專利名稱：利用噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法及器件和利用該器件的系統(tǒng)的制作方法
發(fā)明的背景1、發(fā)明的領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及有機半導(dǎo)體器件，特別涉及利用噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法，及器件和使用該器件的系統(tǒng)。
2、相關(guān)技術(shù)的介紹例如硅等無機半導(dǎo)體一般用于制造現(xiàn)代半導(dǎo)體和光子器件。這些無機半導(dǎo)體器件的處理可能是復(fù)雜和高成本的，一般包括例如晶體生長、切片和晶片的拋光及在晶片上形成集成電子電路等工藝步驟。比較起來，常規(guī)聚合物(有時稱作塑料)較容易加工。例如，傳統(tǒng)塑料部件的制造包括例如將熔化的塑料材料注入模具等較簡單的工藝步驟。常規(guī)聚合物還具有柔韌且重量輕等特點，可以大表面積制造。然而，常規(guī)塑料不是半導(dǎo)電的，因此不能用于制造半導(dǎo)體器件。
共軛聚合物是一種結(jié)合了半導(dǎo)體的電學(xué)和光學(xué)特性及常規(guī)塑料的可加工性的有機材料。共軛聚合物的半導(dǎo)電性源于形成在例如聚(亞苯基亞乙烯基)、聚噻吩(PT)、聚(2-甲氧基-5-(2′-乙基-己氧基)-1，4-亞苯基亞乙烯基(MEH-PPV)等含碳化合物中的離域π軌道。與常規(guī)聚合物不同，共軛聚合物含有使材料半導(dǎo)電而不絕緣的雙鍵。共軛聚合物具有低成本加工的優(yōu)點，柔韌、重量輕，并具有常規(guī)聚合物的可大規(guī)模加工性，而且具有硅的普通半導(dǎo)電特性。
共軛聚合物器件一般利用旋涂法制造。使含有大滴液態(tài)共軛聚合物的基片繞軸高速旋轉(zhuǎn)，使液態(tài)共軛聚合物向外流，從而用材料薄膜涂敷基片，這種旋涂法利用了聚合物溶液加工性的優(yōu)點。然而，該方法仍存在與旋涂有關(guān)的缺點。由于多數(shù)液態(tài)共軛聚合物飛出了基片，沒涂在基片表面上，旋涂造成了溶液的浪費。此外，由于任何突出物都會在液態(tài)有機材料散布于基片表面上時產(chǎn)生陰影效應(yīng)，所以旋涂法對基片表面上的灰塵或其它缺陷很敏感，會在缺陷的后面留下較薄的有機材料徑向痕跡。
旋涂期間不容易控制的液態(tài)共軛聚合物流還無法形成希望的圖形，限制了共軛聚合物的商業(yè)應(yīng)用。例如，夾在兩電極間的發(fā)光共軛聚合物可用于制造LEDs和發(fā)光標(biāo)志(light-emitting logos，LELs)，但旋涂形成的共軛聚合物未構(gòu)圖單層將這種器件限制為單色器件，而且需要對電極進(jìn)行構(gòu)圖。另外，由于共軛有機材料中的雙鍵會因光刻工藝而被破壞，所以一般用于形成構(gòu)圖電極的光刻技術(shù)無法用于構(gòu)圖共軛聚合物層。
另一類有機半導(dǎo)體材料是共軛小有機分子類。這里將共軛有機化合物(有機物)定義為包括聚合物(每個分子鏈具有兩個以上重復(fù)單元的有機物)和小有機分子(單個分子構(gòu)成的有機物)。小有機分子具有與共軛聚合物類似的物理(電學(xué)和光學(xué))性質(zhì)，但利用不同的加工技術(shù)。有機分子通常在超高真空環(huán)境中，利用熱升華法加工，形成所希望的薄膜，一般膜厚約100nm。小有機分子一般采用與共軛聚合物類似的器件結(jié)構(gòu)，即有機薄膜夾有兩電極之間。有機薄膜的構(gòu)圖可利用孔板(shadow mask)完成，但該方法需要精確地對準(zhǔn)孔板，是一種速度慢且成本高的工藝。另外，橫向分辨率也受到了限制。有機分子也可利用常規(guī)的旋涂工藝加工，但該方法無法構(gòu)圖。一般通過將這些分子與主共軛聚合物混合來加工小有機分子，使混合物保留聚合物于膜形成方面的機械特性的優(yōu)點。

