一種背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及背鈍化太陽能電池片，尤其是涉及一種背鈍化電池中背鈍化膜的開孔 結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002] 為解決硅片厚度降低所帶來的問題，背鈍化膜具有十分明顯的作用：1)背鈍化膜 通常具有固定負電荷，起到降低背面復(fù)合的作用；2)背鈍化膜同時起到背面反射器的作 用，可以有效提高對長波段光的吸收；3)背鈍化膜介于硅基體和背面金屬之間，可以有效 的降低電池片燒結(jié)后的翹曲度。
[0003] 背鈍化膜對背面復(fù)合的降低主要通過以下兩個方面實現(xiàn)：
[0004] (1)化學(xué)鈍化作用：鈍化層中原子態(tài)的氫飽和硅片表面懸掛鍵，從而起到化學(xué)鈍 化作用，包括SiNx鈍化層和ALD-A1203鈍化層。
[0005] (2)場鈍化效應(yīng)：鈍化層中含有一些固定電荷，這些固定電荷會產(chǎn)生場鈍化效應(yīng)， 排斥一種載流子，使電子和空穴不能同時到達背面而產(chǎn)生復(fù)合。包括SiNx、Si02 (固定正電 荷）和A1203(固定負電荷）。
[0006] 常用的背鈍化膜為氧化鋁、氧化硅以及氮化硅薄膜，通常背鈍化電池的制作流程 為：制絨清洗、擴散制備p-n結(jié)、背面拋光、正面沉積氮化硅、背面沉積背鈍化膜、背鈍化膜 開孔（線）、金屬化及燒結(jié)。
[0007] 其中背鈍化膜開孔的設(shè)計關(guān)系到背面鋁漿與硅基體的接觸性能，對背鈍化電池的 效率表現(xiàn)具有十分重要的影響。開孔的大小，形狀及分布狀態(tài)對后續(xù)電池電性能表現(xiàn)具有 直接影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明的目的就是為了提供一種背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)，以改善背面 鋁漿與硅基體的接觸效果，提高背鈍化電池的效率表現(xiàn)。
[0009] 本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：
[0010] 一種背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)，背鈍化膜上開設(shè)有開孔，開孔的形狀包 括圓形、三角形、矩形、橢圓形或多邊形，每個開孔的面積為l〇〇um2~106um2,開孔的深度為 10nm~10um〇
[0011] 開孔分布的形狀包括圓形分布、矩形分布或橢圓形分布。
[0012] 開孔之間均勻分布、交錯分布或隨機分布。
[0013] 開設(shè)開孔的方式包括化學(xué)腐蝕、激光燒灼或光刻蝕。
[0014] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)能夠改善背面鋁 漿與硅基體的接觸效果，提高背鈍化的電池的電性能表現(xiàn)。
[0015] 提高接觸效果的主要原因為本發(fā)明中的開孔結(jié)構(gòu)比現(xiàn)有技術(shù)具有更均勻的接觸 分布，其在電性能上的提高如下表所示：
【主權(quán)項】
1. 一種背純化電池中背純化膜的開孔結(jié)構(gòu)，其特征在于，背純化膜上開設(shè)有開孔，開孔 的形狀包括圓形、H角形、矩形、楠圓形或多邊形，每個開孔的面積為100um2~l〇6um2,開孔 的深度為lOnm~lOum。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背純化電池中背純化膜的開孔結(jié)構(gòu)，其特征在于，開孔 分布的形狀包括圓形分布、矩形分布或楠圓形分布。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背純化電池中背純化膜的開孔結(jié)構(gòu)，其特征在于，開孔 之間均勻分布、交錯分布或隨機分布。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種背純化電池中背純化膜的開孔結(jié)構(gòu)，其特征在于，開設(shè) 開孔的方式包括化學(xué)腐蝕、激光燒灼或光刻蝕。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)，背鈍化膜上開設(shè)有開孔，開孔的形狀包括圓形、三角形、矩形、橢圓形或多邊形，每個開孔的面積為100um2～106um2，開孔的深度為10nm～10um，開孔分布的形狀包括圓形分布、矩形分布或橢圓形分布，開設(shè)開孔的方式包括化學(xué)腐蝕、激光燒灼或光刻蝕。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的背鈍化電池中背鈍化膜的開孔結(jié)構(gòu)能夠改善背面鋁漿與硅基體的接觸效果，提高背鈍化的電池的電性能表現(xiàn)。
【IPC分類】H01L31-0216, H01L31-0224
【公開號】CN104659121
【申請?zhí)枴緾N201310608707
【發(fā)明人】趙晨, 周利榮
【申請人】上海神舟新能源發(fā)展有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2013年11月25日