用SS算法以在關(guān)心的（一個(gè)或多個(gè)）交疊區(qū)/地域中實(shí)現(xiàn)提高的 空間分辨率的教導(dǎo)。
[0024] 在本發(fā)明的替代實(shí)施例中，下面的特定方面適用： -所述射束配置被選擇為射束相對(duì)于表面S的角度（最通常在三維中考慮）； -在所述第一和第二探查期之間，調(diào)整射束的所述角度。 -點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)匕和Fi相對(duì)于彼此成角度。 這個(gè)實(shí)施例的機(jī)制能夠例如被解釋如下（參見圖2A)。 -定義相對(duì)于表面S的傾斜角T(偏轉(zhuǎn)/俯仰）。 -在第一探查期中，到來(lái)的輻射射束隊(duì)以傾斜角Ti撞擊S并且產(chǎn)生PSFFpPSFFjft著傳播軸匕延伸到標(biāo)本中并且與次表面點(diǎn)pi交叉。如果T 90°，則這種撞擊/延伸將 會(huì)是傾斜的（否則，它將會(huì)是法向的/垂直的）。 -在第二探查期中，到來(lái)的輻射射束B2以不同傾斜角T2撞擊S，產(chǎn)生PSFF2，PSF匕以 不同斜率沿著傳播軸b2延伸到標(biāo)本中并且再一次與點(diǎn)pi交叉。 -由于T2#Ti，所以點(diǎn)Pl將會(huì)經(jīng)歷沿著PSFF廊F2的各自的傳播軸b 量度的PSF FJPF2的不同區(qū)域/方面。這個(gè)事實(shí)允許SS算法（諸如，ICA)被用于在區(qū)L內(nèi)執(zhí)行檢測(cè) 器信號(hào)去卷積，從而在這個(gè)區(qū)中導(dǎo)致增加的空間分辨率（與現(xiàn)有技術(shù)相比）。 -再一次，如以上的項(xiàng)目（b)中所闡述的，這個(gè)效果不必僅局限于？1所在的區(qū)〇1;替代 地，如果在第一和第二探查期期間執(zhí)行側(cè)向掃描，則區(qū)α將會(huì)僅是位于S下方的合并地域 (例如，層/體積）0的一個(gè)分量，本發(fā)明能夠針對(duì)其實(shí)現(xiàn)提高的空間分辨率。在這個(gè)方面， 參見例如圖2Β。
[0025] 應(yīng)該注意的是，除了量度在垂直平面（包含Ζ軸）中的偏轉(zhuǎn)/俯仰的傾斜角Τ之 外，還可定義方位角Α，方位角Α量度在水平平面（平行于ΧΥ平面）中的軌道角（orbital angle)/搖擺。在圖2A中示出的情況下，射束隊(duì)和B2具有不同方位角（分別為AJPA2)-一 特別地，射束隊(duì)和B2完全彼此相對(duì)，在它們的方位角之間存在180°的差異；然而，情況不 一定是這樣，并且射束隊(duì)和B2能夠利用相同方位角同樣有效地接近點(diǎn)pi。此外，射束隊(duì)和 B2還能夠利用相同傾斜角但利用不同方位角接近點(diǎn)pi。這些點(diǎn)也在以下的實(shí)施例1中受到 關(guān)注。
[0026] 應(yīng)該注意不要把前面段落的"可變射束角度"實(shí)施例與已知的并且非常不同的技 術(shù)（諸如，所謂的"微旋轉(zhuǎn)"）相混淆。微旋轉(zhuǎn)的技術(shù)能夠被視為所謂的共焦成像的角度版 本，共焦成像在本質(zhì)上是線性的。在共焦成像中，焦平面通過(guò)標(biāo)本以（遞增的）步調(diào)線性移 動(dòng)，而在微旋轉(zhuǎn)中，樣本通過(guò)焦平面以角度方式旋轉(zhuǎn)；在兩種情況下，都意圖通過(guò)標(biāo)本的擴(kuò) 展體積"掃描"焦平面（以線性方式或以角度方式）。相比之下，在前面段落的本發(fā)明的實(shí) 施例中，射束傾斜的目的是：為了定義將要在其中發(fā)生超級(jí)分辨率圖像重構(gòu)的有限區(qū)域的 目的，而創(chuàng)建不同PSF之間的（可調(diào)整尺寸/形狀/位置的）局部交疊區(qū)。
[0027] 在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，下面的特定方面適用： -所述射束配置被選擇為所述射束中粒子的種類； -關(guān)于尺寸和形狀中的至少一個(gè)，點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)匕和Fi互相不同。
