專利名稱：音叉型壓電振動片以及音叉型壓電振動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種音叉型壓電振動片以及音叉型壓電振動裝置。
背景技術(shù)：
作為壓電振動裝置之一，存在使用了由基部和具有從該基部突出的兩個腿部的振 動部構(gòu)成的音叉型水晶振動片的音叉型水晶振子(例如，參照專利文獻1。)。進而，在上述的那樣的音叉型水晶振動片中，與外部接合的接合部是從基部的與 形成了兩個腿部的一端面相向的另一端面突出形成的。這些從基部的另一端面突出形成的 接合部從基部的另一端面沿兩側(cè)面呈T字狀地分成兩股而延伸地成形，前端部分別朝向與 兩個腿部的前端相同的方向。在此音叉型水晶振子中，其主體殼體由基座和蓋構(gòu)成，在主體殼體的內(nèi)部，在基座 上，由導(dǎo)電性材料機電性地接合了音叉型水晶振動片的接合部的前端部，此被接合的音叉 型水晶振動片被氣密性地封閉在主體殼體的內(nèi)部。根據(jù)此音叉型水晶振子，能夠防止振動 泄漏(聲音泄漏)。在先技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2004-357178號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題如上所述，根據(jù)專利文獻1記載的音叉型壓電振子，由于音叉型水晶振動片的接 合部的前端部由導(dǎo)電性材料機電性地接合在基座上，所以，從作為振動部的腿部到基座的 接合位置的路由(routingelectrodes)電極長，在腿部產(chǎn)生的振動難以傳遞。但是，反之，由于向基座的接合位置是接合部的前端部，振動部是腿部，經(jīng)其基部 的實質(zhì)距離長，所以，難以承受振動的應(yīng)力、從外部向該音叉型水晶振子施加了沖擊時的外 力，在基部、接合部受到應(yīng)力、外力，水晶振動片容易破裂。另外，由于接合部的從上向下看 的全長長，所以，需要確保用于搭載從上向下看的全長長的接合部的基座的搭載區(qū)域，其結(jié) 果，成為水晶振子的主體殼體的小型化的妨礙。因此，為了解決上述課題，本發(fā)明以提供一種防止聲音泄漏，同時，耐應(yīng)力、外力的 適合于小型化的音叉型壓電振動片以及音叉型壓電振動裝置為目的。為了解決課題的手段為了實現(xiàn)上述目的，有關(guān)本發(fā)明的音叉型壓電振動片的特征在于，至少由作為振 動部的多根腿部、與外部接合的接合部、突出地設(shè)置這些上述腿部以及上述接合部的基部 構(gòu)成，上述多根腿部從上述基部的一端面突出，且并列設(shè)置在上述一端面上，上述接合部從 與上述基部的一端面相向的另一端面的如下位置突出，該位置是與上述基部的一端面的寬 度方向上的上述多根腿部的中間位置相向的位置，至少上述接合部的基端部被作為與外部接合的接合區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明，能夠防止聲音泄漏，同時，耐應(yīng)力、外力，能夠防止產(chǎn)生音叉型壓電振 動片破裂等不良狀況，進而，適合于小型化。具體地說，根據(jù)本發(fā)明，由于至少由上述多根腿部、上述接合部、上述基部構(gòu)成，上 述多根腿部從上述基部的一端面突出，且并列設(shè)置在上述一端面上，上述接合部從與上述 基部的一端面相向的另一端面的如下位置突出、該位置是與上述基部的一端面的寬度方向 上的上述多根腿部的中間位置相向的位置，至少上述接合部的基端部被作為與外部接合的 接合區(qū)域，所以，能夠?qū)⑸鲜龌扛浇纳鲜鼋雍喜康幕瞬孔鳛榕c外部的上述接合區(qū)域， 做成耐應(yīng)力、外力的結(jié)構(gòu)。進而，由于使上述接合部從與上述基部的一端面的寬度方向上的 上述多根腿部的中間位置相向的位置突出，所以，能夠防止聲音泄漏。例如，雖然存在由于 將該音叉型壓電振動片載置在外部等將該音叉型壓電振動片與其它的部件接合，或外力施 加于該音叉型壓電振動片，產(chǎn)生振蕩頻率的偏差等的情況，但是，根據(jù)本發(fā)明，這樣的情況 不會產(chǎn)生。另外，根據(jù)本發(fā)明，不僅降低相對于聲音泄漏而言的不良影響，還能夠?qū)⑸鲜鼋雍?部的寬度設(shè)定得寬，在此情況下，即使外力(例如因該音叉型壓電振動片的落下而產(chǎn)生的 對該音叉型壓電振動片的外力)施加于該音叉型壓電振動片，也能夠抑制在上述接合部中 產(chǎn)生物理以及電的斷裂。其結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，例如能夠提高耐沖擊性等耐久性。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是在上述腿部上形成一對激勵電極，在上述接合部和上述 基部上分別形成從上述一對激勵電極引出的引出電極，在上述接合部的基端部上形成從上 述一對激勵電極中的一個激勵電極弓I出的上述弓丨出電極，在上述接合部的前端部上形成從 上述一對激勵電極中的另一個激勵電極引出的上述引出電極，上述接合部的前端部被作為 與外部接合的接合區(qū)域。在此情況下，特別是由于上述接合部的基端部以及前端部被作為上述接合區(qū)域， 在上述接合部的上述基端部上形成上述一個激勵電極，在上述接合部的上述前端部上形成 上述另一個激勵電極，所以，能夠防止與外部接合的上述接合區(qū)域的短路，進而，通過在上 述接合部的基端部以及前端部中設(shè)定上述接合區(qū)域，能夠做成防止聲音泄漏，同時，耐應(yīng) 力、外力的結(jié)構(gòu)。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是從上向下看上述接合部形成為L字狀。例如，也可以是上 述接合部形成為由相對于上述另一端面從上向下看在垂直方向突出的短邊部和與上述短 邊部的前端部相連并在上述前端部中從上向下看被折曲成直角而在上述基部的寬度方向 延伸的長邊部構(gòu)成的從上向下看的L字狀。在此情況下，由于從上向下看上述接合部形成為L字狀，所以，能夠使該音叉型壓 電振動片的全長、從上向下看寬度的尺寸小，有助于該音叉型壓電振動片的主體殼體的小 型化。進而，在由一張晶片形成多個該音叉型壓電振動片的情況下，能夠增加從一張晶片獲 取該音叉型壓電振動片的數(shù)量。另外，在施加了來自外部的沖擊等外力時，能夠抑制向厚度 方向的撓曲，在將該音叉型壓電振動片搭載到外部部件(下述的由第一封閉部件、第二封 閉部件構(gòu)成的壓電振動裝置)上時，防止與上述外部部件接觸。其結(jié)果，能夠防止上述振動 部與上述外部部件接觸而被磨削，防止振蕩頻率變化。另外，能夠使因上述振動部的振動而 產(chǎn)生的泄漏振動在從上向下看形成為L字狀的折曲部位(下述的折曲部)中被阻止，難以向上述接合部的前端部傳遞，進一步降低聲音泄漏。 