專利名稱：聲表面波器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種聲表面波器件，并特別涉及其中輸入和輸出中任何一個(gè)均具有平衡的或差動(dòng)的端子對(duì)的一種聲表面波器件。
相關(guān)技術(shù)的描述聲表面波器件作為一種濾波器，廣泛用于以便攜式電話或類似產(chǎn)品為代表的無線電設(shè)備的高頻電路中。近年來，具有平衡或差動(dòng)輸入和輸出的集成電路元件(IC)已經(jīng)在這類無線電設(shè)備的高頻電路中付諸使用。
相反，使用傳統(tǒng)聲表面波器件的濾波器(下文中恰當(dāng)?shù)胤Q為聲表面波濾波器)，其輸入/輸出(I/O)端子不是平衡的。為了解決這個(gè)問題，在

圖1所示的實(shí)例中，當(dāng)所述傳統(tǒng)聲表面波器件與混頻電路IC3連接時(shí)，在聲表面波濾波器1和混頻電路IC3之間必須接入一個(gè)被稱為平衡-不平衡變換器的不平衡-平衡變換部分，或者接入由獨(dú)立的部分組成的變換電路2。
此外，聲表面波濾波器通常有50歐姆的輸入/輸出阻抗，另一方面，在很多情況下，具有平衡端子對(duì)的混頻電路IC3等的阻抗高達(dá)大約100到200歐姆，因此這樣的IC與聲表面波濾波器連接要求有阻抗變換電路。
然而，這又導(dǎo)致了無線電設(shè)備中所用電路部分?jǐn)?shù)量的增加。此外，為了進(jìn)一步小型化的需要，需要節(jié)省空間的設(shè)計(jì)。
發(fā)明概要為此，本發(fā)明的目的是實(shí)現(xiàn)一種具有不平衡-平衡變換功能和阻抗變換功能的小型化聲表面波器件。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的第一方面提供一種聲表面波器件，它包括一個(gè)輸入叉指形換能器和一個(gè)輸出叉指形換能器，兩者排列在壓電基片的聲表面波傳播路徑上，其中當(dāng)輸入或輸出叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度(aperture length)用X表示時(shí)，輸出或輸入叉指形換能器具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，它們具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)聲孔徑寬度大致用X/2表示，并且，其中所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，而各自的電極指的電極從兩個(gè)分開的叉指形換能器引出，它們?nèi)绱伺帕?，使得連接到平衡端子對(duì)的兩個(gè)輸出和輸入信號(hào)有180°相差。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的第二方面提供一種聲表面波器件，它包括排列在壓電基片聲表面波傳播路徑上的多個(gè)叉指形換能器和排列在兩側(cè)的反射電極，其中多個(gè)叉指形換能器包括交替排列的第一類型叉指形換能器和第二類型叉指形換能器，其中當(dāng)所述第一類型叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度用X表示時(shí)，第二類型叉指形換能器中的每一個(gè)具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，它們具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)孔徑寬度大致用X/2表示，其中所述第一類型叉指形換能器連接到不平衡輸入或輸出端子對(duì)，所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，而各自的電極指的電極從兩個(gè)分開的叉指形換能器引出并連接到平衡端子對(duì)，所述兩個(gè)分開的叉指形換能器各自的電極指如此排列，使得在平衡端子對(duì)的信號(hào)有180°相差。
優(yōu)選，在本發(fā)明的第一或第二方面，在所述兩個(gè)分開的叉指形換能器中，在與平衡端子連接一側(cè)電極指的位置相互滑移半波。
