專利名稱：可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導co的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種金屬波導激光器，具體涉及一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器。
已有的射頻波導CO2激光器，其上下兩條窄的金屬波導電極1、2由絕緣陶瓷片3夾在其中定位，如

圖1。由于兩金屬電極之距只有約2mm，而波導的長度達300多mm，甚至500～600mm。
因而這樣一個長而薄的絕緣瓷片在加工中存在極大困難，瓷片的精度很難保證，從而以瓷片定位的上、下電極問的間距的精度很難保證，影響了放電的均勻性，直接影響了激光的輸出功率，同時上、下電極定位臺階的尺寸精度要求很高，大大增加了制造成本。
本實用新型的目的在于提供一種上、下電極放電間距可調(diào)的射頻金屬波導CO2激光器。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，它包括上、下電極，上、下電極截面呈上部為等腰梯形、下部為矩形的結(jié)構(gòu)，上、下電極上部中間凸出一個小矩形臺階，上、下電極相對放置而形成光學波導，波導側(cè)面放置絕緣片，下電極下部置于底板上，上電極下部裝置在絕緣頂板上，頂板由排列在上、下電極兩側(cè)的支柱支撐，支柱上裝置有調(diào)節(jié)機構(gòu)，調(diào)節(jié)機構(gòu)置于頂板下端。
與現(xiàn)有射頻金屬波導CO2激光器相比，本實用新型減小了定位絕緣陶瓷片加工精度及電極加工精度的要求，通過調(diào)節(jié)機構(gòu)，確保了上、下電極的間距精度要求，保證了放電均勻性，增大了激光功率，降低了成本。
圖1為已有射頻金屬波導CO2激光器橫截面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型的橫截面結(jié)構(gòu)示意圖。
以下結(jié)合附圖對本實用新型作一詳細描述
如圖2，一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，包括上、下無氧銅電極3、5，上下電極3、5橫截面呈上部為等腰梯形、下部為矩形的結(jié)構(gòu)。上、下電極3、5上部中間凸出一個小矩形臺階2、8。上、下電極3、5相對放置而形成光學波導6，波條6上、下表面鍍金1、10。波導6側(cè)面放置99％Al2O3陶瓷絕緣片4、11。陶瓷絕緣片4、11均勻排列在放電間隙左右，以瓷片13固定。上、下電極3、5內(nèi)部分別通水冷卻，下電極5下部置于底板9上，上電極3下部沿縱向分別固定在三塊絕緣頂板15上，該絕緣頂板15分別由排列在電極3、5兩邊的六根鋼支柱16支撐，形成龍門架式結(jié)構(gòu)。支柱16上裝置有調(diào)節(jié)機構(gòu)14，調(diào)節(jié)機構(gòu)14置于頂板15下端，精細旋轉(zhuǎn)每根鋼支柱上的調(diào)節(jié)機構(gòu)14，則可使上、下電極3、5之間距精確地保證在所要求的間距精度上。圖中12為電感線圈，10為殼體，17為高頻電壓引出線。本實用新型為全封離式的激光器。
權(quán)利要求1.一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于它包括上、下電極(3)、(5)，上、下電極(3)、(5)橫截面呈上部為等腰梯形，下部為矩形的結(jié)構(gòu)，上、下電極(3)、(5)上部中間凸出一個小臺階(2)、(8)，上、下電極(3)、(5)相對放置而形成光學波導(6)，波導(6)側(cè)面放置絕緣片(4)、(11)，下電極(5)下部置于底板(9)上，上電極(3)下部裝置在頂板(15)上，頂板(15)由排列在上、下電極(3)、(5)兩側(cè)的支柱(16)支撐，支柱(16)上裝置有調(diào)節(jié)機構(gòu)(14)，調(diào)節(jié)機構(gòu)(14)置于頂板(15)下端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于絕緣片(4)(11)兩側(cè)有絕緣固定片(13)固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于波導(6)上、下表面鍍金(1)、(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于絕緣片(4)、(11)為瓷片。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于絕緣片(4)、(11)為99％Al2O3瓷片。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO2激光器，其特征在于上、下電極(3)、(5)為無氧銅電極。
專利摘要本實用新型涉及一種可調(diào)節(jié)放電間距的射頻波導CO
文檔編號H01S3/02GK2395442SQ9922999
公開日2000年9月6日 申請日期1999年11月12日 優(yōu)先權(quán)日1999年11月12日
發(fā)明者高允貴 申請人:江陰長江電子實業(yè)有限公司