在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是上述接合部中的與外部接合的接合區(qū)域形成為作為折曲 部位的折曲部、和上述接合部的前端部，從上向下看該折曲部位成形為L字狀。在此情況下，由于上述接合部中的與外部接合的接合區(qū)域形成為上述折曲部和上 述前端部，所以，能夠使因上述振動部的振動而產(chǎn)生的泄漏振動在上述折曲部中被阻止，抑 制向上述前端部傳遞，其結(jié)果，能夠更進一步降低聲音泄漏。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為曲面。在此情況下，由于上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為曲面，所以，能夠抑制在 上述折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面中以上述折曲部為起點產(chǎn)生裂紋，其結(jié)果，能夠防止上述引出電極的 短路。另外，在此情況下，能夠提高折曲部的強度，其結(jié)果，能夠抑制頻率變動、頻率的位移。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為多邊的折曲面。在此情況下，由于上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為多邊的折曲面，所以，能 夠抑制在上述折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面中以上述折曲部為起點產(chǎn)生裂紋，其結(jié)果，能夠防止上述引 出電極的短路。另外，在此情況下，能夠提高折曲部的強度，其結(jié)果，能夠抑制頻率變動、頻 率的位移。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是上述接合部的基端部的兩主面被作為與外部接合的接合 區(qū)域。在此情況下，因上述接合部的基端部的兩主面被作為與外部接合的接合區(qū)域，所 以，能夠一面降低聲音泄漏，一面防止該音叉型壓電振動片的全長、從上向下看寬度的尺寸 增大，有助于該音叉型壓電振動片的主體殼體的小型化。其結(jié)果，在由一張晶片形成多個該 音叉型壓電振動片的情況下，能夠增加從一張晶片獲取該音叉型壓電振動片的數(shù)量。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是在上述腿部上形成一對激勵電極，在上述接合部和上述 基部上分別形成從上述一對激勵電極引出的引出電極，在上述接合部的基端部上形成從上 述一對激勵電極中的一個激勵電極引出的上述引出電極，在上述接合部的前端部上形成從 上述一對激勵電極中的另一個激勵電極弓I出的上述引出電極，上述接合部的基端部和前端 部被作為與外部接合的接合區(qū)域，在上述接合區(qū)域中分別形成與外部接合的凸點，形成在 上述接合部的基端部的接合區(qū)域中的上述凸點比形成在上述接合部的前端部的接合區(qū)域 中的上述凸點小。在此情況下，由于形成在上述接合部的基端部的接合區(qū)域中的上述凸點比形成在 上述接合部的前端部的接合區(qū)域中的上述凸點小，所以，能夠一面在與上述振動部距離遠 的上述接合部的前端部的接合區(qū)域中提高該壓電振動片對外部的接合強度，一面在與上述 振動部距離近的上述接合部的基端部的接合區(qū)域中降低來自上述振動部的振動傳遞。其結(jié) 果，能夠一面抑制來自上述振動部的振動的影響，一面提高該壓電振動片對外部的接合強 度。 在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是從上向下看上述基部被做成左右對稱形狀，上述基部的 另一端部以從上述一端面?zhèn)鹊缴鲜隽硪欢嗣鎮(zhèn)葘挾茸冋姆绞叫纬伞?
在此情況下，由于從上向下看上述基部被做成左右對稱形狀，上述基部的另一端 部以從上述一端面?zhèn)鹊缴鲜隽硪欢嗣鎮(zhèn)葘挾茸冋姆绞叫纬?，所以，能夠由上述另一端?使因上述振動部的振動而產(chǎn)生的泄漏振動衰減，能夠抑制泄漏振動向上述接合部傳遞，有利于進一步降低聲音泄漏(振動泄漏)。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是在上述接合區(qū)域中形成電鍍凸點。在此情況下，由于在上述接合區(qū)域中形成上述電鍍凸點，所以，能夠提高在該音叉 型壓電振動片上形成上述電鍍凸點時的定位精度，即使在該音叉型壓電振動片的接合部變 小的情況下，也能夠相對于該音叉型壓電振動片的適當(dāng)?shù)奈恢米鳛榻雍喜考纬缮鲜鲭婂?凸點。另外，也可以與該音叉型壓電振動片的其它金屬材料(例如激勵電極等)的形成一 并進行上述電鍍凸點的形成。在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是在上述振動部的至少一方的主面上形成槽。在此情況下，由于在上述振動部的至少一方的主面上形成槽，所以，能夠改善因該 音叉型壓電振動片的小型化而劣化的串聯(lián)共振電阻值。為了實現(xiàn)上述的目的，有關(guān)本發(fā)明的音叉型壓電振動裝置的特征在于，設(shè)置了上 述的有關(guān)本發(fā)明的音叉型壓電振動片、搭載上述音叉型壓電振動片的第一封閉部件、用于 將搭載在上述第一封閉部件上的上述音叉型壓電振動片氣密性地封閉在主體殼體內(nèi)的第 二封閉部件。根據(jù)本發(fā)明，能夠防止聲音泄漏，同時，耐應(yīng)力、外力，防止產(chǎn)生音叉型壓電振動片 破裂等不良狀況，進而，適合于小型化。具體地說，根據(jù)本發(fā)明，由于設(shè)置上述的有關(guān)本發(fā)明 的音叉型壓電振動片，所以，具有與上述的有關(guān)本發(fā)明的音叉型壓電振動片相同的作用效^ o在上述結(jié)構(gòu)中，也可以是在上述第一封閉部件上設(shè)置搭載上述音叉型壓電振動片 的階梯部，上述階梯部的端緣和上述接合部的基端部從上向下看重疊。在此情況下，由于上述階梯部的端緣和上述接合部的基端部從上向下看重疊，所 以，即使外力(例如因該音叉型壓電振動裝置的落下而產(chǎn)生的對該音叉型壓電振動裝置的 外力)施加于該音叉型壓電振動裝置，也能夠抑制上述音叉型壓電振動片(特別是上述振 動部和上述基部)與上述第一封閉部件接觸。因此，即使外力施加于上述音叉型壓電振動 片，也能夠抑制頻率變動、頻率的位移，能夠提高耐沖擊性等耐久性。發(fā)明的效果根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的音叉型壓電振動片以及音叉型壓電振動裝置，能夠防止聲音泄 漏，同時，耐應(yīng)力、外力，防止產(chǎn)生音叉型壓電振動片破裂等不良狀況。