圖18a、18b和18c給出了適用于緩沖層和噴墨印刷淀積物的典型有機化合物的例子。
噴墨印刷(IJP)技術(shù)是桌面出版的普通技術(shù)，可用于高分辨率地淀積構(gòu)圖的共軛有機材料。T．R Hebner等人在Applied PhysicsLetters(應(yīng)用物理通訊)第72卷第519頁(1998)的題為“用于有機發(fā)光器件的摻雜聚合物的噴墨印刷”一文中，已介紹了IJP在淀積構(gòu)圖的共軛有機物方面的應(yīng)用，這里引用該文獻(xiàn)。然而，為了利用現(xiàn)有的IJP技術(shù)，只能印刷含顏料的低濃度聚合物溶液。結(jié)果是形成了對于高質(zhì)量半導(dǎo)體器件來說不適用的低劣薄膜。
甚至在可以在下電極上淀積適當(dāng)構(gòu)圖的共軛有機物時，仍存在其它問題。由于IJP的點形成性，利用IJP印刷的有機膜會有許多針孔。構(gòu)圖共軛有機物薄膜上的上電極材料淀積，會造成某些上電極材料通過針孔與下電極接觸，產(chǎn)生造成使器件失效的短路。
本公開的概述因此，本發(fā)明各實施方案的目的是提供一種利用混合噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法，及系統(tǒng)和引入該系統(tǒng)的器件，該方法對基片表面缺陷較不敏感，并且結(jié)合了常規(guī)半導(dǎo)體的電學(xué)和光學(xué)性質(zhì)、和低成本加工性，柔韌性、重量輕且具有常規(guī)有機物的可大規(guī)模加工性。
本發(fā)明各實施方案的再一目的是提供一種利用混合噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法，及系統(tǒng)和引入該系統(tǒng)的器件，該方法可以形成包括隔離的發(fā)射區(qū)的高精確構(gòu)圖的單色或多色發(fā)射顯示器、器件、標(biāo)志和灰度圖像等。
本發(fā)明各實施方案的還一目的是提供一種利用混合噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法，及系統(tǒng)和引入該系統(tǒng)的器件，該方法可以形成用于半導(dǎo)體器件、生物傳感器、光伏器件和光探測器等的高質(zhì)量掩模。
一種用于顯示可視圖像的發(fā)射系統(tǒng)可達(dá)到這些和其它目的。該發(fā)射系統(tǒng)一般具有淀積在基片上并與之接觸的第一電極。然后，一個或多個共軛有機緩沖層淀積于第一電極上并與之接觸，然后，第二電極淀積于共軛有機緩沖層上。共軛有機緩沖層調(diào)節(jié)第一電極和第二電極間的電流。在每個共軛有機緩沖層淀積之前或之后，但在第二電極淀積之前，噴墨印刷共軛有機淀積物，使它們至少與一個共軛有機緩沖層接觸。
在電壓激勵源加到第一電極和第二電極上時，共軛有機淀積物幫助于產(chǎn)生一個指示項。根據(jù)共軛有機淀積物的材料，該指示項可以是發(fā)光、發(fā)熒光、導(dǎo)電等。電壓源用于選擇性地將電壓激勵源加于第一和第二電極上。
在閱讀附圖和所附權(quán)利要求書時，從以下對本發(fā)明實施方案的詳細(xì)介紹中，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以了解本發(fā)明各實施方案的這些和其它目的、特點和優(yōu)點。
附圖的簡要說明圖1是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案在共軛有機緩沖層上IJP共軛有機淀積物的示圖。
圖2a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著印刷于單共軛有機緩沖層上的單層共軛有機淀積物。