優(yōu)選，在本發(fā)明的第一或第二方面，所述兩個(gè)分開的叉指形換能器的連接部分接地。
優(yōu)選，在本發(fā)明的第二方面，在所述多個(gè)叉指形換能器中，由三個(gè)叉指形換能器構(gòu)成雙模濾波器。
優(yōu)選，在本發(fā)明的第二方面，所述多個(gè)叉指形換能器是構(gòu)成多電極濾波器的五個(gè)或五個(gè)以上叉指形換能器。
聲表面波器件具有兩個(gè)或兩個(gè)以上級(jí)聯(lián)的濾波器，其中最外層濾波器由按照上述本發(fā)明第一或第二方面的聲表面波器件構(gòu)成，并具有輸入或輸出平衡端子對(duì)。
優(yōu)選，在兩個(gè)或兩個(gè)以上的濾波器為級(jí)聯(lián)的情況中，借助構(gòu)成各濾波器的叉指形換能器的多個(gè)連接部分在兩個(gè)或兩個(gè)以上的互濾波器之間進(jìn)行級(jí)聯(lián)連接，濾波器的相位在多個(gè)連接部分的各鄰近連接部分中相反。
優(yōu)選，在以上本發(fā)明各方面中的任一方面，壓電基片可以是旋轉(zhuǎn)40°至44°的Y-X LiTaO3。
更為優(yōu)選地，在以上本發(fā)明各方面中的任一方面，壓電基片是旋轉(zhuǎn)66°至74°的Y-X LiNbO3。
通過下面參照各附圖的描述，本發(fā)明的特征將變得更清楚。
附圖簡(jiǎn)述圖1是用于說明傳統(tǒng)聲表面波器件連接到具有平衡輸入端的IC電路的情況的視圖；圖2是用于說明作為本發(fā)明目的的聲表面波器件連接到具有平衡輸入端的IC電路的情況的視圖；圖3是示出按照本發(fā)明第一實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖4是構(gòu)成聲表面波器件的視圖，其中圖3中示出電極結(jié)構(gòu)排列在壓電基片11上；圖5是示出另一個(gè)端子結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的視圖；圖6是用于說明按照?qǐng)D3實(shí)施例的工作的視圖；圖7是示出對(duì)圖3所示的電極結(jié)構(gòu)的改進(jìn)的視圖；圖8是指出通過形成圖7的電極結(jié)構(gòu)，在平衡輸出端子對(duì)OUT1，OUT2之間的相位差的改進(jìn)的數(shù)據(jù)；圖9是示出聲表面波器件的透視圖的視圖，其中圖8的電極結(jié)構(gòu)形成在壓電基片11上；圖10是示出一種配置的視圖，即IDT 201和IDT 202的連接部分通過其它配置而不是圖9的電極213接地；圖11是示出按照本發(fā)明第二實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖12是示出按照本發(fā)明第三實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖13是示出按照本發(fā)明第四實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖14是示出按照本發(fā)明第五實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖15是示出按照本發(fā)明第六實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖16是實(shí)施例的一種配置，該實(shí)施例相對(duì)于圖15的實(shí)施例改進(jìn)了平衡輸出端子對(duì)OUT1，OUT2中信號(hào)間的相位差；圖17是示出按照本發(fā)明第七實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖18是示出按照本發(fā)明第八實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；圖19是示出按照本發(fā)明第九實(shí)施例的聲表面波器件的視圖；以及圖20是改進(jìn)圖19實(shí)施例中平衡輸出端子對(duì)OUT1，OUT2之間的相位差的一個(gè)實(shí)施例。
