本發(fā)明涉及將直流變換為高頻的交流而輸出的電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置、包含該驅(qū)動(dòng)控制裝置的電源裝置以及從該電源裝置受到電力的供給的放電加工機(jī)。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，已知將直流變換為交流的電源裝置。在上述電源裝置中設(shè)置有多個(gè)半導(dǎo)體元件，通過對(duì)該多個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行并聯(lián)驅(qū)動(dòng)，從而將直流變換為交流。但是，在對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行并聯(lián)驅(qū)動(dòng)的電路或者裝置中，根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)條件或者安裝條件的不同，有時(shí)電流集中于一部分的半導(dǎo)體元件，發(fā)生熱破壞。此外，作為安裝條件，能夠例示出配線的阻抗。為了防止上述熱破壞而不斷進(jìn)行各種開發(fā)。

在作為一個(gè)例子的專利文獻(xiàn)1中，通過以預(yù)定的周期對(duì)按照控制部的指令而選擇出的任意1個(gè)或者多個(gè)電壓驅(qū)動(dòng)型元件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而使通斷損耗分散，但是與將并聯(lián)連接的電壓驅(qū)動(dòng)型元件全部同時(shí)進(jìn)行通斷的情況相比，由于1個(gè)或者多個(gè)電壓驅(qū)動(dòng)型元件的導(dǎo)通損耗增加，因此以下述方式進(jìn)行切換，即，對(duì)通斷損耗和穩(wěn)態(tài)損耗的大小進(jìn)行比較，在通斷損耗比穩(wěn)態(tài)損耗大的情況下對(duì)電壓驅(qū)動(dòng)型元件交替地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，在通斷損耗不比穩(wěn)態(tài)損耗大的情況下同時(shí)對(duì)電壓驅(qū)動(dòng)型元件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，其中，該控制部對(duì)多相逆變器的通斷動(dòng)作進(jìn)行控制。該動(dòng)作示出于專利文獻(xiàn)1的圖3、4所示的流程圖。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007－74771號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

但是，根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)，進(jìn)行通斷損耗和穩(wěn)態(tài)損耗的大小判定，按照該大小判定的結(jié)果而決定是交替地驅(qū)動(dòng)、還是同時(shí)驅(qū)動(dòng)作為電壓驅(qū)動(dòng)型元件的IGBT（Insulated Gate Bipolar Transistor）。因此，根據(jù)大小判定的結(jié)果的不同，存在各IGBT的驅(qū)動(dòng)次數(shù)發(fā)生波動(dòng)、發(fā)熱發(fā)生不均這一問題。另外，上述現(xiàn)有技術(shù)是包含對(duì)電動(dòng)機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的IGBT的多相逆變器，與放電加工機(jī)的電源裝置相比，載波頻率較低，難以適用于像放電加工機(jī)這樣以高頻的載波頻率受到驅(qū)動(dòng)的裝置的電源裝置。

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的在于得到一種電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置，該電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置能夠使高頻的電源裝置的發(fā)熱均勻，并且穩(wěn)定地供給電流，而不進(jìn)行判定動(dòng)作。

為了解決上述課題，實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明是一種電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置，其構(gòu)成為，該電源裝置具有：多對(duì)開關(guān)橋臂，其由并聯(lián)連接的多個(gè)開關(guān)元件構(gòu)成；以及多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，其按照通斷指令而將柵極信號(hào)輸出至所述多個(gè)開關(guān)元件中的各個(gè)開關(guān)元件，該電源裝置從橋接連接了所述多對(duì)開關(guān)橋臂的電路輸出交流，該電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置的特征在于，具有：設(shè)定部，其按照輸入來的加工條件而對(duì)動(dòng)作條件進(jìn)行設(shè)定；以及振蕩器，其按照所述動(dòng)作條件而輸出所述通斷指令，各所述開關(guān)橋臂以第1模式和第2模式受到驅(qū)動(dòng)，該第1模式是將受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的全部開關(guān)元件同時(shí)進(jìn)行通斷的模式，該第2模式是不將受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的全部開關(guān)元件同時(shí)進(jìn)行通斷的模式，在所述第1及第2模式各自下，使所述多對(duì)開關(guān)橋臂內(nèi)的全部開關(guān)元件的接通次數(shù)相等，在進(jìn)行了所述第1模式和所述第2模式中的一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)時(shí)，還進(jìn)行另一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)。

