離子發(fā)生器的制造方法
【專利摘要】提供一種離子發(fā)生器。用屏蔽電纜電連接將放電電極安裝到第1外殼而成的電極部件、和將針對(duì)該電極部件輸出脈沖狀的高電壓的高電壓發(fā)生電路安裝到第2外殼而成的電源控制部件,在對(duì)屏蔽電纜的屏蔽層與地之間進(jìn)行電連接的接地線中連接了電容器。
【專利說(shuō)明】
離子發(fā)生器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及用于通過(guò)針對(duì)放電針等放電電極交替施加正以及負(fù)的高電壓而發(fā)生正以及負(fù)的雙極性的離子,使帶電的工件等電氣地中和的離子發(fā)生器。
【背景技術(shù)】
[0002]以往,已知通過(guò)針對(duì)放電針等放電電極交替施加正以及負(fù)的高電壓而發(fā)生正以及負(fù)的雙極性的離子,使帶電的工件等電氣地中和的離子發(fā)生器。通常,該種離子發(fā)生器例如如專利文獻(xiàn)I所示,將上述放電電極、和包括針對(duì)上述放電電極輸出正以及負(fù)的高電壓的高電壓發(fā)生電路的電源控制部組裝到同一外殼內(nèi)而一體化。因此,存在外殼的外形尺寸大型化,如果在想要設(shè)置該離子發(fā)生器的場(chǎng)所內(nèi)存在空間上的制約,則無(wú)法設(shè)置于期望的位置這樣的問(wèn)題。
[0003]為了消除這樣的問(wèn)題,在例如專利文獻(xiàn)2中,公開(kāi)了將上述放電電極收容于與上述電源控制部獨(dú)立的外殼內(nèi)來(lái)形成電極部件,使該放電電極的外殼小型化,從而能夠與上述電源控制部分離地設(shè)置該放電電極的離子發(fā)生器。此時(shí),在對(duì)上述電源控制部和電極部件進(jìn)行電連接時(shí),考慮使用屏蔽處理了的電纜(所謂屏蔽電纜),但該電纜一般具有在導(dǎo)體與屏蔽層之間設(shè)置了絕緣層的構(gòu)造。
[0004]在離子發(fā)生器中,由放電電極生成的離子的量與對(duì)該電極實(shí)際上施加的電壓波形的積分值成比例,所以在例如從上述電源控制部輸出脈沖狀的電壓的情況下,期望在盡可能維持其脈沖狀波形的狀態(tài)下,對(duì)上述放電電極施加該電壓。
[0005]但是,在上述那樣的屏蔽電纜中,在上述導(dǎo)體與屏蔽層之間形成一種電容器(所謂假想電容器),在該屏蔽電纜自身中產(chǎn)生作為浮置電容(寄生電容)的靜電電容。因此,即使從電源控制部輸出了例如圖7的實(shí)線所示那樣的脈沖波形的電壓,由于上述靜電電容所引起的應(yīng)答延遲,對(duì)上述電極部件實(shí)際上輸入的電壓波形(即對(duì)上述放電電極實(shí)際上施加的電壓波形)如圖8所示失真,其結(jié)果,存在離子發(fā)生效率降低這樣的問(wèn)題。另外,在專利文獻(xiàn)3以及專利文獻(xiàn)4中也公開(kāi)了這樣的電纜的浮置靜電電容所致的向離子發(fā)生效率的影響。
[0006]【專利文獻(xiàn)I】日本特開(kāi)2011-014319號(hào)公報(bào)
[0007]【專利文獻(xiàn)2】日本特開(kāi)2012-252800號(hào)公報(bào)
[0008]【專利文獻(xiàn)3】日本特開(kāi)2011-009167號(hào)公報(bào)
[0009]【專利文獻(xiàn)4】日本特開(kāi)2011-009168號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0010]因此,本發(fā)明的技術(shù)的課題在于,在以能夠相互離開(kāi)地配置的方式,用屏蔽電纜電連接了將放電針等放電電極收容到外殼而成的電極部件、和針對(duì)該電極部件輸出脈沖狀的高電壓的電源控制部的離子發(fā)生器中,抑制上述屏蔽電纜的浮置靜電電容所致的電壓波形的紊亂,抑制離子發(fā)生效率的降低。