優(yōu)選實(shí)施例的描述下文中，將參照附圖來說明本發(fā)明的各實(shí)施例。順便提一句，下面各實(shí)施例的描述是為了理解本發(fā)明而進(jìn)行的，本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于所述各實(shí)施例、各附圖以及對(duì)其進(jìn)行的描速。
圖2是示出按照本發(fā)明的作為聲表面波濾波器的聲表面波器件10的適合的實(shí)例的視圖，所述聲表面波器件10引到類似圖1的混頻電路IC3。
按照本發(fā)明的聲表面波濾波器具有不平衡-平衡變換功能和阻抗變換功能。這樣，有可能把混頻電路IC3的平衡輸入設(shè)置成輸入阻抗。因此，有可能不使用單獨(dú)的不平衡-平衡變換功能和阻抗變換功能電路，而這種電路在圖1中是必需的。因此，有可能實(shí)現(xiàn)器件小型化。
圖3示出按照本發(fā)明第一實(shí)施例的聲表面波器件10的電極結(jié)構(gòu)，它用在圖2的一個(gè)實(shí)例中。
圖3中，單一的輸入叉指形換能器(IDT)100和輸出叉指形換能器(IDT)200排列在形成于壓電基片上的聲表面波傳播路徑上，這一點(diǎn)隨后將詳細(xì)描述。
在輸入IDT 100一側(cè)的第一叉指形電極指101連接到信號(hào)輸入端IN，而反向的第二叉指形電極指102接地。第一電極指101和第二電極指102重疊的寬度X就是輸入IDT 100的聲孔徑寬度。
另一方面，輸出IDT 200有第一和第二分開的叉指形換能器(IDT)201、202，它們的聲孔徑寬度X1、X2在輸入IDT 100的聲孔徑寬度X范圍內(nèi)大致為聲孔徑寬度X的一半。
第一分開的IDT 201的一個(gè)電極指和第二分開的IDT 202的一個(gè)電極指分別連接到平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2，而且進(jìn)一步第一和第二分開的換能器IDT 201、202的另外的電極指分別這樣配置，以便它們以具有公共連接端的方式連接。
在此，特別地，第一和第二IDT 201、202的電極指如此配置，使得其位置在電極指的位置相互滑移一個(gè)周期，也就是1/2聲表面波波長(zhǎng)。
圖4是構(gòu)成聲表面波器件的視圖，其中在圖3中示出的電極結(jié)構(gòu)被排列在壓電基片11上。在此，壓電基片11以預(yù)定的旋轉(zhuǎn)角度切割LiTaO3或LiNbO3晶體塊獲得。
圖4中，聲表面波器件的輸入端子IN，接地端子GND，和輸出端子OUT1、OUT2提供在組件(未示出)的外部，并且形成在壓電基片11上的每個(gè)電極墊12通過引出線與每個(gè)端子連接。
圖5為示出另一個(gè)端子結(jié)構(gòu)的實(shí)施例。圖3的電極結(jié)構(gòu)與圖4的結(jié)構(gòu)類似地形成在壓電基片11上。該結(jié)構(gòu)與圖4的不同之處在于輸入端子IN，接地端子GND，和輸出端子OUT1、OUT2通過接合片13而不是通過引出線的連接與電極墊12連接。
圖6是說明圖3電極結(jié)構(gòu)的工作原理的視圖，并且特別地，它代表性地示出了聲表面波(下文稱SAW)在輸入端和輸出端之間傳播時(shí)的狀態(tài)。在此，兩個(gè)分開的輸出IDT 201、202的上面部分稱為軌跡1，其下面部分稱為軌跡2。
考慮聲表面波器件工作時(shí)的某一時(shí)刻。首先，一個(gè)輸入電信號(hào)通過輸入IDT 100變換成SAW。該SAW在壓電基片上傳播。此外，把SAW作為軌跡1和軌跡2入射到輸出IDT 200的第一和第二分開的IDT201、202的每個(gè)上。圖6中示出軌跡1和2各自的SAW幅度。
在SAW入射到軌跡1和2上時(shí)，SAW又變換成電信號(hào)。這時(shí)，電極指的位置在軌跡1和2之間滑移半個(gè)波長(zhǎng)。由于這個(gè)原因，通過輸出端子對(duì)OUT1、OUT2得到的電信號(hào)的相位相互滑移180°，對(duì)此可能出現(xiàn)±10°至15°的偏離，這是允許的。
也就是說，圖3的實(shí)施例中，在輸出端子對(duì)OUT1和OUT2之間形成平衡端子對(duì)，從而實(shí)現(xiàn)不平衡輸入-平衡輸出是可以理解的。接下來將考慮I/O阻抗。在IDT電極指之間形成容抗，而容抗的大小取決于電極指的間隔和聲孔徑寬度。
