一種紫外激光器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種紫外激光器，通過將三倍頻晶體固定在三倍頻晶體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié)三倍頻晶體的三個轉動自由度；將二倍頻晶體固定在二倍頻晶體座上，通過二倍頻晶體座可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度；實現(xiàn)了三倍頻晶體與二倍頻晶體分開調節(jié)，相互之間不會影響；通過三倍頻晶體座和二倍頻晶體座，使得二倍頻晶體和三倍頻晶體的三個轉動自由度可獨立進行調節(jié)，兩兩自由度之間的調節(jié)不會相互影響，調節(jié)非?？焖俜奖悖矢?，調節(jié)的效果更好。
【專利說明】
一種紫外激光器
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及激光技術領域，特別涉及一種紫外激光器。
【背景技術】
[0002] 紫外激光波長短，聚焦光斑小，光子能量大，在材料加工過程中直接破壞許多非金 屬材料的分子鍵而實現(xiàn)"冷"加工，材料邊緣光滑，炭化小。二極管栗浦的355nm紫外激光器 具有光束質量好、效率高、功率穩(wěn)定性好、可靠性高、使用方便、體積小等諸多優(yōu)點，在精密 材料加工、光刻、光譜分析、醫(yī)療和科研等領域有著廣泛的應用。
[0003] 二極管栗浦的大功率(>8W)355nm紫外激光都是通過將波長1064nm的基頻紅外激 光進行腔內或腔外二倍頻，然后部分基頻光與二倍頻產(chǎn)生的532nm綠光進行相應方式三倍 頻（即和頻)實現(xiàn)的。二倍頻與三倍頻都是激光在光學非線性晶體中進行的非線性轉換過 程。相較于腔內非線性轉換方式，腔外方式激光聚焦光斑更小，對光學非線性晶體表面鍍膜 的要求更高，因此晶體更容易損壞。國外相干(Coherent)、光譜物理（Spectra-Physics)等 公司都是采用這種非線性轉換方式。它們是通過對非線性晶體進行移位以限制晶體表面工 作點工作時間的方法，來保證激光器長時間穩(wěn)定可靠工作的。但是這種方法對晶體位置移 動控制有非常高的要求(激光相對非線性晶體只有一個最佳朝向位置），一般要進行精密的 位置檢測和判別，系統(tǒng)控制復雜。同時要實現(xiàn)高效率的二倍頻及三倍頻，進入三倍頻非線性 晶體中的l〇64nm紅外激光和532nm綠光光子數(shù)之比應為1:1，而實際上兩種波長激光光子數(shù) 很難達到這個配比，從而影響非線性轉換效率。對于腔內方式，由于激光器腔內光強比腔外 有一個數(shù)量級的提高，和腔外非線性轉換方式相比，要實現(xiàn)同樣效率、同等功率的紫外激光 輸出，這種方式對非線性晶體表面鍍膜的要求比腔外方式低得多，因此晶體壽命更長。這種 方式一般沒有紅外激光輸出腔外，輸出腔外的綠光和紫外激光可以看作是紅外激光諧振腔 的一種等效損耗，優(yōu)化非線性晶體的光學、機械尺寸等參數(shù)一般就可以達到很高的非線性 轉換效率。但是，由于在激光器腔內有多個波長（紅外808nm、1064nm、綠光532nm、紫外 355nm)同時相互作用，彼此之間有能量交換，而這種交換還容易受外界條件(如激光晶體散 熱、栗浦激光耦合聚焦的光束質量等）的影響；同時非線性二倍頻、三倍頻晶體需要三個以 上自由度的調節(jié)和溫度調節(jié)，因此相對于腔外方式更難實現(xiàn)高穩(wěn)定可靠運轉。
[0004] 實現(xiàn)8W以上大功率紫外激光的可靠穩(wěn)定輸出，要求1064nm紅外基頻激光能夠產(chǎn)生 高光束質量的高功率基膜振蕩，激光晶體有盡可能小的熱透鏡和熱致雙折射效應，同時為 了實現(xiàn)最好的非線性偏振匹配，要求紫外非線性晶體和綠光非線性晶體調節(jié)方便，一般要 著眼于解決以下兩個方面的技術問題：
[0005] 1、激光晶體是產(chǎn)生基頻激光的工作物質，二極管栗浦的355nm大功率紫外激光器 激光晶體一般采用Nd:YV04或者Nd:YAG。這兩種激光晶體都要求良好的散熱，否則散熱不好 熱阻很大會導致激光晶體產(chǎn)生很強的熱透鏡效應和熱致雙折射效應，激光器不能穩(wěn)定可靠 運轉，嚴重影響基頻基模激光的輸出功率和光束質量，從而影響高光束質量大功率紫外激 光的產(chǎn)生，甚至導致不出激光或激光晶體斷裂(尤其是Nd:YV04晶體）。一般激光晶體熱耦合 都是在晶體側面包裹一層銦箱，然后用銅塊壓緊銦箱，再將晶體銅座加熱使銦箱融化，這樣 銦箱就起到給激光晶體散熱的作用。但是這種方法要么因為銅塊壓得過緊導致激光晶體承 受了壓力而引起激光光束畸變，要么因為銦箱不能完全填滿激光晶體側面和銅塊之間的縫 隙而導致熱阻很大，實際上不能可靠的減小熱耦合熱阻，嚴重影響大功率紫外激光的產(chǎn)生。 因此減小激光晶體散熱熱耦合的熱阻，加快激光晶體的散熱，無疑是尚待解決的一個關鍵 問題。
[0006] 2、二倍頻晶體和三倍頻晶體是產(chǎn)生綠光和紫外光的工作物質，由于涉及到二倍 頻、三倍頻過程中的偏振匹配，為了達到最佳的倍頻及和頻效率，除了要調節(jié)兩個晶體的匹 配溫度之外，還要精細調節(jié)兩個晶體的三個轉動自由度，及進行三個轉動方向的調節(jié)，每個 晶體調節(jié)好之后還要固定好晶體座防止跑位。一般兩個晶體都是在同一個安裝座上面進行 調節(jié)，調節(jié)時松開緊固螺釘，調好之后再緊固。但是這樣一來調好的晶體位置又變了，調節(jié) 一個自由度的時候會影響另外兩個自由度，晶體始終難以調到最佳位置并緊固，非常繁瑣 費時。同時因為共用一個晶體安裝座，針對一個晶體的調節(jié)會影響另外一個晶體，往往需要 反復調試才能達到效果，浪費很多時間。