[0011]為了解決上述技術(shù)的課題,根據(jù)本發(fā)明,提供一種離子發(fā)生器,包括:電極部件,具有放電電極;電源控制部,針對(duì)該電極部件輸出脈沖狀的高電壓;以及電纜,對(duì)這些電極部件及電源控制部之間進(jìn)行電連接,所述離子發(fā)生器的特征在于:所述電極部件是將所述放電電極安裝到獨(dú)立于所述電源控制部的第I外殼而成的,構(gòu)成為能夠從該電源控制部離開(kāi)地設(shè)置,所述電纜是具有由導(dǎo)體構(gòu)成的電線、包圍該電線的周圍的由絕緣體構(gòu)成的絕緣層以及包圍該絕緣層的周圍的由導(dǎo)體構(gòu)成的屏蔽層的屏蔽電纜,在所述屏蔽層與接地之間連接有電容器。
[0012]根據(jù)上述離子發(fā)生器,包括上述電容器的電纜整體的靜電電容被抑制得小于在上述電線與屏蔽層之間產(chǎn)生的電纜單體的靜電電容(電纜的浮置靜電電容),所以相比于不連接上述電容器的情況,經(jīng)由該電纜對(duì)上述放電電極施加的脈沖電壓的波形的紊亂被降低,能夠抑制離子發(fā)生效率的降低。
[0013]此時(shí),如果上述電容器具有比上述電纜中的電線與屏蔽層之間的靜電電容(電纜的浮置靜電電容)小的靜電電容,則期望能夠使包括該電容器的電纜整體的靜電電容進(jìn)而比上述電纜的浮置靜電電容的一半更小。
[0014]在本發(fā)明的離子發(fā)生器中,上述電源控制部也可以交替連續(xù)地輸出正以及負(fù)的脈沖狀的高電壓。
[0015]此時(shí),優(yōu)選為,上述電源控制部具有使來(lái)自振蕩電源的振蕩電壓升壓而變換為正以及負(fù)的直流電壓,并且交替連續(xù)地切換該正以及負(fù)的直流電壓而輸出到上述電極部件的高電壓發(fā)生電路。另外,更優(yōu)選為,上述電極部件具有第I放電電極和第2放電電極,上述高電壓發(fā)生電路交替連續(xù)地切換針對(duì)上述第I放電電極施加正的直流電壓并針對(duì)第2放電電極施加負(fù)的直流電壓的第I極性模式的電壓、和針對(duì)上述第I放電電極施加負(fù)的直流電壓并針對(duì)第2放電電極施加正的直流電壓的第2極性模式的電壓而輸出到上述電極部件。
[0016]另外,在本發(fā)明的離子發(fā)生器中,也可以上述電容器配置于上述電纜,或者,也可以上述高電壓發(fā)生電路收容于第2外殼,上述電容器配置于該第2外殼。
[0017]進(jìn)而,在本發(fā)明的離子發(fā)生器中,用于將上述屏蔽層的電荷對(duì)接地放電的放電電阻也可以與上述電容器并聯(lián)地連接。
[0018]這樣,在本發(fā)明的離子發(fā)生器中,在用屏蔽電纜電連接了輸出脈沖狀的高電壓的電源控制部、和在與該電源控制部獨(dú)立的第I外殼中安裝放電電極而成的電極部件的離子發(fā)生器中,在上述電纜的屏蔽層與接地之間連接了電容器。因此,在上述電纜中的電線以及屏蔽層之間形成了的一種電容器(即假想電容器)和上述電容器成為串聯(lián)地連接了的狀態(tài),能夠?qū)ㄔ撾娙萜鞯碾娎|整體的靜電電容抑制得小于在上述電線與屏蔽層之間產(chǎn)生的電纜單體的靜電電容(即屏蔽電纜的浮置靜電電容)。其結(jié)果,相比于不連接上述電容器的情況,經(jīng)由上述電纜對(duì)放電電極施加的電壓波形的紊亂被降低,能夠抑制離子發(fā)生效率的降低。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是示出本發(fā)明的離子發(fā)生器的第I實(shí)施方式的整體結(jié)構(gòu)的概略框圖。
