用于太陽能電池的基板載具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型是一種用于太陽能電池的基板載具，尤指一種在制作太陽能電池工藝 中，承載太陽能電池基板W進(jìn)行濕式蝕刻的載具。
【背景技術(shù)】
[0002] 在制作太陽能電池的工藝中，會先經(jīng)過濕式或干式蝕刻，而使太陽能電池的基板 表面形成金字塔結(jié)構(gòu)，借W形成光電轉(zhuǎn)換層。
[0003] 目前，在一般的太陽能電池工藝中，需利用一載具承載太陽能電池基板，再利用機(jī) 械手臂夾持該載具，W將該載具中承載的太陽能電池基板，進(jìn)行酸堿蝕刻、清洗與干燥等步 驟，其中使用的酸堿液可包括氨氧化鐘、氨氧化鋼、硫酸、硝酸、氨氣酸、氨水等強(qiáng)堿、強(qiáng)酸等 蝕刻液，清洗液可包括高潔凈度液體、去離子水W清洗殘留在基板的蝕刻液體，最后再進(jìn)行 烘干的工藝。
[0004] 然而，現(xiàn)有載具所用的材質(zhì)與其結(jié)構(gòu)，無法耐強(qiáng)堿、強(qiáng)酸于工藝所生的高溫，換言 之，現(xiàn)有載具耐溫僅達(dá)60°c~80°C，且不耐強(qiáng)堿、強(qiáng)酸的腐蝕性，僅可耐低濃度（<20% )的 酸堿蝕刻液，導(dǎo)致現(xiàn)有載具的使用壽命變短，通常使用100~500次之后即損壞需更換，且 現(xiàn)有載具的疏水性較差，蝕刻或清洗的液體易殘留于太陽能電池基板上，于工藝中經(jīng)不斷 地交互進(jìn)行酸堿蝕刻，造成太陽能電池基板四周的無效區(qū)域（pinmark)面積過大W致產(chǎn)品 不良率過高，譬如前一步驟實(shí)施強(qiáng)堿蝕刻的殘留液，即使經(jīng)過清洗步驟，然疏水性差的載具 仍可能將其所承載的含有強(qiáng)堿殘留液的基板進(jìn)入下一強(qiáng)酸蝕刻步驟，將導(dǎo)致蝕刻液酸堿中 和的不利效應(yīng)，輕則影響基板的蝕刻效果，重者危害操作員的生命。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005] 有鑒于此，本案發(fā)明人本于多年從事相關(guān)產(chǎn)品的制造開發(fā)與設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，針對上述 的目標(biāo)，詳加設(shè)計(jì)與審慎評估后，終得一確具實(shí)用性的本實(shí)用新型。
[0006] 本發(fā)明的目的，在于提供一種用于太陽能電池的基板載具，用于濕式蝕刻化學(xué)工 藝中，該載具包含有：兩側(cè)板、分別連接該兩側(cè)板外緣的至少一側(cè)桿體、連接該兩側(cè)板下緣 的至少一底桿體、W及連接該兩側(cè)板上緣的至少一壓桿體；
[0007] 其中該側(cè)板、側(cè)桿體與底桿體之間共同形成一空間，W容置至少一太陽能電池基 板；
[0008] 其中分別沿該側(cè)桿體與該壓桿體的軸向設(shè)有數(shù)個軸向排列且等距間隔的第一齒 肋，且該各齒肋與太陽能電池基板維持兩者之間的一點(diǎn)對點(diǎn)的接觸；
[0009] 其中該側(cè)板設(shè)有一凹口W定位該壓桿體具有一水滴狀的凸部，且進(jìn)一步自該凹口 向外延伸一斜向開口；W及
[0010] 其中該載具的材質(zhì)為一四氣乙締一全氣烷氧基乙締基酸共聚物（Tetrafluoroeth yIene-PerfIuoroalkylVinylEtherCopolymer，簡稱PFA)。
