專利名稱：線性執(zhí)行機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種線性執(zhí)行機構。尤其是，本發(fā)明涉及一種線性執(zhí)行機構，其中，可以在一對端塊中的任意一個上得到集中管路。
相關技術的說明在普通的該類型線性執(zhí)行機構中，一對左右端塊中的每一個都提供有用于供給和排出作用在活塞上的壓力流體的管路。只能在左右端塊中的一個上形成集中管路。因此，目前需要準備兩種類型的線性執(zhí)行機構，即具有左側出口孔的線性執(zhí)行機構，其中，用于供給和排出的管路通道集中于左端塊；以及具有右側出口孔的線性執(zhí)行機構，其中，用于供給和排出的管路通道集中于右端塊。
因為需要準備兩種類型的線性執(zhí)行機構，即基于單側集中管路并有不同出口孔的線性執(zhí)行機構，因此需要很大的裝置投資。而且，這時需要有兩種類型的、采用不同管路孔位置的端塊，因此，零件數目增加，很難降低生產和維修成本。
發(fā)明簡介本發(fā)明的總目的是提供一種線性執(zhí)行機構，其中，單側集中的管路可以通過改變安裝在線性執(zhí)行機構的一對左右端塊上的連接件的安裝位置而在一對左右端塊中的任意一個上形成，且該對左右端塊可以共同使用。
通過下面的說明并結合附圖，可以更好地理解本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點，附圖中以圖示實例的方式表示了本發(fā)明的優(yōu)選附圖的簡要說明

圖1是示意表示本發(fā)明一個實施例的線性執(zhí)行機構的透視圖；
圖2是沿圖1中的線II-II的縱剖圖；圖3是表示圖1所示的線性執(zhí)行機構的局部切開的平面圖；圖4是表示圖3所示傳感器安裝導軌的安裝位置轉變到右側時的狀態(tài)的局部切開的平面圖；圖5是示意表示本發(fā)明另一實施例的線性執(zhí)行機構的透視圖；圖6是沿圖5中的線VI-VI的縱剖圖；圖7是表示圖5所示的線性執(zhí)行機構的示意側剖圖；以及圖8是表示圖7所示傳感器安裝導軌的安裝位置轉變到右側時的狀態(tài)的示意側剖圖。
優(yōu)選實施例的說明在圖1至4中，參考標號10表示本發(fā)明一個實施例的線性執(zhí)行機構10。
該線性執(zhí)行機構10基本包括一個驅動部分12，該驅動部分12由基于磁體的無桿缸組成；一個滑動器14(活動件)，該滑動器14在驅動部分12的驅動作用下線性往復運動；一個導軌16(導引件)，該導軌16引導滑動器14；一對端塊18a、18b，該對端塊18a、18b分別通過螺紋件20與導軌16的兩端部分相連；以及一個傳感器安裝導軌22(連接件)，該傳感器安裝導軌22分別固定在該對端塊18a、18b上，并布置成基本與導軌16平行。
如圖2所示，驅動部分12包括柱形件28、活塞30和滑塊32。該柱形件28有通孔24，該通孔24起到缸室的作用。柱形件28借助于分別插入通孔24兩端部中的端蓋26a、26b而由該對端塊18a、18b支承。活塞30由磁性材料制成，并可滑動地裝入柱形件28的通孔24中?；瑝K32環(huán)繞柱形件28的外周表面?；瑝K32可以與活塞30一起沿柱形件28的軸向移動。
對流過通道34a、34b的流體流量進行節(jié)流的孔36a、36b形成于端蓋26a、26b內，通道34a、34b與形成于端蓋26a、26b內的第四壓力流體進口/出口孔48a、48b(見圖3)連通，這將在下面介紹。
如圖3所示，端塊18a、18b形成有基本平行于柱形件28的軸線的第一壓力流體進口/出口孔38a、38b和第二壓力流體進口/出口孔40a、40b以及基本垂直于第一壓力流體進口/出口孔38a、38b布置并與其連通的第三壓力流體進口/出口孔42a、42b。
而且，還形成有第一壓力流體通道44a、44b，該第一壓力流體通道44a、44b布置成基本垂直于第二壓力流體進口/出口孔40a、40b并與其連通。第一壓力流體通道44a、44b與柱形件28的通孔24連通。