[0020]圖2是示出圖1的屏蔽電纜的概略結(jié)構(gòu)的剖面圖。
[0021]圖3是示出在本發(fā)明的離子發(fā)生器中,經(jīng)由屏蔽電纜對(duì)放電電極施加的實(shí)際的電壓波形的圖形。
[0022]圖4是示出圖1以及圖2所示的電容器的一個(gè)連接例的概略框圖。
[0023]圖5是示出圖1以及圖2所示的電容器的其他連接例的概略框圖。
[0024]圖6是部分性地示出本發(fā)明的離子發(fā)生器的第2實(shí)施方式的主要部分的概略框圖。
[0025]圖7是示出從高電壓發(fā)生電路輸出的電壓波形的圖形。其中,單點(diǎn)劃線表示理論上的波形,實(shí)線表示實(shí)際的波形。
[0026]圖8是示出在以往技術(shù)中經(jīng)由屏蔽電纜對(duì)放電電極施加的實(shí)際的電壓波形的圖形。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下,根據(jù)圖1-圖5,詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的離子發(fā)生器的第I實(shí)施方式。
[0028]另外,本發(fā)明針對(duì)對(duì)放電針等放電電極施加脈沖狀的高電壓的離子發(fā)生器有效,其中特別適用于通過(guò)針對(duì)一個(gè)或者多個(gè)放電電極的各個(gè)交替連續(xù)地施加正以及負(fù)的直流高電壓(即交替連續(xù)地施加正以及負(fù)的脈沖狀的高電壓),從上述各放電電極交替地發(fā)生正以及負(fù)的雙極性的離子的交流波方式的離子發(fā)生器。
[0029]以下,舉例說(shuō)明上述交流波方式的離子發(fā)生器。
[0030]離子發(fā)生器I具有:電極部件2,包括通過(guò)電暈放電發(fā)生離子的放電電極2a、2b而成;以及電源控制部3,以預(yù)定的時(shí)間間隔(圖7所示的周期T的一半)交替連續(xù)地切換正以及負(fù)的直流高電壓而輸出給上述電極部件2并施加給上述放電電極2a、2b。由此,從上述放電電極2a、2b放出與所施加的極性對(duì)應(yīng)的離子(如果是正電壓則正離子、如果是負(fù)電壓則負(fù)離子),從而能夠?qū)щ姷谋怀娢镉迷撾x子電氣地中和而除電。
[0031]此處,在本實(shí)施方式中,上述放電電極如圖1所示,由同時(shí)發(fā)生相互不同的極性的離子的第I放電電極2a及第2放電電極2b構(gòu)成。另外,上述電極部件2是通過(guò)針對(duì)單一的第I外殼Hl安裝這些第I放電電極2a及第2放電電極2b(更具體而言在單一的第I外殼Hl內(nèi)收容了的狀態(tài)下針對(duì)該外殼Hl固定)而構(gòu)成的。
[0032 ]另外,在本實(shí)施方式中,上述電源控制部3包括:振蕩電源4,輸出預(yù)定的頻率(例如50KHz)的振蕩電壓;以及高電壓發(fā)生電路5,使該振蕩電壓升壓而變換為正以及負(fù)的直流高電壓并且將這些正以及負(fù)的直流高電壓以上述預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2)交替連續(xù)地切換輸出。此時(shí),上述電源控制部3的電源4以及高電壓發(fā)生電路5收容于與上述第I外殼Hl獨(dú)立地形成的單一的第2外殼H2內(nèi)而形成電源控制部件6。
[0033]然后,上述電源控制部件6(具體而言電源控制部3的高電壓發(fā)生電路5)和電極部件2通過(guò)用于將來(lái)自上述高電壓發(fā)生電路5的直流高電壓傳送給該電極部件2并施加到放電電極2a、2b的電纜30a、30b電連接,能夠相互離開(kāi)設(shè)置。即,能夠?qū)ㄖ苯拥貐⑴c離子的發(fā)生以及放出的放電電極2a、2b而成的電極部件2、和包括不直接地參與離子的發(fā)生以及放出的電源4、高電壓發(fā)生電路5而成的電源控制部件6分別設(shè)置于相互離開(kāi)的適合的場(chǎng)所。
