEMS開關器件112的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可；在其他實施例中，也可為第四電壓大于第三電壓；具體的第三電壓和第四電壓的關系可以根據(jù)選擇電路的選擇信號的實際情況進行確定。第三MEMS開關器件113的第一參考電極輸入第五電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第六電壓VCC1-，所述第六電壓小于第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可；在其他實施例中，也可為第六電壓大于第五電壓；具體的第五電壓和第六電壓的關系可以根據(jù)選擇電路的選擇信號的實際情況進行確定。關于該四選一選擇器的具體原理不做說明，本領域技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的原理以及以上二選一選擇器的原理的說明，可以推知四選一選擇器的工作原理。四選一選擇器的選擇表為SlS2OUTOOB01A10D11C以上以二選一選擇器和四選一選擇器為例對多路選擇器進行了說明，本領域技術人員根據(jù)以上公開的內容，可以毫無疑問的推知其他多路選擇器的電路，在此不做一一說明。多路選擇器有許多應用，其中很典型的應用方面為應用于查找表，下面以十六選一選擇器應用于查找表說明多路選擇器的在查找表中的應用。查找表(look-up-table，簡稱LUT)，其本質就是個RAM(randomaccessmemory,隨機存儲器)，其工作原理是把每一個LUT看成一個有4位地址線的RAM。數(shù)據(jù)事先寫入RAM后，這樣，每輸入一個信號進行邏輯運算就等于輸入一個地址進行查表，找出地址對應的內容，然后輸出即可。在此，不對十六選一選擇器的具體連接方式做介紹，本領域的技術人員根據(jù)以上具體實施方式的選擇器，可以毫無疑問的推知十六選一選擇器的電路連接方式。需要說明的是，圖Ilc為一個MEMS開關器件表示的選擇器的符號示意圖，Al、Bl分別表示第二連接端和第三連接端，S表示可動極板，OUT表示輸出端。圖Ild為本發(fā)明具體實施例的十六選一選擇器應用于查找表的原理圖，四個輸入端，用于輸入控制信號S1、S2、S3以及S4。根據(jù)控制信號S1、S2、S3以及S4的值，利用十六選一選擇器110，可以在存儲的內容中找到對應的地址，并將對應地址內容經由輸出端OUT輸出。這里的查找表僅舉4-lut查找表，還有6-lut查找表等等。本發(fā)明的多路選擇器，相鄰的兩個MEMS開關器件也可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，即相鄰的兩個MEMS開關器件可以疊置，共用第一參考電極或第二參考電極，節(jié)省電極數(shù)目，而且可以節(jié)省芯片面積，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極根據(jù)實際電路確定。下面說明邏輯門為三態(tài)門時，三態(tài)門的具體實施方式，下面結合附圖以及具體實施例詳細說明本發(fā)明的三態(tài)門的具體實施方式。圖12a為本發(fā)明第一具體實施例的三態(tài)門的電路圖，圖12b為本發(fā)明第二具體實施例的三態(tài)門的電路圖，結合參考圖1和圖12b，本發(fā)明具體實施方式的三態(tài)門包括兩個輸入端(圖中未示)，分別為第一輸入端和第二輸入端，第一輸入端作為使能端，一個MEMS開關器件。所述MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，本發(fā)明具體實施例中，可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接。參考圖12a，本發(fā)明第一具體實施例的三態(tài)門，MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入信號A，所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，用于輸入信號B，所述MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出輸出信號OUT。所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。在其他實施例中，第一電壓也可以小于第二電壓。當信號A為1時，第一連接端與第二連接端電性導通，輸出的信號OUT為信號B。當A為0時，第一連接端與第三連接端電性導通，輸出的信號OUT為高阻。在該第一具體實施例中，如果將第一參考電極和第二參考電極的連接方式互換，則當信號A為1時，第一連接端與第三連接端電導通，輸出的信號OUT為高阻。當A為0時，第一連接端與第二連接端電導通，輸出的信號OUT為信號B?；诒景l(fā)明具體實施方式的三態(tài)門，本發(fā)明的三態(tài)門，還有其他實施例，例如，圖12b所示，所述MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接。第一參考電極接VCC1-，第二參考電極接VCC1+，VCCl+大于VCC1-。下面說明邏輯門為觸發(fā)器時，觸發(fā)器的具體實施方式，下面結合附圖以及具體實施例詳細說明本發(fā)明的觸發(fā)器的具體實施方式。圖13a為本發(fā)明第一具體實施例的觸發(fā)器的電路圖，圖1為本發(fā)明第二具體實施例的觸發(fā)器的電路圖，圖13c為本發(fā)明第三具體實施例的觸發(fā)器的電路圖，圖13d為本發(fā)明第四具體實施例的觸發(fā)器的電路圖，參考圖13a圖13d說明本發(fā)明具體實施方式的觸發(fā)器。參考圖13a，本發(fā)明第一具體實施例的觸發(fā)器包括第一輸入端，第二輸入端，兩個MEMS開關器件，分別為第一MEMS開關器件131和第二MEMS開關器件132。所述第一MEMS開關器件131的可動極板接第一輸入端，用于輸入時鐘信號CLK，本發(fā)明具體實施例中，通過可動極板的導電層輸入時鐘信號CLK，所述第一MEMS開關器件131的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件131的第三連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件131的第一連接端與所述第二MEMS開關器件132的可動極板的導電層連接；所述第一MEMS開關器件131的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件131的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓，在該具體實施例中，第一MEMS開關器件131的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件132的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端(圖中未示)連接，輸出信號OUT；所述第二MEMS開關器件132的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。當時鐘信號CLK為高電平觸發(fā)信號時，通過第二輸入端輸入信號D，在一個時鐘周期內，如果信號D為1，則輸出信號OUT為1，如果信號D為0，則輸出信號OUT為0。參考圖13b，本發(fā)明第二具體實施例的觸發(fā)器與第一具體實施例的觸發(fā)器的區(qū)別在于第二MEMS開關器件132的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第二MEMS開關器件132的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件132的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，VCC+大于VCC-；所述第二MEMS開關器件132的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。