第二壓力流體通道46a、46b分別基本平行于第三壓力流體進口/出口孔42a、42b而形成，它們與第一壓力流體通道44a、44b連通。與通道34a、34b連通的第四壓力流體進口/出口孔48a、48b分別與第一壓力流體通道44a、44b相連。
這樣，相互連通的第一壓力流體進口/出口孔38a、38b和第三壓力流體進口/出口孔42a、42b起到第一壓力流體連通通道的作用。而且，第二壓力流體進口/出口孔40a、40b、第一壓力流體通道44a、44b和第二壓力流體通道46a、46b起到第二壓力流體連通通道的作用。參考標號50表示密封環(huán)。
如圖2所示，耐磨環(huán)52和刮除器54分別沿軸向裝在活塞30的兩端處。由磁性件制成的五個環(huán)形盤56a至56e組成的第一磁軛(joke)從外部安裝在活塞30的外周表面上。環(huán)形內磁體58a至58d分別插入相鄰環(huán)形盤56a至56e之間。
由多個分開的、由磁性件組成的環(huán)形盤60a至60e組成的第二磁軛內安裝在滑塊32的內周表面上。環(huán)形外磁體62a至62d分別插入相鄰的環(huán)形盤60a至60e之間。環(huán)形盤60a至60e和環(huán)形外磁體62a至62d通過保持環(huán)80并借助于耐磨環(huán)76和分隔件78而固定在滑塊32的內周表面上。
這樣，將安裝在活塞30上的內磁體58a至58d和安裝在滑塊32上的外磁體62a至62d布置成使它們彼此相對，且柱形件28介于它們之間。而且，將它們的磁極布置成能使它們相互吸引。
如圖3所示，沿軸向延伸的通道64形成于傳感器安裝導軌22內。通道64分別借助于管螺栓70a、70b而與端塊18a的第三壓力流體進口/出口孔42a和端塊18b的第二壓力流體通道46b連通，該管螺栓70a、70b分別安裝在形成于傳感器安裝長槽68(見圖1)下側的一對孔中。
形成于傳感器安裝導軌22中的通道64的兩端分別通過鋼珠74而以氣密方式封閉。參考標號84(見圖2)表示螺紋固定在端塊18a、18b上的螺紋件?；瑒悠?4的位移量可通過增大/減小螺紋件84的擰入量而調節(jié)。螺紋固定在滑動器14上的彈性件86(見圖2)在螺紋件84與該彈性件86相抵時起到緩沖的作用。
本發(fā)明實施例的線性執(zhí)行機構10的基本結構如上所述。下面將介紹其操作、功能和效果。
首先，假設用于供給和排出壓力流體的單側集中管路在左側的第一端塊18a上實施。
參考圖3，端塊18a的第一壓力流體通道44a和端塊18b的第二壓力流體進口/出口孔40b和第一壓力流體通道44b分別通過塞子82a至82c而封閉。
另一方面，管螺栓70a、70b分別螺紋固定在端塊18a的第三壓力流體進口/出口孔42a和端塊18b的第二壓力流體通道46b上。第三壓力流體進口/出口孔42a和第二壓力流體通道46b通過傳感器安裝導軌22的通道64相互連通。
因此，端塊18a的第一壓力流體進口/出口孔38a通過第三壓力流體進口/出口孔42a、管螺栓70a的連通通道72a、傳感器安裝導軌22的通道64和管螺栓70b的連通通道72b以及端塊18b上的第二和第一壓力流體通道46b、44b和第四壓力流體進口/出口孔48b而與端蓋26b的通道34b連通。
另一方面，端塊18a的第二壓力流體進口/出口孔40a通過第一壓力流體通道44a和第四壓力流體進口/出口孔48a而與端蓋26a的通道34a連通。
由未示出的壓力流體供給源供給的壓力流體例如壓縮空氣從管路孔P1引入端塊18a的第一壓力流體進口/出口孔38a中。而在未示出的方向控制閥的作用下，端塊18a的第二壓力流體進口/出口孔40a通向外界空氣。
所供給的壓縮空氣從第一壓力流體進口/出口孔38a流過第三壓力流體進口/出口孔42a、管螺栓70a的連通通道72a、傳感器安裝導軌22的通道64和管螺栓70b的連通通道72b。壓縮空氣再流過第二和第一壓力流體通道46b、44b和第四壓力流體進口/出口孔48b，并從通道34b和孔36b引入起到缸室的作用的柱形件28通孔24的第一端部。
