專利名稱：固態(tài)數(shù)字化射頻電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于電子儀器設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及到一種固態(tài)數(shù)字化射頻電源。
背景技術(shù)：
通常使用的射頻電源分為固態(tài)射頻電源和電子管射頻電源，在已有技術(shù)中，國內(nèi)通用的射頻電源多數(shù)為電子管射頻電源，電源所采用的高壓約1.5KV，使用中表現(xiàn)出干擾大，效率低，而且體積大，主要部分包括射頻振蕩部分，電子管放大部分和高壓供電部件，通過手動調(diào)節(jié)高壓電源，控制功率大小，不能實現(xiàn)計算機通訊和PLC控制。因而工業(yè)應(yīng)用受到限制。本發(fā)明采用固態(tài)器件代替電子管器件制成固態(tài)射頻電源。這種裝置采用高效的直流電源，所有直流電源均采用高效率的開關(guān)電源，直流電源效率可達到87%以上。射頻電源的控制方式全部為數(shù)字化控制方式，精確，方便調(diào)節(jié)，通過CPU與外部計算機或PLC控制通訊。能夠應(yīng)用于自動化要求高的工業(yè)生產(chǎn)和科研中。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型需要解決的技術(shù)問題是，針對已有技術(shù)中通用的射頻電源多數(shù)為電子管射頻電源，其干擾大、效率低，而且體積大，不能實現(xiàn)計算機通信和PLC控制，為了克服這些不足，就需要重新設(shè)計一種固態(tài)射頻電源，電源中全部采用節(jié)能環(huán)保設(shè)計理念，它的控制方式全部為數(shù)字化控制方式，精確且方便調(diào)節(jié)。本實用新型的目的是提供一種固態(tài)數(shù)字化射頻電源。為實現(xiàn)本實用新型目的所采用的技術(shù)方案如下，一種固態(tài)數(shù)字化射頻電源，包括一個整體機箱，機箱前部設(shè)有一塊布有液晶顯示屏、功率調(diào)節(jié)鍵、匹配器控制鍵位的前面板，其特征在于，機箱內(nèi)設(shè)有一塊電路板，電路板上包含有提供能量用的直流電源部分，它連接著射頻功率放大器部分，輸出射頻功率的控制電路部分，以及人機交互部分。所述人機交互部分，包括前面板上的按鍵，液晶顯示屏，通訊部件和CPU處理器。通過前面板按鍵可以設(shè)定參數(shù)，修改參數(shù)和切換工作方式，調(diào)節(jié)功率和開關(guān)射頻等功能。本實用新型的有益效果是，本設(shè)備高效節(jié)能，整機效率可達70%以上，產(chǎn)生同樣500W功率時，傳統(tǒng)產(chǎn)品要消耗IkW電網(wǎng)功率，本發(fā)明產(chǎn)品只消耗720W電網(wǎng)功率。

圖1為固態(tài)數(shù)字化射頻電源整體機箱外形圖；圖2為前面板布局圖；圖3為內(nèi)部電路原理圖。
具體實施方式
參照圖1，圖2，為固態(tài)數(shù)字化射頻電源整體機箱外形圖和前面板布局圖。圖中I為整體機箱外形，2為前面板,其上布有電源開關(guān)2.1,中部為液晶顯示屏2.2,其旁邊為參數(shù)設(shè)定按鍵2.3，包括設(shè)定上、下、返回鍵，右側(cè)為功率調(diào)節(jié)鍵2.4，下方為功率開關(guān)鍵2.5，右側(cè)邊為匹配器控制部分2.6。參照圖3，表示射頻電源內(nèi)部電路原理圖，電路板為3，板上布有提供能量用的直流電源部分3.1，它連接著射頻功率放大器部分3.2，輸出射頻功率控制部分3.3，人機交互部分3.4。本設(shè)備的功能是將交流市電220V，變?yōu)樯漕l固定頻率13.56MHz的電源，輸出射頻信號驅(qū)動產(chǎn)生等離子體或介質(zhì)加熱，應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、新材料等領(lǐng)域的鍍膜、刻蝕、清洗、化學(xué)氣相沉積等設(shè)備。本射頻電源采用射頻功率放大器，包括射頻振蕩，射頻驅(qū)動，射頻功率放大和射頻濾波組成。采用高效率直流開關(guān)電源代替?zhèn)鹘y(tǒng)的通過變壓器變壓，整流濾波得到直流方式；采用橫流機風(fēng)扇節(jié)省空間，使體積比其他射頻電源要更小，風(fēng)道設(shè)計新穎.使噪聲更低。
權(quán)利要求1.一種固態(tài)數(shù)字化射頻電源，包括一個整體機箱，機箱前部設(shè)有一塊布有液晶顯示屏、功率調(diào)節(jié)鍵、匹配器控制鍵位的前面板，其特征在于，機箱內(nèi)設(shè)有一塊電路板，電路板上包含有提供能量用的直流電源部分，它連接著射頻功率放大器部分，輸出射頻功率的控制電路部分，以及人機交互部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)數(shù)字化射頻電源，其特征在于，所述人機交互部分，包括前面板上的按鍵、液晶顯示屏、通訊部件和CPU處理器。
專利摘要一種固態(tài)數(shù)字化射頻電源，屬于電子儀器設(shè)備領(lǐng)域，包括一個整體機箱，機箱前部設(shè)有一塊布有液晶顯示屏、功率調(diào)節(jié)鍵、匹配器控制鍵位的前面板，機箱內(nèi)設(shè)有一塊電路板，電路板上包含有提供能量用的直流電源部分，它連接著射頻功率放大器部分，輸出射頻功率的控制電路部分，以及人機交互部分。本設(shè)備高效節(jié)能，整機效率可達70％以上，產(chǎn)生同樣500W功率時，傳統(tǒng)產(chǎn)品要消耗1kW電網(wǎng)功率，本實用新型產(chǎn)品只消耗720W電網(wǎng)功率。
文檔編號H02M1/00GK203071799SQ20122068558
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月13日
發(fā)明者李樹瑜 申請人:北京吉兆源科技有限公司