專利名稱：一種壓電諧振元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電諧振元件，例如一種振蕩器、一種鑒相器、和一種濾波器，特別涉及一種在縱向振動模式下振動的壓電元件被安裝在一個基底上的壓電諧振元件。
傳統(tǒng)地，一種電導(dǎo)性的支撐體被固定到壓電元件的下表面電極的中心部分(節(jié)點部分)，該壓電元件縱向振動模式下振動。當(dāng)經(jīng)由一個電導(dǎo)膠粘劑連接的支撐體到基底上的布圖電極時，壓電元件的上表面電極經(jīng)由引線焊接連接到另一個基底的布圖電極。有這樣結(jié)構(gòu)的一種壓電諧振元件已經(jīng)公開，例如日本未審查公開的專利申請的JP10-200366。通過在壓電元件的電極上涂覆上一層電導(dǎo)膏形成了電導(dǎo)支撐體，使得它有一個預(yù)定的厚度，并使膏體硬化。
在壓電諧振元件有上面描述的結(jié)構(gòu)的情況下，有一些元件導(dǎo)致

圖1中所示的相位特性和阻抗波形方面混亂。因為通過使用電導(dǎo)支撐體和電導(dǎo)膠粘劑完成了與壓電元件的電連接，所以產(chǎn)生了波形的混亂，而且壓電元件被支撐并與基體分離。通過電導(dǎo)支撐體和電導(dǎo)膠粘劑，壓電元件的振動發(fā)生在基底一側(cè)，這樣壓電元件和基底引起完整的振動。圖1A顯示了一個單一壓電元件的波形，而圖1B顯示壓電元件安裝在基底之后的波形。
壓電元件的振動被發(fā)射到基底一側(cè)的原因是因為電導(dǎo)支撐體和電導(dǎo)膠粘劑定義了用于振動傳播的路徑。因而，為了抑制這樣的壓電元件的振動傳播，可考慮隨后的兩個方法。
第一個方法包括在電導(dǎo)支撐體的壓電元件的長度方向上減少附著區(qū)域，并抑制壓電元件的振動傳播。然而，該方法在壓電元件導(dǎo)致支撐強度度降低，以致電導(dǎo)支撐體很容易的從基底上脫落或通過碰撞或下落的震動從壓電元件上移動。因此，該第一方法大大地降低了設(shè)備的可靠性。
第二種方法包括形成一種橡膠彈性材料例如氨基甲酸乙酯樹脂的電導(dǎo)支撐體。然而，為了提供電導(dǎo)支撐體的電導(dǎo)性，使用電導(dǎo)填充物，例如銀。假如電導(dǎo)填充物的含量降低了，則電導(dǎo)性大大地降低了。假如電導(dǎo)填充物的含量改為增加了，則彈性將大大地惡化。
為了克服上述的問題，本發(fā)明的最佳實施例提供了一種壓電諧振元件，它包括安排到基底以便最小化壓電元件的振動傳播的電導(dǎo)支撐體。并且可靠的達(dá)到了電導(dǎo)性和防震的特性。
按照本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例，一個壓電諧振元件包括一個具有在其上表面安裝有布圖電極的基底，和一個在縱向振動模式下振動、并在基底的下表面也裝有一個電極的壓電元件，和大約安裝在壓電元件的下表面電極的長度方向的中心部分的一個電導(dǎo)支撐體，其中電導(dǎo)支撐體通過電導(dǎo)膠粘劑固定到基底的布圖電極，電導(dǎo)支撐體包括一種氨基甲酸乙酯樹脂，它包含大約占電導(dǎo)支撐體的重量75％～85％的一種電導(dǎo)填充物。
通過電導(dǎo)支撐體和電導(dǎo)膠粘劑，構(gòu)成壓電元件的電極節(jié)點部分的大約中心部分被連接和固定到基底的布圖電極。電導(dǎo)支撐體最好包括由橡膠彈性材料構(gòu)成的氨基甲酸乙酯樹脂。為了提供氨基甲酸乙酯樹脂的電導(dǎo)性，也包括電導(dǎo)填充物，例如銀。當(dāng)減少電導(dǎo)填充物的含量時，電導(dǎo)性將下降；而當(dāng)增加電導(dǎo)填充物的含量時，振動變得容易傳播引起的不必要的振動。