該第二具體實施例的觸發(fā)器的實現(xiàn)與第一具體實施的觸發(fā)器的實現(xiàn)相同，此不做贅述。參考圖13c，本發(fā)明第三具體實施例的觸發(fā)器與第一具體實施例的觸發(fā)器的區(qū)別在于第一MEMS開關器件131的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件131的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件131的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件131的第三連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件131的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。該第三具體實施例的觸發(fā)器的實現(xiàn)與第一具體實施的觸發(fā)器的實現(xiàn)相同，此不做贅述。參考圖13d，本發(fā)明第四具體實施例的觸發(fā)器與第一具體實施例的觸發(fā)器的區(qū)別在于第一MEMS開關器件131的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第一MEMS開關器件131的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。第二MEMS開關器件132的第一參考電極和第二參考電極的連接方式進行互換，相應的第二MEMS開關器件132的第二連接端和第三連接端的連接方式也進行了互換。具體為所述第一MEMS開關器件131的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件131的第三連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件131的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。所述第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件132的第三連接端輸入邏輯高電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第二MEMS開關器件132的第二連接端輸入電壓VCC-，第三連接端輸入電壓VCC+，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，VCC+大于VCC-；所述第二MEMS開關器件132的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。該第四具體實施例的觸發(fā)器的實現(xiàn)與第一具體實施的觸發(fā)器的實現(xiàn)相同，此不做贅述。另外，以上所述的本發(fā)明的觸發(fā)器的具體實施例，均是以高電平時鐘信號作為觸發(fā)信號。除了以上所述的本發(fā)明的具體實施例的觸發(fā)器外，也可以以低電平時鐘信號作為觸發(fā)信號，即當時鐘信號CLK為低電平時，輸出信號OUT為信號D，本領域技術人員根據(jù)本發(fā)明的MEMS開關器件的工作原理，以及以上所述的具體實施例的觸發(fā)器的原理，可以推知以低電平時鐘信號作為觸發(fā)信號的觸發(fā)器的電路。參考對高電平時鐘觸發(fā)的觸發(fā)器的電路圖，對于第一個MEMS開關器件而言，與高電平時鐘觸發(fā)的觸發(fā)器比較低電平時鐘觸發(fā)的觸發(fā)器的第一參考電極和第二參考電極電壓輸入電壓大小要進行互換。具體為所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓大于所述第三電壓。本發(fā)明具體實施例的觸發(fā)器的第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置且共用第一參考電極或者第二參考電極，也就是說第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件可以疊置設置，這樣可以節(jié)省參考電極的數(shù)量，并且，可以節(jié)省芯片面積，具體是共用第一參考電極還是第二參考電極要根據(jù)實際的電路進行具體分析。本發(fā)明還提供邏輯門中的邊沿觸發(fā)器；圖1為本發(fā)明第一具體實施例的邊沿觸發(fā)器的電路圖，第一具體實施例的邊沿觸發(fā)器為下降沿邊緣觸發(fā)器，參考圖14a，本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；第一輸入端輸入時鐘信號CLK，第二輸入端輸入信號D。所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件141、第二MEMS開關器件142、第三MEMS開關器件143和第四MEMS開關器件144。所述第一MEMS開關器件141的可動極板、第二MEMS開關器件142的可動極板與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號CLK，在本發(fā)明具體實施例中，通過第一MEMS開關器件141的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件142的可動極板的到導電層與所述第一輸入端連接；所述第一MEMS開關器件141的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件141的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料；所述第一MEMS開關器件141的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于所述第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。或者，在其他實施例中，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓。所述第二MEMS開關器件142的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第二MEMS開關器件142的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第二MEMS開關器件142的第一連接端與所述第三MEMS開關器件143的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與第三MEMS開關器件143的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件142的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件142的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓；在本發(fā)明具體實施例中，所述第二MEMS開關器件142的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。或者，在其他實施例中，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。所述第三MEMS開關器件143的第二連接端與所述第一MEMS開關器件141的第一連接端連接，所述第三MEMS開關器件143的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料，所述第三MEMS開關器件143的第一連接端與所述第四MEMS開關器件144的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與所述第四MEMS開關器件144的可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件143的第一參考電極輸入第五電壓VCC1+，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓VCC1-，所述第六電壓小于所述第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘撸龅谌齅EMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第三MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第六電壓大于所述第五電壓。