圖6中，輸入IDT 100電極指之間的間隔A-B等于輸出IDT 200電極指的間隔C-D。因此，當(dāng)輸入阻抗為50歐姆時(shí)，由于在軌跡1側(cè)IDT 201的阻抗中，IDT 201的聲孔徑寬度X1大約是輸入IDT 100的聲孔徑寬度X的一半，所以，阻抗加倍或變?yōu)榇蠹s100歐姆。
另一方面，在軌跡2側(cè)IDT 202的阻抗類似地變?yōu)榇蠹s100歐姆。因此，當(dāng)從平衡輸出端子對(duì)OUT1和OUT2之間看時(shí)，由于兩個(gè)輸出IDT201、202串聯(lián)，輸出側(cè)總的阻抗變?yōu)榇蠹s200歐姆。因此，有可能將I/O阻抗從50歐姆變換到200歐姆。
圖7是示出相對(duì)于圖3所示電極結(jié)構(gòu)的改進(jìn)的視圖。圖7中，IDT201和IDT 202的連接部分的電極通過電極213與在輸入IDT 100側(cè)接地的第二電極指102連接。于是，IDT 201和IDT 202的連接部分的電極被設(shè)定為地電位。
通過形成這種結(jié)構(gòu)，其優(yōu)點(diǎn)在于可使平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2中信號(hào)的相位差有效。
圖8為指出通過形成圖7的這種電極結(jié)構(gòu)，在平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2之間的相位差的改進(jìn)的數(shù)據(jù)。圖8中，橫坐標(biāo)軸表示歸一化頻率，縱坐標(biāo)軸表示相位差。
圖8中，曲線I指出IDT 201和IDT 202的連接部分的電極被設(shè)定為地電位的情況，而曲線II指出一個(gè)與圖3所示結(jié)構(gòu)相同的實(shí)例。在圖8中，IDT 201和IDT 202的連接部分的電極被設(shè)定為地電位是顯然的，由此可使輸出端子對(duì)OUT1和OUT2的相位差小。
圖9是示出聲表面波器件透視圖的視圖，其中圖8的這種電極結(jié)構(gòu)形成在壓電基片11上。通過添加電極213，IDT 201和IDT 202的連接部分與鏈接地的輸入IDT 100的第二電極指102連接。
在此，電極213的作用是使得IDT 201和IDT 202的連接部分接地。因此，IDT 201和IDT 202的連接部分與地而不是與電極213連接是可能的。
圖10為示出其它配置的視圖。在圖10的配置中，提供與IDT 201和IDT 202的連接部分鏈接的電極墊14，并且該電極墊14經(jīng)電極引線直接接地。借助這種配置，減少輸出端子對(duì)OUT1和OUT2之間的相位差也是可能的。
圖11是示出本發(fā)明的第二實(shí)施例的視圖。圖11示出在壓電基片上形成的IDT的電極指配置，它類似圖3。排列兩個(gè)輸入IDT 101、102和夾在它們之間的一個(gè)輸出IDT 200。此外，在上述配置兩側(cè)都包括反射器301、302，它們形成所謂雙模濾波器配置。
在此，按照本發(fā)明，當(dāng)輸出IDT 200以與圖3的實(shí)例相同的方式分成上下兩個(gè)IDT 201、202時(shí)，從那里引出的兩個(gè)信號(hào)是輸出端子對(duì)OUT1和OUT2之間的平衡輸出。
在使用這種雙模濾波器的情況下，有可能實(shí)現(xiàn)高衰減的不平衡-平衡濾波器。
此外，在圖11的實(shí)施例中，阻抗變換功能也與前面圖6中所述一致。
圖12示出本發(fā)明的第三實(shí)施例，并示出以與前面的實(shí)例相同的方式在壓電基片上形成的IDT的電極指配置。該實(shí)施例也具有雙模濾波器配置。其特征在于，與圖11的實(shí)施例相反，在輸出側(cè)使用IDT的兩種組合(IDT 201、202和IDT 203、204)。
按照?qǐng)D12示出的實(shí)施例，可以獲得與第二實(shí)施例相同的特性，并且在希望把輸出阻抗設(shè)置成低于第二實(shí)施例的情況下它是有效的。也就是說，如前面所述，使用IDT的兩種組合(IDT 201、202，和IDT 203、204)，并把它們并聯(lián)到平衡輸出端子對(duì)OUT1、0UT2。
