一種可防止晶片滑落的晶片花籃的制作方法
【專利摘要】一種可防止晶片滑落的晶片花籃，屬于太陽(yáng)能電池、IC 集成電路、LED發(fā)光二極管芯片等生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，本實(shí)用新型在每塊側(cè)板的上表面覆蓋一齒板，齒板上成排設(shè)置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向可移動(dòng)式連接在側(cè)板上。無(wú)外力作用時(shí)，齒板上鋸齒一一對(duì)應(yīng)地排列在相鄰的插槽中，可以有效防止在機(jī)械或人工搬動(dòng)、翻轉(zhuǎn)時(shí)晶片發(fā)生滑落的意外發(fā)生。通過(guò)外力使齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，使齒板上鋸齒與插槽重疊，即可實(shí)現(xiàn)晶片的取出或插入。本實(shí)用新型適用于晶片的存放、搬運(yùn)，涂膠、光刻、顯影等工藝，方便晶片的作業(yè)、搬運(yùn)及存儲(chǔ)，提高了晶片的安全性。
【專利說(shuō)明】
一種可防止晶片滑落的晶片花籃
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池、IC集成電路、LED發(fā)光二極管芯片等生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及用于存放晶片的花籃。
【背景技術(shù)】
[0002]花籃是一種在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域廣泛使用的生產(chǎn)制具。例如在太陽(yáng)能電池、IC集成電路、LED發(fā)光二極管芯片等被用于晶片的存放、搬運(yùn)，涂膠，光刻，顯影，清洗等工藝。對(duì)于LED發(fā)光二極管芯片制造來(lái)說(shuō)，所用的花籃主要分為方形及圓形兩種。早期多以使用圓形花籃為主，用于濕法蝕刻、去膠、光刻、以及批次性的晶片存放。
[0003]隨著自動(dòng)化設(shè)備的大力推廣，方形花籃被越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造商接受。在實(shí)際生產(chǎn)制造過(guò)程中，自動(dòng)化機(jī)臺(tái)往往需要配套使用方形花籃，機(jī)臺(tái)內(nèi)部可以通過(guò)機(jī)械手臂搬運(yùn)晶片，相對(duì)比較安全。
[0004]現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)是:一塊U形端板和一塊H形端板分別布置在藍(lán)體的兩端，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側(cè)板，沿側(cè)板的長(zhǎng)度方向、在兩塊側(cè)板相對(duì)的面上分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)若干插槽，各晶片就從側(cè)板的上表面向下對(duì)應(yīng)地插入各插槽中。當(dāng)從機(jī)臺(tái)中取下完成作業(yè)的晶片時(shí)，往往需要人為將豎直放立的花籃翻轉(zhuǎn)，在人為翻轉(zhuǎn)過(guò)程中往往疏忽會(huì)發(fā)生翻轉(zhuǎn)反向?qū)е戮圆宀壑谢?，而且在不同機(jī)臺(tái)間周轉(zhuǎn)、搬運(yùn)時(shí)更加容易發(fā)生一些類似的事故，造成一定的產(chǎn)品損失。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了能夠防止晶片從插槽中滑落而影響自動(dòng)化機(jī)臺(tái)使用，本實(shí)用新型提出一種可防止晶片滑落的晶片花籃。
[0006]本實(shí)用新型包括一塊U形端板和一塊H形端板，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側(cè)板，沿各側(cè)板的長(zhǎng)度方向、在所述兩塊側(cè)板相對(duì)的面上分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)若干插槽，其特征在于:在每塊側(cè)板的上表面覆蓋一齒板，所述齒板上成排設(shè)置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，所述齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向可移動(dòng)式連接在側(cè)板上。