[0034]因此,能夠使上述第I外殼Hl小型化而使上述電極部件2小型化,其結(jié)果,即使假設(shè)在被除電物的附近有空間上的制約,而無(wú)法設(shè)置離子發(fā)生器I的裝置整體的情況下,也能夠?qū)⑸鲜鲭姌O部件2設(shè)置于被除電物的附近,將上述電源控制部件6設(shè)置于從此離開(kāi)了的其他位置。
[0035]更具體地說(shuō),上述電源控制部件6(即電源控制部3)的高電壓發(fā)生電路5包括:升壓整流電路7,對(duì)來(lái)自上述電源4的振蕩電壓進(jìn)行升壓以及整流而變換為正以及負(fù)的直流高電壓;和極性控制電路8,以上述預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2),交替連續(xù)地切換經(jīng)由上述電纜30a、30b針對(duì)電極部件2輸出的上述直流高電壓的極性。
[0036]此處,在本實(shí)施方式中,上述電纜包括:第I電纜30a,與上述第I放電電極2a連接而供給電壓;以及第2電纜30b,與上述第2放電電極2b連接而供給電壓。因此,上述極性控制電路8控制上述升壓整流電路7,針對(duì)上述第I及第2電纜30a、30b,同時(shí)輸出相互不同的極性的電壓,并且以上述預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2)交替連續(xù)地切換該極性而輸出。
[0037]S卩,在本實(shí)施方式中,上述電源控制部件6能夠以上述預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2)交替連續(xù)地切換在針對(duì)上述第I放電電極2a施加正的直流高電壓的同時(shí)針對(duì)第2放電電極2b施加負(fù)的直流高電壓的第I極性模式的電壓、和在針對(duì)上述第I放電電極2a施加負(fù)的直流高電壓的同時(shí)針對(duì)第2放電電極施加正的直流高電壓的第2極性模式的電壓,經(jīng)由上述第I及第2電纜30a、30b輸出到上述電極部件2。
[0038]此處,上述升壓整流電路7如圖1所示,具有:第I升壓變壓器9及第2升壓變壓器10,使從上述電源4輸出的振蕩電壓升壓;和第3升壓變壓器11及第4升壓變壓器12,同樣地使從上述電源4輸出的振蕩電壓升壓。另外,該升壓整流電路7具有:第I及第2正極電路13、15,將由上述第I及第3升壓變壓器9、11升壓的振蕩電壓分別變換為正極性的直流高電壓;以及第I及第2負(fù)極電路14、16,將由上述第2及第4升壓變壓器10、12升壓的振蕩電壓分別變換為負(fù)極性的直流高電壓。另外,上述第I正極電路13及第I負(fù)極電路14與上述第I電纜30a連接,上述第2正極電路15及第2負(fù)極電路16與上述第2電纜30b連接。
[0039]另一方面,上述極性控制電路8具有:第I及第3開(kāi)關(guān)17、19,使上述電源4與上述第
1、第2正極電路13、15之間的電連接分別獨(dú)立地成為0N/0FF;和第2及第4開(kāi)關(guān)18、20,使上述電源4與第I及第2負(fù)極電路14、16之間的電連接分別獨(dú)立地成為0N/0FF。進(jìn)而,該極性控制電路8具有輸出用于使上述第1-第4開(kāi)關(guān)17-20開(kāi)閉的指令信號(hào)(0N/0FF信號(hào))的指令電路21。此時(shí),在該指令電路21與上述第2開(kāi)關(guān)18及第3開(kāi)關(guān)19之間,連接有使來(lái)自上述指令電路21的指令信號(hào)反轉(zhuǎn)的邏輯反轉(zhuǎn)電路22,由此,針對(duì)上述第I及第4開(kāi)關(guān)17、20,原樣地直接輸入來(lái)自上述指令電路21的指令信號(hào),另一方面,針對(duì)上述第2及第3開(kāi)關(guān)18、19,輸入與來(lái)自上述指令電路21的指令信號(hào)相逆的信號(hào)。