另一方面，作為缸室的通孔24的第二端部通過孔36a、通道34a、第四壓力流體進口/出口孔48a和第一壓力流體通道44a以及第二壓力流體進口/出口孔40a而通向外界空氣。
因此，活塞30在引入柱形件28的通孔24中的壓縮空氣的作用下受壓。借助于由環(huán)形盤56a至56e組成的第一磁軛，內磁體58a至58d和活塞30沿柱形件28的通孔24以箭頭Y(見圖3)所示方向整體移動。在該過程中，在通過第一磁軛安裝于活塞30上的內磁體58a至58d的磁場的作用下，外磁體62a至62d被吸引。用于保持住外磁體62a至62d的滑塊32與活塞30整體移動。
當壓縮空氣從管路孔P2供給第二壓力流體進口/出口孔40a，并使第一壓力流體進口/出口孔38a通向外界空氣時，在用于供給和排出的流動通道中的壓縮空氣反向流動，且壓縮空氣被引入柱形件28的通孔24中。因此，活塞30和滑塊32沿圖3中箭頭X所示方向整體移動。
如上所述，當形成于端塊18a中的第一壓力流體進口/出口孔38a和第二壓力流體進口/出口孔40a分別在未示出的方向控制閥的作用下通向外界空氣以供給和排出壓縮空氣時，活塞30和滑塊32整體線性移動。因此，滑動器14執(zhí)行往復運動。
然后，假設通過使傳感器安裝導軌22從圖3所示位置沿箭頭X所示方向進一步移動而使流動通道變化，以實現用于供給和排出壓力流體的單側集中管路，其用于右側的第二端塊18b。
圖4所示為管螺栓70a、70b分別螺紋固定在端塊18a的第二壓力流體通道46a上和端塊18b的第三壓力流體進口/出口孔42b上，并使傳感器安裝導軌22向右移動時的狀態(tài)。
這時，端塊18a的第二壓力流體進口/出口孔40a和第一壓力流體通道44a以及端塊18b的第一壓力流體通道44b分別由塞子82a至82c封閉。實際上，將安裝在端塊18b上的塞子82b簡單拆下并將其安裝到布置于對側的端塊18a上。
端塊18a的第二壓力流體通道46a和端塊18b的第三壓力流體進口/出口孔42b通過管螺栓70a、70b與傳感器安裝導軌22的通道64連通。
端塊18b的第一壓力流體進口/出口孔38b通過管螺栓70b的連通通道72b和傳感器安裝導軌22的通道64以及管螺栓70a的連通通道72a、端塊18a的第二和第一壓力流體通道46a、44a和第四壓力流體進口/出口孔48a而與端蓋26a的通道34a連通。
端塊18b的第二壓力流體進口/出口孔40b通過第一壓力流體通道44b和第四壓力流體進口/出口孔48b與端蓋26b的通道34b連通。
壓縮空氣從管路孔P1向端塊18b的第二壓力流體進口/出口孔40b供給。在未示出的方向控制閥的作用下，端塊18b的第一壓力流體進口/出口孔38b通向外界空氣。
所供給的壓縮空氣從第二壓力流體進口/出口孔40b流過第一壓力流體通道44b和第四壓力流體進口/出口孔48b，并從通道34b引入作為缸室的通孔24的第一端部。作為缸室的第二端部通過通道34a、第四壓力流體進口/出口孔48a和第一和第二壓力流體通道44a、46a以及管螺栓70a的連通通道72a、傳感器安裝導軌22的通道64和管螺栓70b的連通通道72b，并通過第一壓力流體進口/出口孔38b而通向外界空氣。
因此，活塞30在引入柱形件28的通孔24內的壓縮空氣的作用下受壓。內磁體58a至58d和活塞30借助于環(huán)形盤56a至56e沿箭頭Y所示方向移動。
當壓縮空氣從管路孔P2供給，且管路孔P1向外界空氣打開時，在供給和排出通道中的壓縮空氣反向流動，壓縮空氣被引入柱形件28的通孔24中。因此，滑塊32和活塞30沿圖4中箭頭X所示方向整體移動。
因此，當形成于端塊18b內的第一壓力流體進口/出口孔38b和第二壓力流體進口/出口孔40b分別在未示出的方向控制閥的作用下向外界空氣打開以供給和排出壓縮空氣時，活塞30和滑塊32整體線性移動。因此，滑動器14執(zhí)行往復運動。