因此，在圖12實(shí)施例中，當(dāng)輸入IDT 100的I/O阻抗為50歐姆時(shí)，輸出阻抗就變?yōu)?00歐姆。
圖13示出本發(fā)明的第四實(shí)施例，它具有包括五個(gè)IDT的多電極型聲表面波濾波器，其中交替地排列三個(gè)輸入IDT 101至103，以及兩組輸出IDT 201至202、203至204。
通常，多電極型可規(guī)定為包括多個(gè)(三個(gè)或三個(gè)以上)IDT。圖11和12中雙模型實(shí)施例相當(dāng)于多電極型中含最少個(gè)數(shù)IDT的情況。
在此，在這種配置中，兩組輸出IDT 201至202、203至204的每個(gè)輸出都引到平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2。在該實(shí)施例的配置中，有可能實(shí)現(xiàn)通帶寬度相對(duì)較寬的平衡濾波器。
圖14進(jìn)一步示出本發(fā)明的第五實(shí)施例，并示出以與前面實(shí)例相同的方式在壓電基片上形成的IDT的電極指的配置。
第五實(shí)施例和圖13的實(shí)施例相同使用多電極配置，但在輸出側(cè)使用三組IDT 201至202、203至204以及205至206。可以獲得與圖13相同的特性，而且在希望把輸出阻抗設(shè)置成低于圖13的實(shí)施例的情況下它是有效的。
圖15示出本發(fā)明的第六實(shí)施例，并示出以與前面實(shí)例相同的方式在壓電基片上形成的IDT的電極指的配置。通過兩級(jí)級(jí)聯(lián)來配置多電極型濾波器。也就是說，第一級(jí)IDT 103至105級(jí)聯(lián)到第二級(jí)IDT 113至115。
此外，作為濾波器第二級(jí)的輸出IDT，使用兩組IDT 201至202、和203至204。兩組IDT 201至202、和203至204的輸出信號(hào)輸出到平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2。
在使用這種配置時(shí)，因?yàn)樵诘谝患?jí)和第二級(jí)形成級(jí)聯(lián)，其優(yōu)點(diǎn)是可以獲得大的衰減量。
圖16是實(shí)施例的一種配置，該實(shí)施例相對(duì)于圖15的實(shí)施例改進(jìn)了平衡輸出端子對(duì)OUT1，OUT2中信號(hào)間的相位差。與平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2鏈接的分開的IDT 201、202的公用電極206和分開的IDT 203、204的公用電極207接地。
順便提一句，公用電極既在公用電極206側(cè)也在公用電極207側(cè)經(jīng)鄰近的IDT 114，113和IDT 113，115接地，這使得接地得以加強(qiáng)。
在圖16示出的電極結(jié)構(gòu)中，當(dāng)電極間隔相等時(shí)，連接第一步和第二步的電極121、122中的信號(hào)的相位相互相差180°。此外，電極122，123中信號(hào)的相位相互相差180°。
因此，如果使用這種結(jié)構(gòu)，當(dāng)其中的信號(hào)輸入到平衡輸出端子對(duì)OUT1和第二步的電極121-123的距離等于其中的信號(hào)輸入到平衡輸出端子對(duì)OUT2和第二步的電極121-123的距離時(shí)，其優(yōu)點(diǎn)是可使平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2中信號(hào)間的相位差有效。
圖17示出本發(fā)明的第七實(shí)施例，并示出以與前面實(shí)例相同的方式在壓電基片上形成的IDT的電極指配置。第七實(shí)施例具有和圖11的實(shí)施例中相同的配置，其中將配置成在雙模濾波器輸入側(cè)具有IDT 110和反射的IDT 111、112的串聯(lián)諧振器級(jí)聯(lián)。
該實(shí)施例具有這樣的特征，通過適當(dāng)設(shè)置串聯(lián)諧振器的頻率可以在通帶附近高頻側(cè)獲得大的衰減量。