[0028] 這個(gè)實(shí)施例的機(jī)制能夠被解釋如下（參見圖3A)。 -考慮如這里所使用的術(shù)語(yǔ)"種類"以表示諸如以下各項(xiàng)的特性：帶電或不帶電、電荷 的符號(hào)、相對(duì)較重或較輕、相對(duì)較長(zhǎng)或較短的波長(zhǎng)等。在這種背景下，諸如電子、質(zhì)子、相對(duì) 較輕的離子（例如，He離子）、相對(duì)較重的離子（例如，Ga離子）、光子、軟或硬X射線等之 類的粒子被視為不同種類的粒子。 -這種不同種類的粒子將會(huì)通常表示與給定標(biāo)本的不同相互作用，在伴隨的PSF的形 狀和/或尺寸方面具有關(guān)聯(lián)的差異。 -在第一探查期中，到來(lái)的輻射射束隊(duì)包括第一種類的粒子。當(dāng)這個(gè)射束Bi撞擊S時(shí)， 它產(chǎn)生例如PSFFpPSF?1延伸到標(biāo)本中相對(duì)較深的水平但具有相對(duì)較小的側(cè)向擴(kuò)散。這 個(gè)PSFFi與點(diǎn)Pl交叉。 -在第二探查期中，到來(lái)的輻射射束B2包括第二種類的粒子。當(dāng)這個(gè)射束B2撞擊S時(shí)， 它產(chǎn)生例如PSFF2，PSFF2延伸到標(biāo)本中相對(duì)較淺的水平但與射束Bi的情況相比具有更大 的側(cè)向擴(kuò)散。這個(gè)PSFF2也與點(diǎn)Pl交叉。 -由于PSF匕和F1在尺寸和/或形狀方面不同，所以點(diǎn)p^等會(huì)經(jīng)歷PSFFjPFi中的 每一個(gè)的不同區(qū)域/部分/方面。這個(gè)事實(shí)允許SS算法被用于在區(qū)〇ι內(nèi)執(zhí)行檢測(cè)器信號(hào) 去卷積，從而在這個(gè)區(qū)中導(dǎo)致增加的空間分辨率（與現(xiàn)有技術(shù)相比）。 -再一次，如以上的項(xiàng)目（b)中所闡述，這個(gè)效果不必僅局限于點(diǎn)？1所在的區(qū)〇1;替代 地，如果在第一和第二探查期期間執(zhí)行側(cè)向掃描，則區(qū)α將會(huì)僅是位于S下方的合并地域 (例如，層/體積）〇的一個(gè)分量，本發(fā)明能夠針對(duì)其實(shí)現(xiàn)提高的空間分辨率。在這個(gè)方面， 參見例如圖3B。
[0029] 如果期望，能夠采用上述實(shí)施例的各種組合/混合，所有這些組合/混合落在本發(fā) 明的范圍內(nèi)。例如： -在已發(fā)生圖2B中描述的情況之后，物理切片過(guò)程能夠被用于從標(biāo)本去除一層厚度L的材料，由此露出新表面（參照?qǐng)D1A);隨后能夠在這個(gè)新露出的表面上重復(fù)圖2B中示出 的情況。例如，類似陳述適用于圖3B中描述的情況。 -圖1A和3A的射束可根據(jù)需要被傾斜地射入到標(biāo)本中而非沿法向方向射入到標(biāo)本中。 等等。
【附圖說(shuō)明】
[0030] 現(xiàn)在將基于示例性實(shí)施例和所附的示意圖更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，其中： 圖1呈現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的特定實(shí)施例的正被成像的標(biāo)本的剖視圖。 圖2呈現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的正被成像的標(biāo)本的剖視圖。 圖3呈現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的再另一實(shí)施例的正被成像的標(biāo)本的剖視圖。 圖4呈現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的掃描類型顯微鏡的實(shí)施例的剖視圖。 圖5描述關(guān)于本發(fā)明的示例性實(shí)施例的實(shí)驗(yàn)設(shè)置和圖像。 圖6描述關(guān)于本發(fā)明的另一示例性實(shí)施例的圖像。 在附圖中，使用對(duì)應(yīng)參考標(biāo)號(hào)指示相關(guān)的對(duì)應(yīng)部分。
【具體實(shí)施方式】