[0011] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該各第一齒肋由一較長的弧邊、一較短的線邊、對稱的一 對斜側(cè)邊與一頂點(diǎn)所構(gòu)成，該頂點(diǎn)定義為該第一齒肋的最高點(diǎn)，該各第一齒肋的四邊分別 與該等側(cè)桿體、壓桿體連接于四處交點(diǎn)，借助該對斜側(cè)邊而使該各齒肋W點(diǎn)對點(diǎn)的接觸方 式支撐該各太陽能電池基板。
[0012] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該第一齒肋具有一側(cè)視面而呈現(xiàn)一不對稱罐形，該弧邊 的曲率半徑介于3毫米（mm)與500毫米（mm)之間，該弧邊通過該頂點(diǎn)至與該交點(diǎn)的第一 直線與通過該頂點(diǎn)與該桿體的圓屯、的第二直線共同形成一夾角介于10°與85°之間，且 該線邊與該第二直線共同形成一夾角介于-18°與45°之間；
[0013] 其中該第一齒肋具有一上視面，而呈現(xiàn)一第一徑向長度、一第二徑向長度與一軸 向長度，而該第一徑向長度是定義自該頂點(diǎn)沿該弧邊方向而至交點(diǎn)的徑向長度，而該第二 徑向長度是定義自該頂點(diǎn)沿該線邊方向而至交點(diǎn)的徑向長度，該第二徑向長度為該第一徑 向長度的0. 1~0. 9倍，且該軸向長度為該齒肋的一最大軸向長度且為該第一徑向長度的 0. 2~0. 8倍；其中該第一齒肋具有一前視面而呈現(xiàn)該對斜側(cè)邊與該線邊，該斜側(cè)邊與該線 邊共同形成一夾角介于r與45°之間。
[0014] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該載具進(jìn)一步沿該底桿體的軸向設(shè)有數(shù)個軸向排列且等 距間隔的第一齒肋。
[0015] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該載具進(jìn)一步沿該側(cè)桿體、該底桿體與該壓桿體的其中 之一另設(shè)有數(shù)個軸向排列且等距間隔的第二齒肋，其中該些第二齒肋與該些第一齒肋之間 W彼此交錯方式排列，且兩者具有相同的構(gòu)型；
[0016] 其中該第一與第二齒肋共同形成一側(cè)視面而呈現(xiàn)一對稱罐形；
[0017] 其中該第一與第二齒肋共同形成一上視面而呈現(xiàn)其相鄰齒肋具有一上一下的組 態(tài)；
[0018] 其中該第一與第二齒肋共同形成一前視面，而呈現(xiàn)該任一齒肋的該斜側(cè)邊的徑向 距離為其軸向長度的0. 8~5倍之間；
[0019] 其中該斜側(cè)邊與該弧邊共同形成一夾角介于r與45°之間。
[0020] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該第一齒肋具有一側(cè)視面而呈現(xiàn)一大致等腰梯形，該梯 形由一頂面、一對倒角面、一對斜面與一底部所構(gòu)成者，該倒角面具有一曲率半徑介于1毫 米（mm)與30毫米（mm)之間，該斜面與一通過該頂面的中屯、與該桿體圓屯、的直線共同形成 一夾角介于r與60°之間；
[0021] 其中該第一齒肋具有一前視面而呈現(xiàn)該頂面、該倒角面、該斜面與兩斜側(cè)面，通過 該頂面的中屯、與該桿體圓屯、的直線與該斜側(cè)面共同形成一夾角介于r與45°之間，該頂 面具有一最大軸向長度且該斜側(cè)面具有一最大徑向長度，該最大徑向長度約為該最大軸向 長度的0. 5~10倍。
[0022] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該第一齒肋具有一側(cè)視面而呈現(xiàn)一具有一頂點(diǎn)的等腰= 角形，該等腰=角形具有兩等腰斜邊且其與通過該頂點(diǎn)及該桿體圓屯、的直線共同形成一夾 角介于3°與60°之間；