[0007] 因此，現(xiàn)有的技術還有待改進和提尚。
【發(fā)明內容】
[0008] 鑒于上述現(xiàn)有技術的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種紫外激光器，二 倍頻晶體和三倍頻晶體的三個轉動自由度可獨立進行調節(jié)，兩兩自由度之間的調節(jié)不會相 互影響。
[0009] 為了達到上述目的，本實用新型采取了以下技術方案：
[0010] -種紫外激光器，包括激光器腔體，所述激光器腔體內設置有：
[0011] 第一栗浦激光光源；
[0012] 第二栗浦激光光源；
[0013] 第一鏡片；
[0014] 第二鏡片；
[0015]激光晶體模塊；
[0016]紅外激光全反鏡；
[0017] 聲光Q開關；
[0018]三倍頻晶體模組，包括三倍頻晶體和三倍頻晶體座，所述三倍頻晶體固定在三倍 頻晶體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié)三倍頻晶體的三個轉動自由度；
[0019] 二倍頻晶體模組，包括二倍頻晶體和二倍頻晶體座，所述二倍頻晶體固定在二倍 頻晶體座上，通過二倍頻晶體座可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度；
[0020] 反射尾鏡；
[0021 ]用于吸收綠激光的綠光吸收池；
[0022]所述第一栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第一鏡片進入到激光晶體模塊中，所 述第二栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第二鏡片進入到激光晶體模塊中；所述第一栗浦 激光光源發(fā)出的栗浦激光與所述第二栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光在激光晶體模塊中產(chǎn) 生基模振蕩并輸出基頻激光，所述紅外激光全反鏡將基頻激光反射到聲光Q開關中，聲光Q 開關將連續(xù)的基頻激光調制為脈沖基頻激光并輸出；所述脈沖基頻激光依次穿過所述三倍 頻晶體、二倍頻晶體后，經(jīng)反射尾鏡反射回二倍頻晶體中；所述二倍頻晶體產(chǎn)生綠激光，并 輸出到三倍頻晶體中，由所述三倍頻晶體產(chǎn)生紫外激光;三倍頻晶體中未被轉換成紫外激 光的綠激光出射到綠光吸收池中，被綠光吸收池吸收。
[0023] 所述的紫外激光器中，所述激光晶體模塊包括晶體座和設置在晶體座內的激光晶 體，所述激光晶體與晶體座之間設置有導熱膏。
[0024] 所述的紫外激光器中，所述晶體座包括基座、橫截面為L形的凸起和橫截面為倒L 形的擋塊;所述凸起固定在所述基座上，所述擋塊設置在所述凸起上，所述凸起和擋塊之間 形成用于固定所述激光晶體的通道;所述導熱膏設置在激光晶體與所述通道之間的縫隙 中。
[0025] 所述的紫外激光器中，所述激光晶體兩端面與所述通道之間設置有用于密封所述 通道內的導熱膏的硅橡膠圈。
[0026]所述的紫外激光器中，所述三倍頻晶體座包括三倍頻晶體底座、第一支撐板、第一 固定塊和第一組合圓柱體;所述三倍頻晶體底座上設置有至少三個螺紋孔，所述三倍頻晶 體底座通過與所述螺紋孔適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體內；所述第一支撐板豎直 設置在所述三倍頻晶體底座上，所述第一支撐板上設置有一個銷釘孔、至少兩個螺紋孔，所 述第一固定塊的左側面上設置有與所述銷釘孔適配的圓柱凸起，所述第一固定塊通過與第 一支撐板上的螺紋孔適配的螺釘固定在第一支撐板上;所述第一固定塊內設置有用于容納 所述第一組合圓柱體的第一通孔，所述第一通孔的一端開設在第一固定塊的正面，所述第 一通孔的另一端開設在第一固定塊的反面;所述第一固定塊的頂面設置有螺紋孔，所述第 一固定塊頂面的螺紋孔與所述第一通孔連通，所述第一組合圓柱體通過與第一固定塊頂面 上的螺紋孔適配的壓緊螺釘固定在所述第一通孔內；所述第一組合圓柱體的圓心處設置有 用于固定所述三倍頻晶體的第一方孔。
[0027] 所述的紫外激光器中，所述第一組合圓柱體包括第一瓣體和第二瓣體，所述第一 瓣體和第二瓣體的徑向截面為半圓形，所述第一瓣體的直邊側和第二瓣體的直邊側均設置 有矩形凹槽，所述第一瓣體的矩形凹槽和第二瓣體的矩形凹槽組合成所述第一方孔;所述 第一瓣體和第二瓣體內均設置有第一安裝孔，所述第一安裝孔內安裝有溫度傳感器和用于 給所述三倍頻晶體加熱的導線。
[0028] 所述的紫外激光器中，所述三倍頻晶體與第一方孔之間的間隙設置有導熱膏。 [0029]所述的紫外激光器中，所述二倍頻晶體座包括二倍頻晶體底座、第二支撐板、第二 固定塊和第二組合圓柱體;所述二倍頻晶體底座上設置有至少三個螺紋孔，所述二倍頻晶 體底座通過與所述螺紋孔適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體內；所述第二支撐板豎直 設置在所述二倍頻晶體底座上，所述第二支撐板上設置有一個銷釘孔、至少兩個螺紋孔，所 述第二固定塊的左側面上設置有與所述銷釘孔適配的圓柱凸起，所述第二固定塊通過與第 二支撐板上的螺紋孔適配的螺釘固定在第二支撐板上;所述第二固定塊內設置有用于容納 所述第二組合圓柱體的第二通孔，所述第二通孔的一端開設在第二固定塊的正面，所述第 二通孔的另一端開設在第二固定塊的反面;所述第二固定塊的頂面設置有螺紋孔，所述第 二固定塊頂面的螺紋孔與所述第二通孔連通，所述第二組合圓柱體通過與第二固定塊頂面 上的螺紋孔適配的壓緊螺釘固定在所述第二通孔內；所述第二組合圓柱體的圓心處設置有 用于固定所述二倍頻晶體的第二方孔。