圖1是公開了有關(guān)本實施例的水晶振子的內(nèi)部的概略俯視圖。圖2是有關(guān)本實施例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖3是有關(guān)本實施例的水晶振動片的另一主面的概略俯視圖。圖4是表示有關(guān)本實施例的水晶振子的落下試驗的結(jié)果的坐標圖。圖5是有關(guān)本實施例的比較例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖6是有關(guān)本實施例的比較例的水晶振動片的另一主面的概略俯視圖。圖7是表示有關(guān)本實施例的比較例的水晶振子的落下試驗的結(jié)果的坐標圖。圖8是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖9是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振 片的一主面的概略俯視圖。
圖10是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖11是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖12是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的另一主面的概略俯視圖。圖13是公開了有關(guān)本實施例的其它例的水晶振子的內(nèi)部的概略立體圖。圖14是公開了有關(guān)本實施例的其它例的水晶振子的內(nèi)部的概略立體圖。圖15是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的一主面的概略俯視圖。圖16是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖17是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖18是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖19是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖20是圖19所示的A-A線剖視圖。圖21是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖22是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振動片的接合部的放大概略俯視圖。圖23是公開了有關(guān)本實施例的其它例的水晶振子的內(nèi)部的概略俯視圖。圖24是有關(guān)本實施例的其它例的水晶振子的概略分解立體圖。圖25是圖24所示的水晶振動片的概略俯視圖。符號說明1 音叉型水晶振子(音叉型壓電振動裝置)；2 音叉型水晶振動片(音叉型壓電 振動片)；21 第一腿部(腿部)；211 第一腿部的前端部(腿部的前端部)；22:第二腿部 (腿部)；221 第二腿部的前端部(腿部的前端部)；23 接合部；231 短邊部；232 長邊部； 233 前端部；234 折曲部；235 側(cè)面；236 框體；24 電鍍凸點(platingbump) ；25 基部； 251 —端面；252 另一端面；254 另一端部；26 主面；27 槽部；28 側(cè)面；291 第一激勵 電極；292 第二激勵電極；293、294 引出電極；295 金屬膜；3 基座(第一封閉部件)；31 底部；32 提部；33 金屬層；34 電極片(electrode pad) ；4 蓋；41 頂部；42 壁部。
具體實施例方式為了實施發(fā)明的方式下面，參照附圖，說明本發(fā)明的實施方式。另外，在下面所示的實施例中，作為音叉 型壓電振動裝置表示將本發(fā)明適用于音叉型水晶振子的情況。然而，這是良好地適用的例 子，本發(fā)明不限于音叉型水晶振子，只要是搭載了使用壓電材料的音叉型壓電振動片的音 叉型壓電振動裝置即可。有關(guān)本實施例的音叉型水晶振子1(下稱水晶振子)，如圖1所示，通過設(shè)置由光刻 法成形的音叉型水晶振動片2(是本發(fā)明中所述的音叉型壓電振動片，下稱水晶振動片)、 作為搭載(保持)此水晶振動片2的第一封閉部件的基座3、作為用于將搭載(保持)在基 座3上的水晶振動片2氣密性封閉在主體殼體內(nèi)的第二封閉部件的蓋(省略圖示)構(gòu)成。在此水晶振子1中，基座3和蓋接合，構(gòu)成了主體殼體。具體地說，基座3和蓋經(jīng) 封閉材料(省略圖示)接合，通過此接合，形成了主體殼體的內(nèi)部空間11。而且，在此主體 殼體的內(nèi)部空間11內(nèi)的基座3上，經(jīng)電鍍凸點24保持接合了水晶振動片2，同時，主體殼體 的內(nèi)部空間11被氣密性封閉。此時，使用由金屬材料(例如金)構(gòu)成的電鍍凸點24，通過FCB法，在將水晶振動片2與基座3進行超聲波接合的同時機電性地接合。另外，在主體殼 體內(nèi)，通過相對于電極片342將后述的電極片341形成得大，具有從上向下看為L字狀的接 合部23的水晶振動片2的第一腿部21以及第二腿部22被配置在內(nèi)部空間11的從上向下 看靠近中央的部位。接著，說明此水晶振子1的各結(jié)構(gòu)?；?，如圖1所示，被形成為由底部31、從此底部31向上方延伸的提部32構(gòu)成的 箱狀體。另外，提部32層疊了兩層，在內(nèi)部空間11內(nèi)設(shè)置階梯部35。此基座3是在由陶瓷 材料構(gòu)成的從上向下看矩形狀的一張板上層疊陶瓷材料的長方體而呈凹狀地一體地?zé)?的。另外，從上向下看提部32沿圖1所示的底部31的外周成形。在此提部32的上面上設(shè) 置了用于與蓋接合的金屬層33。另外，金屬層33例如由在鎢層或鉬層上按照鎳、金的順序 進行電鍍的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。另外，在層疊陶瓷材料而呈凹狀地一體地?zé)频幕?中，在其內(nèi)部 空間11中的長度方向的一端部以及沿長度方向的端部的一部分上形成了階梯部35，在此 階梯部35上，如圖1所示，形成了從上向下看面積大的電極片341和從上向下看面積小的 電極片342，水晶振動片2被搭載保持在這些電極片341、342上。這些電極片341、342經(jīng)與 各自對應(yīng)的路由電極(省略圖示)與形成在基座3的里面上的端子電極(省略圖示)電連 接，這些端子電極與外部零件、外部儀器的外部電極連接。另外，這些電極片341、342、路由 電極、端子電極通過在印刷了鎢、鉬等金屬材料印刷后與基座3 —體地?zé)贫纬伞６遥?就這些電極片341、342、路由電極、端子電極中的一部分而言，是在金屬上部形成鎳鍍層，在 其上部形成金鍍層而構(gòu)成。蓋例如由金屬材料構(gòu)成，成形為從上向下看矩形狀的一張板。