圖18示出本發(fā)明的第八實(shí)施例，并示出以與前面實(shí)例相同的方式在壓電基片上形成的IDT的電極指配置。圖18實(shí)施例是對(duì)圖17實(shí)施例的擴(kuò)展，相對(duì)于配置成具有在雙模濾波器輸入側(cè)與所謂的梯形濾波器級(jí)聯(lián)的IDT 110和反射IDT 111、112的串聯(lián)諧振器，該實(shí)施例是這樣配置的，使得配置成具有IDT 120和反射的IDT 121、122的串聯(lián)諧振器進(jìn)一步并聯(lián)。
在該配置中，可以在通帶中插入損耗不是相當(dāng)惡化的情況下在通帶附近獲得大的衰減量，因此可以實(shí)現(xiàn)平衡濾波器。
圖19示出本發(fā)明的第九實(shí)施例，并示出以與前面實(shí)例相同方式在壓電基片上形成的IDT的電極指配置。雙模濾波器是級(jí)聯(lián)的。由連接到輸入端IN的IDT 113、輸出IDT 211、212和反射IDT 311、312配置第一級(jí)雙模濾波器。
第一級(jí)雙模濾波器的輸出IDT 211、212連接到第二級(jí)雙模濾波器的輸入IDT 101、102。該實(shí)施例如此配置，使得第二級(jí)濾波器的輸出IDT 200分成IDT201、202。
該實(shí)施例中，通帶的插入損耗小，并且有可能實(shí)現(xiàn)具有高衰減特性的平衡濾波器。
圖20是一個(gè)改進(jìn)圖19的實(shí)施例中平衡輸出端子對(duì)OUT1，OUT2之間的相位差的實(shí)施例。與前面圖7和16中的實(shí)施例類似，分開的IDT201、202的公用電極206接地。
通過使每個(gè)電極間隔相等，與各步連接的電極121、122中的信號(hào)的相位相互相差180°。借助這種配置，當(dāng)其中的信號(hào)輸入到平衡輸出端子對(duì)OUT1和第二步的電極121-122的距離等于其中的信號(hào)輸入到平衡輸出端子對(duì)OUT2和第二步的電極121-122的距離時(shí)，與圖8所示類似，平衡輸出端子對(duì)OUT1、OUT2中信號(hào)間的相位差得以改進(jìn)。
在此，在各實(shí)施例中，描述了配置IDT的電極指形成并排列在壓電基片上的情況，該壓電基片從諸如LiTaO3、LiNbO3、或類似的晶體上切割下。作為其中可以傳播的聲表面波的損耗最小并且具有寬的帶寬的壓電基片，本發(fā)明人先前已在日本公開特許公報(bào)No.8-179551中提出了一種壓電基片。因此，希望先前提出的這種基片也在本發(fā)明中使用。
這種優(yōu)選的壓電基片是旋轉(zhuǎn)40°至44°的Y-X LiTaO3，就是把LiTaO3單晶按照從Y軸到Z軸的一個(gè)旋轉(zhuǎn)角度繞X軸旋轉(zhuǎn)而切割下來，旋轉(zhuǎn)角度在40°至44°之間。旋轉(zhuǎn)66°至74°的Y-X LiNbO3也是優(yōu)選的，就是把LiNbO3單晶按照從Y軸到Z軸的一個(gè)旋轉(zhuǎn)角度繞X軸旋轉(zhuǎn)而切割下來，旋轉(zhuǎn)角度在66°至74°之間。
此外，在各實(shí)施例中描述了在輸入側(cè)不平衡和輸出側(cè)平衡的情況下如何使用聲表面波器件，但是，這兩者是可逆的，按照本發(fā)明的聲表面波器件輸入側(cè)平衡并匹配輸出側(cè)不平衡也是可能的。
按照本發(fā)明，正如以上參考附圖所描述的各實(shí)施例，有可能實(shí)現(xiàn)具有不平衡-平衡變換功能和不平衡-平衡端子之間阻抗變換功能的聲表面波器件。
因此，提供一種其上安裝有聲表面波器件的通信設(shè)備等的小型化配置是可能的。
權(quán)利要求書1.一種聲表面波器件，它包括一個(gè)輸入叉指形換能器和一個(gè)輸出叉指形換能器，兩者排列在壓電基片聲表面波傳播路徑上，其中當(dāng)所述輸入或輸出叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度用X表示時(shí)，所述輸出或輸入叉指形換能器具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，每個(gè)換能器具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)聲孔徑寬度大致用X/2表示，并且其中所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，而各自的電極指的電極從所述兩個(gè)分開的叉指形換能器引出，而且如此排列，使得連接到平衡端子對(duì)的兩個(gè)輸出或輸入信號(hào)有180°相差，并且兩個(gè)分開的叉指形換能器的連接部分與地電位連接。