[0030] 所述的紫外激光器中，所述第二組合圓柱體包括第三瓣體和第四瓣體，所述第三 瓣體和第四瓣體的徑向截面為半圓形，所述第三瓣體的直邊側和第四瓣體的直邊側均設置 有矩形凹槽，所述第三瓣體的矩形凹槽和第四瓣體的矩形凹槽組合成所述第二方孔;所述 第三瓣體和第四瓣體內均設置有第二安裝孔，所述第二安裝孔內安裝有溫度傳感器和用于 給所述二倍頻晶體加熱的導線。
[0031] 所述的紫外激光器中，所述第一栗浦激光光源包括第一栗浦激光二極管、第一 SMA-905接頭和用于對第一栗浦激光二極管發(fā)出的栗浦激光進行準直聚焦的第一耦合鏡 組;所述第一栗浦激光二極管與所述第一 SMA-905接頭連接，所述第一栗浦激光二極管通過 所述第一 SMA-905接頭出射栗浦激光，所述第一耦合鏡組設置在所述栗浦激光的光路上。
[0032] 相較于現(xiàn)有技術，本實用新型提供的一種紫外激光器，通過將三倍頻晶體固定在 三倍頻晶體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié)三倍頻晶體的三個轉動自由度;將二倍頻晶體 固定在二倍頻晶體座上，通過二倍頻晶體座可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度;實現(xiàn)了 三倍頻晶體與二倍頻晶體分開調節(jié)，相互之間不會影響；通過三倍頻晶體座和二倍頻晶體 座，使得二倍頻晶體和三倍頻晶體的三個轉動自由度可獨立進行調節(jié)，兩兩自由度之間的 調節(jié)不會相互影響，調節(jié)非常快速方便，效率更高，調節(jié)的效果更好。
【附圖說明】
[0033] 圖1為本實用新型提供的紫外激光器中，激光器腔體的俯視圖。
[0034] 圖2為本實用新型提供的紫外激光器中，綠激光的光路示意圖。
[0035] 圖3為本實用新型提供的紫外激光器中，紫外激光的光路示意圖。
[0036] 圖4為本實用新型提供的紫外激光器中，激光晶體模塊的立體圖。
[0037]圖5為本實用新型提供的紫外激光器中，激光晶體模塊的正視圖。
[0038]圖6為本實用新型提供的紫外激光器中，二倍頻晶體和三倍頻晶體的三個旋轉自 由度的示意圖。
[0039]圖7為本實用新型提供的紫外激光器中，三倍頻晶體模組的爆炸圖。
[0040]圖8為本實用新型提供的紫外激光器中，三倍頻晶體模組的正視圖。
[0041 ]圖9為本實用新型提供的紫外激光器中，二倍頻晶體模組的爆炸圖。
[0042]圖10為本實用新型提供的紫外激光器中，二倍頻晶體模組的正視圖。
[0043]圖11為本實用新型提供的紫外激光器中，綠光吸收池的正視圖。
[0044] 圖12為圖11中A-A的剖視圖。
[0045] 圖13為本實用新型提供的紫外激光器中，綠光吸收池內的光路示意圖。
【具體實施方式】
[0046] 本實用新型提供一種紫外激光器。為使本實用新型的目的、技術方案及效果更加 清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描 述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0047] 請參閱圖1，本實用新型提供的紫外激光器，包括激光器腔體1，所述激光器腔體1 內設置有第一栗浦激光光源2、第二栗浦激光光源3、第一鏡片4、第二鏡片5、激光晶體模塊 6、紅外激光全反鏡7、聲光Q開關8、三倍頻晶體模組9、二倍頻晶體模組IO、反射尾鏡11和綠 光吸收池12。
[0048]所述第一栗浦激光光源2和第二栗浦激光光源3對向設置，換而言之，所述第一栗 浦激光光源2和第二栗浦激光光源3出射的栗浦激光的方向相反。所述第一鏡片4和激光晶 體模塊6依次設置在所述第一栗浦激光光源2出射的栗浦激光的光路上;所述第二鏡片5和 激光晶體模塊6依次設置在所述第二栗浦激光光源3出射的栗浦激光的光路上;換而言之， 所述第一栗浦激光光源2發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第一鏡片4后從左側進入到激光晶體模塊6 中，所述第二栗浦激光光源3發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第二鏡片5后從右側進入到激光晶體模塊 6中。本實施例中，所述栗浦激光的波長為808nm，即，所述栗浦激光為808nm的栗浦激光。 [0049]所述第一鏡片4朝向第一栗浦激光光源2的表面（左表面)鍍有波長808nm的增透 膜，所述第一鏡片4背離第一栗浦激光光源2的表面(右表面)鍍有波長808nm的增透膜和波 長1064nm的全反膜；同樣的，所述第二鏡片5朝向第二栗浦激光光源3的表面(右表面)鍍有 波長808nm的增透膜，所述第二鏡片5背離第二栗浦激光光源3的表面（左表面）鍍有波長 808nm的增透膜和波長1064nm的全反膜，所述第一鏡片4和第二鏡片5均與所述栗浦激光垂 直。這樣設置，使得808nm的栗浦激光可以無損失的進入到激光晶體模塊6中，產(chǎn)生基模振蕩 并輸出波長為l〇64nm的基頻激光，所述基頻激光一部分經(jīng)第二鏡片5反射出去，另一部分被 第一鏡片4反射回激光晶體模塊6中，不存在損失。本實施例中，所述第二鏡片5豎直設置，其 左表面鍍的全反膜成預定角度（即，左表面鍍的全反膜為楔形），以便將所述基頻激光反射 到紅外激光全反鏡7上。當然，在其他實施例中，所述第二鏡片5并非如第一鏡片4那樣豎直 設置，而是成預定角度，以便將所述基頻激光反射到紅外激光全反鏡7上。