在此蓋的下面上形 成了封閉材料的一部分。此蓋通過縫焊、電子、束焊接、加熱熔融接合等方法經(jīng)封閉材料與 基座3接合，構(gòu)成基于蓋和基座3的水晶振子1的主體殼體。接著，說明配置在內(nèi)部空間11內(nèi)的水晶振動片2的各結(jié)構(gòu)。水晶振動片2是由作為各向異性材料的水晶片的水晶原材板通過(省略圖示)濕 式蝕刻形成的水晶Z板。因此，此水晶振動片2適合于批量生產(chǎn)。此水晶振動片2，如圖1 3所示，具有由作為振動部的兩根第一腿部21 (本發(fā)明 所述的腿部)以及第二腿部22 (本發(fā)明所述的腿部)、與外部(本實施例中為基座3的電極 片341、342)接合的接合部23，突出地設(shè)置這些第一腿部21以及第二腿部22和接合部23 的基部25構(gòu)成的外形。從上向下看基部25做成左右對稱形狀，如圖1所示，比振動部(第一腿部21、第二 腿部22)形成得寬度寬。另外，基部25的另一端部254(參照另一端面252)附近以從一端 面251向另一端面252寬度變窄的方式逐漸形成了階梯。兩根第一腿部21以及第二腿部22，如圖1所示，從基部25的一端面251突出，隔 著間隙部253并列設(shè)置。另外，這里所述的間隙部253設(shè)置在一端面251的寬度方向的中 央位置(中央?yún)^(qū)域)。這些第一腿部21以及第二腿部22的前端部211、221與第一腿部21 以及第二腿部22的其它部位相比在相對于突出方向正交的方向成形得寬度寬，進而，角部 分別形成為曲面。這樣，通過將前端部211、221成形得寬度寬，能夠有效利用前端部211、 221 (前端區(qū)域)，對水晶振動片2的小型化有用，還對低頻化有用。另外，通過分別將前端 部211、221的角部形成為曲面，能夠在受到外力時等防止與提部32等接觸。
另外，在兩個第一腿部21以及第二腿部22的兩主面26 (表側(cè)主面、里側(cè)主面)上， 為了改善因水晶振動片2的小型化而劣化的串聯(lián)共振電阻值(本實施例中為CI值，下同)， 分別形成了槽部27。另外，水晶振動片2的外形中，側(cè)面28相對于兩主面26傾斜地成形。 這起因于在用濕式蝕刻成形水晶振動片2時向基板材料的結(jié)晶方向(X軸、Y軸方向)的蝕 刻速度不同。接合部23，如圖1所示，是為了將下述引出電極293、294與外部電極(是在本發(fā) 明中所述的外部，在本實施例中為基座3的電極片341、342)機電性地接合的部件。具體地 說，接合部23從與有兩根第一腿部21以及第二腿部22突出的基部25的一端面251相向 的另一端面252的在基部25的一端面251的寬度方向上的第一腿部21以及第二腿部22 的中央位置(中央?yún)^(qū)域)突出形成。即，在與配置在兩根第一腿部21和第二腿部22之間 的間隙部253正相向的位置突出形成了接合部23。這樣，由于接合部23從與配置在兩根第 一腿部21和第二腿部22之間的間隙部252正相向的另一端面252的位置突出，所以，從接 合部23到第一腿部21以及第二腿部22的實質(zhì)距離(直線距離)分別為相同的距離。接合部23由相對于基部25的另一端面252從上向下看在垂直方向突出的短邊部 231 (與在本發(fā)明中所述的接合部的基端部對應(yīng))和從上向下看與短邊部231的前端部相連 并在短邊部231的前端部折曲成直角而在基部25的寬度方向延伸的長邊部232 (與在本發(fā) 明中所述的接合部的前端部對應(yīng))構(gòu)成，接合部23的前端部233朝向基部25的寬度方向。 即，接合部23從上向下看成形為L字狀，作為從上向下看成形為L字狀的折曲部位的折曲 部234與短邊部231的前端部對應(yīng)。另外，在本實施方式中，作為接合部23的突出方向的 長邊部232的延伸方向為-X軸方向。因此，在用濕式蝕刻成形水晶振動片2時，接合部23 的側(cè)面相對于兩主面26傾斜地成形。通過此接合部23的側(cè)面的傾斜，能夠提高接合部的 強度。另外，在本實施例中，與接合部23的基端部相當(dāng)?shù)亩踢叢?31的折曲部234作為 與外部接合的接合區(qū)域，與接合部23的前端部233相當(dāng)?shù)拈L邊部232的前端部作為與外部 接合的接合區(qū)域。而且，在作為接合部23的基端部的短邊部231形成了從下述的第一激勵 電極291 (本發(fā)明所述的一個激勵電極)引出的引出電極293，在作為接合部的前端部的長 邊部232形成了從下述的第二激勵電極292(在本發(fā)明中所述的另一激勵電極)引出的引 出電極294。具體地說，在接合部的單個主面26(在圖1中為里側(cè)主面)上形成作為與基座3 的接合部位的兩個電鍍凸點24。具體地說，第一個電鍍凸點24形成在接合部23的折曲部 234上，第二個電鍍凸點25形成在接合部23的前端部233上。另外，就電鍍凸點24向接合部23的形成而言，通過電解電鍍法等方法在接合部23 上電鍍形成電鍍凸點24，通過光刻法對電鍍形成的電鍍凸點進行金屬蝕刻，形成為希望的 形狀(從上向下看為圓形、從上向下看為橢圓形等圓形、從上向下看為長方形、從上向下看 為正方形等多邊形)而實施退火處理。具體地說，相對于接合部23的折曲部234和前端部 233而言分別形成一個電鍍凸點24，此后，對這些電鍍凸點24實施退火處理。這樣，通過對凸點使用電鍍凸點24，能夠穩(wěn)定地經(jīng)電鍍凸點24將水晶振動片2機 電性地接合在基座3上。具體地說，通過對凸點使用電鍍凸點24，在將水晶振動片2搭載于 外部(基座3)之前，能夠在水晶振動片2上形成電鍍凸點24。其結(jié)果，由于通常在水晶振動片2的希望的形成位置形成了電鍍凸點24，所以，例如即使是在水晶振動片2向外部(基 座3)的搭載位置偏離了希望位置的情況下，也能夠防止水晶振動片2以凸點偏離的狀態(tài)被 搭載于外部(基座3)，能夠進行水晶振動片2向基座3的穩(wěn)定的搭載。另外，在有關(guān)本實施例的水晶振動片2上，設(shè)置了以異電位構(gòu)成的兩個第一激勵 電極291以及第二激勵電極292、為了使這些第一激勵電極291以及第二激勵電極292與 電極片341、342電連接而從這些第一激勵電極291以及第二激勵電極292引出的引出電極 293、294。另外，在本實施例中所述的引出電極293、294是指從兩個上述第一激勵電極291 以及第二激勵電極292引出的電極圖案。另外，兩個第一激勵電極291以及第二激勵電極292的一部分形成在槽部27的內(nèi) 部。因此，即使將水晶振動片2小型化，也能夠抑制第一腿部21以及第二腿部22的振動損 失，將CI值抑制得低。第一激勵電極291形成在第一腿部21的兩主面26 (表側(cè)主面、里側(cè)主面)和第二 腿部22的兩側(cè)面28上。同樣，第二激勵電極292形成在第二腿部22的兩主面26 (表側(cè)主 面、里側(cè)主面)和第一腿部21的兩側(cè)面28上。