發(fā)明的效果

本發(fā)明所涉及的電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置具有下述效果，即，能夠使高頻的電源裝置的發(fā)熱均勻，并且穩(wěn)定地供給電流，而不進(jìn)行判定動(dòng)作。

附圖說明

圖1是表示實(shí)施方式所涉及的電源裝置、該電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置以及放電加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。

圖2是從實(shí)施方式中的驅(qū)動(dòng)控制裝置內(nèi)的振蕩器輸出的通斷指令的時(shí)序圖的一個(gè)例子。

圖3是實(shí)施方式中的開關(guān)元件以及驅(qū)動(dòng)該開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器的時(shí)序圖的一個(gè)例子。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置、電源裝置以及放電加工機(jī)進(jìn)行詳細(xì)說明。此外，本發(fā)明不限定于本實(shí)施方式。

實(shí)施方式

圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的電源裝置、該電源裝置的驅(qū)動(dòng)控制裝置以及放電加工機(jī)的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。圖1中示出電源裝置1、電源裝置1的驅(qū)動(dòng)控制裝置2以及作為電源裝置1所連接的設(shè)備的一個(gè)例子的放電加工機(jī)5。

電源裝置1具有：直流電源10；開關(guān)橋臂11、13，其與直流電源10的正極側(cè)連接；以及開關(guān)橋臂12、14，其與直流電源10的負(fù)極側(cè)連接，開關(guān)橋臂11和開關(guān)橋臂12串聯(lián)連接，開關(guān)橋臂13和開關(guān)橋臂14串聯(lián)連接。開關(guān)橋臂11由下述部件構(gòu)成，即：驅(qū)動(dòng)器21、22；開關(guān)元件31，從驅(qū)動(dòng)器21向該開關(guān)元件31輸入柵極信號(hào)；以及開關(guān)元件32，其與開關(guān)元件31并聯(lián)連接，從驅(qū)動(dòng)器22向該開關(guān)元件32輸入柵極信號(hào)。開關(guān)橋臂12由下述部件構(gòu)成，即：驅(qū)動(dòng)器23、24；開關(guān)元件33，從驅(qū)動(dòng)器23向該開關(guān)元件33輸入柵極信號(hào)；以及開關(guān)元件34，其與開關(guān)元件33并聯(lián)連接，從驅(qū)動(dòng)器24向該開關(guān)元件34輸入柵極信號(hào)。開關(guān)橋臂13由下述部件構(gòu)成，即：驅(qū)動(dòng)器25、26；開關(guān)元件35，從驅(qū)動(dòng)器25向該開關(guān)元件35輸入柵極信號(hào)；以及開關(guān)元件36，其與開關(guān)元件35并聯(lián)連接，從驅(qū)動(dòng)器26向該開關(guān)元件36輸入柵極信號(hào)。開關(guān)橋臂14由下述部件構(gòu)成，即：驅(qū)動(dòng)器27、28；開關(guān)元件37，從驅(qū)動(dòng)器27向該開關(guān)元件37輸入柵極信號(hào)；以及開關(guān)元件38，其與開關(guān)元件37并聯(lián)連接，從驅(qū)動(dòng)器28向該開關(guān)元件38輸入柵極信號(hào)。此外，從驅(qū)動(dòng)器21、22、23、24、25、26、27、28將各自獨(dú)立的柵極信號(hào)輸出至開關(guān)元件31、32、33、34、35、36、37、38。

電源裝置1的驅(qū)動(dòng)控制裝置2具有：設(shè)定部4，其按照輸入來的加工條件而對(duì)動(dòng)作條件進(jìn)行設(shè)定；以及振蕩器3，其按照該動(dòng)作條件，將開關(guān)元件31、32、33、34、35、36、37、38的通斷指令各自獨(dú)立地輸出至各驅(qū)動(dòng)器21、22、23、24、25、26、27、28。在這里，加工條件的一個(gè)例子是通過輸入裝置從外部輸入的被加工物的形狀數(shù)據(jù)。