[0050] 所述紅外激光全反鏡7的入射面(右表面)鍍有1064nm全反膜，紅外激光全反鏡7的 全反膜同樣為楔形，便于將基頻激光反射到聲光Q開關8中。換而言之，所述聲光Q開關8、三 倍頻晶體模組9、二倍頻晶體模組10和反射尾鏡11依次設置在紅外激光全反鏡7反射光的光 路上。所述聲光Q開關8將連續(xù)的基頻激光調制為脈沖基頻激光，能夠極大增加紫外激光的 轉換效率。所述聲光Q開關8的聲光頻率為41MHz，功率為15W，其兩端面鍍1064nm增透膜。
[0051] 所述三倍頻晶體模組9,包括三倍頻晶體和三倍頻晶體座，所述三倍頻晶體固定在 三倍頻晶體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié)三倍頻晶體的三個轉動自由度。
[0052] 所述二倍頻晶體模組10,包括二倍頻晶體和二倍頻晶體座，所述二倍頻晶體固定 在二倍頻晶體座上，通過二倍頻晶體座可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度。
[0053]所述反射尾鏡11，用于反射所述基頻激光和綠激光。換而言之，所述反射尾鏡11的 入射面（左表面)鍍有l(wèi)〇64nm和532nm的全反膜，用于將入射的基頻激光和綠激光按原路反 射回去。
[0054]綠光吸收池12,用于吸收綠激光。
[0055]所述第一栗浦激光光源2發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第一鏡片4進入到激光晶體模塊6 中，所述第二栗浦激光光源3發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第二鏡片5進入到激光晶體模塊6中；所述 第一栗浦激光光源2發(fā)出的栗浦激光與所述第二栗浦激光光源3發(fā)出的栗浦激光在激光晶 體模塊6中產(chǎn)生基模振蕩并輸出基頻激光，所述紅外激光全反鏡7將基頻激光反射到聲光Q 開關8中，聲光Q開關8將連續(xù)的基頻激光調制為脈沖基頻激光并輸出;所述脈沖基頻激光依 次穿過所述三倍頻晶體、二倍頻晶體后，經(jīng)反射尾鏡11反射回二倍頻晶體中；所述二倍頻晶 體產(chǎn)生綠激光，并輸出到三倍頻晶體中，由所述三倍頻晶體產(chǎn)生紫外激光;三倍頻晶體中未 被轉換成紫外激光的綠激光出射到綠光吸收池12中，被綠光吸收池12吸收，換而言之，所述 綠光吸收池12設置在三倍頻晶體出射的綠激光的光路上。本實施例中，所述基頻激光的波 長為1064nm，即，所述基頻激光為1064nm的基頻激光，所述基頻激光的光路如圖1中實線箭 頭所示。所述綠激光的波長為532nm，即，所述綠激光為532nm的綠激光，所述綠激光的光路 如圖2中實線箭頭所示。所述紫外激光的波長為355nm，即，所述紫外激光為355nm的紫外激 光，所述紫外激光的光路如圖3中實線箭頭所示。
[0056]圖2所示的綠激光的光路示意圖中，三倍頻晶體中未被轉換成紫外激光的綠激光 出射到綠光吸收池12中，被綠光吸收池12吸收，避免隨紫外激光出射出去，不會影響激光的 視覺效果，也使得多余的綠光不會損壞腔體內的元器件。
[0057]本實用新型通過將三倍頻晶體固定在三倍頻晶體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié) 三倍頻晶體的三個轉動自由度;將二倍頻晶體固定在二倍頻晶體座上，通過二倍頻晶體座 可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度;實現(xiàn)了三倍頻晶體與二倍頻晶體分開調節(jié)，相互之 間不會影響；通過三倍頻晶體座和二倍頻晶體座，使得二倍頻晶體和三倍頻晶體的三個轉 動自由度可獨立進行調節(jié)，兩兩自由度之間的調節(jié)不會相互影響，調節(jié)非?？焖俜奖?，效率 更高，調節(jié)的效果更好。
[0058]進一步的，本實用新型提供的紫外激光器中，所有的光學件、機械件都裝在激光器 腔體1內。激光器腔體1上面周邊有密封條密封，腔體蓋用螺釘擰緊在腔體上，防止外界的灰 塵、水汽進入腔體內；同時腔體內有加變色干燥劑，使腔內保持一個干燥的環(huán)境，干燥劑的 失效可以通過腔體蓋上的觀察窗看出來。如果失效了，干燥劑顏色會由白變黑，方便辨別腔 體內的工作環(huán)境干燥與否。
[0059] 所述第一栗浦激光光源2包括第一栗浦激光二極管210、第一 SMA-905接頭和用于 對第一栗浦激光二極管210發(fā)出的栗浦激光進行準直聚焦的第一耦合鏡組220;所述第一栗 浦激光二極管210與所述第一 SMA-905接頭連接，所述第一栗浦激光二極管210通過所述第 一 SMA-905接頭出射栗浦激光，所述第一耦合鏡組220設置在所述栗浦激光的光路上。所述 第一栗浦激光二極管210發(fā)出的栗浦激光的波長為808nm，出光直徑400μπι，最大輸出功率 40W。第一栗浦激光二極管210安裝在第一紫銅座上，它們之間通過銦箱緊密連接，保證良好 的熱接觸。第一紫銅座安裝在腔體1上。第一紫銅座內部有通水道，激光器的冷水機將水溫 25攝氏度的冷卻水送進來，將第一栗浦激光二極管210產(chǎn)生的熱量帶走。由于水溫溫度波動 只有0.1攝氏度，因此第一栗浦激光二極管210的功率和波長能夠保持穩(wěn)定，這樣給激光器 的穩(wěn)定可靠運轉提供了保證。