上述的水晶振動片2的第一激勵電極291以及第二激勵電極292、引出電極293、 294是通過金屬蒸鍍在各第一腿部21以及第二腿部22上形成鉻層，在此鉻層上形成金屬而 構(gòu)成的薄膜。此薄膜在通過真空蒸鍍法等方法形成在基板整個面上后，通過光刻法進行金 屬蝕刻，形成為希望的形狀。另外，雖然第一激勵電極291、第二激勵電極292以及引出電極 293,294是按照鉻、金的順序形成，但是，也可以是鉻、銀的順序，鉻、金、鉻的順序，鉻、銀、鉻 的順序等。另外，在各第一腿部21以及第二腿部22的前端部211、221上分別形成了作為頻 率調(diào)整用配重的金屬膜295。具體地說，金屬膜295和第一激勵電極291以及引出電極293 一體形成，金屬膜295和第二激勵電極292以及引出電極294 —體形成。如上所述，根據(jù)有關(guān)本實施例的設(shè)置在水晶振子1上的水晶振動片2，能夠防止聲 音泄漏，同時，耐應(yīng)力、外力，防止產(chǎn)生水晶振動片2破裂等不良狀況，進而，適合于小型化。具體地說，根據(jù)本實施例，由于由兩根第一腿部21以及第二腿部22、接合部23、基 部25構(gòu)成，第一腿部21以及第二腿部22從基部25的一端面251突出且并列設(shè)置在一端 面251上，接合部23從與基部25的一端面251相向的另一端面252突出，接合部23在另 一端面252中從與基部25的一端面251的寬度方向上的第一腿部21以及第二腿部22的 中間位置相向的位置突出，至少作為接合部23的基端部的短邊部231被作為與外部(在本 實施例中為電極片341、342)接合的接合區(qū)域，所以，能夠?qū)⒒?5附近的接合部23的基 端部作為與電極片341、342的接合區(qū)域，做成耐應(yīng)力、外力的結(jié)構(gòu)。另外，由于使接合部23從與基部25的一端面251的寬度方向上的第一腿部21以 及第二腿部22的中間位置相向的位置突出，所以，能夠防止聲音泄漏。例如，雖然存在因?qū)?該水晶振動片2搭載在電極片341、342上等將該水晶振動片2與其它的部件接合，或?qū)υ?水晶振動片2施加外力而產(chǎn)生振蕩頻率的偏差等的情況，但是，根據(jù)本實施例，這樣的情況 不會產(chǎn)生。另外，根據(jù)本實施例，不僅能夠降低相對于聲音泄漏而言的不良影響，還能夠?qū)⒔?合部23的寬度設(shè)定得寬，在此情況下，即使外力(例如，因水晶振動片2的落下而產(chǎn)生的對水晶振動片2的外力)施加于水晶振動片2，也能夠抑制在接合部23中產(chǎn)生物理以及電的 斷裂。其結(jié)果，根據(jù)本實施例，例如能夠提高耐沖擊性等耐久性。另外，特別是，由于接合部23的作為基端部的短邊部231以及作為前端部的長邊 部232被作為與電極片341、342接合的接合區(qū)域，在接合部23的短邊部231上形成第一激 勵電極291，在接合部23的長邊部232上形成第二激勵電極292，所以，能夠防止與電極片 341,342接合的接合區(qū)域中的短路，進而，通過在接合部23的短邊部231以及長邊部232中 設(shè)定接合區(qū)域，能夠做成在防止聲音泄漏的同時耐應(yīng)力、外力的結(jié)構(gòu)。另外，由于接合部23從上向下看形成為L字狀，所以，能夠使水晶振動片2的全 長、從上向下看寬度的尺寸小，有助于水晶振動片2的主體殼體的小型化。進而，在由一張 晶片形成多個水晶振動片2的情況下，能夠增加從一張晶片獲取水晶振動片2的數(shù)量。另 外，在施加了來自外部的沖擊等外力時，能夠抑制向厚度方向的撓曲，在將水晶振動片2搭 載在外部部件(由基座3和蓋構(gòu)成的水晶振子1)上時，能夠防止與外部部件接觸。其結(jié) 果，能夠防止第一腿部21以及第二腿部22接觸外部部件而被磨削，防止振蕩頻率變化。另 外，能夠使因第一腿部21以及第二腿部22的振動而產(chǎn)生的泄漏振動在從上向下看形成為 L字狀的折曲部位(本實施例中為折曲部234)中被阻止而難以向接合部23的前端部233 傳遞，進一步降低聲音泄漏。另外，由于接合部23中的與外部接合的接合區(qū)域形成為折曲部234和前端部233， 所以，能夠?qū)⒁虻谝煌炔?1以及第二腿部22的振動而產(chǎn)生的泄漏振動阻止在折曲部234 中，抑制向前端部233傳遞，其結(jié)果，能夠更進一步降低聲音泄漏。另外，由于從上向下看基部25做成左右對稱形狀，基部25的另一端部254以沿基 部25的全長方向從一端面251側(cè)到另一端面252側(cè)寬度變窄的方式形成，所以，能夠由另 一端面252使因作為振動部的第一腿部21以及第二腿部22的振動而產(chǎn)生的泄漏振動衰 減，能夠抑制泄漏振動向接合部23傳遞，有利于進一步降低聲音泄漏(振動泄漏)。另外，由于在被作為接合區(qū)域的接合部23的作為基端部的短邊部231以及作為前 端部的長邊部232上形成電鍍凸點24，所以，使在水晶振動片2上形成電鍍凸點24時的定 位精度提高，即使在水晶振動片2的接合部23變小的情況下，也能夠相對于水晶振動片2 的適當(dāng)?shù)奈恢眯纬呻婂兺裹c24作為接合部件。另外，也可以與水晶振動片2的其它金屬材 料(例如，第一激勵電極291、第二激勵電極292、引出電極293、294等)的形成一并進行電 鍍凸點24的形成。另外，根據(jù)本實施例，由于使用凸點24將水晶振動片2向基座3上進行凸點接合， 所以，沒有在接合時產(chǎn)生的排氣的影響，能夠抑制水晶振子1的殼體的內(nèi)部空間11中的內(nèi) 壓上升。接著，進行搭載了有關(guān)本實施例的水晶振動片2的水晶振子1的落下試驗。將其 結(jié)果表示在圖4中。具體地說，通過十個循環(huán)，相對于六個水晶振子1進行了落下試驗。另外，作為本實施例的落下試驗的比較，使用了搭載由與上述的以往技術(shù)相同的 結(jié)構(gòu)構(gòu)成的水晶振動片的水晶振子(下稱比較例)。有關(guān)此比較例的水晶振動片9，與本實 施例的結(jié)構(gòu)相比，如圖5、6所示，第一腿部和第二腿部的前端部的形狀以及接合部的形狀 與本實施例不同。具體地說，在有關(guān)比較例的水晶振動片9中，接合部94從基部93的與形 成了兩個第一腿部91以及第二腿部92的一端面931相向的另一端面932突出形成，并從基部93的另一端面932沿兩側(cè)面933呈T字狀地分成兩股而延伸地成形，以前端部941、942 分別朝向與從基部93的一端面931突出形成的兩根第一腿部91以及第二腿部92相同的 方向的方式曲折形成。另外，圖5、6中的符號95表示電鍍凸點。而且，針對此比較例，也以與本實施例相同的條件，通過十次循環(huán)，進行六個水晶 振子的落下試驗。將其結(jié)果表示在圖7中。通過對圖4所示的有關(guān)本實施例的水晶振子1的落下試驗和圖7所示的有關(guān)比較 例的水晶振子的落下試驗進行比較可知，由于本實施例和比較例的外力(因落下而產(chǎn)生的 沖擊)，在振蕩頻率的變動量中產(chǎn)生差異。