器處于第一位置和/或第二位置時(shí)，磁屏蔽元件被安排成將腔室的磁性部分和內(nèi)部與磁性致動(dòng)器的磁場屏蔽。因此，磁屏蔽元件可以定位在磁性致動(dòng)器與腔室之間，這樣使得當(dāng)磁性致動(dòng)器處于它的第一位置和第二(或端部)位置時(shí)，可以防止磁性致動(dòng)器的磁場延伸到腔室中。這在磁場可偏斜或以其他方式影響穿過腔室的離子束的情況下的質(zhì)譜儀中是尤其有益的。
[0019]任選地，當(dāng)磁性致動(dòng)器處于第一位置和/或第二位置時(shí)，磁屏蔽元件可以被安排成至少部分圍繞磁性致動(dòng)器?？商娲?，當(dāng)磁屏蔽元件處于第一位置和/或第二位置時(shí)，磁屏蔽元件可以被安排成圍住磁性致動(dòng)器。換言之，磁屏蔽可以形成圍繞磁性致動(dòng)器的外殼，或者可以是包圍或容納致動(dòng)器的管狀形狀。另外，磁屏蔽元件可以是彎曲板(例如，“C”或“U”形)，或者可能是平面形狀。在任何情況下，屏蔽物被安排成將磁性致動(dòng)器的磁場與元件的磁性部分阻隔。
[0020]優(yōu)選地，磁屏蔽元件由能夠被暫時(shí)磁化的材料形成。這允許磁屏蔽元件屏蔽磁性致動(dòng)器的磁場。例如，可以使用純鐵來形成磁場，由于它僅在存在有外部磁場時(shí)磁化。理想地，可使用最高可能純度的鐵。例如，可以使用對(duì)應(yīng)地具有99.8%或97%向上的純度的ARMC0?或Trafoperm?。在一些實(shí)施例中，能夠使用鎳鐵合金如高導(dǎo)磁合金。
[0021]有利地，元件包括具有一個(gè)或多個(gè)孔的板，并且其中對(duì)元件位置的調(diào)整導(dǎo)致孔的選擇。例如，元件可以是包括具有窄寬的第一孔或狹縫和具有較寬狹縫的第二孔或狹縫的板。可替代地，第一孔和第二孔可包括不同尺寸的圓形孔，或具有另一種形狀和尺寸的孔。元件可以相對(duì)于腔室壁中的開口安排，這樣使得當(dāng)元件處于第一位置時(shí)第一孔與開口對(duì)準(zhǔn)，并且當(dāng)元件處于第二位置時(shí)第二孔與開口對(duì)準(zhǔn)。
[0022]所描述的磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)在安排在質(zhì)譜儀的真空室中時(shí)是尤其有利的。磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠用來使質(zhì)譜儀的部件(例如，離子光學(xué)部件)相對(duì)于質(zhì)譜儀的真空室中的離子束路徑移動(dòng)。例如，該部件可以是孔(離子束穿過該孔)、或離子束止動(dòng)件、或遮擋板、或電極、或透鏡、或探測器等。該部件可固定到元件或與元件一體形成，從而憑借對(duì)元件位置的調(diào)整使得部件移動(dòng)。在優(yōu)選實(shí)施例中，磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠用來選擇離子束所穿過的孔。為此目的，如在此描述的，可磁化磁性部分和磁屏蔽元件的使用可以是尤其合乎需要的。這是因?yàn)橘|(zhì)譜儀內(nèi)永久磁化的部件的提供可以使穿過質(zhì)譜儀的離子束偏斜。這樣，當(dāng)所描述的調(diào)整機(jī)構(gòu)用在質(zhì)譜儀中時(shí)，磁屏蔽可以優(yōu)選地被安排成將元件或孔板的磁性部分與在腔室內(nèi)通過的離子束屏蔽。
[0023]優(yōu)選地，一個(gè)或多個(gè)孔具有不同的尺寸。例如，第一孔在寬度上較窄，并且第二孔在寬度上較寬?？商娲?，元件可以包括單個(gè)孔，和/或元件可以用作為阻塞物或遮擋板。
[0024]任選地，氣動(dòng)活塞可以被配置成使得磁性致動(dòng)器移動(dòng)。有利地，活塞允許良好地控制磁性致動(dòng)器的位置和移動(dòng)速度。
[0025]有利地，腔室是質(zhì)譜儀的真空室。本發(fā)明可用來通過使用控制孔板的位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)來選擇、調(diào)整或改變孔的大小。有利地，能夠通過使用安排在真空室外部的致動(dòng)器來實(shí)現(xiàn)所描述的調(diào)整機(jī)構(gòu)，因此致使不需要用于致動(dòng)器或調(diào)整機(jī)構(gòu)的任何部分的真空饋通件或密封連接件。
[0026]在第二方面，提供一種包含或包括以上任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)的質(zhì)譜儀。
[0027]在第三方面，提供一種用于包括可樞轉(zhuǎn)地連接在腔室內(nèi)的元件的磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)的裝備，該元件包括磁性部分；以及磁性致動(dòng)器，該磁性致動(dòng)器可配置在腔室外部，以便允許與該元件的磁性部分磁耦合，這樣使得該磁性致動(dòng)器的移動(dòng)導(dǎo)致對(duì)該元件的位置的調(diào)整。