圖2b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括多個第二電極和多個第一電極(從圖中看不到)，兩電極間夾著印刷于單共軛有機緩沖層上的單層共軛有機淀積物。
圖3a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著淀積于單層共軛有機淀積物層上的單共軛有機緩沖層。
圖3b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括多個第二電極和多個第一電極(從圖中看不到)，兩電極間夾著淀積于單層共軛有機淀積物上的單共軛有機緩沖層。
圖4a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著印刷于多個共軛有機緩沖層上的多層共軛有機淀積物。
圖4b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括多個第二電極和多個第一電極(從圖中看不到)，兩電極間夾著印刷于多個共軛有機緩沖層上的多層共軛有機淀積物。
圖5a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著淀積于多層共軛有機淀積物上的多個共軛有機緩沖層。
圖5b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括多個第二電極和多個第一電極(從圖中看不到)，兩電極間夾著淀積于多層共軛有機淀積物上的多個共軛有機緩沖層。
圖6是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括多個第二電極和多個第一電極(從圖中看不到)，兩電極間夾著單共軛有機緩沖層。
圖7a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著印刷于單共軛有機緩沖層上的單層導(dǎo)電／電荷傳遞共軛有機淀積物。
圖7b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著淀積于單層導(dǎo)電／電荷傳遞共軛有機淀積物上的單共軛有機緩沖層。
圖8a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著印刷于單發(fā)光共軛有機緩沖層上的單層發(fā)光共軛有機淀積物。
圖8b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著淀積于單層發(fā)光共軛有機淀積物上的單發(fā)光共軛有機緩沖層。
圖9是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件的示圖，所說的共軛有機半導(dǎo)體器件包括一個第二電極和一個第一電極，兩電極間夾著印刷于單發(fā)光共軛有機緩沖層上的單層發(fā)光和擴散共軛有機淀積物。
圖10a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案淀積有機掩模、第二電極材料、粘合薄片，以便在共軛有機半導(dǎo)體器件上形成多個第二電極的示圖。
圖10b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案去掉粘合薄片和有機掩模，以便在共軛有機半導(dǎo)體器件上形成多個第二電極的示圖。
圖11a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案在無源矩陣多色發(fā)射顯示器中的紅色、綠色和藍(lán)色共軛有機LEDs的示圖。
圖11b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案在有源矩陣多色發(fā)射顯示器中的紅色、綠色和藍(lán)色共軛有機LEDs和控制晶體管的示圖。
圖12a是展示根據(jù)本發(fā)明一個實施方案在發(fā)光共軛有機緩沖層中引入不同濃度的發(fā)光共軛有機摻雜材料時，共軛有機LED的發(fā)光顏色變化的曲線圖。
