浸沒撕帶的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域，更具體地，涉及浸沒撕帶。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件用于各種電子應(yīng)用中，作為實例，諸如個人電腦、手機、數(shù)碼相機和其他電子設(shè)備。通常通過在半導(dǎo)體襯底上方依次沉積絕緣層或介電層、導(dǎo)電層和/或半導(dǎo)體層的材料，然后使用光刻圖案化各種材料層以在其上形成電路組件和元件來制造半導(dǎo)體器件。
[0003]通常在單個半導(dǎo)體晶圓上制造數(shù)十或數(shù)百個集成電路。通過沿劃線鋸切集成電路來分割單獨的管芯。然后以例如多芯片模塊或其他類型的封裝將單獨的管芯分別進行封裝。
[0004]通過不斷減小最小部件的尺寸，半導(dǎo)體工業(yè)不斷提高各種電子組件(例如，晶體管，二極管，電阻器，電容器等)的集成密度，從而允許將更多的組件集成到給定的區(qū)域中。在一些應(yīng)用中，這些較小的電子組件也需要比過去的封裝件占用更少面積的更小的封裝件。
[0005]已經(jīng)開發(fā)了三維集成電路(3DIC)結(jié)構(gòu)和封裝件以提高集成密度。3DIC結(jié)構(gòu)通常需要在傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)中可能不需要的工藝步驟。這些額外的工藝步驟可引起傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)預(yù)先未知的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供了一種方法，包括:提供襯底，所述襯底具有附接至所述襯底的襯底膠帶，所述襯底包括附接至所述襯底膠帶的導(dǎo)電連接件；在所述襯底和所述襯底膠帶之間提供液體；以及當(dāng)所述液體位于所述襯底和所述襯底膠帶之間時，從所述襯底去除所述襯底膠帶。
[0007]在上述方法中，其中，所述液體包括去離子水。
[0008]在上述方法中，其中，所述襯底包括電子器件。
[0009]在上述方法中，其中，在所述襯底和所述襯底膠帶之間提供所述液體包括:提供具有所述液體的浸沒槽；以及將所述襯底和所述襯底膠帶浸沒到所述浸沒槽中的所述液體中。
[0010]在上述方法中，其中，去除所述襯底膠帶包括:將夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶；以及將粘附有所述襯底膠帶的所述夾緊膠帶從所述襯底剝離。
[0011 ] 在上述方法中，其中，在從所述襯底去除所述襯底膠帶期間，所述襯底是傾斜的。
[0012]在上述方法中，其中，所述液體具有約為7的pH值。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種方法，包括:將襯底放置于浸沒槽中，所述襯底包括附接至襯底膠帶的導(dǎo)電連接件；使夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶；在所述浸沒槽中提供液體；以及當(dāng)所述液體和所述襯底位于所述浸沒槽中時，將粘附有所述襯底膠帶的所述夾緊膠帶從所述襯底剝離。
[0014]在上述方法中，其中，所述液體包括去離子水。
[0015]在上述方法中，其中，將所述襯底放置在所述浸沒槽中包括圍繞樞軸旋轉(zhuǎn)襯底夾具，所述襯底位于所述襯底夾具上。
[0016]在上述方法中，其中，當(dāng)所述襯底位于所述浸沒槽中時，使所述夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶。