[0007]無(wú)外力作用時(shí)，齒板上鋸齒對(duì)應(yīng)地排列在相鄰的插槽中，可以有效防止在機(jī)械或人工搬動(dòng)、翻轉(zhuǎn)時(shí)晶片發(fā)生滑落的意外發(fā)生。通過(guò)外力使齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，使齒板上鋸齒與插槽重疊，即可實(shí)現(xiàn)晶片的取出或插入。本實(shí)用新型所提供的晶片花籃適用于太陽(yáng)能電池芯片、IC芯片、LED芯片等半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。適用于晶片的存放、搬運(yùn)，涂膠、光刻、顯影等工藝，方便晶片的作業(yè)、搬運(yùn)及存儲(chǔ)，提高了晶片的安全性。
[0008]實(shí)現(xiàn)齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向可移動(dòng)式連接在側(cè)板上的一種具體結(jié)構(gòu)是:在朝向U形端板的側(cè)板上端面設(shè)置軸向平行于側(cè)板的長(zhǎng)度方向的插孔，在朝向H形端板的側(cè)板上端固定連接一垂直于側(cè)板上端面的鉚釘，在朝向U形端板的齒板端部連體設(shè)置一插銷，在朝向H形端板的齒板端部連體設(shè)置一平板，在平板上開(kāi)設(shè)與側(cè)板長(zhǎng)度方向平行的長(zhǎng)槽，在長(zhǎng)槽外端的平板上設(shè)置有推柄;所述插銷插置于插孔內(nèi)，所述鉚釘配合在長(zhǎng)槽內(nèi)；在齒板的中部連接一拉桿，所述拉桿與彈簧的一端連接，彈簧的另一端與一固定銷連接，所述固定銷固定連接在側(cè)板上，拉桿較固定銷遠(yuǎn)離H形端板。
[0009]無(wú)外力時(shí)在彈簧的拉力下，齒板上鋸齒一一對(duì)應(yīng)地排列在相鄰的插槽中，達(dá)到阻擋的作用，通過(guò)推柄，可使齒板克服彈簧拉力向U形端板一側(cè)移動(dòng)，即可方便地使齒板上鋸齒與插槽重疊。
[0010]由于設(shè)計(jì)用于存放晶片的量較大，側(cè)板和齒板也相應(yīng)地較長(zhǎng)，為了加強(qiáng)齒板移動(dòng)時(shí)的導(dǎo)向，本實(shí)用新型還在齒板上還設(shè)置I至3根垂直于側(cè)板長(zhǎng)度方向的副插銷，各副插銷對(duì)應(yīng)地插置于設(shè)置在側(cè)板上端面的副插孔中，各副插孔設(shè)有與平板上長(zhǎng)槽平行的長(zhǎng)形孔。
[0011]另外，所述鋸齒的齒尖短于插槽的齒尖，可以很好地阻擋晶片滑落，同時(shí)又節(jié)約制作材料，符合美觀要求。
[0012]花籃的材料包括但不限于特氟龍、金屬或者PP材質(zhì)等。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為圖1的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]如圖1、2所示，本實(shí)用新型由一塊U形端板1、一塊H形端板2和兩側(cè)側(cè)板3依次相互連接形成矩形(現(xiàn)行行業(yè)中統(tǒng)稱為方形)的晶片花籃本體，兩塊側(cè)板3的兩端連接在U形端板I和H形端板2之間。在兩塊側(cè)板3相對(duì)的面上分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)若干插槽3-1。
[0016]本實(shí)用新型的特點(diǎn)是:
[0017]在每塊側(cè)板3的上表面覆蓋一齒板4，齒板4上成排設(shè)置與插槽3-1的齒寬和齒距一致的鋸齒4-1。