在本發(fā)明的實施例中，通過使傳感器安裝導軌22沿圖4中向右的方向移動，并將管螺栓70a、70b分別螺紋固定在端塊18a的第二壓力流體通道46a上和端塊18b的第三壓力流體進口/出口孔42b上，可以使第三壓力流體進口/出口孔42b和第二壓力流體通道46a通過通道64相互連通。
如上所述，管螺栓70a、70b具有將傳感器安裝導軌22安裝到端塊18a、18b上的作用。
而且，形成于管螺栓70a、70b中的連通通道72a、72b可分別使傳感器安裝導軌22的通道64與端塊18a的第三壓力流體進口/出口孔42a和端塊18b的第二壓力流體通道46b連通以及分別使傳感器導軌22的通道64與端塊18a的第二壓力流體通道46a和端塊18b的第三壓力流體進口/出口孔42b連通。
因此，在本發(fā)明實施例中，僅通過使傳感器安裝導軌22的安裝位置移動，即可使集中管路集中在端塊18a、18b中的任意一個上。因此，簡化了管路，從而可以縮短管路操作所需的時間。
下面，圖5至8表示了本發(fā)明另一實施例的線性執(zhí)行機構90。線性執(zhí)行機構90中的與前述圖1至4所示部件相同的部件以相同的參考標號表示，且省略對它們的詳細說明。
參考圖5，線性執(zhí)行機構90包括一本體92(導引件)(見圖6)，該本體92成長方體結構；一對端塊96a、96b，該對端塊96a、96b通過螺紋件94a、94b而與本體92的縱向兩端部分相連；以及滑動臺100(活動件)，該滑動臺100可沿以整體方式形成并暴露在本體92上表面上的導軌部分98進行線性往復運動。
如圖6所示，第一開口102形成于沿本體92上表面布置的導軌部分98中，該第一開口102基本成橢圓形以便如后面所述而移動接頭件118。第二開口104形成于本體92的底表面上。而且，基本成圓形截面并分別與第一和第二開口102、104連通的通孔106沿軸向形成于本體92內。
如圖6和7所示，各端塊96a、96b上還形成有柱形部分108a、108b，該柱形部分108a、108b沿形成于本體92內的通孔106凸出。在柱形部分108a、108b中形成有軸向穿透的孔110a、110b。
密封件114通過環(huán)形槽安裝在柱形部分108a、108b的外周表面上。如后面所述，密封件114與帽體件122a、122b滑動接觸，因此，密封件114起到以氣密方式保持由帽體件122a、122b封閉的壓力室124a、124b的作用，這將在后面描述。
柱形的螺栓件116沿垂直于滑動臺100底表面的方向而螺紋固定在滑動臺100上。有角的桶形接頭件118外安裝在螺栓件116的外周表面上?；境删匦谓孛娴臏p震件120安裝在接頭件118一端的外周表面上。減震件120可與滑動臺100、螺栓件116和接頭件118一起整體移動，且該減震件120具有通過與第一開口102的內壁面相抵而減震的作用。
一對帽體件122a、122b彼此反向地布置于接頭件118的側壁面上，該對帽體件122a、122b沿通孔106的軸向延伸，并分別成有底的柱形形狀。接頭件118以并不被迫與帽體件122a、122b接觸的狀態(tài)而以面-面接觸的方式保持住。
各由帽體件122a、122b和柱形部分108a、108b形成的壓力室124a、124b與穿過柱形部分108a、108b的孔110a、110b連通。這樣，壓力流體通過孔110a、110b供給壓力室124a、124b，這樣，壓力流體壓迫帽體件122a、122b的內壁面。
因此，帽體件122a、122b可沿由本體92的通孔106和柱形部分108a、108b的外周表面形成的環(huán)形間隙126a、126b滑動。當帽體件122a、122b沿柱形部分108a、108b的外周表面移動時，滑動臺100借助于以面-面接觸的方式由帽體件122a、122b夾住的接頭件118而以箭頭X或Y所示方向往復運動。這樣，柱形部分108a、108b、密封件114、螺栓件116、接頭件118和帽體件122a、122b起到使滑動臺100沿箭頭X或Y所示方向往復運動的驅動部分的作用。
本發(fā)明另一實施例的線性執(zhí)行機構90的基本結構如上所述。下面將介紹其操作、功能和效果。