[0060] 所述第二栗浦激光光源3的結構與第一栗浦激光光源2相同，即，所述第二栗浦激 光光源3包括第二栗浦激光二極管310、第二SMA-905接頭和用于對第二栗浦激光二極管310 發(fā)出的栗浦激光進行準直聚焦的第二耦合鏡組320;所述第二栗浦激光二極管310與所述第 二SMA-905接頭連接，所述第二栗浦激光二極管310通過所述第二SMA-905接頭出射栗浦激 光，所述第二耦合鏡組320設置在所述栗浦激光的光路上。所述第二栗浦激光二極管310發(fā) 出的栗浦激光的波長為808nm，出光直徑400μπι，最大輸出功率40W。第二栗浦激光二極管310 安裝在第二紫銅座上，它們之間通過銦箱緊密連接，保證良好的熱接觸。第二紫銅座安裝在 腔體1上。第二紫銅座內部有通水道，激光器的冷水機將水溫25攝氏度的冷卻水送進來，將 第二栗浦激光二極管310產(chǎn)生的熱量帶走。由于水溫溫度波動只有0.1攝氏度，因此第二栗 浦激光二極管310的功率和波長能夠保持穩(wěn)定，這樣給激光器的穩(wěn)定可靠運轉提供了保證。 [0061 ]請參閱圖4，所述激光晶體模塊6包括晶體座610和設置在晶體座610內的激光晶體 620,所述激光晶體620與晶體座610之間設置有導熱膏。采用導熱膏導熱，減小了激光晶體 620的熱透鏡和熱致雙折射等熱效應，提高了紫外激光器的穩(wěn)定性，避免了用銦箱給晶體導 熱出現(xiàn)的激光晶體壓力和熱耦合熱阻過大的問題。所述晶體座610為銅晶體座，進一步提高 了散熱效率。所述激光晶體620為Nd: YV04晶體，其尺寸3 X 3 X 20mm，Nd: YV04晶體摻雜原子 比0.25%，沿a軸切割，晶體兩端面鍍808nm和1064nm增透膜。所述激光晶體620兩端的栗浦光 聚焦后光束與激光器腔模有很高的重疊，同時兩束栗浦光在激光晶體620里有很高的重疊 度，保證激光器能夠產(chǎn)生l〇64nm最大功率的基模振蕩，提高355nm紫外激光的轉換效率。
[0062]進一步的，請參閱圖5,所述晶體座610包括基座611、橫截面為L形的凸起612和橫 截面為倒L形的擋塊613;所述凸起612固定在所述基座611上，優(yōu)選的，所述凸起612與所述 基座611 -體成型設置;所述擋塊613設置在所述凸起612上，優(yōu)選的，所述擋塊613通過螺釘 固定在所述凸起612上。所述凸起612和擋塊613之間形成用于固定所述激光晶體的通道 614, 即，所述擋塊613和所述凸起612將激光晶體固定住。所述導熱膏設置（即，填充)在激光 晶體與所述通道614之間的縫隙中，所述激光晶體為長方體，換而言之，所述激光晶體與晶 體座610接觸的四個側面均用導熱膏來進行熱耦合，導熱膏是流體，可以保證完全填滿四個 接觸面的縫隙，實現(xiàn)激光晶體穩(wěn)定可靠散熱，大大降低激光晶體的熱透鏡效應。擋塊613的 左下角缺口尺寸保證螺釘擰上后激光晶體可靠的固定住，同時激光晶體只受很小的表面壓 力。為了防止長時間使用后導熱膏干燥污染激光晶體的端面，所述激光晶體兩端面與所述 通道614之間設置有硅橡膠圈，硅橡膠圈形狀與所述激光晶體端面形狀相同，即，為方形。所 述硅橡膠圈用于密封所述通道內的導熱膏。雖然硅橡膠圈熱阻很大，妨礙晶體可靠散熱，但 是由于硅橡膠圈只有激光晶體端面周邊一薄層，激光晶體的熱量大部分可以通過導熱膏導 走，實際上基本不影響激光晶體散熱。通過這種導熱散熱結構，激光晶體的熱效應得到極大 的減小，在激光二極管(第一栗浦激光二極管和第二栗浦激光二極管)35A電流情況下熱透 鏡焦距由原來的175mm增加到320mm。紫外激光器的基模輸出功率提高了 20%，光束質量由原 來的1.2減小到1.1，紫外激光的轉換效率提高了10%，光束質量也提高了。所述凸起612左上 角設置有缺口，所述缺口用于給栗浦激光提供光路通道，使栗浦激光順利進入到激光晶體 中。
[0063]所述三倍頻晶體為LBO晶體，其基頻激光的入射面（左表面)為（切割成）1064nm P 偏振光的布儒斯特面，表面拋光不鍍膜;其基頻激光的出射面(右表面)鍍I 〇64nm和532nm的 增透膜。根據(jù)布儒斯特定律，當l〇64nm基頻光為P偏振態(tài)，并且入射角= 時，基頻激光可以無反射通過布儒斯特面，全部進入三倍頻晶體里。式中nl為l〇64nm波長在 三倍頻晶體里的折射率。換而言之，本實施例中，所述基頻激光為P偏振態(tài)，入射到三倍頻晶 體時的入射角0滿足0 = arCtan K1，η 1為1064nm波長在三倍頻晶體里的折射率。所述三倍 頻晶體采用的是Π類匹配方式，1064nm基頻光為P偏振態(tài)，532nm綠光為S偏振態(tài)，產(chǎn)生的 355nm紫外激光為P偏振態(tài)，其布儒斯特角與1064nm基頻光布儒斯特角相差0.6度。產(chǎn)生的紫 外激光從布儒斯特面輸出，三倍頻剩余的綠光由綠光吸收池12吸收，而1064nm激光在腔內 循環(huán)。雖然沒有l(wèi)〇64nm波長輸出，但是輸出的紫外激光和剩余的綠光可以看成是1064nm波 長的一種等效輸出。
[0064]為了實現(xiàn)三倍頻的偏振匹配，需要精細調節(jié)三倍頻晶體的空間方位，主要是三個 轉動自由度需要精密調節(jié)，如圖6中實線箭頭所示。請參閱圖7和圖8,所述三倍頻晶體座包 括三倍頻晶體底座920、第一支撐板930、第一固定塊940和第一組合圓柱體950;所述三倍頻 晶體底座920上設置有至少三個螺紋孔921，所述三倍頻晶體底座920通過與所述螺紋孔921 適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體內；所述第一支撐板930豎直設置在所述三倍頻晶 體底座920上，所述第一支撐板930上設置有一個銷釘孔931、至少兩個螺紋孔932,所述銷釘 孔931、至少兩個螺紋孔932均不在同一直線上;所述第一固定塊940的左側面上設置有與所 述銷釘孔931適配的圓柱凸起941，所述第一固定塊940通過與第一支撐板930上的螺紋孔 932適配的螺釘固定在第一支撐板930上;所述第一固定塊940內設置有用于容納所述第一 組合圓柱體950的第一通孔942,所述第一通孔942為圓孔;所述第一通孔942的一端開設在 第一固定塊940的正面，所述第一通孔942的另一端開設在第一固定塊940的反面;所述第一 固定塊940的頂面設置有螺紋孔943,所述第一固定塊940頂面的螺紋孔943與所述第一通孔 942連通，所述第一組合圓柱體950通過與第一固定塊940頂面上的螺紋孔943適配的壓緊螺 釘固定在所述第一通孔942內；所述第一組合圓柱體950的圓心處設置有用于固定所述三倍 頻晶體910的第一方孔960。所述第一固定塊940的右側面上設置有用于調節(jié)第一組合圓柱 體950轉動的第一調節(jié)螺紋孔944。