[0040]S卩,在從指令電路21輸出了閉指令信號(hào)(0N信號(hào))的情況下,第I及第4開(kāi)關(guān)17、20閉合,并且第2及第3開(kāi)關(guān)18、19斷開(kāi)。由此,將來(lái)自第I正極電路13的正的直流高電壓經(jīng)由第I電纜30a施加到第I放電電極2a,并且將來(lái)自第2負(fù)極電路16的負(fù)的直流高電壓經(jīng)由第2電纜30b施加到第2放電電極2b(第I極性模式)。
[0041]相返地,在從指令電路21輸出了開(kāi)指令信號(hào)(OFF信號(hào))的情況下,第2及第3開(kāi)關(guān)18、19閉合,并且第I及第4開(kāi)關(guān)17、20斷開(kāi)。由此,將來(lái)自第I負(fù)極電路14的負(fù)的直流高電壓經(jīng)由第I電纜30a施加到第I放電電極2a,并且將來(lái)自第2正極電路15的正的直流高電壓經(jīng)由第2電纜30b施加到第2放電電極2b(第2極性模式)。
[0042]因此,通過(guò)以預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2)切換從上述指令電路21輸出的指令信號(hào),理論上從上述電源控制部件6交替連續(xù)地輸出圖7的單點(diǎn)劃線所示那樣的正以及負(fù)的直流高電壓(即正以及負(fù)的矩形脈沖狀的電壓)。另外,在本實(shí)施方式中,經(jīng)由第I及第2電纜30a、30b輸出的電壓的極性相互成為逆極性,所以以預(yù)定的時(shí)間間隔(T/2)交替連續(xù)地切換上述第I極性模式及第2極性模式的電壓而輸出到上述電極部件2??傊?,從上述電源控制部件6經(jīng)由上述第I及第2電纜30a、30b分別輸出由正以及負(fù)的連續(xù)矩形脈沖波構(gòu)成的、相位相互相差180度的周期T的交流波電壓。但是,從上述電源控制部件6實(shí)際上輸出的電壓波形由于該電源控制部件6內(nèi)的應(yīng)答延遲,成為圖7的實(shí)線所示那樣的由正以及負(fù)的連續(xù)脈沖波構(gòu)成的周期T的交流波形。
[0043]另外,在本實(shí)施方式中,上述第I及第2電纜30a、30b具有相互相同的長(zhǎng)度,如以下所述的那樣,具有相互相同的構(gòu)造。因此,關(guān)于從上述電源控制部件6經(jīng)由上述第I及第2電纜30a、30b對(duì)上述第I及第2放電電極2a、2b施加的電壓,僅極性相互相異(相位相差180度),大小、周期T等其他特性相互相同。因此,為了便于說(shuō)明,此處的使用了圖7的說(shuō)明、后面的使用了圖3以及圖8的說(shuō)明是使用I個(gè)電壓波形來(lái)說(shuō)明雙方的電壓的說(shuō)明。
[0044]如圖2所示,上述第I及第2電纜30a、30b的各個(gè)由將從上述電源控制部件6輸出的脈沖狀的高電壓傳送到上述電極部件2的由導(dǎo)體構(gòu)成的電線31、包圍該電線31的外周而包覆的由絕緣體構(gòu)成的絕緣層32、包圍該絕緣層32的外周而包覆的由導(dǎo)體構(gòu)成的屏蔽層33、以及包圍屏蔽層33的外周而包覆的由絕緣體構(gòu)成的表皮層34構(gòu)成。即,這些絕緣層32、屏蔽層33以及表皮層34是以上述電線31為中心而同軸狀地依次配置的。