首先，假設用于供給和排出壓力流體的單側集中管路在左側的第一端塊96a上實施。
參考圖7，端塊96a的第一壓力流體通道44a、端塊96b的第一壓力流體通道44b以及開口于端塊96b的孔110b的第一端分別通過塞子82a至82c封閉。
而且，管螺栓70a、70b分別螺紋固定在端塊96a的第三壓力流體進口/出口孔42a和端塊96b的第二壓力流體通道46b上。因此，第三壓力流體進口/出口孔42a和第二壓力流體通道46b通過傳感器安裝導軌22的通道64相互連通。
端塊96a的第一壓力流體進口/出口孔38a通過管螺栓70a的連通通道72a和傳感器安裝導軌22的通道64以及管螺栓70b的連通通道72b和端塊96b上的第二和第一壓力流體通道46b、44b而與柱形部分108b的孔110b連通。柱形部分108a的孔110a與帽體件122a的壓力室124a連通。
由未示出的壓力流體供給源供給的壓力流體例如壓縮空氣從管路孔P2引入柱形部分108a的孔110a中。而在未示出的方向控制閥的作用下，端塊96a的第一壓力流體進口/出口孔38a通向外界空氣。
所供給的壓縮空氣引入柱形部分108a的孔110a中，且該壓縮空氣進一步供給由帽體件122a封閉的壓力室124a，以便壓迫帽體件122a的內壁面。因此，帽體件122a沿與柱形部分108a分離的方向(箭頭X所示方向)滑動，同時維持通過密封件114而以氣密方式保持壓力室124a的狀態(tài)。因此，帽體件122a壓迫接頭件118，這樣，滑動臺100通過安裝在接頭件118上的螺栓件116而以箭頭X所示方向移動。
由帽體件122b封閉的壓力室124b通過第一壓力流體進口/出口孔38a而通向外界空氣。接頭件118與滑動臺100一起以箭頭X所示方向移動，同時保持接頭件118由帽體件122a、122b夾住的狀態(tài)。
當壓縮空氣從管路孔P1供給第一壓力流體進口/出口孔38a，且在未示出的方向控制閥的作用下使孔110a向外界空氣打開時，在用于供給和排出的流動通道內的壓縮空氣反向流動，滑動臺100沿圖7中箭頭Y所示方向移動。
然后，假設通過使傳感器安裝導軌22從圖7所示位置沿箭頭X所示方向進一步移動而使流動通道變化，以實現用于供給和排出壓力流體的單側集中管路，以用于右側的第二端塊96b。
圖8所示為管螺栓70a、70b分別螺紋固定在端塊96a的第二壓力流體通道46a上和端塊96b的第三壓力流體進口/出口孔42b上，并使傳感器安裝導軌22向右移動時的狀態(tài)。
這時，端塊96a的第一壓力流體通道44a、開口于端塊96a的孔110a的第一端以及端塊96b的第一壓力流體通道44b分別由塞子82a封閉。
而且，端塊96a的第二壓力流體通道46a和端塊96b的第三壓力流體進口/出口孔42b通過管螺栓70a、70b與傳感器安裝導軌22的通道64連通。
因此，形成于端塊96b中的柱形部分108b的孔110b與帽體件122b的壓力室124b連通。端塊96b的第一壓力流體進口/出口孔38b通過管螺栓70b的連通通道72b、傳感器安裝導軌22的通道64和管螺栓70a的連通通道72a以及端塊96a的第二和第一壓力流體通道46a、44a而與柱形部分108a的孔110a連通。
未示出的壓縮空氣從管路孔P2引入第一壓力流體進口/出口孔38b中。而在未示出的方向控制閥的作用下，孔110b向外界空氣打開。
所供給的壓縮空氣從第二和第一壓力流體通道46a、44a通過第一壓力流體進口/出口孔38b、管螺栓70b的連通通道72b、傳感器安裝導軌22的通道64以及管螺栓70a的連通通道72a而被引入柱形部分108a的孔110a中。而且，壓縮空氣被供給由帽體件122a封閉的壓力室124a，以便壓迫帽體件122a的內壁面。因此，帽體件122a沿與柱形部分108a分離的方向(箭頭X所示方向)滑動，同時維持通過密封件114而以氣密方式保持壓力室124a的狀態(tài)。因此，帽體件122a壓迫接頭件118，這樣，滑動臺100通過安裝在接頭件118上的螺栓件116而以箭頭X所示方向移動。