本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，假如電導(dǎo)填充物的含量在重量上超過了85％，由于振動傳播，將發(fā)生電特性的惡化。此外，氨基甲酸乙酯樹脂的強度惡化也將發(fā)生。因此，在電導(dǎo)支撐體中的電導(dǎo)填充物的含量的上限大約是重量的85％。
此外，假如電導(dǎo)填充物的含量低，橡膠的彈性改善了，并且由于振動傳播，特性惡化也改善了。然而，假如電導(dǎo)填充物的含量在重量上小于75％，電導(dǎo)性質(zhì)的問題就產(chǎn)生了。
這樣，在電導(dǎo)支撐體中的電導(dǎo)填充物的含量在重量上最好是約75％～約85％。此外，作為一種電導(dǎo)填充物，可以使用銀填充物、銅填充物(或者通過在銅上電鍍銀形成的填充物)、金填充物、或其它合適的填充物。
盡管可以用硅酮樹脂代替氨基甲酸乙酯樹脂用于電導(dǎo)支撐體，因為在硅酮樹脂與氨基甲酸乙酯樹脂比較的情況下，幾乎沒有硬化收縮。許多的電導(dǎo)填充物需要維持電導(dǎo)性。此外，當(dāng)使用硅酮樹脂時，可使用性是不好的。另一方面，如果在氨基甲酸乙酯樹脂的情況，則沒有這方面的問題。
由于在本發(fā)明的最佳實施例中通過包括一個氨基甲酸乙酯樹脂的的電導(dǎo)支撐體固定壓電元件和基底，即使施加撞擊或外力例如下落的震動，由于電導(dǎo)支撐體的彈性，撞擊力被吸收。結(jié)果，防止撞擊力影響或損壞壓電元件。此外，即使當(dāng)電導(dǎo)支撐體、壓電元和基底的附著區(qū)域增加時，因為通過壓電元件的電導(dǎo)支撐體的彈性可以阻止到基底的振動傳播，不論那里施加了撞擊力，都不會有損壞或連接移動。
盡管也可以使用類似的氨基甲酸乙酯基電導(dǎo)膠粘劑作為用于附著電導(dǎo)支撐體和基底的電導(dǎo)膠粘劑，但是膠粘的強度是不足的。另一方面，如果在環(huán)氧樹脂基電導(dǎo)膠粘劑情況下，它的附著強度是大的，而且因為橡膠彈性是不需要的，所以最好使用環(huán)氧樹脂基電導(dǎo)膠粘劑。
本發(fā)明的各個最佳實施例的壓電元件最好包括安排兩個外部電極，所以它們連接該外部電極和柱形基座，其中壓電層和內(nèi)部電極交替地在基體的一側(cè)表面的基座的長度方向?qū)盈B。
壓電元件最好沿著長度方向極化。
在這樣的一個層疊的壓電元件中，因為使用壓電縱向效應(yīng)，其中極化的方向、電場的方向和振動的方向是相同的，與使用壓電橫向效應(yīng)的壓電元件相比，機電耦合系數(shù)增加了，而且使用壓電橫向效應(yīng)時極化的方向、電場的方向和振動的方向都是不同的。因此，層疊壓電元件的振動強度變強了(諧振器的德耳塔f是大的)，并且分層壓電元件易于引起一個振動峰值。因此，通過使用本發(fā)明最佳實施例的電導(dǎo)支撐體，振動峰值被提供，并且設(shè)備的特性也大大地改善了。
此外，在壓電元件層疊的情況下，因為輸入/輸出電極可以形成在整個表面上，如果通過電導(dǎo)支撐體，輸入/輸出電極被連接和固定到基底的布圖電極上，用引線焊接連接上表面電極到基底的布圖電極的步驟或其他方法可以省略。
本發(fā)明的其它的特征、元件、特性和優(yōu)點從本發(fā)明參照附圖的最佳實施例的隨后的詳細(xì)描述中將很明顯的看出。
圖1顯示了單一壓電元件和安裝在基底之后的一個壓電元件的相位特性和阻抗特性的一個波形圖；圖2是按照本發(fā)明的最佳實施例的壓電諧振元件的一個實例的剖視圖；圖3是沿著圖2的X-X線的截面圖；圖4是圖2所示的壓電諧振元件的分解透視圖；圖5是包括在圖2的壓電諧振元件中的壓電元件的一個實例的透視圖；圖6是包括在圖2的壓電諧振元件中的壓電元件的另一個實例的透視圖7是包括在圖6的壓電元件的壓電層的前視圖；圖8是當(dāng)改變電導(dǎo)支撐體的成分時的一個壓電諧振元件的阻抗特性和相位特性圖；圖9用于測量圖8的特性的壓電諧振元件的制造試驗?zāi)Ｐ蛨D；圖10是當(dāng)在大約81％到大約85％的重量的范圍內(nèi)改變銀填充物與氨基甲酸乙酯樹脂的比率時的相位失真曲線圖；圖11是一個顯示如何決定相位失真的圖；圖12是一個顯示當(dāng)改變電導(dǎo)支撐體的銀填充物的含量時電導(dǎo)性質(zhì)的改變的圖；圖13顯示通過一個電導(dǎo)支撐體的溫度改變的楊氏模量的改變圖；在下文中，從參照附圖作出的本發(fā)明的具體最佳實施例的下文描述中，本發(fā)明將是很明顯的。