[0028]任選地，當(dāng)磁性致動(dòng)器處于第一位置和/或第二位置時(shí)，該裝備可包括可配置在元件的磁性部分與磁性致動(dòng)器之間的磁屏蔽元件。
【附圖說明】
[0029]參照以下附圖，僅通過舉例描述了根據(jù)本披露的一個(gè)方面的調(diào)整機(jī)構(gòu)，在附圖中:
[0030]圖1是調(diào)整機(jī)構(gòu)的實(shí)施例的截面視圖；
[0031]圖2是質(zhì)譜儀的示意圖；
[0032]圖3是調(diào)整機(jī)構(gòu)的另一實(shí)施例的截面視圖，其中該元件處于第一位置;并且
[0033]圖4是圖3中所示的調(diào)整機(jī)構(gòu)的實(shí)施例的另一截面視圖，其中該磁性致動(dòng)器和該元件的所述磁性部分磁耦合;并且
[0034]圖5是圖3和圖4中所示的調(diào)整機(jī)構(gòu)的實(shí)施例的又一截面視圖，其中該元件處于第二位置。
[0035]在適當(dāng)?shù)那闆r下，附圖中相同的參照數(shù)組指示相同的元件。附圖未按比例繪制。
【具體實(shí)施方式】
[0036]圖1示出了磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)100，該磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)提供對(duì)布置在腔室10內(nèi)的元件12的調(diào)整。在圖1中所示的例子中，腔室10是閉合或密封腔室。
[0037]元件12是在樞軸16處連接到腔室壁的可移動(dòng)板或遮擋板。元件12被安排成圍繞樞軸16以順時(shí)針方向或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。元件12充當(dāng)遮擋板，例如通過在第一位置(在該第一位置中在腔室10的壁內(nèi)形成的開口或孔(未示出)是開放的)與第二位置(在該第二位置中該孔是阻塞的)之間旋轉(zhuǎn)。
[0038]元件12包括磁性部分14。在這個(gè)例子中，磁性部分14形成元件12的整體部分。這里，磁性部分14被布置在元件12的最遠(yuǎn)范圍處，遠(yuǎn)離樞軸16間隔開。磁性部分14是暫時(shí)磁鐵。換言之，磁性部分14在放置在磁場中時(shí)被暫時(shí)磁化。這里，材料是“軟”金屬。
[0039]磁性致動(dòng)器18被安排在腔室10外部。磁性致動(dòng)器18是永久磁鐵。提供了用于控制磁性致動(dòng)器18的移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。這里，該機(jī)構(gòu)是附接到磁性致動(dòng)器18以允許磁性致動(dòng)器18的受控水平移動(dòng)的氣動(dòng)活塞20。
[0040]磁性致動(dòng)器18被安排在元件12的磁性部分14近側(cè)。磁性致動(dòng)器18和磁性部分14被配置成憑借它們的磁場彼此吸引。換言之，安排磁性致動(dòng)器18和元件12的磁性部分14，這樣使得磁性部分14駐留在磁性致動(dòng)器的磁場內(nèi)。
[0041]在使用中，磁性致動(dòng)器18相對(duì)于腔室移動(dòng)，從而使得元件12移動(dòng)。磁性致動(dòng)器18與磁性部分14之間的磁相互作用使得磁性部分14在磁性致動(dòng)器18的運(yùn)動(dòng)方向上被“拉動(dòng)”或“拖動(dòng)”。這導(dǎo)致元件12圍繞樞軸16的旋轉(zhuǎn)。換言之，吸引磁力使磁性部分14和元件12聯(lián)接到磁性致動(dòng)器18的運(yùn)動(dòng)。參照?qǐng)D1中所示的特別的例子，磁性致動(dòng)器18從左至右的移動(dòng)使得元件12以順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，并且隨后磁性致動(dòng)器18從右至左的移動(dòng)使得元件12以逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
[0042]能夠通過磁性致動(dòng)器18的正確定位來將元件12保持在所需的位置。例如，能夠通過將磁性致動(dòng)器定位在樞軸16的正上方來將元件12保持在直立位置。在這個(gè)例子中，元件1在順時(shí)針或逆時(shí)針方向上的旋轉(zhuǎn)范圍受腔室1的壁限制。例如，如果磁性致動(dòng)器18向左移動(dòng)地很遠(yuǎn)超過了腔室10的范圍，那么元件12將會(huì)逆時(shí)針移動(dòng)直到元件12抵靠腔室10的壁定位或緩沖。如果磁性致動(dòng)器18經(jīng)移動(dòng)距腔室10足夠遠(yuǎn)以至于磁性致動(dòng)器18和磁性部分14再也不能體驗(yàn)對(duì)彼此的磁吸引，那么元件12由于元件12和磁性部分14的重量將會(huì)保持抵靠腔室10的壁定位。
[0043]所描述的磁性調(diào)整機(jī)構(gòu)可特別有益于在譜儀并且更具體地為質(zhì)譜儀內(nèi)使用。
[0044]圖2示出雙聚焦質(zhì)譜儀200