圖12b是展示根據(jù)本發(fā)明一個實施方案不管引入到發(fā)光共軛有機緩沖層中的發(fā)光共軛有機摻雜材料的濃度如何，共軛有機LED保持的I-V特性的曲線圖。
圖13a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案利用氧化硅分隔件形成用于多色發(fā)射顯示器的共軛有機LEDs陣列的示圖。
圖13b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案利用氧化硅分隔件形成用于多色發(fā)射顯示器的共軛有機LEDs陣列的側(cè)視14a展示了根據(jù)本發(fā)明一個實施方案制造LEL的情況。
圖14b是圖14a所示的LEL制造的側(cè)視圖。
圖15是有和沒有共軛有機淀積物的器件的典型亮度-電壓(L-V)曲線圖，示出了源于根據(jù)本發(fā)明一個實施方案添加的共軛有機淀積物的增強性能。
圖16a展示了根據(jù)本發(fā)明一個實施方案由用于產(chǎn)生發(fā)光圖像的發(fā)光點密度限定的四級灰度。
圖16b是表示亮度和圖16a的灰度級發(fā)光點密度間典型關(guān)系的亮度曲線圖。
圖17a是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案具有導(dǎo)電指示項的仿真鼻。
圖17b是根據(jù)本發(fā)明一個實施方案具有熒光指示項的仿真鼻。
圖18a、18b和18c是適用于緩沖層和噴墨印刷淀積物的典型有機化合物的例子。
優(yōu)選實施方案的詳細(xì)描述在對優(yōu)選實施方案的以下介紹中，參考構(gòu)成本發(fā)明一部分的各附圖，圖中以例示可以實現(xiàn)本發(fā)明的特定實施方案的方式顯示。應(yīng)理解，在不背離本發(fā)明優(yōu)選實施方案的范圍的情況下，可以利用其它實施方案，并且結(jié)構(gòu)上也可以變化。
共軛有機物具有低成本加工的優(yōu)點，柔韌、重量輕，并具有常規(guī)有機物的可大規(guī)模加工性，而且具有無機半導(dǎo)體的一般半導(dǎo)電特性。圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施方案的共軛有機半導(dǎo)體器件10。在共軛有機半導(dǎo)體器件10中，利用常規(guī)淀積技術(shù)，在基片12上形成由金屬或金屬氧化物構(gòu)成的第一電極14?；?2可以由例如玻璃、塑料、半導(dǎo)體晶片和其上具有薄絕緣層的金屬板等固體材料、或例如塑料和其上具有薄絕緣層的金屬箔等柔性材料構(gòu)成。在優(yōu)選實施方案中，第一電極14由氧化銦錫(ITO)構(gòu)成。然后，利用旋涂法、熱升華法、或其它常規(guī)施加方法，在第一電極14上，形成厚約1-1000nm的基本均勻的共軛有機緩沖層16。然后，用IJP頭18，在共軛有機緩沖層16上，至少印刷一層共軛有機淀積物20。采用IJP是由于與旋涂不同，IJP能夠印刷微米分辨率的共軛有機淀積物20，由于共軛有機淀積物20垂直噴涂于共軛有機緩沖層16的表面上，而不是水平流淌，所以，IJP對灰塵和基片缺陷較不敏感，并且在施加工藝期間不浪費更多材料。
如圖2a所示，然后，利用常規(guī)金屬淀積技術(shù)，在共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16上，淀積第二電極22。由于共軛有機緩沖層16絕緣性強，第二電極22和第一電極14間不會發(fā)生短路。
在圖3a所示的本發(fā)明替代實施方案中，在第一電極14上直接利用IJP淀積共軛有機淀積物20。然后，利用旋涂或其它常規(guī)施加方法，在共軛有機淀積物20和第一電極14上，形成共軛有機緩沖層16。然后，利用常規(guī)金屬淀積技術(shù)，在共軛有機緩沖層16上淀積第二電極22。