所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第四MEMS開關器件144的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號OUT；所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓VCC1+，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓VCC1-，所述第八電壓小于所述第七電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘撸谄渌麑嵤├校龅谒腗EMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓大于所述第七電壓。本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器工作原理本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器為主從結構，第一MEMS開關器件141為該邊沿觸發(fā)器的主觸發(fā)器部分，第二MEMS開關器件142、第三MEMS開關器件143和第四MEMS開關器件144為從觸發(fā)器部分。其工作也分為兩個階段。本發(fā)明的該邊沿觸發(fā)器為下降沿觸發(fā)器，當時鐘信號CLK為1時，主觸發(fā)器部分第一MEMS開關器件141輸入信號D，這時從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件143經由第二MEMS開關器件142輸入為0，即第三MEMS開關器件143的可動極板輸入0時，從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件143被封鎖，第三MEMS開關器件143的輸入端為信號D，輸出端為高阻，第四MEMS開關器件的第一連接端沒有輸出信號。當時鐘信號CLK由1變0，即CLK為0時，主觸發(fā)器部分的第一MEMS開關器件141被封鎖，第一MEMS開關器件141的輸出端信號D保持，從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件143輸出第一MEMS開關器件141保持的信號D，則第四MEMS開關器件144的第一連接端的輸出信號OUT為D。圖14b為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第二具體實施例的電路圖，結參考圖14b和圖14a，本發(fā)明的第二具體實施例的觸發(fā)器與第一具體實施例的觸發(fā)器的區(qū)別在于，第二具體實施例的邊沿觸發(fā)器為上升沿觸發(fā)器，第一MEMS開關器件151的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系與第一MEMS開關器件141的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系相反，第三MEMS開關器件153的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系與第三MEMS開關器件143的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系相反。參考圖14b，本發(fā)明的第二實施例的邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一47輸入端和第二輸入端；第一輸入端輸入時鐘信號CLK，第二輸入端輸入信號D。所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件151、第二MEMS開關器件152、第三MEMS開關器件153和第四MEMS開關器件154。所述第一MEMS開關器件151的可動極板、第二MEMS開關器件152的可動極板與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號CLK，在本發(fā)明具體實施例中，通過第一MEMS開關器件151的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件152的可動極板的到導電層與所述第一輸入端連接；所述第一MEMS開關器件151的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件151的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料；所述第一MEMS開關器件151的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于所述第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘?，在其他實施例中，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓。所述第二MEMS開關器件152的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第二MEMS開關器件152的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第二MEMS開關器件152的第一連接端與所述第三MEMS開關器件153的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與第三MEMS開關器件153的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件152的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件152的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓；在本發(fā)明具體實施例中，所述第二MEMS開關器件152的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘?，在其他實施例中，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。所述第三MEMS開關器件153的第二連接端與所述第一MEMS開關器件151的第一連接端連接，所述第三MEMS開關器件153的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料，所述第三MEMS開關器件153的第一連接端與所述第四MEMS開關器件154的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與所述第四MEMS開關器件154的可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件153的第一參考電極輸入第五電壓VCC1-，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓VCC1+，所述第六電壓大于所述第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘?，所述第三MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第三MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第六電壓小于所述第五電壓。