技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多自由度長行程直線電機(jī)，包括沿Y軸方向平行分布的若干個(gè)背鐵、與所述背鐵粘接的若干磁鐵陣列和位于所述磁鐵陣列之間的線圈，所述線圈沿Z軸方向從所述磁鐵陣列一側(cè)延展，還包括位置與所述線圈對應(yīng)的導(dǎo)磁塊，所述導(dǎo)磁塊中心線位于所述磁鐵陣列沿Z軸的負(fù)方向上。本發(fā)明提供的多自由度長行程直線電機(jī)，通過設(shè)置與線圈對應(yīng)的導(dǎo)磁塊，且導(dǎo)磁塊位于磁鐵陣列中心線沿Z軸的負(fù)方向一側(cè)，當(dāng)直線電機(jī)運(yùn)動時(shí)，導(dǎo)磁塊受磁鐵陣列的作用而產(chǎn)生沿Z軸正向的重力補(bǔ)償力，以抵消負(fù)載產(chǎn)生的沿Z軸方向帶來重力，降低線圈沿Z軸正向的推力壓力，提高了多自由度直線電機(jī)的整體性能，很好地滿足了光刻設(shè)備的高精度定位要求。

技術(shù)研發(fā)人員：段素丙;陳慶生;季漢川;胡兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號碼：201510268897
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.24
技術(shù)公布日：2017.01.04