[0023] 其中該第一齒肋具有一上視面而呈現(xiàn)一菱形，該菱形具有一最大的對角徑向邊與 一最小的對角軸向邊，而該最小的軸向邊約為該最大的徑向邊的0. 2~5倍；
[0024] 其中該第一齒肋具有一前視面而呈現(xiàn)該頂點(diǎn)、該等腰斜邊與兩側(cè)斜邊，該等腰斜 邊與該側(cè)斜邊共同形成一夾角介于r與45°之間。
[00巧]本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該第一齒肋為一漸變楠圓柱體，具有一側(cè)視面而呈現(xiàn)在 其頂端具有一最小楠圓的長軸，且在其底端具有一最大楠圓的長軸，W及在該兩長軸之間 具有一長軸斜邊，該長軸斜邊與通過該楠圓柱體圓屯、及該桿體圓屯、的直線共同形成一夾角 介于r與45。之間。
[002引本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該側(cè)板的凹口進(jìn)一步設(shè)有一L型缺口，該L型缺口的入口 二側(cè)設(shè)有供該壓桿體置入的一導(dǎo)正斜面，該L型缺口的下方一側(cè)延伸有一內(nèi)開口與自該內(nèi) 開口進(jìn)一步延伸有一側(cè)圓弧W配合該水滴狀凸部的頂端，其中該側(cè)圓弧的直徑大于該內(nèi)開 口的長度。
[0027] 本發(fā)明的一個實(shí)施例中，該壓桿體進(jìn)一步在其水滴狀凸部往外延伸一凸起部，其 中該水滴狀凸部進(jìn)一步設(shè)有一長軸與一短軸，而該長軸的長度約為短軸的1. 1~1. 5倍，且 該側(cè)板的凹口進(jìn)一步設(shè)有對應(yīng)該長、短軸的U型缺口，該U型缺口的入口二側(cè)設(shè)有使該壓桿 體置入的一導(dǎo)正斜面，其中該U型缺口在其底端兩側(cè)分別具有第一直徑弧部與第二直徑弧 部W干設(shè)該水滴狀凸部的該長、短軸，其中該第一直徑弧部與該第二直徑弧部具有不同的 直徑。
[0028] 為便貴審查委員能對本實(shí)用新型的目的、形狀、構(gòu)造裝置特征及其功效，做更進(jìn)一 步的認(rèn)識與了解，茲舉實(shí)施例配合圖式，詳細(xì)說明如下：
【附圖說明】
[0029] 圖1為本實(shí)用新型的載具的立體外觀圖。
[0030] 圖2A、2B、2C分別為本實(shí)用新型第一齒肋的第一實(shí)施例的側(cè)視圖、上視圖及前視 圖的不意。
[0031] 圖3A、3B、3C、3D分別為本實(shí)用新型第一齒肋、第二齒肋的立體圖、前視圖、上視圖 與側(cè)視圖的示意。
[0032] 圖4A、4B分別為本實(shí)用新型第一齒肋的第二實(shí)施例的側(cè)視圖、前視圖的示意。
[003引圖5A、5B、5C分別為本實(shí)用新型第一齒肋的第立實(shí)施例的側(cè)視圖、上視圖、前視圖 的示意。
[0034] 圖6A、6B分別為本實(shí)用新型第一齒肋的第四實(shí)施例的側(cè)視圖、前視圖的示意。
[0035] 圖7為本實(shí)用新型的壓桿體放大示意圖。
[003引圖8A、8B分別為本實(shí)用新型的水滴狀凸部、U型缺口的示意圖。
[0037] 圖9為本實(shí)用新型的L型缺口的示意圖。
[003引圖10A、IOB為本實(shí)用新型側(cè)板及該側(cè)板上掛勾的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039] 本實(shí)用新型是一種「用于太陽能電池的基板載具」，請參閱圖1所示，本文中所使 用的名稱「徑向」與「軸向」分別是指沿桿體的半徑方向（radiusdirection)所延伸者及 穿過桿體中屯、的縱軸方向（lengthwisedir