[0018]在朝向U形端板I的側(cè)板3上端面設(shè)置軸向平行于側(cè)板3的長(zhǎng)度方向的插孔5，在朝向H形端板2的側(cè)板3上端固定連接一垂直于側(cè)板3上端面的鉚釘6，在朝向U形端板I的齒板4端部連體設(shè)置一插銷4-2，在朝向H形端板2的齒板4端部連體設(shè)置一平板4-3，在平板4-3上開(kāi)設(shè)置與側(cè)板3長(zhǎng)度方向平行的長(zhǎng)槽4-4，在長(zhǎng)槽4-4外端的平板4-3上連體設(shè)置有推柄4-5。插銷4-2插置于插孔5內(nèi)，鉚釘6配合在長(zhǎng)槽4-4內(nèi)。
[0019]在齒板4的中部連體設(shè)置一拉桿4-6，在拉桿4-6的兩側(cè)的齒板4上還連體設(shè)置與拉桿4-6平行且垂直于側(cè)板3長(zhǎng)度方向的兩根副插銷4-7。拉桿4-6與彈簧7的一端連接，彈簧7的另一端與一固定銷8連接，固定銷8固定連接在側(cè)板3上，拉桿4-6較固定銷8遠(yuǎn)離H形端板
2。各副插銷4-7對(duì)應(yīng)地插置于設(shè)置在側(cè)板3上端面的副插孔9中，各副插孔9設(shè)有與平板4-3上長(zhǎng)槽4-4平行的長(zhǎng)形孔，以使副插孔9在相應(yīng)的副插孔9內(nèi)沿側(cè)板3的長(zhǎng)度方向移動(dòng)。
[0020]為滿足花籃H型端向下放置時(shí)，推柄4-5可以完全縮回，不影響端面平整性，推柄4-5伸出長(zhǎng)度(或者叫行程)L3應(yīng)該小于等于L4、L5、L6、L7。
[0021 ]鋸齒4-1的齒尖LI小于插槽的齒尖L2，當(dāng)L1:L2= 1: 2時(shí)最佳。以一種常見(jiàn)的2寸晶片花籃為例，花籃開(kāi)口距離約為54mm，鋸齒距離約為38mm，當(dāng)設(shè)計(jì)的鋸齒為1:2時(shí)，開(kāi)口距離為46mm，晶片滑向花藍(lán)任意一側(cè)的時(shí)候，距離為46+4=50mm，正常2寸晶片尺寸為50.8 土
0.025_，大于開(kāi)口尺寸，可以很好地阻擋晶片滑落，同時(shí)又節(jié)約制作材料，符合美觀要求。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可防止晶片滑落的晶片花籃，包括一塊U形端板和一塊H形端板，在U形端板和H形端板之間連接兩塊側(cè)板，沿各側(cè)板的長(zhǎng)度方向、在所述兩塊側(cè)板相對(duì)的面上分別對(duì)稱開(kāi)設(shè)若干插槽，其特征在于:在每塊側(cè)板的上表面覆蓋一齒板，所述齒板上成排設(shè)置與插槽的齒寬和齒距一致的鋸齒，所述齒板沿著側(cè)板的長(zhǎng)度方向可移動(dòng)式連接在側(cè)板上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于在朝向U形端板的側(cè)板上端面設(shè)置軸向平行于側(cè)板的長(zhǎng)度方向的插孔，在朝向H形端板的側(cè)板上端固定連接一垂直于側(cè)板上端面的鉚釘，在朝向U形端板的齒板端部連體設(shè)置一插銷，在朝向H形端板的齒板端部連體設(shè)置一平板，在平板上開(kāi)設(shè)與側(cè)板長(zhǎng)度方向平行的長(zhǎng)槽，在長(zhǎng)槽外端的平板上設(shè)置有推柄;所述插銷插置于插孔內(nèi)，所述鉚釘配合在長(zhǎng)槽內(nèi)；在齒板的中部連接一拉桿，所述拉桿與彈簧的一端連接，彈簧的另一端與一固定銷連接，所述固定銷固定連接在側(cè)板上，拉桿較固定銷遠(yuǎn)離H形端板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于在齒板上還設(shè)置I至3根垂直于側(cè)板長(zhǎng)度方向的副插銷，各副插銷對(duì)應(yīng)地插置于設(shè)置在側(cè)板上端面的副插孔中，各副插孔設(shè)有與平板上長(zhǎng)槽平行的長(zhǎng)形孔。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述可防止晶片滑落的晶片花籃，其特征在于所述鋸齒的齒尖短于插槽的齒尖。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK205428884SQ201521080140
【公開(kāi)日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2015年12月23日
【發(fā)明人】李波, 李俊承, 郭冠軍, 楊凱, 林洪亮, 徐洲, 王英
【申請(qǐng)人】揚(yáng)州乾照光電有限公司