化處理經(jīng)過60分鐘的時(shí)間點(diǎn)的測(cè)定值的降低是10%以內(nèi)。另外，如圖6所示，在本實(shí)施例使用的聚酯薄膜的約400nm以下的波長的透光率為0.1%以下。即，通過用紫外線透射率低的聚酯薄膜覆蓋紫外線透射率高的透明的聚乙烯袋，可防護(hù)硅基板不受紫外線照射。
[0070]由此結(jié)果可知，通過在防護(hù)硅基板不受紫外線照射的狀態(tài)下進(jìn)行化學(xué)鈍化處理并測(cè)定再結(jié)合壽命，可將經(jīng)時(shí)變化縮小至到實(shí)施例1的遮光時(shí)同等程度。
[0071](比較例I)
[0072]準(zhǔn)備由與實(shí)施例1相同的硅單晶錠制作的硅基板。
[0073]其次，通過氫氟酸水溶液來除去所準(zhǔn)備的硅基板的自然氧化膜之后，在約4001x的熒光燈下，實(shí)施使用碘乙醇溶液的化學(xué)鈍化處理。這種情況下，將硅基板收納于與實(shí)施例1相同的紫外線透射率高的透明的聚乙烯袋，注入碘乙醇溶液，由此進(jìn)行化學(xué)鈍化。然后，在遮光的裝置內(nèi)，通過μ-PCD法來測(cè)定再結(jié)合壽命。再結(jié)合壽命的測(cè)定條件與實(shí)施例1相同。為了調(diào)查再結(jié)合壽命測(cè)定值的經(jīng)時(shí)變化，測(cè)定以任意的時(shí)間間隔重復(fù)實(shí)施。重復(fù)測(cè)定的空檔放置在約4001χ的熒光燈下。
[0074]將再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)果示于圖7。在圖7的圖表中，橫軸表示化學(xué)鈍化處理后的經(jīng)過時(shí)間，縱軸是以將最初的再結(jié)合壽命測(cè)定值設(shè)為I時(shí)的測(cè)定值的相對(duì)值來表示的。
[0075]如圖7所示，自化學(xué)鈍化處理經(jīng)過60分鐘的時(shí)間點(diǎn)的測(cè)定值的降低是約25%，可知經(jīng)時(shí)變化比實(shí)施例1?實(shí)施例3的情況更大。在本比較例使用的透明的聚乙烯袋的透光率如圖2所示，約400nm以下的波長的透光率為數(shù)十％。
[0076](比較例2)
[0077]準(zhǔn)備由與實(shí)施例1相同的硅單晶錠制作的硅基板。
[0078]其次，通過氫氟酸水溶液來除去所準(zhǔn)備的硅基板的自然氧化膜之后，在約4001x的熒光燈下，實(shí)施使用碘乙醇溶液的化學(xué)鈍化處理。這種情況下，將硅基板收納于紫外線透射率高的透明的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET，厚度約0.03mm)袋，注入碘乙醇溶液，由此進(jìn)行化學(xué)鈍化。然后，在遮光的裝置內(nèi)，通過μ-PCD法來測(cè)定再結(jié)合壽命。為了調(diào)查再結(jié)合壽命測(cè)定值的經(jīng)時(shí)變化，測(cè)定以任意的時(shí)間間隔重復(fù)實(shí)施。重復(fù)測(cè)定的空檔放置在約4001χ的熒光燈下。另外，以分光亮度計(jì)來測(cè)定所述透明的PET袋的透光率。
[0079]將再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)果示于圖8。在圖8的圖表中，橫軸表示化學(xué)鈍化處理后的經(jīng)過時(shí)間，縱軸是以將最初的再結(jié)合壽命測(cè)定值設(shè)為I時(shí)的測(cè)定值的相對(duì)值來表示的。另夕卜，將透光率的測(cè)定結(jié)果示于圖9。在圖9的圖表中，橫軸表示光的波長，縱軸表示光的透射率。
[0080]如圖8所示，自化學(xué)鈍化處理經(jīng)過60分鐘的時(shí)間點(diǎn)的測(cè)定值的降低是50%以上，可知經(jīng)時(shí)變化比實(shí)施例1?實(shí)施例3的情況更大。另外，如圖9所示，在本比較例使用的透明的PET袋的約400nm以下的波長的透光率為70%左右，高于比較例I。由此結(jié)果可知，若約400nm以下的波長的透光率變高，則經(jīng)時(shí)變化變大。
[0081](實(shí)施例4)
[0082]通過柴可拉斯基法(Czochralski method)來培養(yǎng)導(dǎo)電型為ρ型、電阻率約為60 Ω.αικ氧濃度約為1ppma(JEITA)的硅單晶錠。直徑是200mm，結(jié)晶軸方位是〈100〉。然后，通過標(biāo)準(zhǔn)的晶圓加工工藝從該硅單晶錠制作鏡面研磨精加工的硅基板。
[0083]其次，通過氫氟酸水溶液來除去所準(zhǔn)備的硅基板的自然氧化膜之后，收納于與實(shí)施例2相同的抗紫外線聚乙烯袋，注入碘乙醇溶液，由此實(shí)施化學(xué)鈍化處理。然后，在遮光的裝置內(nèi)，通過μ-PCD法來測(cè)定再結(jié)合壽命。再結(jié)合壽命的測(cè)定條件與實(shí)施例1相同。為了調(diào)查再結(jié)合壽命測(cè)定值的經(jīng)時(shí)變化，測(cè)定以任意的時(shí)間間隔重復(fù)實(shí)施。進(jìn)行化學(xué)鈍化處理的期間及重復(fù)測(cè)定的空檔放置在約4001χ的熒光燈下。
[0084]將再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)果示于圖10。在圖10的圖表中，橫軸表示化學(xué)鈍化處理后的經(jīng)過時(shí)間，縱軸是以將最初的再結(jié)合壽命測(cè)定值設(shè)為I時(shí)的測(cè)定值的相對(duì)值來表示的。最初的測(cè)定值的絕對(duì)值是約4200 μ sec，后述的比較例3也同樣。