[0017]在上述方法中，其中，粘附所述夾緊膠帶包括使用可移動的壓輥以使所述夾緊膠帶延伸到所述浸沒槽中，從而使所述夾緊膠帶接觸所述襯底膠帶。
[0018]在上述方法中，其中，在所述浸沒槽中提供所述液體包括將所述液體放置在所述浸沒槽中，將所述襯底完全浸沒在所述浸沒槽中的所述液體中。
[0019]在上述方法中，其中，將所述夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶包括使可移動的壓輥在所述浸沒槽中延伸以從第一固定壓輥分配所述夾緊膠帶，其中，從所述襯底剝離粘附有所述襯底膠帶的所述夾緊膠的步驟包括將所述夾緊膠帶卷動到第二固定壓輥上，在所述卷動期間，所述可移動的壓輥在所述襯底膠帶上移動。
[0020]在上述方法中，其中，所述液體具有約為7的pH值。
[0021]在上述方法中，其中，所述襯底包括:中介層，所述導(dǎo)電連接件位于所述中介層的第一側(cè)上；以及集成電路芯片，包括電子器件，所述集成電路芯片附接至所述中介層的與所述第一側(cè)相對的第二側(cè)。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的又一個方面，提供了一種裝置，包括:浸沒槽；襯底夾具，配置為固定襯底且將所述襯底放置到所述浸沒槽內(nèi)；第一固定壓輥，可操作為分配夾緊膠帶；第二固定壓輥，可操作為卷動所述夾緊膠帶；以及可移動的壓輥，可操作為延伸到所述浸沒槽中且將所述夾緊膠帶粘附至所述襯底上的襯底膠帶。
[0023]在上述裝置中，其中，所述襯底夾具可操作為圍繞樞軸點旋轉(zhuǎn)，以將所述襯底放置到所述浸沒槽中。
[0024]在上述裝置中，其中，所述可移動的壓輥可操作為將壓力應(yīng)用于所述夾緊膠帶，從而將所述夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶，且當(dāng)所述第二固定壓輥卷動所述夾緊膠帶時，向所述夾緊膠帶提供張力。
[0025]在上述裝置中，還包括可調(diào)整的壓輥，所述可調(diào)整的壓輥可操作為放置在一個位置處，使得當(dāng)所述可移動的壓輥延伸到所述浸沒槽中以將所述夾緊膠帶粘附至所述襯底膠帶時，所述夾緊膠帶與所述襯底膠帶共平面。
【附圖說明】
[0026]當(dāng)結(jié)合附圖進行閱讀時，通過以下詳細描述可以更好地理解本發(fā)明的各方面。應(yīng)該注意，根據(jù)工業(yè)中的標準實踐，各個部件未按比例繪制。事實上，為了清楚的討論，各個部件的尺寸可以任意地增大或減小。
[0027]圖1至圖4是根據(jù)實施例的浸沒撕帶工藝的實例。
[0028]圖5是根據(jù)一些實施例的第一示例撕帶裝置和浸沒撕帶工藝的另一實例。
[0029]圖6至圖14是根據(jù)一些實施例的第二示例撕帶裝置和浸沒撕帶工藝的另一實例。
[0030]圖15示出了根據(jù)實施例的可應(yīng)用的浸沒撕帶工藝的示例結(jié)構(gòu)。
【具體實施方式】
[0031]以下公開提供了用于實現(xiàn)所提供主題的不同特征的許多不同的實施例或?qū)嵗?。下面描述了組件和布置的具體實例以簡化本發(fā)明。當(dāng)然，這些僅僅是實例，并不旨在限制本發(fā)明。例如，在以下描述中，在第二部件上方或者上形成第一部件可以包括第一部件和第二部件直接接觸形成的實施例，且也可以包括在第一部件和第二部件之間可以形成額外的部件，從而使得第一部件和第二部件不直接接觸的實施例。此外，本發(fā)明可在各個實例中重復(fù)參考標號和/或字母。該重復(fù)是為了簡明和清楚，且其本身不表示所討論的各個實施例和/或配置之間的關(guān)系。