圖2到圖4顯示了按照本發(fā)明的一個最佳實施例的一個壓電諧振元件的實例。最適宜的最佳實施例的壓電諧振元件是一個表面安裝類型的振蕩器，它包括一個壓電元件1，一個基底20，和一個頂蓋30。
一個壓電元件1利用縱型振動模式，和如圖5所示，該壓電元件1包括一個具有實質(zhì)上的矩形形狀的基座2。基座2最可取的結(jié)構(gòu)具有由壓電陶瓷材料做成的多個壓電層3和交替層疊的多個的內(nèi)部電極4。如圖5的箭頭P所示，在基座2的縱向方向上執(zhí)行極化，所以在內(nèi)部電極4的兩側(cè)的每一側(cè)的極化層的極化軸是彼此相反的。然而，基座2兩端的極化是這樣的，即基座2的兩端是不極化的。
一個槽5被安裝到在基座2縱向方向的一側(cè)上擴展，所以槽5把基座2的一側(cè)一分為二。而且，在通過槽5分開的表面上分別配置有第一絕緣涂抹層6和第二絕緣涂抹層7。
在通過槽5分開的基座2的一側(cè)表面上，內(nèi)部電極4的暴露部分交替地以第一絕緣膜6被涂抹。而在通過槽5分開的基座2的另一側(cè)表面上，內(nèi)部電極4的暴露部分不是由絕緣膜6涂覆，而是交替地由第二絕緣膜7涂覆。外部電極8和9安裝在槽5的兩側(cè)，更準(zhǔn)確地說，就是基座的絕緣膜6和7放置的部分。因此，沒有以第一絕緣膜6涂覆的外部電極4連接到外部電極8，和沒有通過第二絕緣膜7涂覆的外部電極4連接到外部電極9。換句話說，內(nèi)部電極4交替的連接到外部電極8和9。
在壓電元件1中，外部電極8和9用作輸入/輸出電極。因為電場加在相鄰內(nèi)部電極4除了基座2兩端之外的所有部分，壓電元件1的部分成為壓電有效的。然而，因為基座2的極化在基座2的兩端不執(zhí)行，和在基座2的兩端的表面上沒有形成電極，所以沒有加上電場并且這部分變成壓電不激活。因此，通過在外部電極8和9之間輸入一個信號，基座2的縱向方向上的交流電場被加到激活部分的每一個壓電層3，在每一個壓電層3產(chǎn)生擴展驅(qū)動力，縱向振動模式的基本振動通過基座2作為一個整體被激發(fā)。另外，盡管在基座2的兩端提供有不激活部分，但是該不激活部分不是絕對必需的。即整個基座2可以是壓電有效的。
如圖5所示，凸?fàn)畹碾妼?dǎo)支撐體10和11被固定在壓電元件1的外部電極8和9的縱向中心部分(節(jié)點部分)。上述電導(dǎo)支撐體10和11將壓電元件1的外部電極8和9連接和固定到基底20的布圖電極21和22。在應(yīng)用一個電導(dǎo)膏的涂覆使得在外部電極8和9上有一個預(yù)定厚度之后，使膏體硬化，因此就完成了電導(dǎo)支撐體10和11。電導(dǎo)支撐體10和11最好包括包含銀填充物的氨基甲酸乙酯樹脂。最好相對于氨基甲酸乙酯樹脂的銀填充物的數(shù)量大約占重量的75％～85％。
壓電元件的結(jié)構(gòu)沒有嚴(yán)格的限定在如圖5所示的，而是可以修改成圖6所示的結(jié)構(gòu)。在這樣的壓電元件1中，交替地層疊的在圖7中所示的兩種壓電層3a合3b，內(nèi)部電極4被安排暴露在基座2一側(cè)表面的兩行上。內(nèi)部電極4通過交替地放置外部電極8和9在內(nèi)部電極4暴露在兩行上的部分與外部電極8和9相連接。在這種情況下，槽5是不需要的。并且電導(dǎo)支撐體10和11最好固定到外部電極8和9的縱向中心上(節(jié)點部分)。