[0031] 實(shí)施例1 圖2A呈現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的給定實(shí)施例的正被成像的標(biāo)本的剖視圖。如上面已經(jīng)提及的， 這個(gè)圖圖示下面的情況： -第一到來(lái)的輻射射束隊(duì)，以傾斜角?\撞擊標(biāo)本表面S并且產(chǎn)生PSFFpPSFFi沿著 傳播軸h延伸到標(biāo)本中并且與次表面點(diǎn)pi交叉。 -第二到來(lái)的輻射射束B2，以不同傾斜角T2撞擊S，產(chǎn)生PSFF2,PSFF2以不同斜率沿 著傳播軸b2延伸到標(biāo)本中并且再一次與點(diǎn)pi交叉。 -由于，所以點(diǎn)？1經(jīng)歷沿著PSFFJPF2的各自的傳播軸1^、132量度的PSFFi和F2的不同區(qū)域/方面。這個(gè)事實(shí)允許SS算法被用于在區(qū)0i內(nèi)執(zhí)行檢測(cè)器信號(hào)去卷積， 從而在這個(gè)區(qū)中導(dǎo)致增加的空間分辨率?，F(xiàn)在將更詳細(xì)地對(duì)此進(jìn)行解釋。
[0032] 當(dāng)掃描標(biāo)本的表面S時(shí)，技術(shù)人員收集針對(duì)每個(gè)掃描位置的檢測(cè)器輸出，因 此形成"圖像"D。在這里討論的重構(gòu)方案中，技術(shù)人員使用以相對(duì)于參考框架（XYZ) 的各自'方位'（搖擺）和'傾斜'（俯仰、偏轉(zhuǎn)）角度（A，T)取向的掃描射束獲取 圖像，參考框架（XYZ)的Z軸與標(biāo)本的表面S(XY平面）正交（在圖2中未描述方位 角A)。這些圖像在這里被標(biāo)記為Da，t。為了簡(jiǎn)單，下面將會(huì)將其本身限制于這樣的 情況：其中方位角分離180° (相反的方向）。在各自傾斜角TJPT2(特殊情況是 Ti =T^PT2 =T)獲?。樞虻鼗蛲瑫r(shí)地）兩個(gè)圖像，并且這兩個(gè)圖像分別被標(biāo)記為 :和。對(duì)于，從被PSF匕覆蓋的體積的群集獲得在被訪問(wèn)的掃描位置的檢測(cè)信號(hào) 的群集。在％的情況下，成像過(guò)程使用PSFF2。能夠通過(guò)將傾斜圖像之一（例如，%)相 對(duì)于另一圖像"移動(dòng)"某個(gè)數(shù)量的"像素"來(lái)實(shí)現(xiàn)獲得來(lái)自標(biāo)本中的一組較小地延伸的體積 的更清晰的圖像。這種移動(dòng)的量將會(huì)確定兩個(gè)PSFFJPF2的交叉體積的次表面位置，該交 叉體積在圖2A中被標(biāo)記為h。當(dāng)不存在X移動(dòng)時(shí)，所述交叉體積(^緊接地位于表面S下 方。例如，能夠使用統(tǒng)計(jì)源分離技術(shù)（諸如，獨(dú)立分量分析（ICA))實(shí)現(xiàn)提取僅來(lái)自于交叉 體積h的群集（針對(duì)所有掃描位置）的信號(hào)。
[0033]為了進(jìn)一步解釋，技術(shù)人員能夠定義： □ F/ =FAOi作為不包括交叉區(qū)域L的由PSFFi覆蓋的體積；和 □ F2' =FAOi作為不包括交叉區(qū)域L的由PSFF2覆蓋的體積。
[0034] 與F/、F2'和h對(duì)應(yīng)的三個(gè)體積是非交疊的，并且技術(shù)人員能夠定義與這些虛擬 psf(體積）對(duì)應(yīng)的三個(gè)"虛擬圖像" 和。這種虛擬圖像將會(huì)具有比原始圖像低 的統(tǒng)計(jì)相關(guān)性。
[0035] 在線性成像模型的情況下，技術(shù)人員獲得：
[0036]在射束參數(shù)（諸如，電流/粒子通量或加速電壓）針對(duì)兩個(gè)掃描（探查期）相同 的情況下，這個(gè)模型適用。如果射束之一具有不同"強(qiáng)度"（即，較大或較小重要性/影響 / "重力")，則給予交叉區(qū)域的相對(duì)權(quán)重α將會(huì)從值1. 〇開始改變，從而導(dǎo)致更一般的表達(dá) 式：
[0037]將要在這里解決的問(wèn)題包括從"觀測(cè)到"的圖像1?和1?恢復(fù)虛擬圖像 和。如前面所解釋的，主要重點(diǎn)將會(huì)在于應(yīng)該對(duì)應(yīng)于更清晰的圖像。能夠（例 如）利用正則化方法使用ICA技術(shù)實(shí)現(xiàn)解決在方程（5)中闡述的通常不適定分解/因式分 解問(wèn)題。該通常的問(wèn)題用公式表示如下： 找到滿足下式的對(duì)|_纟翁|丨
[0038]其中