[0032]實施例將在特定的環(huán)境中進行描述，即半導(dǎo)體工藝中的撕帶，諸如浸沒撕帶工藝。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將容易理解對本文描述的實施例的修改，其屬于其他實施例的范圍內(nèi)。例如，可以將方法實施例描述成以特定的順序?qū)嵤?，但是可以以符合任意邏輯順序的方式實施其他方法實施例?br>[0033]圖1至圖4示出了根據(jù)實施例的浸沒撕帶工藝的實例。圖1示出了在對諸如可控塌陷芯片連接(C4)凸塊的導(dǎo)電連接件和/或凸塊12 (下文中稱作“連接件”)進行一些工藝步驟之后的諸如晶圓的襯底10。襯底10可以包括諸如位于集成電路芯片中的電子器件。膠帶14位于連接件12和襯底10上。例如，在分割工藝期間，膠帶14可以用作用于襯底10的機械支持件。在圖2中，將膠帶14的邊緣16從襯底10拉開。將諸如去離子水、電阻介于約105ohm和約109ohm之間的液體等的液體18應(yīng)用于邊緣16處和膠帶14與襯底10之間。在一些實施例中，液體18可以與諸如二氧化碳(C02)、臭氧(O3)的氣體、另一種氣體或它們的組合混合。在一些實施例中，液體18具有約為7的pH值，且在其他實施例中，液體18可以具有小于7或大于7的pH值。毛細作用可以將液體18吸(draw)到膠帶14和襯底10之間且環(huán)繞連接件12。因此，如圖3所示，可以在膠帶14和襯底10之間形成液體18的層20。進一步如圖3中所示，從邊緣16開始，通過從襯底10剝離膠帶14，從而從襯底10去除膠帶14。在從襯底10去除膠帶14之后，可以保留分別位于襯底10和膠帶14上的液體18的殘留層22和殘留層24。在圖4中，從襯底10完全去除了膠帶14。
[0034]在去除膠帶14的開始時可以分配液體18，其將在去除膠帶14的過程中持續(xù)進行，或任何變化或它們的組合。毛細作用可導(dǎo)致形成貫穿襯底10的表面的液體18的層22，并且可導(dǎo)致液體18的層22只存在于去除了膠帶14的折痕或縫處，或它們的任何變化。通過液體18的表面張力和/或通過隨后的清洗工藝可以去除襯底10和/或連接件12上的任何殘留的液體18的層22。
[0035]圖5示出了根據(jù)一些實施例的示例撕帶裝置和浸沒撕帶工藝的另一實例。圖5示出了在撕帶工藝期間固定襯底36的襯底支持件30。襯底支持件30可配置為從水平線32以角度34傾斜。角度34可以是相對于水平線32的介于約15度和約45度之間的角度。撕帶工藝開始于由傾斜引起的襯底36的最高邊緣?？梢詫⒛z帶38的邊緣輕微地剝離開，且可以在邊緣處將液體40分配到膠帶38和襯底36之間。毛細作用和/或重力作用可以將液體40牽引至襯底36和膠帶38之間?？梢酝ㄟ^分配器42分配液體40。分配器42可以是人工操作擠壓瓶的管或可以是配置為分配液體的自動分配器的管。可以從去除膠帶38的初始時刻起開始分配液體40，在膠帶的去除的過程中持續(xù)分配液體40，或任何變化或它們的組合。壓輥44可用于幫助從襯底36去除膠帶38。在去除的膠帶38處，壓輥44可幫助將均勻的力應(yīng)用于橫跨折痕或縫的膠帶38?？梢酝ㄟ^人工操作滾動壓輥44或通過配置為去除膠帶38的自動壓輥實施壓輥44的移動。在從襯底36去除膠帶38之后，通過液體18的表面張力和/或通過隨后的清洗工藝可以去除任何殘留的液體40。
[0036]圖6至圖14示出了根據(jù)一些實施例的示例撕帶裝置和浸沒撕帶工藝的另一實例。該裝置包括浸沒槽50、襯底夾具52、固定的壓輥54和56、可調(diào)整的壓輥58和可移動的壓輥60。在這個實施例中描述的各個組件的操作可以是自動的和/或人工的。襯底夾具52配置為在撕帶工藝期間支持和固定襯底，且配置為可以圍繞樞軸62旋轉(zhuǎn)。在工藝開始時，具有連接件66和膠帶68的襯底64位于襯底夾具52上，而襯底夾具52位于水平位置處。在固定的壓輥54和56上提供夾緊膠帶70?？梢詮墓潭ǖ膲狠?6分配夾緊膠帶70的未使用部分，且