在放電加工機(jī)5中示出受到加工的被加工物6及放電加工用電極即電極7。電極7電連接于電源裝置1的開關(guān)橋臂11和開關(guān)橋臂12之間，被加工物6電連接于電源裝置1的開關(guān)橋臂13和開關(guān)橋臂14之間，通過從電源裝置1輸出的交流而在被加工物6和電極7之間發(fā)生放電，使被加工物6被加工為與加工條件相符的形狀。

圖2是從振蕩器3輸出的通斷指令的時(shí)序圖的一個(gè)例子。如圖2所示，加工期間t4包含反復(fù)進(jìn)行通斷的脈沖輸出期間t2以及對(duì)驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂進(jìn)行切換的斷開期間t3，脈沖輸出期間t2包含多個(gè)以脈沖寬度t1示出的對(duì)開關(guān)元件進(jìn)行接通的期間。此外，如圖2所示，在下一個(gè)脈沖輸出期間，輸出相反極性的脈沖。即，將正的脈沖輸出期間的下一個(gè)脈沖輸出期間設(shè)為負(fù)的脈沖輸出期間，將負(fù)的脈沖輸出期間的下一個(gè)脈沖輸出期間設(shè)為正的脈沖輸出期間。

圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式中的開關(guān)元件以及驅(qū)動(dòng)該開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器的時(shí)序圖的一個(gè)例子。在圖3中，在從脈沖輸出期間T1至T4，示出驅(qū)動(dòng)器21、22、23、24、25、26、27、28所輸出的柵極信號(hào)V₂₁、V₂₂、V₂₃、V₂₄、V₂₅、V₂₆、V₂₇、V₂₈、此時(shí)從放電加工機(jī)用電源裝置1輸出的輸出電流I_out以及在開關(guān)元件31、32、33、34、35、36、37、38接通時(shí)流過開關(guān)元件的電流I₃₁、I₃₂、I₃₃、I₃₄、I₃₅、I₃₆、I₃₇、I₃₈。此外，圖3所示的電流是絕對(duì)值。

圖3所示的脈沖輸出期間T1、T2、T3、T4相當(dāng)于將圖2所示的脈沖輸出期間t2和斷開期間t3相加得到的期間，是依據(jù)加工條件而決定的，在加工期間t4，T1＝T2＝T3＝T4。脈沖輸出期間T1、T2、T3、T4是一組，不會(huì)僅進(jìn)行某一者。即，在進(jìn)行脈沖輸出期間T1的加工時(shí)，還進(jìn)行脈沖輸出期間T2的加工，在進(jìn)行脈沖輸出期間T2的加工時(shí)，還進(jìn)行脈沖輸出期間T3的加工，在進(jìn)行脈沖輸出期間T3的加工時(shí)，還進(jìn)行脈沖輸出期間T4的加工。如果將脈沖輸出期間T1、T2的驅(qū)動(dòng)模式改稱為第1模式、將脈沖輸出期間T3、T4的驅(qū)動(dòng)模式改稱為第2模式，則通過第2模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)與通過第1模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)相伴，通過第1模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)與通過第2模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)相伴。另外，在通過第1模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)中，受到驅(qū)動(dòng)的全部開關(guān)元件的接通次數(shù)相等，在通過第2模式進(jìn)行的驅(qū)動(dòng)中，受到驅(qū)動(dòng)的全部開關(guān)元件的接通次數(shù)相等。

在脈沖輸出期間T1、T3，開關(guān)橋臂11、14受到驅(qū)動(dòng)。具體地說，在脈沖輸出期間T1，使開關(guān)橋臂11、14的全部開關(guān)元件即開關(guān)元件31、32、37、38同時(shí)進(jìn)行通斷。在這里，使開關(guān)元件31和開關(guān)元件37同時(shí)進(jìn)行通斷，使開關(guān)元件32和開關(guān)元件38同時(shí)進(jìn)行通斷，如此交替地反復(fù)，但不限定于此。在脈沖輸出期間T3，在從開關(guān)橋臂11、14進(jìn)行輸出時(shí)、即驅(qū)動(dòng)開關(guān)橋臂11、14時(shí)，將開關(guān)橋臂11、14各自的開關(guān)元件中的大于或等于1個(gè)接通，并且將大于或等于1個(gè)開關(guān)元件斷開即可。即，在脈沖輸出期間T3，在各開關(guān)橋臂內(nèi)同時(shí)接通的開關(guān)元件大于或等于1個(gè)，并且小于開關(guān)橋臂內(nèi)的開關(guān)元件的總數(shù)。