[0045]此處,上述電線31不限于如圖2所示是單線而也可以是絞合線。另外,上述絕緣層32使上述電線31電氣地絕緣,能夠使用硅樹(shù)脂、氟樹(shù)脂(FEP等)、交聯(lián)聚乙烯等合成樹(shù)脂等。上述屏蔽層33由導(dǎo)體的箔、帶、編織線等構(gòu)成,接地線35的一端與該屏蔽層33電連接。另一方面,該接地線35的另一端與在電源控制部件6的外殼H2等中所設(shè)置的框架接地FG電連接而接地(參照?qǐng)D4、圖5)。進(jìn)而,上述表皮層34是上述電纜30a、30b的外皮,使用例如各種合成樹(shù)脂等絕緣材料。
[0046]但是,這樣的電纜30a、30b即屏蔽電纜具有在作為導(dǎo)體的電線31與屏蔽層33之間設(shè)置有絕緣層32的構(gòu)造。因此,在這些導(dǎo)體31與屏蔽層33之間形成一種電容器(假想電容器),在該電纜30a、30b自身中發(fā)生作為浮置電容(寄生電容)的靜電電容CO。另外,通過(guò)這樣在電纜自身中產(chǎn)生浮置靜電電容CO,在經(jīng)由電纜30a、30b(C0:500pF)傳送了例如從上述電源控制部件6輸出的電壓(參照?qǐng)D7、電壓V: 7000V、周期T: 33ms)的情況下,在脈沖的上升沿、下降沿中發(fā)生應(yīng)答延遲,在對(duì)電極部件2輸入(即對(duì)放電電極2a、2b實(shí)際上施加)的電壓波形中產(chǎn)生失真(參照?qǐng)D8)。
[0047]由此,在放電電極中生成的離子的量與對(duì)該電極實(shí)際上施加了的電壓波形的積分值成比例,所以離子的發(fā)生效率降低。特別地,在如本實(shí)施方式那樣以短周期切換了上述電壓的極性的情況下,正負(fù)的電壓在完全上升之前下降,所以離子發(fā)生效率的降低顯著。另外,上述浮置靜電電容CO越大,這樣的應(yīng)答延遲越顯著。
[0048]因此,在本實(shí)施方式的離子發(fā)生器I中,如圖1以及圖2所示,在接地線35的中間,介有作為電子零件的電容器36(靜電電容Cl),將該電容器36的一方的電極電連接到上述屏蔽層33,將該電容器36的另一方的電極電連接到上述接地FG。但是,此處,上述電容器36的靜電電容Cl比在上述電線31與屏蔽層33之間產(chǎn)生的電纜單體的靜電電容(即屏蔽電纜的浮置靜電電容)CO更小。
[0049]這樣,通過(guò)在電纜30a、30b的屏蔽層33與接地FG之間連接電容器36,成為在上述電線31與接地FG之間串聯(lián)地連接了至少2個(gè)電容器的狀態(tài)。
[0050]由此,根據(jù)以下的式(I),求出包括電容器36的電纜整體的合成靜電電容(即電纜的實(shí)質(zhì)的靜電電容)Ct。
[0051 ] Ct = C0XCl/(C0+Cl)-'-(l)
[0052]其結(jié)果,能夠使上述合成靜電電容Ct比電纜單體的靜電電容(即電纜30a、30b的浮置靜電電容)CO更小。而且,在本實(shí)施方式中,如上所述,使上述電容器36的靜電電容Cl比上述電纜的浮置靜電電容CO更小,所以能夠?qū)⑸鲜龊铣伸o電電容Ct抑制為小于上述浮置靜電電容CO的一半。
[0053]另外,在分別決定上述電容器36的靜電電容Cl時(shí),存在在各電纜30a、30b中確定在電線31與屏蔽層33之間產(chǎn)生的浮置靜電電容CO的必要性的情況下,該電纜的浮置靜電電容CO與該電纜的長(zhǎng)度成比例,所以能夠通過(guò)利用測(cè)量、計(jì)算預(yù)先求出例如該電纜的每單位長(zhǎng)度的靜電電容,并對(duì)實(shí)際的電纜的長(zhǎng)度進(jìn)行乘法來(lái)確定。但是,上述靜電電容Cl期望盡可能小,比O大就足以。