所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第四MEMS開關器件154的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號OUT；所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓VCC1+，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓VCC1-，所述第八電壓小于所述第七電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘撸谄渌麑嵤├?，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓大于所述第七電壓。本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器工作原理本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器為主從結構，第一MEMS開關器件151為該邊沿觸發(fā)器的主觸發(fā)器部分，第二MEMS開關器件152、第三MEMS開關器件153和第四MEMS開關器件IM為從觸發(fā)器部分。其工作也分為兩個階段。本發(fā)明的該邊沿觸發(fā)器為上升沿觸發(fā)器，當時鐘信號CLK為0時，主觸發(fā)器部分第一MEMS開關器件151輸入信號D，這時從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件153經由第二MEMS開關器件152輸入為1，即第三MEMS開關器件153的可動極板輸入1，從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件153被封鎖，第三MEMS開關器件153的輸入端為信號D，輸出端為高阻，第四MEMS開關器件的第一連接端沒有輸出信號。當時鐘信號CLK由0變1，即CLK為1時，主觸發(fā)器部分的第一MEMS開關器件151被封鎖，第一MEMS開關器件151的輸出端信號D保持，從觸發(fā)器部分的第三MEMS開關器件153輸出第一MEMS開關器件151保持的信號D，則第四MEMS開關器件154的第一連接端的輸出信號OUT為D。本發(fā)明的第一具體實施例、第二具體實施例的邊沿觸發(fā)器，相鄰的兩個MEMS開關器件可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，例如，四個MEMS開關器件可以疊置，節(jié)省三個參考電極。圖14c為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第三具體實施例的電路圖，參考圖14c，第三具體實施例的邊沿觸發(fā)器為下降沿觸發(fā)器，第三具體實施例的邊沿觸發(fā)器所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；第一輸入端輸入時鐘信號CLK，第二輸入端輸入信號D。所述MEMS開關器件為三個，分別為第一MEMS開關器件161、第二MEMS開關器件162、第三MEMS開關器件163。所述第一MEMS開關器件161的可動極板、第二MEMS開關器件162的可動極板與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號CLK，在本發(fā)明具體實施例中，通過第一MEMS開關器件161的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件162的可動極板的到導電層與所述第一輸入端連接；所述第一MEMS開關器件161的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件161的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料；所述第一MEMS開關器件161的第一參考電極輸入第一電壓VCC1+，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1-，所述第二電壓小于所述第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。或者，在其他實施例中，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓。所述第二MEMS開關器件162的第二連接端與所述第一MEMS開關器件161的第一連接端連接，所述第二MEMS開關器件162的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料，所述第二MEMS開關器件162的第一連接端與所述第三MEMS開關器件163的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與所述第三MEMS開關器件163的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件162的第一參考電極輸入第三電壓VCC1-，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓VCC1+，所述第四電壓大于所述第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第四電壓小于所述第三電壓。所述第三MEMS開關器件163的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件163的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第三MEMS開關器件163的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號OUT；所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓VCC1+，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓VCC1-，所述第六電壓小于所述第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘撸谄渌麑嵤├?，所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第六電壓大于所述第五電壓。本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器工作原理本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器為主從結構，第一MEMS開關器件161為該邊沿觸發(fā)器的主觸發(fā)器部分，第二MEMS開關器件162、第三MEMS開關器件163為從觸發(fā)器部分。其工作也分為兩個階段。本發(fā)明的該邊沿觸發(fā)器為下降沿觸發(fā)器，當時鐘信號CLK為1時，主觸發(fā)器部分第一MEMS開關器件161輸入信號D，從觸發(fā)器部分的第二MEMS開關器件162被封鎖，第二MEMS開關器件162的輸入端為信號D，輸出端為高阻，則第三MEMS開關器件163的第一連接端沒有信號輸出。當時鐘信號CLK由1變0，即CLK為0時，主觸發(fā)器部分的第一MEMS開關器件161被封鎖，第一MEMS開關器件161的輸出端信號D保持，從觸發(fā)器部分的第二MEMS開關器件162輸出第一MEMS開關器件161保持的信號D，則第三MEMS開關器件163的第一連接端的輸出信號OUT為D。圖14d為本發(fā)明邊沿觸發(fā)器的第四具體實施例的電路圖，結合參考圖Hc和圖14d，第四具體實施例的邊沿觸發(fā)器與第三具體實施例的邊沿觸發(fā)器區(qū)別在于第四具體實施例的邊沿觸發(fā)器為上升沿觸發(fā)器，第一MEMS開關器件171的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系與第一MEMS開關器件161的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系相反，第二MEMS開關器件172的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系與第二MEMS開關器件162的第一參考電極和第二參考電極之間的電壓關系相反。