在脈沖輸出期間T2、T4，開關(guān)橋臂12、13受到驅(qū)動(dòng)。具體地說，在脈沖輸出期間T2，使開關(guān)橋臂12、13的全部開關(guān)元件即開關(guān)元件33、34、35、36同時(shí)進(jìn)行通斷。在這里，使開關(guān)元件33和開關(guān)元件35同時(shí)進(jìn)行通斷，使開關(guān)元件34和開關(guān)元件36同時(shí)進(jìn)行通斷，如此交替地反復(fù)，但不限定于此。在脈沖輸出期間T4，在從開關(guān)橋臂12、13進(jìn)行輸出時(shí)、即驅(qū)動(dòng)開關(guān)橋臂12、13時(shí)，將開關(guān)橋臂12、13各自的開關(guān)元件中的大于或等于1個(gè)接通，并且將大于或等于1個(gè)開關(guān)元件斷開即可。即，在脈沖輸出期間T4，在各開關(guān)橋臂內(nèi)同時(shí)接通的開關(guān)元件大于或等于1個(gè)，并且小于開關(guān)橋臂內(nèi)的開關(guān)元件的總數(shù)。

此外，脈沖輸出期間T1的通斷次數(shù)和脈沖輸出期間T2的通斷次數(shù)相等，在脈沖輸出期間T1、T2，接通期間的脈沖寬度和斷開期間的脈沖寬度也相等。

另外，脈沖輸出期間T3的通斷次數(shù)和脈沖輸出期間T4的通斷次數(shù)相等，在脈沖輸出期間T3、T4，通電的開關(guān)元件的接通期間的脈沖寬度也恒定。并且，在各脈沖輸出期間T3、T4，各開關(guān)元件的通斷次數(shù)相等。

另外，通過使脈沖輸出期間T1、T2的開關(guān)元件接通時(shí)的電流比脈沖輸出期間T3、T4的開關(guān)元件接通時(shí)的電流小，從而在脈沖輸出期間T1、T2抑制開關(guān)元件的發(fā)熱。具體地說，如圖3所示，在從T1至T4的整個(gè)期間，使輸出時(shí)的輸出電流I_out的峰值相等，使對(duì)輸出時(shí)的輸出電流I_out進(jìn)行時(shí)間積分后的時(shí)間積分值也相等。此外，在圖3中，脈沖輸出期間T1、T2的開關(guān)元件接通時(shí)的電流是脈沖輸出期間T3、T4的開關(guān)元件接通時(shí)的電流的1/2。其原因在于，如果作為一個(gè)例子而著眼于開關(guān)橋臂11，則由于輸出電流I_out的峰值在整個(gè)期間相等，通過在脈沖輸出期間T1使開關(guān)元件31和開關(guān)元件32同時(shí)接通，從而分擔(dān)輸出電流，另一方面，在脈沖輸出期間T3開關(guān)元件31和開關(guān)元件32交替地接通，而不分擔(dān)輸出電流，因此在脈沖輸出期間T1流過開關(guān)元件31、32的電流成為在脈沖輸出期間T3流過開關(guān)元件31、32的電流的1/2。

這樣，能夠抑制脈沖輸出期間T1、T2的各開關(guān)元件的發(fā)熱，但是將柵極信號(hào)輸出至各開關(guān)元件的各驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱大。并且，在脈沖輸出期間T3、T4，雖然各開關(guān)元件的發(fā)熱變大，但是將柵極信號(hào)輸出至各開關(guān)元件的各驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱受到抑制。

另外，將脈沖輸出期間T1和脈沖輸出期間T2設(shè)為一對(duì)，將脈沖輸出期間T3和脈沖輸出期間T4設(shè)為一對(duì)。即，在經(jīng)過脈沖輸出期間T1后經(jīng)過脈沖輸出期間T2，在經(jīng)過脈沖輸出期間T3后經(jīng)過脈沖輸出期間T4。