基底20最好包括一個絕緣薄板，該板具有實質(zhì)上的矩形形狀和也由包括氧化鋁陶瓷材料、玻璃陶瓷、玻璃環(huán)氧樹脂、防熱樹脂或其它合適材料之一的材料構(gòu)成的；和輸入側(cè)和輸出側(cè)的布圖電極21和22通過眾所周知的過程放置在基底20的頂部，例如噴鍍、汽相沉積、和印刷。每一個布圖電極21和22的外部連接部分通過基底20的側(cè)邊延伸到它的后表面。利用布圖電極21和22內(nèi)側(cè)的側(cè)邊部分，固定到電導(dǎo)元件1的外部電極的8和9的縱向中心部分(節(jié)點部分)的電導(dǎo)支撐體10和11通過電導(dǎo)膠粘劑12和13被固定。作為電導(dǎo)膠粘劑12和13，例如使用包括73％重量的銀填充物的環(huán)氧基膠粘劑。因此，用于定義壓電元件1的輸入和輸出電極的外部電極8和9分別電連接到基底20的布圖電極21和22。此外，通過電導(dǎo)支撐體10和11，壓電元件1水平的附著到基底20上，并在壓電元件1的兩端和基底20之間提供了一個預(yù)定的間隙。
在基底20上，覆蓋壓電元件1的頂蓋30以絕緣膠粘劑31粘附。并且壓電元件1的外圍是密封的。盡管此最佳實施例的頂蓋30最適于通過執(zhí)行壓制形成一個金屬板形成，該頂蓋也可以是一個樹脂頂蓋或一個陶瓷頂蓋。
圖8顯示通過使用三種壓電元件(A)、(B)和(C)測量相位特性和阻抗特性的結(jié)果，其中用于定義電導(dǎo)支撐體10和11的銀填充物和氨基甲酸乙酯樹脂的含量比分別由大約85∶15、81∶19和75∶25構(gòu)成。
這里，如圖9所示，壓電元件1的長度方向的尺寸L、支撐體10和11的寬度W1、支撐體10和11的膠粘表面的長度W2、支撐體10和11的高度t1、電導(dǎo)膠粘劑12和13的厚度t2和基底20的尺寸設(shè)置如下L＝4.32毫米W1＝1.0-1.2毫米W2＝0.6-0.8毫米t1＝140-170微米t2＝30-40微米基底尺寸為9.5毫米×6.5毫米×0.5毫米的氧化鋁基底如圖8所示，當(dāng)含量比大約是85∶15時，在高帶通一側(cè)產(chǎn)生了某些相位混亂。而當(dāng)含量比率是大約81∶19時，相位混亂是很難產(chǎn)生的，而當(dāng)含量比大約75∶25時，相位混亂還是很小。另外，當(dāng)銀填充物和氨基甲酸乙酯樹脂的含量比超過大約85∶15時，相位混亂就會突然增加。因此，顯示當(dāng)銀填充物的百分比組分減小時，通過電導(dǎo)支撐體10和11發(fā)射到基底20的壓電元件1的振動被阻止。另外，考慮阻抗特性，獲得了有利取樣的3種類型。
圖10顯示當(dāng)改變銀填充物相對于氨基甲酸乙酯樹脂的含量比為大約81％至85％的重量時的相位失真測量結(jié)果。另外，相位失真是測量從連接相位曲線的頂點的直線開始的降低量，如圖11所示的。圖11清楚的表示，直到銀含量的重量約為85％，相位失真是低的。然而，當(dāng)銀重量含量大約85％時，證明了相位失真和它的擴散是大的。因而，在相位失真和振動擴散之間是相關(guān)的。在阻抗電路中為了不被寄生波動影響，希望使銀的重量含量大約84％或更小。
圖12顯示了當(dāng)改變電導(dǎo)支撐體10和11的銀填充物的含量時電導(dǎo)性質(zhì)的改變。
這里，當(dāng)使用兩種類型的氨基甲酸乙酯樹脂時，電導(dǎo)支撐體10和11的厚度為兩種類型，一個類型有20微米的厚度和另一個有類型200微米的厚度。這就產(chǎn)生了總共4種類型的取樣，并且計算銀填充物和特定電阻的關(guān)系。