第四具體實施例的邊沿觸發(fā)器所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；第一輸入端輸入時鐘信號CLK，第二輸入端輸入信號D。所述MEMS開關器件為三個，分別為第一MEMS開關器件171、第二MEMS開關器件172、第三MEMS開關器件173。所述第一MEMS開關器件171的可動極板、第二MEMS開關器件172的可動極板與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號CLK，在本發(fā)明具體實施例中，通過第一MEMS開關器件171的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件172的可動極板的到導電層與所述第一輸入端連接；所述第一MEMS開關器件171的第二連接端與所述第二輸入端連接，輸入信號D，所述第一MEMS開關器件171的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料；所述第一MEMS開關器件171的第一參考電極輸入第一電壓VCC1-，所述第二參考電極輸入第二電壓VCC1+，所述第二電壓大于所述第一電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCI-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘撸谄渌麑嵤├?，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓。所述第二MEMS開關器件172的第二連接端與所述第一MEMS開關器件171的第一連接端連接，所述第二MEMS開關器件172的第三連接端為高阻，高阻可以是多晶硅等材料，所述第二MEMS開關器件172的第一連接端與所述第三MEMS開關器件173的可動極板連接，本發(fā)明具體實施例中，與所述第三MEMS開關器件173的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件172的第一參考電極輸入第三電壓VCC1+，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓VCC1-，所述第四電壓小于所述第三電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可?；蛘?，所述第二MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓。所述第三MEMS開關器件173的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件173的第三連接端輸入邏輯低電平，本發(fā)明的該具體實施例中，第三MEMS開關器件173的第二連接端輸入電壓VCC+，第三連接端輸入電壓VCC-，電壓VCC+和電壓VCC-的值根據(jù)實際情況確定，只要滿足VCC+大于VCC-；所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出信號OUT；所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓VCC1+，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓VCC1-，所述第六電壓小于所述第五電壓，如VCCl+為電源電壓，VCCl-為接地電壓，需要說明的是VCCl-不限于接地電壓，VCCl+不限于電源電壓，只要滿足VCCl+大于VCCl-的條件即可。或者，在其他實施例中，所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第六電壓大于所述第五電壓。本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器工作原理本發(fā)明的邊沿觸發(fā)器為主從結構，第一MEMS開關器件171為該邊沿觸發(fā)器的主觸發(fā)器部分，第二MEMS開關器件172、第三MEMS開關器件173為從觸發(fā)器部分。其工作也分為兩個階段。本發(fā)明的該邊沿觸發(fā)器為上升沿觸發(fā)器，當時鐘信號CLK為0時，主觸發(fā)器部分第一MEMS開關器件171輸入信號D，從觸發(fā)器部分的第二MEMS開關器件172被封鎖，第二MEMS開關器件172的輸入端為信號D，輸出端為高阻，則第三MEMS開關器件173的第一連接端沒有信號輸出。當時鐘信號CLK由0變1，即CLK為1時，主觸發(fā)器部分的第一MEMS開關器件171被封鎖，第一MEMS開關器件171的輸出端信號D保持，從觸發(fā)器部分的第二MEMS開關器件172輸出第一MEMS開關器件171保持的信號D，則第三MEMS開關器件173的第一連接端的輸出信號OUT為D。本發(fā)明的第三具體實施例、第四具體實施例的邊沿觸發(fā)器，相鄰的兩個MEMS開關器件可以疊置共用第一參考電極或者第二參考電極，例如，三個MEMS開關器件可以疊置，節(jié)省兩個參考電極?；谝陨纤龅倪壿嬮T，本發(fā)明還提供一種集成電路，包括以上所述的邏輯門電路。本發(fā)明的MEMS開關器件為單刀雙擲型，MEMS開關器件由第二連接端導通變?yōu)榈谌B接端導通或者由第三連接端導通變?yōu)榈诙B接端導通的速度快，而且MEMS開關器件的漏電流小。利用MEMS開關器件的組合實現(xiàn)一定的邏輯功能時，通過邏輯門實現(xiàn)邏輯功能的速度快。而且，本發(fā)明的MEMS開關器件形成的電路可以和CMOS電路兼容，也就是說可以在具有CMOS電路的基底上形成MEMS開關器件，也可以在有MEMS開關器件的基底上形成CMOS電路。本發(fā)明雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領域技術人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，都可以利用上述揭示的方法和技術內容對本發(fā)明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術方案的保護范圍。權利要求1.一種MEMS開關器件，其特征在于，包括可動極板；第一參考電極、第二參考電極，所述可動極板位于所述第一參考電極和所述第二參考電極之間，可以在第一參考電極、第二參考電極之間移動；第一連接端、第二連接端和第三連接端，當所述可動極板靠近第二參考電極時，第一連接端和第二連接端通過可動極板電性導通；當所述可動極板靠近第一參考電極時，第一連接端和第三連接端通過可動極板電性導通。2.如權利要求1所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述可動極板包括至少一層導電層，通過控制所述導電層和所述第一參考電極、所述第二參考電極之間的電勢差使所述可動極板在所述第一參考電極和第二參考電極之間移動；與所述導電層絕緣的導電接觸端，在所述可動極板靠近第二參考電極時，第一連接端和第二連接端通過所述導電接觸端電性導通，在所述可動極板靠近第一參考電極時，第一連接端和第三連接端通過所述導電接觸端電性導通。3.如權利要求2所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述可動極板還包括絕緣層，位于所述導電層的表面。4.如權利要求1所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述第一連接端包括第一連接部和第二連接部；所述第一連接部和所述第二連接端在同一金屬層；所述第二連接部和所述第三連接端在同一金屬層。5.如權利要求4所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述第一參考電極包括至少一層導電層。6.如權利要求5所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述導電層表面具有絕緣層。7.如權利要求4所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述第二參考電極包括至少一層導電層。