載置口及載置口的開閉方法
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及載置物品的載置口及其開閉方法。
【背景技術】
[0002]儲料器為在潔凈室內保管半導體晶片等物品的裝置，在內部具備輸送裝置和貨架，作業(yè)者通過載置口搬入搬出物品。其中，為了防止作業(yè)者與輸送裝置干涉，利用擋板開閉載置口的輸送裝置一側的開口。但是，如果使擋板沿水平方向滑動的話，則擋板進入相鄰的貨架，產生死區(qū)。
[0003]為了解決這個問題，專利文獻1CJP4185818B)提出了通過用滾輪引導薄片狀擋板來開閉開口的方案。如果用滾輪引導薄板，則容易揚起灰塵，并且由于薄片狀擋板容易彎曲，因此需要空間,而且耐久性不夠。為了引導擋板的頂端,需要直線運動機構,需要成本并且揚塵大。
[0004]在先技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:JP4185818B

【發(fā)明內容】

[0007]發(fā)明的概要
[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]本發(fā)明的課題為提供一種具備揚塵少、并且開閉機構簡單的擋板的載置口及其開閉方法。
[0010]用于解決課題的
[0011]本發(fā)明為在輸送裝置或處理裝置與作業(yè)者之間、在潔凈室內中繼物品的載置口，其特征在于，具備:物品的載置臺；輸送裝置或處理裝置用來與上述載置臺之間交接物品的裝置側開口 ；面向作業(yè)者通道的通道側開口 ；設置在開閉裝置側開口的位置上、并且由弧形板或者沿弧線彎曲的板構成的擋板；以及使上述擋板在打開裝置側開口的狀態(tài)與關閉裝置側開口的狀態(tài)之間圍繞規(guī)定的軸擺動的擺動機構。
[0012]本發(fā)明中，通過由弧形板或者沿弧線彎曲的板構成的擋板圍繞規(guī)定的軸擺動來開閉開口。由于使擋板擺動，因此滑動部和直線運動機構都不需要，揚塵少，并且低成本。而且，擋板為板狀，與薄片狀的擋板相比強度高、并且不容易彎曲。另外，也可以將多塊板組合作為擋板。
[0013]最好是上述擋板由一對擋板構成；上述規(guī)定的軸由一對軸構成，并且一根軸與一塊擋板相對應，另外的軸與另外的擋板相對應；上述擺動機構由以下部分構成:設置在上述相對于一對擋板對稱位置上的驅動軸，使上述驅動軸轉動的電動機，上述一對軸，通過驅動軸的轉動使上述一對軸朝相反方向并且僅以相同角度擺動的連桿機構，安裝在上述一對擋板上、使上述一對擋板圍繞上述一對軸擺動的一對連結部件；上述一對軸設置在關于上述驅動軸對稱并且互相離開的位置上。上述連桿機構的結構為:在上述一對擋板關閉之際，作用于連結部件的力不傳遞給驅動軸。
[0014]通過設置一對擋板，能夠使用來收容關閉狀態(tài)的擋板的空間變窄。并且，利用設置在相對于一對擋板對稱位置上的驅動軸、使驅動軸轉動的電動機、設置在關于驅動軸對稱并且互相離開的位置上的一對軸、通過驅動軸的轉動使一對軸朝相反方向并且僅以相同角度擺動的連桿機構，能夠使一對連結部件朝相反方向擺動相同的角度。并且，由于一對擋板關閉之際施加給連結部件的力不會傳遞給驅動軸，因此電動機不設置制動器也可以。
[0015]最好是上述一對擋板為左右一對擋板，上述驅動軸和上述軸為鉛垂軸。如果這樣，能夠將打開狀態(tài)的擋板收容到載置口左右空的空間內。
[0016]最好是上述連桿機構由在長度方向的中央部安裝在上述驅動軸上的曲柄和一對連接桿構成；上述一對連接桿的一端轉動自由地安裝在上述曲柄的兩端上，另一端在離開上述一對軸的位置上轉動自由地安裝在上述一對連結部件上；并且上述一對擋板關閉時，上述一對連接桿的上述一端位于各死點位置地構成。如果這樣，能夠用4節(jié)連桿確實地開閉一對擋板，即使意外地施加了力，擋板也不會打開。
[0017]尤其優(yōu)選的是，上述擺動機構設置在載置口的下部，并且設置有將上述擺動機構與上述載置臺之間隔開的間隔件。如果這樣，能夠用間隔件遮擋來自擺動機構的揚塵，使其不到達物品。
[0018]最好是上述間隔件為平板狀，并且在上述左右一對擋板上設置有收容上述平板側面的溝槽。如果這樣，手指等不容易夾到間隔件的側面與擋板之間的間隙中。
[0019]最優(yōu)選的是，在載置口的上部與設置在載置口下部的上述一對連結部件分開而另外設置有安裝在上述左右一對擋板的上部、與上述一對軸同軸擺動的一對上部連結部件；上述左右一對擋板通過設置在載置口下部的上述一對連結部件和上述一對上部連結部件與載置口的其他部分不接觸地支承著。如果這樣，由于擋板不與周圍部件接觸地開閉，因此能夠將揚塵減到非常少的量。