在圖4所示的本實施例中，基本沒有振蕩頻率的 變動。即，沒有產(chǎn)生振蕩頻率的偏差。與此相對，在圖7所示的比較例中，可以看到振蕩頻 率的變動。如上所述，根據(jù)本實施例，與比較例所示的以往技術(shù)相比，顯然是防止聲音泄漏， 同時，耐應(yīng)力、外力的結(jié)構(gòu)。另外，在本實施例中，接合部23從上向下看成形為L字狀，但是，并不限定于此，只 要通過接合部23的短邊部231將水晶振動片2與基座3接合，則接合部23就可以從上向 下看成形為圖8所示的那樣的大致L字狀。進而，接合部23也可以成形為圖9所示的那樣 的從上向下看的T字狀。另外，在本實施例中，接合部23的相當(dāng)于基端部的短邊部231的折曲部234和接 合部23的相當(dāng)于前端部233的長邊部232的前端部作為與外部接合的接合區(qū)域，在這些短 邊部231的折曲部234和長邊部232的前端部中分別形成了各一個電鍍凸點24。但是，電 鍍凸點24的個數(shù)不限于本實施例，也可以在短邊部231的折曲部234和長邊部232的前端 部的至少一方中形成多個電鍍凸點24，也可以如圖10所示，在短邊部231的折曲部234和 長邊部232的前端部的每一個中各形成四個電鍍凸點24。另外，在本實施例中，接合部23從上向下看成形為L字狀，但是并不限定于此，也 可以如圖11、12所示，僅由在本實施例中所述的短邊部231構(gòu)成接合部23。圖11是水晶振 動片2的一主面26的概略俯視圖，圖12是水晶振動片2的另一主面26的概略俯視圖。在 此圖11、12所示的實施例中，作為接合部23的基端部的短邊部231的兩主面26被作為與 外部(在本實施例中為電極片341、342)接合的接合區(qū)域。另外，如圖11、12所示，在水晶 振動片28的一主面26的接合部23的短邊部231上形成了從第一激勵電極291引出的引 出電極293，在水晶振動片28的另一主面26的接合部23的短邊部231上形成了從第二激 勵電極292引出的引出電極294。此圖11、12所示的水晶振動片2，如圖13所示，被搭載在基座3上。在此圖13所 示的實施例中，圖12所示的水晶振動片2的另一主面26以與基座3相向的方式配置，使用 形成在水晶振動片2的另一主面26的接合部23上的電鍍凸點24，通過FCB法，在將水晶振 動片2與基座3進行超聲波接合的同時機電性地接合。另外，在圖11所示的水晶振動片2 的一主面26的接合部23上，由金屬線W在將水晶振動片2與基座3進行引線接合的同時 機電性地接合。根據(jù)此圖11、12所示的水晶振動片2，由于作為接合部23的基端部的短邊部231 的兩主面26被作為與外部接合的接合區(qū)域，所以，能夠在降低聲音泄漏的同時，防止水晶 振動片2的全長、從上向下看寬度的尺寸增大，有助于水晶振動片2的主體殼體的小型化。其結(jié)果，在由一張晶片形成多個水晶振動片2的情況下，能夠增加從一張晶片獲取水晶振 動片2的數(shù)量。另外，根據(jù)此圖11、12所示的水晶振動片2，也可以如圖14所示，將水晶振動片2 夾在板狀體的板P和基座3之間地接合搭載在基座3上。在此情況下，圖12所示的水晶振 動片2的另一主面26以與基座3相向的方式配置，使用形成在水晶振動片2的另一主面26 的接合部23上的電鍍凸點24，通過FCB法，在將水晶振動片2與基座3進行超聲波接合的 同時機電性地接合。另外，使用形成在圖11所示的水晶振動片2的一主面26的接合部23 上的電鍍凸點24，通過FCB法將水晶振動片2與板P進行超聲波接合，由形成在板P上的未 圖示的導(dǎo)通部將接合部23與基座3電接合。另外，在上述的圖11、12所示的水晶振動片2中，將作為接合部23的基端部的短 邊部231的兩主面26作為與外部接合的接合區(qū)域，但是，也可以如圖15所示，在作為接合 部23的基端部的短邊部231的單個主面26中并列形成兩個電鍍凸點24。另外，在本實施例中，作為壓電材料使用了水晶，但是，這是良好地適用的例子，并 不限定于此，也可以是水晶以外的壓電材料，例如，鉭酸鋰、鈮酸鋰等。另外，作為在本實施例中所述的基座3使用了陶瓷材料，但是并不限定于此，也可 以是水晶、玻璃等。另外，在本實施例中所述的槽部27做成了圖1所示的那樣的截面凹形狀，但是，并 不限定于此，也可以是凹陷部。另外，在本實施例中，在第一腿部21以及第二腿部22上形成了槽部27，但是，這是 良好地適用的例子，在此情況下，由于在作為振動部的第一腿部21以及第二腿部22上，在 至少一方的主面26上形成槽部27，所以，能夠改善因水晶振動片2的小型化而劣化的串聯(lián) 共振電阻值(在本實施例中為CI值)。但是，在沒有必要謀求CI值的改善的情況下，也可 以將本發(fā)明適用于例如沒有在第一腿部21以及第二腿部22上形成槽部的水晶振動片2。另外，在本實施例中，在第一腿部21以及第二腿部22的各兩主面26上形成了槽 部27，但是，這是良好地適用的例子，并不限定于此，即使在任意一方的主面26上形成槽部 27，也具有因形成槽部27而產(chǎn)生的效果。另外，在本實施例中，作為凸點使用了電鍍凸點24，但并不限定于此，也可以使用 柱形凸點(stud bump)。另外，在本實施例中，作為振動部使用了第一腿部21以及第二腿部22，但是，其根 數(shù)并不限定于兩根。另外，在本實施例中，由基座3和蓋構(gòu)成了主體殼體，但并不限定于此，只要能夠 由與本發(fā)明所述的第一封閉部件和第二封閉部件對應(yīng)的部件封閉水晶振動片2的第一激 勵電極291、第二激勵電極292，則也可以由兩個基座2構(gòu)成主體殼體，其方式不限。另外，有關(guān)本實施例的接合部23由相對于基部25的另一端面252而言在俯視圖 中向垂直方向突出的短邊部231、和從上向下看與短邊部231的前端部相連并在短邊部231 的前端部中折曲成直角地在基板25的寬度方向延伸的長邊部232構(gòu)成，折曲部234中的折 曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為直角，但是，并不限定于此，也可以如圖16 18所示，折曲部234 中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為其它的形式。另外，像上述的那樣，在本實施方式中，作為接合部23的突出方向的長邊部232的延伸方向為-X軸方向。因此，也可以將通過濕式蝕刻成形水晶振動片2時形成的傾斜面作 為在這些圖16 18中所示的折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235或側(cè)面235的一部分使用。圖16所示的折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為曲面(R面)。