在圖4a和5a所示的另外的替代實施方案中，可以形成多層共軛有機緩沖層16和多層共軛有機淀積物20，增大了垂直或三維尺寸，提高了半導(dǎo)體器件的功能密度。
盡管圖2a、3a、4a和5a示出了具有一個第一電極14和一個第二電極22的實施方案，但在圖2b、3b、4b、5b和6所示的本發(fā)明替代實施方案中，可以在各共軛有機淀積物20上，淀積多個第一(14)和第二(22)電極。應(yīng)注意，盡管圖2b、3b、4b和5b和6的示圖沒顯示多個第一電極14，但可以與多個第二電極22交叉形成(在圖2b、3b、4b、5b和6的側(cè)視圖可以看到)。
在圖6的實施方案中，多個第一電極14(從圖中看不到)被噴墨印刷到基片12上。然后，利用旋涂或其它常規(guī)施加方法，在多個第一電極14上，形成共軛有機緩沖層16。然后，在共軛有機緩沖層16上，噴墨印刷多個第二電極22。
在圖7a和7b所示的本發(fā)明替代實施方案中，為了討論的目的，只示出了一個共軛有機淀積物20，共軛有機淀積物20包括導(dǎo)電或電荷傳遞材料。由于與電極材料相比，導(dǎo)電／電荷傳遞共軛有機淀積物20具有較好的電荷注入特性，所以在電壓加于第二電極22和第一電極14上時，電流24在第二電極22和第一電極14間流動，并通過只在其上印刷了導(dǎo)電／電荷傳遞共軛有機淀積物20的共軛有機緩沖層16。
在各種有機半導(dǎo)體器件中，電致發(fā)光(EL)器件尤其引人注目，這是由于它們在未來光源、單或多色顯示器、LELs、多色發(fā)射器件、賀卡及低和高密度信息顯示器方面的潛在應(yīng)用。所以，在另一替代實施方案中，第一電極14和基片12是透明的，共軛有機緩沖層16包括發(fā)光材料。在這些實施方案中，通過共軛有機緩沖層16的電流24引起從共軛有機半導(dǎo)體器件10的發(fā)光32。
在圖8a和8b所示的本發(fā)明替代實施方案中，為了討論的目的，只示出了一個共軛有機淀積物20，共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16由發(fā)光有機材料構(gòu)成，第一電極14和基片12是透明的。在足夠高的電壓加于第二電極22和第一電極14上時，電流24在第二電極22和第一電極14間流動，并通過共軛有機緩沖層16。在沒有共軛有機淀積物20的區(qū)域，共軛有機緩沖層16將根據(jù)共軛有機緩沖層16的組成發(fā)出彩色光(參見符號26)。在有共軛有機淀積物20的區(qū)域，發(fā)光的顏色將取決于電子和空穴的復(fù)合(recombine)。一般說，如果共軛有機淀積物20足夠厚，電子和空穴將在共軛有機淀積物20內(nèi)復(fù)合，發(fā)光的顏色(參見符號32)將取決于共軛有機淀積物20的組成。如果共軛有機淀積物20足夠薄，則電子和空穴在共軛有機緩沖層16內(nèi)復(fù)合，發(fā)光的顏色取決于共軛有機緩沖層16的組成。然而，如果共軛有機淀積物20的厚度大致與共軛有機緩沖層16相同，則電子將在共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16的邊界附近復(fù)合，發(fā)光可以包括取決于共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16的組成的顏色。
在圖9所示的本發(fā)明替代實施方案中，為了討論的目的，只示出了一個共軛有機淀積物20，共軛有機淀積物20包括能夠部分?jǐn)U散到共軛有機緩沖層16中的共軛有機材料。共軛有機緩沖層16包括聚-9-乙烯基咔唑(PVK)或聚芴(polyfluorene，PF)或其它類似化合物，共軛有機淀積物20包括可溶聚(p-亞苯基乙烯基)(PPV)、MEH-PPV、有機顏料、PF衍生物或其它類似化合物。在這些實施方案中，少量導(dǎo)電共軛有機淀積物20將擴散到共軛有機緩沖層16中(參見符號30)，并象電荷傳遞摻雜劑一樣在共軛有機緩沖層16中起作用?？腕w摻雜劑(共軛有機淀積物20)向主體緩沖層(共軛有機緩沖層16)中擴散，是主客體材料的材料特性和主客體材料的溶劑兼容性(極性或非極性)的作用。只需要少量摻雜劑，促進(jìn)從主體到客體的能量傳遞，在將電壓加于第二和第一電極22和14上時，在導(dǎo)電共軛有機淀積物20的區(qū)域中，在第二電極22和第一電極14間產(chǎn)生電流24。
