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偏壓電源瞬態(tài)保護電路的制作方法

文檔序號:11593380閱讀:531來源:國知局

本發(fā)明涉及電源驅(qū)動電路技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及到偏壓電源瞬態(tài)保護電路。



背景技術(shù):

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,mbe分子束外延,pld激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材?;c靶材同在真空腔中。

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。

偏壓電源(biaspowersupply)是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設(shè)備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓。

偏壓電源是真空鍍膜中有著重要的作用,關(guān)系到鍍膜的附著力,光潔度,色差等參數(shù),特別是大功率電源在抑制打火的現(xiàn)象尤為重要,即要保證正常使用,又不能出現(xiàn)打火。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理,使用方便的偏壓電源瞬態(tài)保護電路,它解決了上述的這些問題。

采用以下的技術(shù)方案:

偏壓電源瞬態(tài)保護電路,包括pwm驅(qū)動器,所述pwm驅(qū)動器連接至少一個pwm電路,所述pwm驅(qū)動器同時電連接時間調(diào)節(jié)電路,所述時間調(diào)節(jié)電路連接電壓比較器芯片,所述電壓比較器芯片連接霍爾電路。

優(yōu)選地,所述電壓比較器芯片為lm319、lm339、lm393、lm319d、lm311其中的一種。

優(yōu)選地,所述電壓比較器芯片為靈敏度25-50毫伏。

優(yōu)選地,所述電壓比較器芯片的建立時間為70-90ns。

優(yōu)選地,電壓比較器芯片的反相輸入端加一個固定的參考電壓,它的值取決于r1于r2,ur=r2/(r1+r2)*ucc,同相端的電壓就等于熱敏元件rt的電壓降,當(dāng)機內(nèi)溫度為設(shè)定值以下時,“+”端電壓大于“-”端電壓,uo為高電位,當(dāng)溫度上升為設(shè)定值以上時,“-”端電壓大于“+”端,比較器反轉(zhuǎn),uo輸出為零電位。

本發(fā)明的有益效果包括:

使用本發(fā)明的保護電路,即不出現(xiàn)打火,又能保證電源的穩(wěn)定工作,從而大大的提高了膜層的穩(wěn)定性。本發(fā)明的保護電路特別適用于真空鍍膜機,壽命長,成本低,使用方便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明偏壓電源瞬態(tài)保護電路電路圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例對本發(fā)明內(nèi)容作進一步說明。

偏壓電源瞬態(tài)保護電路,包括pwm驅(qū)動器,所述pwm驅(qū)動器連接至少一個pwm電路,所述pwm驅(qū)動器同時電連接時間調(diào)節(jié)電路,所述時間調(diào)節(jié)電路連接電壓比較器芯片,所述電壓比較器芯片連接霍爾電路。

所述電壓比較器芯片為lm319、lm339、lm393、lm319d、lm311其中的一種。

所述電壓比較器芯片為靈敏度25-50毫伏。

所述電壓比較器芯片的建立時間為70-90ns。

電壓比較器芯片的反相輸入端加一個固定的參考電壓,它的值取決于r1于r2,ur=r2/(r1+r2)*ucc,同相端的電壓就等于熱敏元件rt的電壓降,當(dāng)機內(nèi)溫度為設(shè)定值以下時,“+”端電壓大于“-”端電壓,uo為高電位,當(dāng)溫度上升為設(shè)定值以上時,“-”端電壓大于“+”端,比較器反轉(zhuǎn),uo輸出為零電位,使保護電路動作,調(diào)節(jié)r1的值可以改變門限電壓,既設(shè)定溫度值的大小。

原理如下:

電壓比較器它可用作模擬電路和數(shù)字電路的接口,還可以用作波形產(chǎn)生和變換電路等。利用簡單電壓比較器可將正弦波變?yōu)橥l率的方波或矩形波。

電壓比較器是對輸入信號進行鑒別與比較的電路,是組成非正弦波發(fā)生電路的基本單元電路。

常用的電壓比較器有單限比較器、滯回比較器、窗口比較器、三態(tài)電壓比較器等。

電壓比較器可以看作是放大倍數(shù)接近“無窮大”的運算放大器。

電壓比較器的功能:比較兩個電壓的大小(用輸出電壓的高或低電平,表示兩個輸入電壓的大小關(guān)系):

當(dāng)”+”輸入端電壓高于”-”輸入端時,電壓比較器輸出為高電平;

當(dāng)”+”輸入端電壓低于”-”輸入端時,電壓比較器輸出為低電平;

可工作在線性工作區(qū)和非線性工作區(qū)。

工作在線性工作區(qū)時特點是虛短,虛斷;

工作在非線性工作區(qū)時特點是跳變,虛斷;

由于比較器的輸出只有低電平和高電平兩種狀態(tài),所以其中的集成運放常工作在非線性區(qū)。從電路結(jié)構(gòu)上看,運放常處于開環(huán)狀態(tài),又是為了使比較器輸出狀態(tài)的轉(zhuǎn)換更加快速,以提高響應(yīng)速度,一般在電路中接入正反饋。

簡單的電壓比較器結(jié)構(gòu)簡單,靈敏度高,但是抗干擾能力差,因此我們就要對它進行改進。改進后的電壓比較器有:滯回比較器和窗口比較器。

是通過反饋回路和輸入回路的確定“運算參數(shù)”,比如放大倍數(shù),反饋量可以是輸出的電流或電壓的部分或全部。而比較器則不需要反饋,直接比較兩個輸入端的量,如果同相輸入大于反相,則輸出高電平,否則輸出低電平。電壓比較器輸入是線性量,而輸出是開關(guān)(高低電平)量。一般應(yīng)用中,有時也可以用線性運算放大器,在不加負反饋的情況下,構(gòu)成電壓比較器來使用。

本發(fā)明針對真空覆膜機高頻的特點,使用電壓比較器芯片,所述電壓比較器芯片為靈敏度25-50毫伏。所述電壓比較器芯片的建立時間為70-90ns。最大限度的保護了pwm驅(qū)動器的安全。

本說明書列舉的僅為本發(fā)明的較佳實施方式,凡在本發(fā)明的工作原理和思路下所做的等同技術(shù)變換,均視為本發(fā)明的保護范圍。



技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供偏壓電源瞬態(tài)保護電路,包括PWM驅(qū)動器,所述PWM驅(qū)動器連接至少一個PWM電路,所述PWM驅(qū)動器同時電連接時間調(diào)節(jié)電路,所述時間調(diào)節(jié)電路連接電壓比較器芯片,所述電壓比較器芯片連接霍爾電路。使用本發(fā)明的保護電路,即不出現(xiàn)打火,又能保證電源的穩(wěn)定工作,從而大大的提高了膜層的穩(wěn)定性。本發(fā)明的保護電路特別適用于真空鍍膜機,壽命長,成本低,使用方便。

技術(shù)研發(fā)人員:武文全
受保護的技術(shù)使用者:佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.16
技術(shù)公布日:2017.08.08
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