2.一種聲表面波器件，它包括排列在壓電基片聲表面波傳播路徑上的多個(gè)叉指形換能器和排列在兩側(cè)的反射電極，其中所述多個(gè)叉指形換能器包括交替排列的第一類型叉指形換能器和第二類型叉指形換能器，其中當(dāng)所述第一類型叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度用X表示時(shí)，所述第二類型叉指形換能器中的每一個(gè)具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，每個(gè)換能器具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)聲孔徑寬度大致用X/2表示，并且其中所述第一類型叉指形換能器連接到不平衡輸入或輸出端子對(duì)，所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，所述各自電極指的所述電極從所述兩個(gè)分開的叉指形換能器引出并連接到平衡端子對(duì)，而且所述兩個(gè)分開的叉指形換能器各自的電極指如此排列，使得在所述平衡端子對(duì)的信號(hào)有180°相差，以及兩個(gè)分開的叉指形換能器的連接部分接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的聲表面波器件，其中在所述兩個(gè)分開的叉指形換能器中，在與所述平衡端子連接的一側(cè)的電極指的位置相互滑移半波。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的聲表面波器件，其中所述多個(gè)叉指形換能器由三個(gè)叉指形換能器構(gòu)成一個(gè)雙模濾波器。
5.根據(jù)權(quán)利要求2的聲表面波器件，其中所述多個(gè)叉指形換能器為五個(gè)或五個(gè)以上的叉指形換能器，它們構(gòu)成多電極濾波器。
6.聲表面波器件，其中通過級(jí)聯(lián)兩個(gè)或兩個(gè)以上濾波器形成多個(gè)濾波器，并且通過按照權(quán)利要求1或2的聲表面波器件配置最外層的一個(gè)濾波器，并且一個(gè)平衡端子對(duì)是一個(gè)輸入或一個(gè)輸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的聲表面波器件，其中所述兩個(gè)或兩個(gè)以上濾波器在配置各濾波器的叉指形換能器的多個(gè)連接部分相互級(jí)聯(lián)，并且濾波器的相位在多個(gè)連接部分的各鄰近連接部分相反。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)的聲表面波器件，其中所述壓電基片是旋轉(zhuǎn)40°至44°的Y-X LiTaO3。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)的聲表面波器件，其中所述壓電基片是旋轉(zhuǎn)66°至74°的Y-X LiNbO3。
權(quán)利要求
1.一種聲表面波器件，它包括一個(gè)輸入叉指形換能器和一個(gè)輸出叉指形換能器，兩者排列在壓電基片聲表面波傳播路徑上，其中當(dāng)所述輸入或輸出叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度用X表示時(shí)，所述輸出或輸入叉指形換能器具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，每個(gè)換能器具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)聲孔徑寬度大致用X/2表示，并且其中所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，而各自的電極指的電極從所述兩個(gè)分開的叉指形換能器引出，而且如此排列，使得連接到平衡端子對(duì)的兩個(gè)輸出或輸入信號(hào)有180°相差。