如圖12所示，當(dāng)電導(dǎo)支撐體10和11的厚度是大約200微米時，銀填充物重量含量大約是70％或更多和特定電阻變得小于20×10-4(歐姆×厘米)和獲得滿意的電導(dǎo)性。另一方面，當(dāng)電導(dǎo)支撐體10和11的厚度大約是20微米時，銀填充物的重量含量最好是大約79％或更多。特定電阻減少到小于20×10-4(歐姆×厘米)，然后獲得了滿意的電導(dǎo)性。因此，假如銀填充物的重量含量是大約79％或更多，則在不管支撐體的厚度的情況下就可以獲得穩(wěn)定的電導(dǎo)性。
圖13顯示按照電導(dǎo)支撐體10和11的溫度改變的楊氏模量的改變。在圖13中，在(A)中相對于氨基甲酸乙酯樹脂的銀填充物含量的重量的百分比最好是大約85％，在(B)中重量最好是大約83％，在(C)中重量它可能是大約81％。
同樣，在大約-20℃，預(yù)定的相位特性和阻抗特性是需要用于壓電諧振元件的期望的特性。假如銀填充物的含量的數(shù)值是重量的大約85％或更小時，如圖13清楚的顯示因為楊氏模量在大約-20℃處將變得小于1.00E+09(Pa)，所以楊氏模量可以維持低和從壓電元件1到基底20的振動傳播可也以被有效的消除。
盡管表面安裝型振蕩器的實例被顯示為在上述的最佳實施中的一個壓電諧振元件，但本發(fā)明不只限于這一點。本發(fā)明可以應(yīng)用到一個梯形濾波器或其它合適的設(shè)備。
盡管在圖5和圖6所示的上面最佳實施例中描述了包括具有多個壓電層的多層體的縱向振動模式元件的壓電元件1、1′，但本發(fā)明并沒有限制這些最佳實施例。本發(fā)明也可以應(yīng)用到一個縱向振動模式元件，其中電極被安置在一個壓電基底的所有兩個主表面上。
此外，壓電元件不限制于具有僅僅在元件的下表面提供電極的元件，而且它也可以包括在壓電元件的上下表面都提供電極的壓電元件。在這種情況下，基底的上表面電極和布圖電極可以經(jīng)由引線焊接或其它合適的元件連接。
按照本發(fā)明的最佳實施例，在一個壓電諧振元件中，其中壓電元件的下表面電極的縱向中心部分通過一個電導(dǎo)支撐體體固定到基底的布圖電極，因為電導(dǎo)支撐體包括含有電導(dǎo)填充物并且電導(dǎo)填充物的成分的重量約為75％～85％的的氨基甲酸乙酯樹脂，它可以消除傳送到基底的壓電元件的振動和阻止從產(chǎn)生在相位特性或阻抗波形上的波形失真。此外，安全而可靠的達(dá)到綽綽有余的電導(dǎo)性。
此外，因為電導(dǎo)支撐體有橡膠彈性，即使擊打力加在其上面，因為電導(dǎo)支撐體的彈性，所以擊打力也被吸收了。因而擊打力沒有影響或損環(huán)壓電元件，因此可靠的阻止了壓電元件的脫落或斷開。
雖然已經(jīng)披露本發(fā)明的最佳實施例，在這里披露的執(zhí)行該原理的各種方式已經(jīng)計劃包含在隨后的權(quán)利要求的范圍內(nèi)。因此，應(yīng)該理解除了權(quán)利要求中的另外闡述外，本發(fā)明的范圍沒有被限制。
權(quán)利要求
1.一種壓電諧振元件，包括一個基底，在它的上表面上具有一個布圖電極；一個壓電元件，在縱向模式下振動和具有一個安置在基底的下表面的電極；一個電導(dǎo)支撐體，安置在上述壓電諧振元件的縱向中心上和上述壓電元件的下表面電極上；其中電導(dǎo)支撐體包括一個電導(dǎo)膠粘劑并且通過該電導(dǎo)膠粘劑被固定到基底的布圖電極上，電導(dǎo)支撐體還包括含有電導(dǎo)填充物的氨基甲酸乙酯樹脂，電導(dǎo)填充物大約是電導(dǎo)支撐體重量的75％～85％。
2.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中上述的壓電元件包括具有在長度方向上在一起層疊的多個壓電層和多個內(nèi)部電極的柱形基座；安裝兩個外部電極，以便在基座的一側(cè)表面上交替的和內(nèi)部電極連接，并且壓電層的極化是沿著基座的長度方向進行的。
3.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中電導(dǎo)支撐體位于壓電元件的節(jié)點上。
