1.一種測量PERC太陽電池局域接觸空洞的裝置,其特征在于:包括,
吸附臺,吸附臺通過真空泵產(chǎn)生負壓從而吸附太陽電池;
設置于吸附臺上方的刮刀,刮刀的刮頭可在第一動力裝置的作用下下壓抵靠在太陽電池片的表面的鋁層上,刮頭同時可在第二動力裝置的作用下在水平方向往復移動;
固定設置于刮頭兩側(cè)的吸塵裝置,吸塵裝置的吸塵頭與真空泵連接,在刮頭工作過程中產(chǎn)生負壓將刮頭刮下來的碎屑吸走;以及,
圖像掃描儀和硅片尋邊系統(tǒng),圖像掃描儀的掃描頭和硅片尋邊系統(tǒng)設置于吸附臺上方,并可在第三動力裝置的作用下在水平方向往復移動;
所述的第一動力裝置、第二動力裝置、第三動力裝置以及圖像掃描頭和硅片尋邊系統(tǒng)與一計算機連接;計算機輸出控制信號控制第一動力裝置、第二動力裝置、第三動力裝置以及圖像掃描頭和硅片尋邊系統(tǒng)的動作,同時接收圖像掃描頭和硅片尋邊系統(tǒng)輸入的信息,經(jīng)處理后,輸出和顯示結(jié)果。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量PERC太陽電池局域接觸空洞的裝置,其特征在于:所述刮頭下壓對電池片的壓強范圍為1- 100 Pa,刮頭水平方向移動的速度為0.001-2 m/s。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量PERC太陽電池局域接觸空洞的裝置,其特征在于:所述吸塵頭安置于刮刀兩側(cè),兩側(cè)的吸塵頭同時工作,吸力范圍為10-1000 mbar,進風量為102 m3/h 到5000 m3/h,所述圖像掃描儀的精度為300 DPI – 4800 DPI。