[0054]另外,圖3是示出在本實(shí)施方式的離子發(fā)生器I中,經(jīng)由連接了上述電容器36(C1:10??)的屏蔽電纜30&、3013(0):500??),以周期1'( = 331^)傳送了從上述電源控制部件6輸出了的圖7的實(shí)線所示的脈沖狀的高電壓(約7000V)時(shí),輸入到上述電極部件2(即對(duì)上述放電電極2a、2b實(shí)際上施加)的電壓波形的圖。此時(shí),包括上述電容器36的電纜整體的合成靜電電容Ct通過(guò)上述式(I)成為9.8pF。
[0055]這樣,通過(guò)在上述電纜的屏蔽層33與接地FG之間連接電容器36,相比于未連接它的情況(參照?qǐng)D8),能夠在維持了更接近其電壓波形的波形的狀態(tài)下,將從電源控制部件6輸出了的電壓輸出到上述電極部件2,其結(jié)果,能夠提高來(lái)自放電電極2a、2b的離子發(fā)生效率。因此,也沒(méi)有為了校正上述電纜30a、30b自身的浮置靜電電容CO所致的離子發(fā)生效率降低,通過(guò)例如電源4的大型化等而進(jìn)一步提高從電源控制部件6輸出的電壓的必要性。
[0056]此處,上述電容器36的靜電電容Cl并不一定如本實(shí)施方式那樣有比電纜的浮置靜電電容CO小的必要性。其原因?yàn)?,通過(guò)上述式(I),在理論上明確了:只要在上述電纜30a、30b的屏蔽層33與接地FG之間連接電容器36,上述合成靜電電容Ct就比上述浮置靜電電容CO小。但是,電容器36靜電電容越大,越大型化而變得昂貴,但通過(guò)將其連接所得到的效果降低。因此,如果考慮通過(guò)設(shè)置電容器36獲得的費(fèi)用對(duì)效果,期望如本實(shí)施方式那樣,使其靜電電容Cl小于電纜的浮置靜電電容CO。
[0057]另外,在上述接地線35的中間連接的作為電子零件的電容器36也可以如圖4所示配置于上述電源控制部件6內(nèi),在該情況下,也可以組裝到例如升壓整流電路7?;蛘?,也可以如圖5所示,將該電容器36配置于屏蔽電纜30a、30b自身,在該情況下,也可以固定于例如上述表皮層34的外周或者該表皮層34與上述屏蔽層33之間。
[0058]接下來(lái),根據(jù)圖6,說(shuō)明本發(fā)明的第2實(shí)施方式。但此處為了避免說(shuō)明的重復(fù),關(guān)于與上述第I實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部分以及基于此的作用效果,附加相同的符號(hào)而省略詳細(xì)的說(shuō)明。
[0059]在本實(shí)施方式的離子發(fā)生器I中,在連接上述屏蔽層33與框架接地FG之間的上述接地線35中,與電容器36并聯(lián)地連接了放電電阻37。這樣,構(gòu)成為通過(guò)在屏蔽電纜30的屏蔽層33與框架接地FG之間配置放電電阻37,在上述屏蔽電纜30中被充電的電荷經(jīng)由該電阻37放電。但是,上述放電電阻37并不一定如本實(shí)施方式那樣有在與電容器36相同的接地線35上連接的必要性,也可以將設(shè)置了該放電電阻37的獨(dú)立的接地線連接于上述屏蔽層33與框架接地FG之間。
[0060]以上,雖然詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的離子發(fā)生器的實(shí)施方式,但本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式,當(dāng)然能夠在不脫離專利權(quán)利要求的要旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種設(shè)計(jì)變更。