通過以上述方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，從而在脈沖輸出期間T1、T2，由于電源裝置1的輸出電流是由當(dāng)前受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的并聯(lián)連接的全部開關(guān)元件輸出的，因此能夠抑制每個(gè)開關(guān)元件的發(fā)熱。在脈沖輸出期間T3、T4，由于僅當(dāng)前受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的并聯(lián)連接的開關(guān)元件的一部分輸出電源裝置1的輸出電流，因此能夠抑制驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱。

此外，也可以根據(jù)加工條件、電源裝置的冷卻能力、開關(guān)元件的耐壓或者驅(qū)動(dòng)器的耐壓而將脈沖輸出期間T1、T2、T3、T4各自的期間重復(fù)相同的次數(shù)而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。即，也可以在進(jìn)行2次T1后進(jìn)行2次T2，然后在進(jìn)行2次T3后進(jìn)行2次T4。

通過以上述方式進(jìn)行通斷控制，從而能夠使T1、T2、T3、T4各期間的輸出電流I_out相等，能夠抑制發(fā)熱，并且使發(fā)熱均勻。

以上說明的本實(shí)施方式的電源裝置1的驅(qū)動(dòng)控制裝置2構(gòu)成為，電源裝置1具有：多對(duì)開關(guān)橋臂，其由并聯(lián)連接的多個(gè)開關(guān)元件構(gòu)成；以及多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，其按照通斷指令而將柵極信號(hào)輸出至多個(gè)開關(guān)元件中的各個(gè)開關(guān)元件，電源裝置1從橋接連接了多對(duì)開關(guān)橋臂的電路輸出交流，該電源裝置1的驅(qū)動(dòng)控制裝置2具有：設(shè)定部4，其按照輸入來的加工條件而對(duì)動(dòng)作條件進(jìn)行設(shè)定；以及振蕩器3，其按照動(dòng)作條件而輸出通斷指令，開關(guān)橋臂11、12、13、14以第1模式和第2模式受到驅(qū)動(dòng)，在第1及第2模式各自下，使多對(duì)開關(guān)橋臂11、12、13、14內(nèi)的全部開關(guān)元件的接通次數(shù)相等，在進(jìn)行了第1模式和第2模式中的一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)時(shí)，還進(jìn)行另一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)，其中，該第1模式是將受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的全部開關(guān)元件同時(shí)進(jìn)行通斷的模式，該第2模式是不將受到驅(qū)動(dòng)的開關(guān)橋臂內(nèi)的全部開關(guān)元件同時(shí)進(jìn)行通斷的模式。另外，對(duì)于開關(guān)橋臂11、12、13、14內(nèi)的全部開關(guān)元件，使第1模式下的接通時(shí)的電流的時(shí)間積分值和接通次數(shù)之積，與第2模式下的接通時(shí)的電流的時(shí)間積分值和接通次數(shù)之積相等，在進(jìn)行了第1模式和第2模式中的一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)時(shí)，還進(jìn)行另一個(gè)模式下的驅(qū)動(dòng)。在這里，第1模式相當(dāng)于脈沖輸出期間T1、T2，第2模式相當(dāng)于脈沖輸出期間T3、T4。

根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式，如圖3所示，由于從放電加工機(jī)用電源裝置1輸出的輸出電流I_out的峰值恒定，如果將脈沖寬度t1設(shè)為恒定，則輸出電流I_out的時(shí)間積分值也恒定，因此穩(wěn)定地供給電流，并且均勻地抑制開關(guān)元件及驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱，由此能夠防止熱破壞。另外，通過抑制發(fā)熱，從而能夠?qū)崿F(xiàn)電源裝置的冷卻機(jī)構(gòu)的簡化，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化及低成本化。并且，由于開關(guān)元件及驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱受到抑制，因此能夠提高載波頻率，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)短時(shí)間的放電現(xiàn)象，還能夠提高放電加工機(jī)的加工精度及改善表面粗糙度。

根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式，能夠均勻地抑制發(fā)熱，而不進(jìn)行判定動(dòng)作。另外，還能夠適用于像放電加工機(jī)的電源裝置那樣大于或等于500kHz的高頻的電源裝置。此外，在本實(shí)施方式中，例示并說明了與放電加工機(jī)連接的電源裝置，但本發(fā)明不限定于此。