在此情況 下，由于折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為曲面，所以，能夠抑制在折曲內(nèi)側(cè)的側(cè) 面235中以折曲部234為起點產(chǎn)生裂紋，其結(jié)果，能夠防止引出電極294的短路。另外，在 此情況下，能夠提高折曲部234的強度，其結(jié)果，能夠抑制頻率變動、頻率的位移。另外，圖17所示的折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235通過形成倒角而形成為多 邊的折曲面。在此情況下，由于折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成倒角而形成為多邊 的折曲面，所以，能夠抑制在折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235中以折曲部234為起點產(chǎn)生裂紋，其結(jié)果， 能夠防止引出電極294的短路。另外，在此情況下，能夠提高折曲部234的強度，其結(jié)果，能 夠抑制頻率變動、頻率的位移。進行上述的圖17所示的方式的水晶振子1以及安裝于外部基板上(省略圖示) 的狀態(tài)的水晶振子1的落下試驗。具體地說，進行使20個水晶振子1單品自由落下的落下 試驗和相對于安裝于外部基板上的狀態(tài)的水晶振子1而言以從150cm和180cm的高度進行 六方向落下的工序(相對于外部基板上的各面(六面)而言，在使各面朝向垂直下方的狀 態(tài)下合計落下六次的工序)為一次的安裝落下試驗。將其結(jié)果表示在表1中。表1 另外，作為本實施例的落下試驗的比較，進行了折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成 為直角的狀態(tài)的水晶振子單品以及安裝于外部基板上的狀態(tài)的水晶振子的落下試驗。具體 地說，進行使十六個水晶振子單品自由落下的落下試驗和以使安裝于外部基板上的狀態(tài)的 水晶振子從150cm的高度進行六方向落下的工序為一次的安裝落下試驗。將其結(jié)果表示在 表2中。另外，在比較例中，僅是在上述的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面這一點上與圖17所示的方式的 水晶振動片不同，其它的結(jié)構(gòu)是相同的結(jié)構(gòu)。表2 從表1、2所示的落下試驗的結(jié)果可知，在圖17所示的方式(參照表1)的水晶振 子1單品以及安裝于外部基板上的狀態(tài)的水晶振子1中，一個都沒有損壞，具有耐沖擊性， 與此相對，在比較例(參照表2)的水晶振子單品以及封裝于外部基板上的狀態(tài)的水晶振子 中，在水晶振子單品的落下試驗中，在水晶振子中有兩個損壞，在安裝于外部基板上的狀態(tài) 的水晶振子的安裝落下試驗中，在水晶振子中有一個損壞。即，在比較例中，合計損壞三個 水晶振子。接著，圖18所示的折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為多邊的折曲面。在 此情況下，由于折曲部234中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235形成為多邊的折曲面，所以，能夠抑制 在折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面235中以折曲部234為起點產(chǎn)生裂紋，其結(jié)果，能夠防止弓I出電極294的 短路。另外，在此情況下，能夠提高折曲部234的強度，其結(jié)果，能夠抑制頻率變動、頻率的 位移。另外，在上述的本實施例中，例如如圖1 3所示，形成在接合部23的接合區(qū)域中 的兩個電鍍凸點24的形狀為相同的形狀，但是，并不限定于此，例如也可以是在圖19、20所 示的作為接合部23的基端部的短邊部231的接合區(qū)域中形成的電鍍凸點24比在作為接合 部23的前端部的長邊部232的接合區(qū)域中形成的電鍍凸點24小。在圖19、20所示的其它實施例中，在作為接合部23的基端部的短邊部231的接合 區(qū)域中形成的電鍍凸點24形成為直徑小的圓柱形狀。另外，在作為接合部23的前端部的 長邊部233的接合區(qū)域中形成的電鍍凸點24以前端部的表面為球狀體，基端部形成為直徑 大的圓柱形狀的方式構(gòu)成。根據(jù)此圖19、20所示的其它實施例，能夠一面在與作為振動部的第一腿部21以及第二腿部22的距離遠的作為接合部23的前端部的長邊部232的接合區(qū)域中提高水晶振動 片2對外部的接合強度，一面在與作為振動部的第一腿部21以及第二腿部22的距離近的 作為接合部23的基端部的短邊部231的接合區(qū)域中降低來自作為振動部的第一腿部21以 及第二腿部22的振動傳遞。其結(jié)果，能夠一面抑制來自作為振動部的第一腿部21以及第 二腿部22的振動的影響，一面提高水晶振動片2對外部的接合強度。另外，圖19、20所示的那樣的電鍍凸點24可適用于上述的所有的實施例，例如在 適用于圖9所示的水晶振動片2的情況下，成為圖21所示的形式，在適用于圖15所示的水 晶振動片2的情況下，成為圖22所示的形式。另外，在本實施例中，使用圖1所示的基座3，但是，基座3的形式并不限定于此，也 可以是圖23所示的那樣形式的基座。圖23所示的基座3，與圖1所示的基座3相比僅階梯部35的形狀不同，其它的結(jié) 構(gòu)相同。具體地說，在圖23所示的基座3中，在其內(nèi)部空間11中的長度方向的一端部以及 沿長度方向的整個端部形成了階梯部35。另外，形成在內(nèi)部空間11中的長度方向的一端部 上的階梯部35的寬度設(shè)定得比圖1所示的基座3短。因此，若將水晶振動片2搭載在基座 3上，則如圖23所示，從上向下看階梯部35的端緣36和作為接合部23的基端部的短邊部 231重疊。在此情況下，由于從上向下看階梯部35的端緣36和作為接合部23的基端部的短 邊部231重疊，所以，即使外力(例如因水晶振子1的落下而產(chǎn)生的對水晶振子1的外力) 施加于水晶振子1，也能夠抑制水晶振動片2 (特別是第一腿部21、第二腿部22、基部25)與 基座3的階梯部35的端緣36接觸。因此，即使外力施加于水晶振動片2，也能夠抑制頻率 變動、頻率的位移，能夠提高耐沖擊性等耐久性。另外，在上述的本實施例中，由基座3和蓋構(gòu)成了水晶振子1的主體殼體，由基座3 和蓋氣密性地封閉了水晶振動片2本身，但是，水晶振動片并不限定于此，水晶振動片2也 可以是水晶振子1的主體殼體的一部分。具體地說，圖24、25表示將水晶振子2作為主體 殼體的一部分的方式。另外，在圖24、25所示的水晶振子1中，僅蓋的結(jié)構(gòu)和水晶振動片2 的結(jié)構(gòu)不同，其它的結(jié)構(gòu)是相同的結(jié)構(gòu)。因此，在圖24、25所示的水晶振子1中，僅對與圖1 所示的水晶振子1不同的結(jié)構(gòu)進行說明。