4.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中氨基甲酸乙酯樹脂包括一種橡膠彈性材料。
5.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中的電導(dǎo)填充物包括銀、銅、銀和銅、和金中的一個金屬。
6.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中極化的方向、電場的方向和壓電元件的振動方向是相同的。
7.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，進一步包括安置在壓電元件的整個表面上的一個輸入電極和一個輸出電極。
8.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中壓電元件有一個實質(zhì)上是矩形的基座。
9.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座包括交替地層疊的由壓電陶瓷材料構(gòu)成的多個壓電層和多個內(nèi)部電極。
10.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座是沿著整個基座壓電有效的。
11.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座是沿著基座的第一部分是壓電有效的和沿著基座的第二部分是壓電有效的。
12.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座在它的兩端是沒有壓電無效的。
13.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座具有在基座的縱向方向上延伸的表面上形成的槽。
14.按照權(quán)利要求8的壓電諧振元件，其中基座具有在其表面上安裝的第一和第二絕緣膜。
15.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中電導(dǎo)支撐體是凸?fàn)畹摹?br> 16.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，進一步包括在壓電元件的縱向中心部分上安放的一對電導(dǎo)支撐體。
17.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中基底包括具有實質(zhì)上是矩形的絕緣薄板。
18.按照權(quán)利要求1的壓電諧振元件，其中基底是由氧化鋁陶瓷材料、玻璃陶瓷、玻璃環(huán)氧樹脂和防熱樹脂之一構(gòu)成的。
全文摘要
通過設(shè)計電導(dǎo)支撐體的成分來抑制傳送到基底的壓電元件的振動,這樣可提供保證電導(dǎo)性和能夠維持落下試驗振動特性的壓電諧振元件。壓電諧振元件在它的上表面上有一個基底20形成布圖電極21和22,在它的下表面有電極8和9。它具有在基底20上使用長度振動的壓電元件1。電導(dǎo)支撐體10和11被固定到壓電元件1的下表面電極的長度方向中心部分。電導(dǎo)支撐體10和11到基底20的布圖電極21和22和連接固定是通過電導(dǎo)膠粘劑12和13進行的。電導(dǎo)支撐體10和11包括含有電導(dǎo)填充物的氨基甲酸乙酯樹脂,并使電導(dǎo)填充物的含量為重量的75%－85%。
文檔編號H03H9/00GK1328379SQ0112205
公開日2001年12月26日 申請日期2001年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月14日
發(fā)明者草開重雅, 山崎武志, 小杉裕二 申請人:株式會社村田制作所