[0065]三倍頻晶體910固定在第一方孔960內，它們之間的縫隙也是用導熱膏來填充，即， 所述三倍頻晶體910與第一方孔960之間的間隙設置(填充)有導熱膏，以保證三倍頻晶體導 熱快速、均勻。三倍頻晶體兩端面的四周用硅橡膠圈密封起來，即，硅橡膠圈將三倍頻晶體 兩端面與第一方孔960之間的縫隙密封，防止導熱膏干燥后污染晶體的端面?？p隙之間填上 導熱膏后，所述第一方孔960的尺寸保證能將三倍頻晶體牢固固定住。因為三倍頻晶體與三 倍頻晶體座(為銅座)熱接觸良好，溫控更加迅速，紫外激光輸出更穩(wěn)定。
[0066]三倍頻晶體需要在水平面方向轉動調節(jié)時，只需將所述三倍頻晶體底座920上的 螺紋孔921中的螺釘松開，輕輕旋轉整個座子，讓激光功率最大，然后擰緊三個螺釘即可，水 平方向轉動的自由度的調節(jié)不影響另外兩個轉動自由度。
[0067]而三倍頻晶體另外兩個自由度的調節(jié)也非常方便?？梢酝ㄟ^調節(jié)第一組合圓柱體 950的轉動來調節(jié)三倍頻晶體的第二個自由度。具體的，將第一固定塊940頂面的螺紋孔943 中的壓緊螺釘輕輕松開，然后用稍長的螺桿穿過第一調節(jié)螺紋孔944,因為第一組合圓柱體 950的表面為圓柱，使用螺桿通過第一調節(jié)螺紋孔944接觸第一組合圓柱體950的表面時，容 易造成螺桿在第一組合圓柱體950表面滑動，因此本實用新型在第一組合圓柱體950表面上 對應著第一調節(jié)螺紋孔944的位置處設置有小螺紋孔，小螺紋孔是盲孔，只是為了方便螺桿 穿過第一調節(jié)螺紋孔944并和第一組合圓柱體950的側面接觸更加穩(wěn)固，且不易滑動。使用 螺桿穿過第一調節(jié)螺紋孔944調節(jié)第一組合圓柱體950時，如果螺桿旋進的長度較大，則第 一組合圓柱體950被螺桿推動，將向著螺桿運動的方向，在水平方向上移動。調節(jié)旋進螺桿 的長度，直至激光功率最大。此時將第一固定塊940頂面的螺紋孔943中的壓緊螺釘再壓緊， 從而將第一組合圓柱體950在豎直方向的位置固定;旋出長調節(jié)螺桿，用螺釘再擰緊第一調 節(jié)螺紋孔944,將整個第一組合圓柱體頂住，從而將第一組合圓柱體950在水平方向的位置 固定。這樣水平方向的轉動調節(jié)就完成了，完全不影響另外兩個方向的轉動自由度。
[0068] 本實用新型可以通過調節(jié)第一固定塊940的轉動來調節(jié)三倍頻晶體的第三個自由 度。具體的，將第一支撐板930上的螺紋孔932中的螺釘松開一點，第一固定塊940可以繞著 螺紋孔932下方的銷釘孔931旋轉，讓紫外輸出功率最大（螺紋孔932中的兩個螺釘不能過 松，要稍微緊一點），然后將兩個螺釘擰緊。這樣這個方向轉動自由度的調節(jié)也不影響其它 兩個自由度。
[0069] 由此可知，三個自由度分開調節(jié)固定的方式非常方便、迅速，可以很快達到最優(yōu)的 效果。每個轉動自由度調節(jié)時要配合三倍頻晶體溫度調節(jié)，使紫外激光功率輸出最大。
[0070] 進一步的，所述第一組合圓柱體950包括第一瓣體951和第二瓣體952,所述第一瓣 體951和第二瓣體952的徑向截面為半圓形，所述第一瓣體951的直邊側和第二瓣體952的直 邊側均設置有矩形凹槽，所述第一瓣體951的矩形凹槽和第二瓣體952的矩形凹槽組合成所 述第一方孔960;所述第一瓣體951和第二瓣體952內均設置有第一安裝孔9510，所述第一安 裝孔9510內安裝有溫度傳感器和用于給所述三倍頻晶體加熱的導線。所述第一瓣體951中 的第一安裝孔9510與第二瓣體952中的第一安裝孔9510對稱設置，使得三倍頻晶體的加熱 溫度可以控制得比單邊溫控方式更均勻，實際上提高了紫外激光的轉換效率。
[0071] 所述二倍頻晶體為LBO晶體，所述二倍頻晶體為I類角度匹配方式。1064nm基頻光 為P偏振態(tài)，532nm綠光為S偏振態(tài)，角度匹配溫度為50攝氏度。二倍頻晶體兩端面鍍1064nm 和532nm的增透膜。圖9為二倍頻晶體模組的爆炸圖，圖10為二倍頻晶體模組的正視圖。所述 二倍頻晶體模組的結構與三倍頻晶體模組相同，即，自由度的調節(jié)也一樣，二倍頻晶體每個 轉動自由度的調節(jié)固定都不影響另外兩個自由度，非常的方便靈活。同樣，每個自由度的調 節(jié)要配合二倍頻晶體的溫度調節(jié)。
[0072] 具體的，請參閱圖9和圖10，所述二倍頻晶體座包括二倍頻晶體底座120、第二支撐 板130、第二固定塊140和第二組合圓柱體150;所述二倍頻晶體底座120上設置有至少三個 螺紋孔121(本實施例為4個），所述二倍頻晶體底座120通過與所述螺紋孔121適配的固定螺 釘固定在所述激光器腔體內；所述第二支撐板130豎直設置在所述二倍頻晶體底座120上， 所述第二支撐板130上設置有一個銷釘孔131、至少兩個螺紋孔132,所述第二固定塊140的 左側面上設置有與所述銷釘孔131適配的圓柱凸起141，所述第二固定塊140通過與第二支 撐板130上的螺紋孔132適配的螺釘固定在第二支撐板上130;所述第二固定塊140內設置有 用于容納所述第二組合圓柱體150的第二通孔142,所述第二通孔142的一端開設在第二固 定塊140的正面，所述第二通孔142的另一端開設在第二固定塊140的反面;所述第二固定塊 140的頂面設置有螺紋孔143,所述第二固定塊140頂面的螺紋孔143與所述第二通孔142連 通，所述第二組合圓柱體150通過與第二固定塊140頂面上的螺紋孔143適配的壓緊螺釘固 定在所述第二通孔142內；所述第二組合圓柱體150的圓心處設置有用于固定所述二倍頻晶 體110的第二方孔160。所述第二固定塊140的右側面上設置有用于調節(jié)第二組合圓柱體150 轉動的第二調節(jié)螺紋孔144。