[0020]并且，本發(fā)明為在輸送裝置或處理裝置與作業(yè)者之間、在潔凈室內中繼物品的載置口的開閉方法，上述載置口具備:物品的載置臺，輸送裝置或處理裝置用來與上述載置臺之間使物品通過的裝置側開口，面向作業(yè)者通道的通道側開口，設置在開閉裝置側開口的位置上、并且由弧形板或者沿弧線彎曲的板構成的擋板，以及使上述擋板在打開裝置側開口的狀態(tài)與關閉裝置側開口的狀態(tài)之間圍繞規(guī)定的軸擺動的擺動機構；通過使上述擋板圍繞上述規(guī)定的軸擺動來開閉上述裝置側開口。
【附圖說明】
[0021]圖1為實施例的載置口的局部切口的俯視圖，取下了上板進行表示；
[0022]圖2為表示擋板開閉用連桿機構的俯視圖，擋板關閉；
[0023]圖3為表示擋板開閉用連桿機構的俯視圖，擋板打開；
[0024]圖4為實施例的載置口的主要部分側視圖，取下一側的擋板進行表示；
[0025]圖5為表示擋板變形例的俯視圖。
【具體實施方式】
[0026]下面敘述實施本發(fā)明的優(yōu)選實施例。本發(fā)明的范圍應該根據(jù)權利要求范圍的記載、參照說明書的記載和本領域的眾所周知的技術，依照本領域技術人員的理解確定。
[0027]實施例
[0028]圖1?圖4表示實施例的載置口 2。載置口 2具備裝置側開口 3 (以下簡稱“開口3”)，載置口 2用于在潔凈室內輸送半導體晶片、分劃板、平板顯示器基板等之際，設置在例如保管收容有這些物品的容器的儲料器4內。另外，以下將容器簡稱為物品。6為貨架，載置口 2設置在其一部分上，8為輸送空間，堆垛起重機等輸送裝置10沿軌道9行走，在儲料器4的內部輸送物品。載置口 2為從儲料器4取出放入物品時的口，通過手動或無人輸送車等從通道12—側的開口向載置口 2內搬入物品，用輸送裝置10向貨架6的門面(間口)輸送，反之，從輸送裝置10向載置口 2搬入物品，通過手動或無人輸送車等向通道12 —側搬出。14、15為儲料器4的支柱。
[0029]為了避免人等與輸送裝置10干涉，在輸送裝置10的輸送空間8與載置口 2的邊界設置左右一對板狀的擋板16、17。擋板16、17各由一塊金屬板等構成，俯視為弧形，不能折疊，不具備門滑輪等。在擋板16、17互相接觸的部分最好設置彈性部18、19，防止接觸引起的揚塵等。擋板16、17以軸30為中心圍繞鉛垂軸在規(guī)定的范圍內擺動，用蓋20覆蓋載置口 2左右的側面，如果擋板16、17打開，則移動到蓋20的內側，此時擋板16、17與蓋20不接觸。并且，擋板16、17在載置口 2的入口打開的狀態(tài)與像圖1那樣將入口關閉的狀態(tài)之間擺動。
[0030]擋板16、17的開閉機構表示在圖2、圖3中。另外，圖1?圖3中取下了上板進行表示。22為驅動軸，位于關于擋板16、17對稱的位置上，使曲柄38轉動。24、25為連接桿，使安裝在擋板16、17上的臂26、28圍繞配置在關于驅動軸22對稱的位置上的一對軸30、30擺動例如90°。驅動軸22被電動機32在例如180°的范圍內轉動，電動機32不具備制動器。并且，擋板16、17被臂62和與軸30、30同軸的軸64 (圖4)從載置口 2的上側擺動自由地支承，懸浮在載置口 2的其他部件之上。軸34、35連結曲柄38和連接桿24、25，軸36、37連結連接桿24、25和臂26、28。并且，圖2的點劃線表示軸36、37的擺動范圍(約90° )。而且，軸22、30、34?37由軸承等構成。
[0031]無論是像圖2所示那樣關閉擋板16、17的狀態(tài)還是像圖3所示那樣打開擋板16、17的狀態(tài)，軸34、35都位于死點，雖然能夠用電動機32開閉擋板16、17，但難以使曲柄38從擋板16、17 —側擺動。因此，擋板16、17不會意外開閉，電動機32沒有必要設置制動器。另外，由于擋板16、17不意外打開非常重要，因此在像圖2所示那樣擋板16、17關閉的狀態(tài)下軸34、35處于死點就可以，圖3的狀態(tài)下沒有必要必須處于死點。
[0032]圖1的40為操作面板，用于作業(yè)者或無人輸送車操作儲料器4或者與儲料器4通信。42為磁性傳感器，檢測例如金屬板擋板17，確認擋板16、17關閉。另外，在擋板16、17用塑料板構成的情況下，在磁性傳感器42檢測的位置設置金屬板或者金屬電鍍，或者也可以不用磁性傳感器42而用反射型的光投射/接收傳感器檢測擋板16、17。并且，儲料器4的未圖示的地面控制器控制擋板