8.如權利要求7所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述導電層表面有絕緣層。9.如權利要求2所述的MEMS開關器件，其特征在于，所述導電接觸端的表面具有鈍化層或者所述第一連接端、第二連接端、第三連接端的表面具有鈍化層。10.一種邏輯門，包括至少一輸入端，一輸出端，其特征在于，所述輸入端和所述輸出端之間通過至少一MEMS開關器件連接，以實現(xiàn)邏輯功能，所述MEMS開關器件為權利要求29任一項所述的MEMS開關器件。11.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，在所述MEMS開關器件為兩個以上時，相鄰的兩個MEMS開關器件疊置且共用第一參考電極或第二參考電極。12.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為非門，所述MEMS開關器件為一個，所述可動極板的導電層與所述輸入端連接，所述第一連接端與所述輸出端連接，所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓；所述第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓大于第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓小于第一電壓。13.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入與門，所述MEMS開關器件為一個，所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一連接端與所述輸出端連接；所述第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯低電平，所述的第三連接端與所述第二輸入端連接；所述第二電壓大于所述第一電壓。14.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入或門，所述MEMS開關器件為一個，所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一連接端與所述輸出端連接；所述第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓。15.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入與非門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件，所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。16.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入與非門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件，所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。17.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入與非門，所述MEMS開關器件為一個，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述第一輸入端輸入第一信號，所述第二輸入端輸入第二信號，所述第一連接端與所述輸出端連接，所述可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓；所述第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，所述第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號；所述第二電壓小于所述第一電壓。18.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入或非門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。19.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入或非門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓。20.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為兩輸入或非門，所述MEMS開關器件為一個，所述至少一個輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述第一輸入端輸入第一信號，所述第二輸入端輸入第二信號，所述可動極板的導電層輸入與所述第一信號邏輯相反的信號，所述第一連接端與所述輸出端連接，所述第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓；所述第二連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，所述第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三連接端輸入與所述第二信號邏輯相反的信號，所述第二電壓大于所述第一電壓。21.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為四輸入與或非門，所述至少一輸入端為四個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端、第三輸入端和第四輸入端，所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的第二連接端連接；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第三輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第四輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第四輸入端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述第四MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓，所述第六電壓大于所述第五電壓；所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓，所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第八電壓大于所述第七電壓；或者，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓小于所述第七電壓。22.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為四輸入與或非門，所述至少一輸入端為四個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端、第三輸入端和第四輸入端，所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的第三連接端連接；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第三輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第四輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第四輸入端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述第四MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓，所述第六電壓小于所述第五電壓；所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓，所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第八電壓大于所述第七電壓；或者，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓小于所述第七電壓。