一種新型真空機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型真空機(jī)構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動(dòng)裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動(dòng)平面，腔體傳動(dòng)裝置上設(shè)有傳動(dòng)載體，其中腔體傳動(dòng)裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。本實(shí)用新型腔體傳動(dòng)裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，破空時(shí)通入氣流，其中真空腔體一分為二，腔室在硅片傳動(dòng)的上方的，腔室上蓋在硅片傳動(dòng)的下方，在破空時(shí)形成的上下對(duì)吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時(shí)也大大的提交了生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】
一種新型真空機(jī)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制備領(lǐng)域，尤其涉及一種新型真空機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]能源危機(jī)下光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，進(jìn)一步推廣光伏應(yīng)用的關(guān)鍵是提高電池光電轉(zhuǎn)換效率，降低電池成本。異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池是Si襯底上生長(zhǎng)非晶Si薄層的異質(zhì)結(jié)電池，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工藝溫度低、轉(zhuǎn)換效率高，溫度特性好的特點(diǎn)，是適合于大規(guī)模推廣應(yīng)用的高效電池之一，具有很好的發(fā)展前景。
[0003]真空機(jī)構(gòu)是太陽(yáng)能電池研發(fā)、生產(chǎn)的重中之重。晶硅電池最高轉(zhuǎn)換效率已達(dá)20%以上，但是由于重量輕在進(jìn)出真空機(jī)構(gòu)的生產(chǎn)工藝中往往不良率高，造成這高不良率原因是破真空時(shí)產(chǎn)生的氣流過(guò)大致使破片率的大幅度增長(zhǎng)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種新型真空機(jī)構(gòu)，解決了破真空時(shí)產(chǎn)生的氣流過(guò)大致使破片率的大幅度增長(zhǎng)。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種新型真空機(jī)構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動(dòng)裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動(dòng)平面，腔體傳動(dòng)裝置上設(shè)有傳動(dòng)載體，其中腔體傳動(dòng)裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。
[0006]進(jìn)一步的，所述真空腔體由腔室和腔室上蓋組成，所述腔室和腔室上蓋分別設(shè)在硅片傳動(dòng)平面的上方和下方。
[0007]進(jìn)一步的，所述傳動(dòng)載體為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔。
[0008]進(jìn)一步的，所述通氣孔等距排列與硅片傳動(dòng)平面平行。
[0009]由上述對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)占.V.
[0010]本實(shí)用新型一種新型真空機(jī)構(gòu)，腔體傳動(dòng)裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，破空時(shí)通入氣流，其中真空腔體一分為二，腔室在硅片傳動(dòng)的上方的，腔室上蓋在硅片傳動(dòng)的下方，在破空時(shí)形成的上下對(duì)吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時(shí)也大大的提交了生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0011]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0012]圖1為本實(shí)用新型一種新型真空機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0014]實(shí)施例
[0015]—種新型真空機(jī)構(gòu)，如圖1所示包括真空腔體1、腔體傳動(dòng)裝置2以及設(shè)在真空腔體
I上的硅片傳動(dòng)平面3，真空腔體I由腔室11和腔室上蓋12組成，所述腔室11和腔室上蓋12分別設(shè)在硅片傳動(dòng)平面3的上方和下方，腔體傳動(dòng)裝置2上設(shè)有傳動(dòng)載體4，腔體傳動(dòng)裝置2和真空腔體I之間設(shè)有破空氣路5，破空氣路5上設(shè)有大氣破空閥門6，所述傳動(dòng)載體2為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔7，通氣孔7等距排列與硅片傳動(dòng)平面3平行。破空時(shí)通入氣流，其中真空腔體I一分為二，腔室11在硅片傳動(dòng)平面3的上方的，腔室上蓋12在硅片傳動(dòng)平面3的下方，在破空時(shí)形成的上下對(duì)吹氣流，降低產(chǎn)品不良率同時(shí)也大大的提交了生產(chǎn)效率。
[0016]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型真空機(jī)構(gòu)，包括真空腔體、腔體傳動(dòng)裝置以及設(shè)在真空腔體上的硅片傳動(dòng)平面，所述腔體傳動(dòng)裝置上設(shè)有傳動(dòng)載體，其特征在于:所述腔體傳動(dòng)裝置和真空腔體之間設(shè)有破空氣路，所述破空氣路上設(shè)有大氣破空閥門。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述真空腔體由腔室和腔室上蓋組成，所述腔室和腔室上蓋分別設(shè)在硅片傳動(dòng)平面的上方和下方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述傳動(dòng)載體為管道，所述管道上設(shè)有通氣孔。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述通氣孔等距排列與硅片傳動(dòng)平面平行。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK205542854SQ201620202036
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月16日
【發(fā)明人】李鵬飛, 王樹林, 陳劍雨, 王武鵬
【申請(qǐng)人】鈞石(中國(guó))能源有限公司