[0061]例如,在上述實(shí)施方式中,將第I放電電極2a和第2放電電極2b安裝于單一的第I夕卜殼Hl,但也可以分別安裝于獨(dú)立的外殼。另外,在上述實(shí)施方式中,將電源4收容于與高電壓發(fā)生電路5相同的第2外殼H2內(nèi),但也可以通過(guò)收容于與上述第I及第2外殼Hl、H2獨(dú)立的外殼內(nèi),從電極部件2以及電源控制部件6分開(kāi)設(shè)置。進(jìn)而,在上述實(shí)施方式中,說(shuō)明了具有第I放電電極2a及第2放電電極2b這兩方的離子發(fā)生器,但也可以是具有第I放電電極2a或者第2放電電極2b中的某一方的結(jié)構(gòu)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種離子發(fā)生器,包括: 電極部件,具有放電電極; 電源控制部,針對(duì)該電極部件輸出脈沖狀的高電壓;以及 電纜,對(duì)這些電極部件及電源控制部之間進(jìn)行電連接, 所述離子發(fā)生器的特征在于: 所述電極部件是將所述放電電極安裝到獨(dú)立于所述電源控制部的第I外殼而成的,構(gòu)成為能夠從該電源控制部離開(kāi)地設(shè)置, 所述電纜是具有由導(dǎo)體構(gòu)成的電線、包圍該電線的周圍的由絕緣體構(gòu)成的絕緣層以及包圍該絕緣層的周圍的由導(dǎo)體構(gòu)成的屏蔽層的屏蔽電纜, 在所述屏蔽層與接地之間連接有電容器。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子發(fā)生器,其特征在于:所述電容器具有比所述電纜中的電線與屏蔽層之間的靜電電容小的靜電電容。3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的離子發(fā)生器,其特征在于:所述電源控制部交替連續(xù)地輸出正以及負(fù)的脈沖狀的高電壓。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子發(fā)生器,其特征在于: 所述電源控制部具有: 高電壓發(fā)生電路,使來(lái)自振蕩電源的振蕩電壓升壓而變換為正以及負(fù)的直流電壓,并且交替連續(xù)地切換該正以及負(fù)的直流電壓而輸出到所述電極部件。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的離子發(fā)生器,其特征在于: 所述電極部件具有第I放電電極和第2放電電極, 所述高電壓發(fā)生電路交替連續(xù)地切換針對(duì)所述第I放電電極施加正的直流電壓并針對(duì)第2放電電極施加負(fù)的直流電壓的第I極性模式的電壓、和針對(duì)所述第I放電電極施加負(fù)的直流電壓并針對(duì)第2放電電極施加正的直流電壓的第2極性模式的電壓而輸出到所述電極部件。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子發(fā)生器,其特征在于:所述電容器配置于所述電纜。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子發(fā)生器,其特征在于:所述高電壓發(fā)生電路收容于第2外殼,所述電容器配置于該第2外殼。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子發(fā)生器,其特征在于:用于將所述屏蔽層的電荷對(duì)地放電的放電電阻與所述電容器并聯(lián)地連接。
【文檔編號(hào)】H01T23/00GK105914584SQ201610091581
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月19日
【發(fā)明人】張谷友和, 土志田孝之
【申請(qǐng)人】Smc株式會(huì)社