由帽體件122b封閉的壓力室124b通過孔110b而通向外界空氣。接頭件118與滑動臺100一起以箭頭X所示方向移動，同時保持接頭件118由帽體件122a、122b夾住的狀態(tài)。
當在未示出的方法控制閥的作用下使壓縮空氣從管路孔P1供給孔110b，并使第一壓力流體進口/出口孔38b向外界空氣打開時，在用于供給和排出的流動通道內的壓縮空氣反向流動，滑動臺100沿圖8中箭頭Y所示方向移動。
盡管本發(fā)明特別參考優(yōu)選實施例進行了圖示和說明，但是應當知道，在不脫離由附加的權利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，本領域技術人員可以對這些實施例進行變化和改變。
權利要求
1.一種線性執(zhí)行機構，包括一驅動部分(12)；一活動件(14)，用于在所述驅動部分(12)的驅動作用下移動；一對端塊(18a、18b)，該對端塊(18a、18b)分別與所述驅動部分(12)的第一端和第二端相連，并有多個與壓力流體進口/出口孔連通的壓力流體連通通道；以及一連接件，該連接件形成有軸向通道(64)，并在其兩端與所述一對端塊(18a、18b)相連；其中，通過使所述連接件沿所述軸向移動預定距離，可以使與所述連接件的所述通道(64)連通的所述壓力流體連通通道切換而改變流動通道。
2.根據權利要求1所述的線性執(zhí)行機構，其中通過使所述連接件沿所述軸向移動所述預定距離，可以使壓力流體管路出口孔相對于所述第一端塊(18a)和所述第二端塊(18b)而切換。
3.根據權利要求1所述的線性執(zhí)行機構，其中所述壓力流體流動通道包括第一壓力流體連通通道和第二壓力流體連通通道，該第一壓力流體連通通道的第一端與用于供給和排出壓力流體的通道相連，第二端與所述連接件的所述通道(64)連通，該第二壓力流體連通通道的第一端與用于供給和排出所述壓力流體的通道相連，第二端與所述連接件的所述通道(64)相連并與所述驅動部分連通。
4.根據權利要求3所述的線性執(zhí)行機構，其中所述第一壓力流體連通通道有沿所述軸向形成的第一壓力流體進口/出口孔(38a、38b)和基本與所述第一壓力流體進口/出口孔(38a、38b)垂直并且連通的第三壓力流體進口/出口孔(42a、42b)。
5.根據權利要求3所述的線性執(zhí)行機構，其中所述第二壓力流體連通通道有沿所述軸向形成的第二壓力流體進口/出口孔(40a、40b)、基本與所述第二壓力流體進口/出口孔(40a、40b)垂直并且連通的第一壓力流體通道(44a、44b)和基本與所述第一壓力流體通道(44a、44b)平行并且連通的第二壓力流體通道(46a、46b)。
6.根據權利要求4所述的線性執(zhí)行機構，其中所述第三壓力流體進口/出口孔(42a、42b)與所述連接件的所述通道(64)連通。
7.根據權利要求5所述的線性執(zhí)行機構，其中所述第二壓力流體通道(46a、46b)與所述連接件的所述通道(64)連通。
8.根據權利要求1所述的線性執(zhí)行機構，其中所述驅動部分(12)使所述活動件(14)在磁場的作用下移動。
9.根據權利要求1所述的線性執(zhí)行機構，其中通過由壓力流體壓迫所述活動件(100)，所述驅動部分使所述活動件(100)移動。
全文摘要
各端塊有使第一壓力流體進/出口孔和第三壓力流體進/出口孔(42a、42b)連通的第一壓力流體連通通道、第二壓力流體進/出口孔和第二壓力流體連通通道,第二壓力流體連通通道與第二壓力流體通道(46a、46b)及與驅動部分連通的第一壓力流體通道連通。傳感器安裝導軌通道借助管螺栓與第三壓力流體進/出口孔(42a)及第二壓力流體通道(46b)連通,或與第二壓力流體通道(46a)和第三壓力流體進/出口孔(42b)連通。
文檔編號H02K49/10GK1343843SQ0113265
公開日2002年4月10日 申請日期2001年9月7日 優(yōu)先權日2000年9月8日
發(fā)明者佐藤俊夫, 宮崎省吾, 上野成央 申請人:Smc株式會社