23.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為同或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的第二連接端連接；所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；CN102543572A所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓。24.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為同或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的第三連接端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓小于所述第三電壓。25.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為同或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述同或門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓。26.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為異或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的第二連接端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓小于所述第三電壓。27.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為異或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的第三連接端連接，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第一MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第二輸入端連接，所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第四電壓大于所述第三電壓。28.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為異或門，所述至少一輸入端為兩個輸入端，分別為第一輸入端、第二輸入端，所述異或門通過一個MEMS開關器件實現(xiàn)；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第二連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端輸入與所述第二輸入端的信號邏輯相反的信號，所述第二電壓大于所述第一電壓。29.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為多路選擇器，所述多路為2n路，η為自然數(shù)；所述輸入端為2η+η個；所述多路選擇器分為η級，分別為第1級依次增加1直至增到第η級，從所述第1級依次至第η級每一級依次包括的MEMS開關器件個數(shù)為2°依次至21^1；第1級中的MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出被選擇的信號；在η大于1時，相鄰兩級的MEMS開關器件中，上一級的MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與下一級的MEMS開關器件的第一連接端連接；每一級MEMS開關器件的可動極板分別與其中一個輸入端連接，輸入控制信號，并且，同一級的MEMS開關器件的可動極板輸入相同的控制信號；第η級中，每一個MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與其中一個輸入端連接，輸入選擇信號。30.如權利要求四所述的邏輯門，其特征在于，所述多路選擇器為二選一選擇器，所述η為1；MEMS開關器件為一個；所述輸入端為三個，分別為第一輸入端、第二輸入端和第三輸入端；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與第一輸入端連接，用于輸入控制信號，所述MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第二輸入端、第三輸入端連接，輸入選擇信號，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，輸出被選擇的信號。31.如權利要求四所述的邏輯門，其特征在于，所述多路選擇器為四選一選擇器，所述η為2；MEMS開關器件為三個，分別為第1級中的第一MEMS開關器件，第2級中的第二MEMS開關器件和第三MEMS開關器件；所述輸入端為六個，分別為第一輸入端、第二輸入端和第三輸入端、第四輸入端、第五輸入端和第六輸入端；第1級的第一MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，用于輸出被選擇的信號；第1級的第一MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第2級的第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件的第一連接端連接；第1級的第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與第一輸入端連接，輸入第一控制信號，第2級的第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件的可動極板與第二輸入端連接，輸入第二控制信號；第2級中，第二MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第三輸入端、第四輸入端連接，第三MEMS開關器件的第二連接端和第三連接端分別與第五輸入端、第六輸入端連接，輸入選擇信號。32.如權利要求10所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為三態(tài)門，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端，所述MEMS開關器件為一個；所述MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，所述MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接；所述MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述MEMS開關器件的第三連接端為高阻；或者，所述MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接。33.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓小于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓大于所述第三電壓。34.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為兩個，分別為第一MEMS開關器件和第二MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一連接端與所述第二MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接；所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓大于所述第三電壓。