隔離式搬運(yùn)盒的密合結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種隔離式搬運(yùn)盒的密合結(jié)構(gòu)，特別關(guān)于一種能提高氣密性的隔離式搬運(yùn)盒的密合結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體工藝中常使用自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Automated Material HandlingSystem, AMHS)與隔離進(jìn)出料標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面(Standard Mechanical Interface, SMIF)設(shè)備，其通過(guò)隔離式搬運(yùn)盒進(jìn)行晶圓(wafer)與光掩膜(photomask)于非使用期間的維護(hù)與運(yùn)送，不但能取代傳統(tǒng)人工搬運(yùn)、降低無(wú)塵室設(shè)備的建置與維護(hù)成本，還能提升晶圓與光掩膜的潔凈度，達(dá)到超高生產(chǎn)良率，故近年來(lái)，隔離式搬運(yùn)盒已成為半導(dǎo)體廠無(wú)塵室中不可或缺的搬運(yùn)工具。
[0003]如上所述，為避免破壞晶圓或光掩膜，一般是采用晶圓盒或光掩膜盒來(lái)保護(hù)晶圓或光掩膜，且于盒內(nèi)充填惰性氣體以防止晶圓或光掩膜產(chǎn)生氧化而毀損。請(qǐng)參閱圖1所示，其揭示一種現(xiàn)有的光掩膜盒I，所述光掩膜盒I包含一底座13及一上蓋14，所述底座13的底部具有數(shù)個(gè)可連接充氣管的填充裝置12，利用所述填充裝置12使充氣管可在欲進(jìn)行進(jìn)氣作業(yè)時(shí)對(duì)光掩膜盒I充填氣體，以提升晶圓與光掩膜的潔凈度。
[0004]然而，由于所述底座13與上蓋14是通過(guò)彼此之間的底座溝槽及上蓋側(cè)壁相卡合，所述底座溝槽及上蓋側(cè)壁的接合處仍存在有間隙，導(dǎo)致于進(jìn)氣作業(yè)時(shí)，氣體容易從間隙泄出而造成氣密性不佳，進(jìn)一步影響所述光掩膜盒I內(nèi)部的氣壓，而無(wú)法在進(jìn)氣作業(yè)的過(guò)程中，迅速充氣達(dá)到預(yù)定的氣壓值。
[0005]故，有必要提供一種隔離式搬運(yùn)盒，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明提供一種隔離式搬運(yùn)盒的密合結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在氣密性不佳的問(wèn)題。
[0007]本發(fā)明的主要目的在于提供一種隔離式搬運(yùn)盒，利用下凸環(huán)體抵靠上承接部及上凸環(huán)體抵靠下承接部，可提高隔離式搬運(yùn)盒的氣密性。
[0008]為達(dá)成本發(fā)明的前述目的，本發(fā)明一實(shí)施例提供一種隔離式搬運(yùn)盒的密合結(jié)構(gòu)，包含一底座、一環(huán)形墊片及一上蓋，所述環(huán)形墊片放置在所述底座上，且所述環(huán)形墊片的一周緣具有一下凸環(huán)體及一下承接部，所述上蓋抵靠在所述環(huán)形墊片上，且所述上蓋包含一頂壁、一側(cè)壁及一密合環(huán)，所述側(cè)壁自所述頂壁的一周緣向下延伸，所述密合環(huán)自所述側(cè)壁的一底周緣水平向外延伸，其中所述密合環(huán)具有一上承接部及一上凸環(huán)體，所述上承接部用以供所述下凸環(huán)體抵靠，所述上凸環(huán)體抵靠于所述下承接部。
[0009]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述環(huán)形墊片的周緣依序形成所述下凸環(huán)體及下承接部，所述下承接部自所述下凸環(huán)體水平向外延伸；且所述密合環(huán)對(duì)應(yīng)依序形成所述上承接部及上凸環(huán)體，所述上凸環(huán)體自所述上承接部水平向外延伸。
[0010]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述環(huán)形墊片的周緣依序形成所述下承接部及下凸環(huán)體，所述下凸環(huán)體自所述下承接部水平向外延伸；且所述密合環(huán)對(duì)應(yīng)依序形成所述上凸環(huán)體及上承接部，所述上承接部自所述上凸環(huán)體水平向外延伸。
[0011]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述下凸環(huán)體具有一倒U字形的縱剖面。
[0012]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述上凸環(huán)體具有一 U字形的縱剖面。