另外，因相同結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的作用效果以及變形例 具有與上述實施例相同的作用效果以及變形例。蓋4如圖24所示，被形成為由頂部41、從此頂部41向下方延伸的壁部42構(gòu)成的 箱狀體。壁部42從上向下看沿圖24所示的頂部41的外周成形。此蓋4從上向下看在由 陶瓷材料構(gòu)成的矩形狀的一張板上層疊陶瓷材料的長方體而呈凹狀地一體地?zé)?，上下?轉(zhuǎn)來使用。另外，在圖24的例子中，對蓋4使用了陶瓷材料，但并不限定于此，也可以使用 玻璃、水晶、金屬材料等。在水晶振動片2上，形成了在搭載在基座3上時配置在基座3的提部32上的框體 236，框體236和接合部23的前端部233以相連的方式一體形成。在此圖24、25所示的水晶振子1中，在使框體236處于基座3和蓋4之間的狀態(tài) 下，按照水晶振動片2、蓋4的順序?qū)盈B在基座3上。另外，在圖24、25所示的水晶振子1中，與有關(guān)上述的本實施例的水晶振子1同 樣，在接合部23中機電性地與基座3接合，但是，并不限定于此，也可以將框體236作為接合部23的一部分使用，在框體236中將水晶振動片2和基座3電連接，至少在接合部23的 短邊部231中將水晶振動片2與基座3接合。另外，本發(fā)明在不脫離其精神、主旨或主要的特征的情況下，能夠以其它的各種各 樣的方式實施。因此，上述的實施例只不過是在所有的方面簡單的例示，不能限定性地解 釋。本發(fā)明的范圍是由權(quán)利要求表示的，在說明書正文中沒有進行任何限制。進而，屬于與 權(quán)利要求的等同范圍的變形、變更均是在本發(fā)明的范圍內(nèi)的。另外，本申請要求以2008年9月26日在日本申請的日本特愿2008-248218號為 基礎(chǔ)的優(yōu)先權(quán)。通過在這里提及，將其所有的內(nèi)容載入本申請。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性。本發(fā)明能夠適用于音叉型壓電振動片、音叉型壓電振動裝置，特別是適合于音叉 型水晶振子。
權(quán)利要求
一種音叉型壓電振動片，其特征在于，至少由作為振動部的多根腿部、與外部接合的接合部、突出地設(shè)置這些上述腿部以及上述接合部的基部構(gòu)成，上述多根腿部從上述基部的一端面突出，且并列設(shè)置在上述一端面上，上述接合部從與上述基部的一端面相向的另一端面的如下位置突出，該位置是與上述基部的一端面的寬度方向上的上述多根腿部的中間位置相向的位置，至少上述接合部的基端部被作為與外部接合的接合區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的音叉型壓電振動片，其特征在于，在上述腿部上形成一對激勵電極，在上述接合部和上述基部上分別形成從上述一對激 勵電極引出的引出電極，在上述接合部的基端部上形成從上述一對激勵電極中的一個激勵電極引出的上述引 出電極，在上述接合部的前端部上形成從上述一對激勵電極中的另一個激勵電極引出的上 述引出電極，上述接合部的前端部被作為與外部接合的接合區(qū)域。
3.如權(quán)利要求1或2所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 從上向下看上述接合部形成為L字狀。
4.如權(quán)利要求3所述的音叉型壓電振動片，其特征在于，上述接合部中的與外部接合的接合區(qū)域形成為作為折曲部位的折曲部、和上述接合部 的前端部，從上向下看該折曲部位成形為L字狀。
5.如權(quán)利要求4所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為曲面。
6.如權(quán)利要求4所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 上述折曲部中的折曲內(nèi)側(cè)的側(cè)面形成為多邊的折曲面。
7.如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 上述接合部的基端部的兩主面被作為與外部接合的接合區(qū)域。
8.如權(quán)利要求1至6中的任一項所述的音叉型壓電振動片，其特征在于，在上述腿部上形成一對激勵電極，在上述接合部和上述基部上分別形成從上述一對激 勵電極引出的引出電極，在上述接合部的基端部上形成從上述一對激勵電極中的一個激勵電極引出的上述引 出電極，在上述接合部的前端部上形成從上述一對激勵電極中的另一個激勵電極引出的上 述引出電極，上述接合部的基端部和前端部被作為與外部接合的接合區(qū)域，在上述接合區(qū)域中分別 形成與外部接合的凸點，形成在上述接合部的基端部的接合區(qū)域中的上述凸點比形成在上述接合部的前端部 的接合區(qū)域中的上述凸點小。
9.如權(quán)利要求1至8中的任一項所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 從上向下看上述基部被做成左右對稱形狀，上述基部的另一端部以從上述一端面?zhèn)鹊缴鲜隽硪欢嗣鎮(zhèn)葘挾茸冋姆绞叫纬伞?br> 10.如權(quán)利要求1至9中的任一項所述的音叉型壓電振動片，其特征在于，在上述接合區(qū)域中形成電鍍凸點。
11.如權(quán)利要求1至10中的任一項所述的音叉型壓電振動片，其特征在于， 在上述振動部的至少一方的主面上形成槽。
12.—種音叉型壓電振動裝置，其特征在于，設(shè)置了權(quán)利要求1至11中的任一項所述的音叉型壓電振動片、搭載上述音叉型壓電振 動片的第一封閉部件、用于將搭載在上述第一封閉部件上的上述音叉型壓電振動片氣密性 地封閉在主體殼體內(nèi)的第二封閉部件。
13.如權(quán)利要求12所述的音叉型壓電振動裝置，其特征在于， 在上述第一封閉部件上設(shè)置搭載上述音叉型壓電振動片的階梯部， 上述階梯部的端緣和上述接合部的基端部從上向下看重疊。
全文摘要
音叉型壓電振動片，至少由作為振動部的多根腿部、與外部接合的接合部、突出地設(shè)置這些上述腿部以及上述接合部的基部構(gòu)成。上述多根腿部從上述基部的一端面突出，且并列設(shè)置在上述一端面上。上述接合部從與上述基部的一端面相向的另一端面的下述位置突出，該位置是與上述基部的一端面的寬度方向上的上述多根腿部的中間位置相向的位置。而且，至少上述接合部的基端部被作為與外部接合的接合區(qū)域。
文檔編號H03H9/19GK101878590SQ200980101049
公開日2010年11月3日 申請日期2009年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月26日
發(fā)明者伊藤正人, 佐藤俊介, 森本賢周, 白井崇, 藤井智, 阪本和靖 申請人:株式會社大真空