此外，由于SiC的MOSFET的柵極閾值電壓比Si的MOSFET的柵極閾值電壓低，因此如果使用SiC的MOSFET作為像本實(shí)施方式的電源裝置那樣通過通斷而對(duì)電流進(jìn)行控制的電路的開關(guān)元件，則在柵極信號(hào)的斷開期間中，由于噪聲的影響，開關(guān)元件誤導(dǎo)通。因此，為了防止該情況，需要對(duì)開關(guān)元件的柵極施加反向偏置(bias)。因此，如果使用SiC的MOSFET作為通過通斷而對(duì)電流進(jìn)行控制的電路的開關(guān)元件，則與使用Si的MOSFET的情況相比，開關(guān)元件以及驅(qū)動(dòng)該開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱增加。根據(jù)本實(shí)施方式，由于能夠抑制開關(guān)元件以及驅(qū)動(dòng)該開關(guān)元件的驅(qū)動(dòng)器的發(fā)熱，因此在將設(shè)置于電源裝置的開關(guān)元件設(shè)為SiC的MOSFET的情況下，本發(fā)明的效果尤其顯著。

此外，在圖1中，在每1個(gè)開關(guān)橋臂連接有2個(gè)開關(guān)元件，但本發(fā)明不限定于此，每1個(gè)開關(guān)橋臂的開關(guān)元件也可以大于或等于2個(gè)。

此外，在圖1中，電源裝置1和驅(qū)動(dòng)控制裝置2被獨(dú)立地設(shè)置，但在本發(fā)明中，驅(qū)動(dòng)控制裝置2也可以包含于電源裝置1。

此外，在圖1中，向開關(guān)橋臂11、12、13、14連接有直流電源10，但直流電源10不限定于特定的方式。作為直流電源10，能夠例示出經(jīng)由二極管轉(zhuǎn)換器而將交流變換為直流后由電場電容器進(jìn)行平滑的結(jié)構(gòu)。

此外，在圖1中，驅(qū)動(dòng)器21、22、23、24、25、26、27、28包含于各開關(guān)橋臂11、12、13、14，但本發(fā)明不限定于此。驅(qū)動(dòng)器21、22、23、24、25、26、27、28配置于振蕩器3和開關(guān)元件31、32、33、34、35、36、37、38之間即可。

此外，在本實(shí)施方式中，開關(guān)元件能夠進(jìn)行高速動(dòng)作、能夠生成輸出至放電加工機(jī)的高頻的交流即可，不限定于特定的方式。也可以使用以由碳化硅形成的SiC的MOSFET(Metal－Oxide－Semiconductor Field－Effect Transistor)或者由氮化鎵形成的GaN的MOSFET為代表的寬帶隙半導(dǎo)體的MOSFET作為開關(guān)元件?；蛘撸部梢允褂糜晒栊纬傻腟i的MOSFET。

此外，在圖3中說明了在脈沖輸出期間T1之后配置有脈沖輸出期間T2、在脈沖輸出期間T2之后配置有脈沖輸出期間T3、在脈沖輸出期間T3之后配置有脈沖輸出期間T4的情況，但本發(fā)明不限定于此，也可以在脈沖輸出期間T4之后配置脈沖輸出期間T3，也可以在脈沖輸出期間T3之后配置脈沖輸出期間T2，也可以在脈沖輸出期間T2之后配置脈沖輸出期間T1。

此外，在本實(shí)施方式中將全部脈沖寬度設(shè)為恒定而進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于此。

以上的實(shí)施方式所示的結(jié)構(gòu)表示的是本發(fā)明的內(nèi)容的一個(gè)例子，還能夠與其他的公知技術(shù)組合，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍，還能夠?qū)Y(jié)構(gòu)的一部分進(jìn)行省略、變更。

標(biāo)號(hào)的說明

1 電源裝置，2 驅(qū)動(dòng)控制裝置，3 振蕩器，4 設(shè)定部，5 放電加工機(jī)，6 被加工物，7 電極，10 直流電源，11、12、13、14 開關(guān)橋臂，21、22、23、24、25、26、27、28 驅(qū)動(dòng)器，31、32、33、34、35、36、37、38 開關(guān)元件。