2.一種聲表面波器件，它包括排列在壓電基片聲表面波傳播路徑上的多個(gè)叉指形換能器和排列在兩側(cè)的反射電極，其中所述多個(gè)叉指形換能器包括交替排列的第一類型叉指形換能器和第二類型叉指形換能器，其中當(dāng)所述第一類型叉指形換能器電極指的聲孔徑寬度用X表示時(shí)，所述第二類型叉指形換能器中的每一個(gè)具有兩個(gè)分開的叉指形換能器，每個(gè)換能器具有這樣的電極指，其中電極指的每個(gè)聲孔徑寬度大致用X/2表示，并且其中所述第一類型叉指形換能器連接到不平衡輸入或輸出端子對(duì)，所述兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián)，所述各自電極指的所述電極從所述兩個(gè)分開的叉指形換能器引出并連接到平衡端子對(duì)，而且所述兩個(gè)分開的叉指形換能器各自的電極指如此排列，使得在所述平衡端子對(duì)的信號(hào)有180°相差。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的聲表面波器件，其中在所述兩個(gè)分開的叉指形換能器中，在與所述平衡端子連接的一側(cè)的電極指的位置相互滑移半波。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)的聲表面波器件，其中所述兩個(gè)分開的叉指形換能器的連接部分接地。
5.根據(jù)權(quán)利要求2的聲表面波器件，其中所述多個(gè)叉指形換能器由三個(gè)叉指形換能器構(gòu)成一個(gè)雙模濾波器。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的聲表面波器件，其中所述多個(gè)叉指形換能器為五個(gè)或五個(gè)以上的叉指形換能器，它們構(gòu)成多電極濾波器。
7.聲表面波器件，其中通過級(jí)聯(lián)兩個(gè)或兩個(gè)以上濾波器形成多個(gè)濾波器，并且通過按照權(quán)利要求1或2的聲表面波器件配置最外層的一個(gè)濾波器，并且一個(gè)平衡端子對(duì)是一個(gè)輸入或一個(gè)輸出。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的聲表面波器件，其中所述兩個(gè)或兩個(gè)以上濾波器在配置各濾波器的叉指形換能器的多個(gè)連接部分相互級(jí)聯(lián)，并且濾波器的相位在多個(gè)連接部分的各鄰近連接部分相反。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)的聲表面波器件，其中所述壓電基片是旋轉(zhuǎn)40°至44°的Y-X LiTaO3。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)的所述聲表面波器件，其中所述壓電基片是旋轉(zhuǎn)66°至74°的Y-X LiNbO3。
全文摘要
具有不平衡－平衡轉(zhuǎn)換功能和阻抗轉(zhuǎn)換功能并實(shí)現(xiàn)一個(gè)小型聲表面波器件的一種聲表面波濾波器。一個(gè)輸入叉指形換能器和一個(gè)輸出叉指形換能器排列在壓電基片的聲表面波傳播路徑上,假定輸入或輸出叉指形換能器的電極指的交叉寬度為X,所述輸入或輸出換能器包括兩個(gè)分開的叉指形換能器,它們提供有交叉寬度約為X/2的電極指。兩個(gè)分開的叉指形換能器串聯(lián),各電極指的電極從其引出并這樣排列,使得與平衡端子對(duì)連接的兩個(gè)輸出端或輸入端的信號(hào)具有180°相位差。
文檔編號(hào)H03H9/145GK1389017SQ01802539
公開日2003年1月1日 申請(qǐng)日期2001年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月30日
發(fā)明者遠(yuǎn)藤剛, 川內(nèi)治, 上田政則, 田島基行 申請(qǐng)人:富士通媒體裝置株式會(huì)社