[0013]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述上蓋還包含至少一凹陷部，所述凹陷部形成在所述頂壁的至少一角隅。
[0014]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述上蓋還包含一矩形凹槽，所述矩形凹槽形成在所述頂壁中央。
[0015]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述底座具有一頂面及一凹陷環(huán)部，所述凹陷環(huán)部形成在所述頂面的一外周側(cè)，且用以供所述環(huán)形墊片放置。
[0016]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述環(huán)形墊片還具有一階梯部，所述下凸環(huán)自所述階梯部的一端延伸而與所述底座相間隔。
[0017]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，所述環(huán)形墊片還具有一伸入部，自所述階梯部的另一端延伸且伸入所述底座中。
[0018]如上所述，通過(guò)所述上承接部抵靠所述下凸環(huán)體以及所述上凸環(huán)體抵靠于所述下承接部，于進(jìn)氣作業(yè)進(jìn)行時(shí)，能夠減少所述隔離式搬運(yùn)盒的內(nèi)部氣體外泄的機(jī)會(huì)，進(jìn)而提高其氣密性，同時(shí)使所述隔離式搬運(yùn)盒在進(jìn)氣作業(yè)的過(guò)程中，能夠迅速充氣達(dá)到預(yù)定的氣壓值。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1是一現(xiàn)有光掩膜盒的立體分解圖。
[0020]圖2是本發(fā)明一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的立體分解圖。
[0021]圖3是本發(fā)明一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的側(cè)視分解圖。
[0022]圖4是本發(fā)明一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的側(cè)視組合圖。
[0023]圖5是本發(fā)明一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的俯視圖。
[0024]圖6是本發(fā)明另一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的局部側(cè)視圖。
[0025]圖7是本發(fā)明又一實(shí)施例隔離式搬運(yùn)盒的局部側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。再者，本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ)，例如上、下、頂、底、前、后、左、右、內(nèi)、外、側(cè)面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0027]請(qǐng)參照?qǐng)D2、3所示，本發(fā)明一實(shí)施例的隔離式搬運(yùn)盒100，包含一底座2、數(shù)個(gè)限位件3、數(shù)個(gè)濾膜組件4、一環(huán)形墊片5及一上蓋6，所述隔離式搬運(yùn)盒100例如為光掩膜盒或晶圓盒，其為用以存放光掩膜或半導(dǎo)體元件(如晶圓)的存放裝置的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明將于下文詳細(xì)說(shuō)明各元件的細(xì)部構(gòu)造、組裝關(guān)系及其運(yùn)作原理。
[0028]續(xù)參照?qǐng)D2、3所示，所述底座2具有一頂面21及一凹陷環(huán)部22，所述凹陷環(huán)部22形成在所述頂面21的一外周側(cè)，而且用以供所述環(huán)形墊片5放置。
[0029]續(xù)參照?qǐng)D2、3所示，所述限位件3設(shè)置在所述底座2上，在本實(shí)施例中，所述限位件3設(shè)置有三個(gè)，其中兩個(gè)限位件3間隔相對(duì)，另一個(gè)限位件3配置在所述兩限位件3的相鄰側(cè)邊，因此，當(dāng)放入一片光掩膜于所述底座2時(shí)，可通過(guò)所述所述限位件3固定支撐所述半導(dǎo)體元件或光掩膜。
[0030]續(xù)參照?qǐng)D2、3所示，所述濾膜組件4設(shè)置在所述底座2的數(shù)個(gè)通氣孔20上，其中所述濾膜組件4的濾膜可利用混合纖維制成，因此具有許多適當(dāng)孔徑的微孔隙。當(dāng)空氣流通過(guò)所述濾膜組件4時(shí)，至少可由濾膜的微孔隙過(guò)濾空氣中的微塵與雜質(zhì)。
[0031]請(qǐng)參照?qǐng)D3、4所示，所述環(huán)形墊片5呈中空環(huán)形，并對(duì)