[0073] 二倍頻晶體110固定在第二方孔160內，它們之間的縫隙也是用導熱膏來填充，即， 所述二倍頻晶體110與第二方孔160之間的間隙設置(填充)有導熱膏，以保證二倍頻晶體導 熱快速、均勻。二倍頻晶體兩端面的四周用硅橡膠圈密封起來，即，硅橡膠圈將二倍頻晶體 兩端面與第二方孔160之間的縫隙密封，防止導熱膏干燥后污染晶體的端面?？p隙之間填上 導熱膏后，所述第二方孔160的尺寸保證能將二倍頻晶體牢固固定住。因為二倍頻晶體與二 倍頻晶體座(為銅座)熱接觸良好，溫控更加迅速，紫外激光輸出更穩(wěn)定。
[0074] 所述第二組合圓柱體150包括第三瓣體151和第四瓣體152,所述第三瓣體151和第 四瓣體152的徑向截面為半圓形，所述第三瓣體151的直邊側和第四瓣體152的直邊側均設 置有矩形凹槽，所述第三瓣體151的矩形凹槽和第四瓣體152的矩形凹槽組合成所述第二方 孔160;所述第三瓣體151和第四瓣體152內均設置有第二安裝孔1510,所述第二安裝孔1510 內安裝有溫度傳感器和用于給所述二倍頻晶體加熱的導線。所述第三瓣體151中的第二安 裝孔1510與第四瓣體152中的第二安裝孔1510對稱設置，使得二倍頻晶體的加熱溫度可以 控制得比單邊溫控方式更均勻，實際上提高了紫外激光的轉換效率。由于所述二倍頻晶體 座與三倍頻晶體座的結構大致相同，調節(jié)三個自由度旋轉的方式相同，故其他特征和自由 度的調節(jié)在此不再贅述。
[0075]進一步的，所述反射尾鏡11安裝在二維調整鏡架上，它的調節(jié)通過鏡架的兩個微 調螺桿實現(xiàn)。尾鏡的調節(jié)配合三倍頻晶體和二倍頻晶體的三個轉動自由度調節(jié)。
[0076]采用本實用新型提供的紫外激光器，在栗浦激光二極管溫度25攝氏度，電流35A， 激光器重復頻率30kHz情況下，355nm紫外激光輸出功率達到IOW，2小時內功率穩(wěn)定度± 3%， 輸出激光M2因子1.25，輸出的紫外激光的光斑基本為圓形。
[0077]綜上所述，本實用新型提供的紫外激光器，栗浦激光二極管采用帶SMA-905接頭輸 出形式，省掉了傳輸光纖，結構更簡單;二極管放在激光器內部，使得激光電源和激光器可 以分離，拆裝更方便。激光晶體散熱熱耦合采用導熱膏，熱接觸嚴密無遺漏，能夠極大減小 激光晶體的熱透鏡及熱致雙折射效應，l〇64nm基頻激光基模輸出能量更大，光束質量更好， 動態(tài)運行范圍更寬，也更穩(wěn)定。從而產(chǎn)生的紫外激光效率更高，光束質量更好，功率穩(wěn)定度 也更高。二倍頻晶體和三倍頻晶體三個轉動自由度調節(jié)固定采用分開調節(jié)固定方式，每個 自由度調節(jié)不影響其余兩個自由度，調節(jié)非常快速方便，效率更高，調節(jié)的效果更好。
[0078]當然，在其他實施例中，所述栗浦激光二極管還可以采用輸出波長880nm的二極 管，即，所述栗浦激光的波長還可以是880nm，和輸出波長808nm的激光二極管相比，因為激 光晶體激活離子M3+吸收該波長光子直接躍迀到激光上能級，省略了先躍迀到高能級再躍 迀到激光上能級這一過程的非輻射躍迀，減小了激光晶體的熱效應，導致l〇64nm激光的輸 出效率提高，從而也提高了紫外激光的輸出效率。激光晶體還可以采用兩端帶不參雜端帽 的YV04-Nd:YV04- YV04晶體，這樣比單獨用Nd:YV04激光晶體熱效應可以減小20%~30%，基 頻激光輸出效率可以提高20%以上?；蛘卟捎肶AG-Nd: YAG-YAG激光晶體加偏振片的方式，熱 效應也可以減小20%以上。
[0079]進一步的，請參閱圖11、圖12和圖13，所述綠光吸收池12包括吸收池12a和設置在 吸收池12a內的錐狀凸起12b。所述吸收池12a的開口朝向綠激光的入射方向。所述吸收池 12a的內壁涂有吸光材料(優(yōu)選為吸收綠光的材料），或者所述吸收池12a由吸光材料制成， 綠激光入射到錐狀凸起12b上后，經(jīng)過錐狀凸起12b的外部與吸收池12a的內壁的多次反射 后（如圖13所示），將不會再有雜散的光束溢出吸收池12a，因此對雜散光束的吸收效率較 高，避免了雜散光束溢出影響激光器內其他光學器件。
[0080]更進一步的，所述吸收池12a為圓柱形，即，所述吸收池12a為圓柱形凹槽。所述錐 狀凸起12b為圓錐凸起，圓錐凸起與圓柱形凹槽之間形成的通路可最大限度的提高綠激光 的光程，提高吸收效率。所述綠光吸收池12還包括吸收池底座12c，所述吸收池12a設置在所 述吸收池底座12c上，所述吸收池底座12c為矩形，其米用錯制成。
[0081]可以理解的是，對本領域普通技術人員來說，可以根據(jù)本實用新型的技術方案及 其實用新型構思加以等同替換或改變，而所有這些改變或替換都應屬于本實用新型所附的 權利要求的保護范圍。
【主權項】