[0085]如圖10所示，可知即使自化學(xué)鈍化處理經(jīng)過60分鐘，也幾乎無測(cè)定值的降低。之所以經(jīng)時(shí)變化比實(shí)施例2更小，可以認(rèn)為是因?yàn)楣杌宓碾娮杪矢?。由此結(jié)果可知，通過將硅基板收納于抗紫外線材質(zhì)的聚乙烯袋來進(jìn)行化學(xué)鈍化處理并測(cè)定再結(jié)合壽命，可比后述的比較例3的情況更縮小經(jīng)時(shí)變化。
[0086](比較例3)
[0087]準(zhǔn)備由與實(shí)施例4相同的硅單晶錠制作的硅基板。
[0088]其次，通過氫氟酸水溶液來除去所準(zhǔn)備的硅基板的自然氧化膜之后，在約4001x的熒光燈下，實(shí)施使用碘乙醇溶液的化學(xué)鈍化處理。這種情況下，將硅基板收納于與實(shí)施例1相同的紫外線透射率高的透明的聚乙烯袋，注入碘乙醇溶液，由此進(jìn)行化學(xué)鈍化。然后，在遮光的裝置內(nèi)，通過μ-PCD法來測(cè)定再結(jié)合壽命。再結(jié)合壽命的測(cè)定條件與實(shí)施例1相同。為了調(diào)查再結(jié)合壽命測(cè)定值的經(jīng)時(shí)變化，測(cè)定以任意的時(shí)間間隔重復(fù)實(shí)施。重復(fù)測(cè)定的空檔放置在約4001χ的熒光燈下。
[0089]將再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)果示于圖11。在圖11的圖表中，橫軸表示化學(xué)鈍化處理后的經(jīng)過時(shí)間，縱軸是以將最初的再結(jié)合壽命測(cè)定值設(shè)為I時(shí)的測(cè)定值的相對(duì)值來表示的。
[0090]如圖11所示，自化學(xué)鈍化處理經(jīng)過60分鐘的時(shí)間點(diǎn)的測(cè)定值的降低是約10%，可知經(jīng)時(shí)變化比實(shí)施例4的情況更大。在本比較例使用的透明的聚乙烯袋的透光率如圖2所示，約400nm以下的波長的透光率為數(shù)十％。
[0091]由以上的實(shí)施例及比較例的結(jié)果可知，若根據(jù)本發(fā)明，則可以縮小化學(xué)鈍化后的再結(jié)合壽命測(cè)定值的經(jīng)時(shí)變化，可以高精度測(cè)定再結(jié)合壽命。
[0092]另外，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式。上述實(shí)施方式為例示，具有與本發(fā)明的專利申請(qǐng)的范圍所記載的技術(shù)思想實(shí)質(zhì)上同樣的構(gòu)成、取得同樣的作用效果的實(shí)施方式不管是怎樣的均包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其是對(duì)硅基板的表面進(jìn)行化學(xué)鈍化處理之后，測(cè)定再結(jié)合壽命的方法，其特征在于， 從所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)束的期間，至少進(jìn)行防護(hù)所述硅基板不受紫外線照射的紫外線防護(hù)處理。
2.如權(quán)利要求1所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，在被遮光的環(huán)境下進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定，由此進(jìn)行所述紫外線防護(hù)處理。
3.如權(quán)利要求1所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，在紫外線被切斷的環(huán)境下進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定，由此進(jìn)行所述紫外線防護(hù)處理。
4.如權(quán)利要求1所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，所述化學(xué)鈍化處理通過將所述硅基板插入至切斷紫外線的材質(zhì)的合成樹脂制的袋或容器而使其浸漬于化學(xué)鈍化用的溶液來進(jìn)行，測(cè)定再結(jié)合壽命。
5.如權(quán)利要求1所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，利用碘醇溶液來進(jìn)行所述化學(xué)鈍化處理。
6.如權(quán)利要求1所述的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法，其特征在于，所述再結(jié)合壽命的測(cè)定是通過微波光導(dǎo)電衰減法來測(cè)定的。
【專利摘要】本發(fā)明是在于提供一種以高精度評(píng)價(jià)硅基板制造工藝或裝置制造工藝中的金屬污染或結(jié)晶缺陷的硅基板的再結(jié)合壽命測(cè)定方法。本發(fā)明是在對(duì)硅基板的表面進(jìn)行化學(xué)鈍化處理之后，測(cè)定再結(jié)合壽命的方法，從所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測(cè)定結(jié)束的期間，至少進(jìn)行防護(hù)所述硅基板不受紫外線照射的紫外線防護(hù)處理。
【IPC分類】H01L21-66
【公開號(hào)】CN104871302
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380068161
【發(fā)明人】竹野博
【申請(qǐng)人】信越半導(dǎo)體株式會(huì)社
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2013年12月27日
【公告號(hào)】WO2014125751A1