35.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓，所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述第四MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第三MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第三MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第六電壓小于所述第五電壓；或者，所述第三MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第三MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第六電壓大于所述第五電壓；所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第八電壓小于所述第七電壓；或者，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓大于所述第七電壓。36.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為四個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件和第四MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第一MEMS開關器件的第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第二MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第四電壓小于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述第四MEMS開關器件的可動極板的導電層連接，所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓；所述第三MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第三MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第六電壓大于所述第五電壓；或者，所述第三MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第三MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第六電壓小于所述第五電壓；所述第四MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第四MEMS開關器件的第一參考電極輸入第七電壓，所述第四MEMS開關器件的第二參考電極輸入第八電壓，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第八電壓小于所述第七電壓；或者，所述第四MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第四MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第八電壓大于所述第七電壓。37.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為三個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓，；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第二電壓小于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓大于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓，所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第四電壓大于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第四電壓小于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓，所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第六電壓小于所述第五電壓；或者，所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第六電壓大于所述第五電壓。38.如權利要求10或11所述的邏輯門，其特征在于，所述邏輯門為邊沿觸發(fā)器，所述輸入端為兩個，分別為第一輸入端和第二輸入端；所述MEMS開關器件為三個，分別為第一MEMS開關器件、第二MEMS開關器件、第三MEMS開關器件；所述第一MEMS開關器件的可動極板的導電層、第二MEMS開關器件的可動極板的導電層與所述第一輸入端連接，用于輸入時鐘信號，所述第一MEMS開關器件的第一參考電極輸入第一電壓，所述第二參考電極輸入第二電壓；所述第一MEMS開關器件的第二連接端與所述第二輸入端連接，所述第一MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第二電壓大于所述第一電壓；或者，所述第一MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第一MEMS開關器件的第三連接端與所述第二輸入端連接，所述第二電壓小于所述第一電壓；所述第二MEMS開關器件的第一連接端與所述第三MEMS開關器件的可動極板的導電層連接；所述第二MEMS開關器件的第一參考電極輸入第三電壓，所述第二MEMS開關器件的第二參考電極輸入第四電壓；所述第二MEMS開關器件的第二連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第二MEMS開關器件的第三連接端為高阻，所述第四電壓小于所述第三電壓；或者，所述第二MEMS開關器件的第二連接端為高阻，所述第二MEMS開關器件的第三連接端與所述第一MEMS開關器件的第一連接端連接，所述第四電壓大于所述第三電壓；所述第三MEMS開關器件的第一連接端與所述輸出端連接，所述第三MEMS開關器件的第一參考電極輸入第五電壓，所述第三MEMS開關器件的第二參考電極輸入第六電壓；所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯高電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯低電平，所述第六電壓小于所述第五電壓；或者，所述第三MEMS開關器件的第二連接端輸入邏輯低電平，所述第三MEMS開關器件的第三連接端輸入邏輯高電平，所述第六電壓大于所述第五電壓。39.一種集成電路，其特征在于，包括權利要求1038任一項所述的邏輯門。全文摘要一種MEMS開關器件，邏輯門以及集成電路，所述MEMS開關器件包括可動極板；第一參考電極、第二參考電極，可動極板位于所述第一參考電極和所述第二參考電極之間，可以在第一參考電極、第二參考電極之間移動；第一連接端、第二連接端和第三連接端，當可動極板靠近第二參考電極時，第一連接端和第二連接端通過可動極板電性導通；當可動極板靠近第一參考電極時，第一連接端和第三連接端通過可動極板電性導通。本發(fā)明的MEMS開關器件結構簡單，工藝流程簡單，節(jié)約成本；和MOS晶體管形成的邏輯門比較，使用的管子數(shù)少。并且此MEMS開關器件形成的電路和CMOS電路兼容。文檔編號H03K19/20GK102543572SQ20101061840公開日2012年7月4日申請日期2010年12月31日優(yōu)先權日2010年12月31日發(fā)明者唐德明,張鐳,許程凱申請人:上海麗恒光微電子科技有限公司