1. 一種紫外激光器，包括激光器腔體，其特征在于，所述激光器腔體內設置有： 第一栗浦激光光源； 第二栗浦激光光源； 第一鏡片； 第二鏡片； 激光晶體模塊； 紅外激光全反鏡； 聲光Q開關； 三倍頻晶體模組，包括三倍頻晶體和三倍頻晶體座，所述三倍頻晶體固定在三倍頻晶 體座上，通過三倍頻晶體座可調節(jié)三倍頻晶體的三個轉動自由度； 二倍頻晶體模組，包括二倍頻晶體和二倍頻晶體座，所述二倍頻晶體固定在二倍頻晶 體座上，通過二倍頻晶體座可調節(jié)二倍頻晶體的三個轉動自由度； 反射尾鏡； 用于吸收綠激光的綠光吸收池； 所述第一栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第一鏡片進入到激光晶體模塊中，所述第 二栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光經(jīng)過第二鏡片進入到激光晶體模塊中；所述第一栗浦激光 光源發(fā)出的栗浦激光與所述第二栗浦激光光源發(fā)出的栗浦激光在激光晶體模塊中產(chǎn)生基 模振蕩并輸出基頻激光，所述紅外激光全反鏡將基頻激光反射到聲光Q開關中，聲光Q開關 將連續(xù)的基頻激光調制為脈沖基頻激光并輸出;所述脈沖基頻激光依次穿過所述三倍頻晶 體、二倍頻晶體后，經(jīng)反射尾鏡反射回二倍頻晶體中；所述二倍頻晶體產(chǎn)生綠激光，并輸出 到三倍頻晶體中，由所述三倍頻晶體產(chǎn)生紫外激光;三倍頻晶體中未被轉換成紫外激光的 綠激光出射到綠光吸收池中，被綠光吸收池吸收。2. 根據(jù)權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述激光晶體模塊包括晶體座和設 置在晶體座內的激光晶體，所述激光晶體與晶體座之間設置有導熱膏。3. 根據(jù)權利要求2所述的紫外激光器，其特征在于，所述晶體座包括基座、橫截面為L形 的凸起和橫截面為倒L形的擋塊;所述凸起固定在所述基座上，所述擋塊設置在所述凸起 上，所述凸起和擋塊之間形成用于固定所述激光晶體的通道;所述導熱膏設置在激光晶體 與所述通道之間的縫隙中。4. 根據(jù)權利要求3所述的紫外激光器，其特征在于，所述激光晶體兩端面與所述通道之 間設置有用于密封所述通道內的導熱膏的硅橡膠圈。5. 根據(jù)權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述三倍頻晶體座包括三倍頻晶體 底座、第一支撐板、第一固定塊和第一組合圓柱體;所述三倍頻晶體底座上設置有至少三個 螺紋孔，所述三倍頻晶體底座通過與所述螺紋孔適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體 內；所述第一支撐板豎直設置在所述三倍頻晶體底座上，所述第一支撐板上設置有一個銷 釘孔、至少兩個螺紋孔，所述第一固定塊的左側面上設置有與所述銷釘孔適配的圓柱凸起， 所述第一固定塊通過與第一支撐板上的螺紋孔適配的螺釘固定在第一支撐板上;所述第一 固定塊內設置有用于容納所述第一組合圓柱體的第一通孔，所述第一通孔的一端開設在第 一固定塊的正面，所述第一通孔的另一端開設在第一固定塊的反面;所述第一固定塊的頂 面設置有螺紋孔，所述第一固定塊頂面的螺紋孔與所述第一通孔連通，所述第一組合圓柱 體通過與第一固定塊頂面上的螺紋孔適配的壓緊螺釘固定在所述第一通孔內；所述第一組 合圓柱體的圓心處設置有用于固定所述三倍頻晶體的第一方孔。6. 根據(jù)權利要求5所述的紫外激光器，其特征在于，所述第一組合圓柱體包括第一瓣體 和第二瓣體，所述第一瓣體和第二瓣體的徑向截面為半圓形，所述第一瓣體的直邊側和第 二瓣體的直邊側均設置有矩形凹槽，所述第一瓣體的矩形凹槽和第二瓣體的矩形凹槽組合 成所述第一方孔;所述第一瓣體和第二瓣體內均設置有第一安裝孔，所述第一安裝孔內安 裝有溫度傳感器和用于給所述三倍頻晶體加熱的導線。7. 根據(jù)權利要求5所述的紫外激光器，其特征在于，所述三倍頻晶體與第一方孔之間的 間隙設置有導熱膏。8. 根據(jù)權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述二倍頻晶體座包括二倍頻晶體 底座、第二支撐板、第二固定塊和第二組合圓柱體;所述二倍頻晶體底座上設置有至少三個 螺紋孔，所述二倍頻晶體底座通過與所述螺紋孔適配的固定螺釘固定在所述激光器腔體 內；所述第二支撐板豎直設置在所述二倍頻晶體底座上，所述第二支撐板上設置有一個銷 釘孔、至少兩個螺紋孔，所述第二固定塊的左側面上設置有與所述銷釘孔適配的圓柱凸起， 所述第二固定塊通過與第二支撐板上的螺紋孔適配的螺釘固定在第二支撐板上;所述第二 固定塊內設置有用于容納所述第二組合圓柱體的第二通孔，所述第二通孔的一端開設在第 二固定塊的正面，所述第二通孔的另一端開設在第二固定塊的反面;所述第二固定塊的頂 面設置有螺紋孔，所述第二固定塊頂面的螺紋孔與所述第二通孔連通，所述第二組合圓柱 體通過與第二固定塊頂面上的螺紋孔適配的壓緊螺釘固定在所述第二通孔內；所述第二組 合圓柱體的圓心處設置有用于固定所述二倍頻晶體的第二方孔。9. 根據(jù)權利要求8所述的紫外激光器，其特征在于，所述第二組合圓柱體包括第三瓣體 和第四瓣體，所述第三瓣體和第四瓣體的徑向截面為半圓形，所述第三瓣體的直邊側和第 四瓣體的直邊側均設置有矩形凹槽，所述第三瓣體的矩形凹槽和第四瓣體的矩形凹槽組合 成所述第二方孔;所述第三瓣體和第四瓣體內均設置有第二安裝孔，所述第二安裝孔內安 裝有溫度傳感器和用于給所述二倍頻晶體加熱的導線。10. 根據(jù)權利要求1所述的紫外激光器，其特征在于，所述第一栗浦激光光源包括第一 栗浦激光二極管、第一 SMA-905接頭和用于對第一栗浦激光二極管發(fā)出的栗浦激光進行準 直聚焦的第一耦合鏡組;所述第一栗浦激光二極管與所述第一 SMA-905接頭連接，所述第一 栗浦激光二極管通過所述第一 SMA-905接頭出射栗浦激光，所述第一耦合鏡組設置在所述 栗浦激光的光路上。
【文檔編號】H01S3/109GK205543662SQ201620084847
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月28日
【發(fā)明人】肖磊, 趙建濤, 徐地華
【申請人】昆山市正業(yè)電子有限公司