技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種應(yīng)用于ALD設(shè)備的浪涌電流抑制電路，包括電源輸入端、單向?qū)娐?、預(yù)充電電阻、電子開關(guān)、門極電壓緩啟動(dòng)電路以及電源輸出端，電源輸入端與單向?qū)娐返妮斎攵诉B接，單向?qū)娐返妮敵龆伺c預(yù)充電電阻的輸入端連接，預(yù)充電電阻的輸出端與電源輸出端連接，單向?qū)娐返妮敵龆伺c電子開關(guān)的第一輸入端連接，電子開關(guān)的輸出端與電源輸出端連接，電源輸入端與快速放電電路的輸入端連接，快速放電電路的輸出端與門極電壓緩啟動(dòng)電路的輸入端連接，門極電壓緩啟動(dòng)電路的輸出端與電子開關(guān)的第二輸入端連接；與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果：浪涌電流抑制效果好，能滿足頻繁上電斷電時(shí)的浪涌抑制要求；浪涌電流閥值易于配置；相對(duì)于集成IC方案具有成本低，可替換型號(hào)多，采購方便的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：呂燚;石世光;駱昊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)中山學(xué)院
文檔號(hào)碼：201611084584
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.30
技術(shù)公布日：2017.01.11