在另外一些替代實施方案中，共軛有機緩沖層16和能部分?jǐn)U散到共軛有機緩沖層16中的共軛有機淀積材料發(fā)光，第一電極14和基片12是透明的。在通過共軛有機緩沖層16的電流24產(chǎn)生時，共軛有機淀積物20部分?jǐn)U散到共軛有機緩沖層16的區(qū)域(參見符號30)將根據(jù)包括共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16的材料的帶隙和能級發(fā)出彩色光。一般說，如果共軛有機淀積材料的帶隙小于共軛有機緩沖層的帶隙，能級低于共軛有機緩沖層的能級，則發(fā)光的顏色(參見符號28)將取決于共軛有機淀積物20的組成。否則，發(fā)光的顏色取決于共軛有機緩沖層16的組成。
也可以利用IJP，在各共軛有機淀積物20上形成多個第一和第二電極(14和22)，如圖2b、3b、4b、5b和6所示。如圖10a所示，為形成圖2b的多個第二電極22，利用IJP，首先在共軛有機緩沖層16上淀積有機掩模72。然后，利用旋涂法或其它常規(guī)施加方法，在有機掩模72和共軛有機緩沖層16上，淀積第二電極材料74。選擇第二電極材料74和包括在有機掩模72中的材料，使第二電極材料74牢固地粘合于共軛有機緩沖層16上，同時包括在有機掩模72中的材料不牢固地粘合于共軛有機緩沖層16上。然后，在第二電極材料74上牢固地壓上例如粘合帶的粘合薄片76。在去掉粘合薄片76時，如圖10b所示，第二電極材料74和有機掩模72的不同粘合性使有機掩模72和部分第二電極材料74隨粘合薄片76一起被去掉。其余第二電極材料74包含多個第二電極22。形成多個第二電極22的這種方法也可應(yīng)用于圖3b、4b、5b和6的多個第一和第二電極14和22。
本發(fā)明的各實施方案提供了形成微米尺寸有機LEDs規(guī)則陣列的方法，其中LEDs的尺寸只受IJP頭噴嘴的限制。共軛有機LEDs規(guī)則陣列的一種應(yīng)用是例如電視機熒光屏、或計算機顯示器等多色發(fā)射顯示器，其中用紅、綠和藍(lán)點用于產(chǎn)生彩色圖像。如圖11a所示，在帶隙和能級對應(yīng)于藍(lán)光的共軛有機緩沖層40上，淀積每個的帶隙和能級對應(yīng)于紅、綠和藍(lán)色的幾種不同發(fā)光和擴散共軛有機淀積物34、36、和38。發(fā)光和擴散共軛有機淀積物34、36和38部分?jǐn)U散到緩沖層40中，改變緩沖層40的EL光譜，以便在電壓加于第二和第一電極22和14上時，發(fā)光和擴散共軛有機淀積物34、36和38下面的緩沖層40將發(fā)射紅光42、綠光44和藍(lán)光46。通過選擇性地在各第二電極22和第一電極14上加電壓，可以開關(guān)各紅、綠和藍(lán)LEDs，并制造無源矩陣多色發(fā)射顯示器。
在圖11b所示的替代實施方案中，示出了有源矩陣多色發(fā)射顯示器。利用IJP或其它常規(guī)淀積技術(shù)，在基片12上與之接觸式淀積多個柵極92。在多個柵極92上制造具有絕緣材料50、源極90、和漏極88的晶體管48。然后，利用旋涂法或其它常規(guī)施加方法，在晶體管上淀積共軛有機緩沖層40，共軛有機緩沖層40與漏極88接觸。然后，在共軛有機緩沖層40上，噴墨印刷發(fā)光和擴散共軛有機淀積物34、36和38。最后，在發(fā)光和擴散共軛有機淀積物34、36和38上淀積一個第二電極22。電流通過源極90、晶體管48、共軛緩沖層40、共軛有機淀積物34、36和38及第二電極，擴散共軛有機緩沖層40的發(fā)光受柵端52上的電壓控制。應(yīng)注意，圖11b只是例示性的，本發(fā)明的替代實施方案可采用制造晶體管基有源矩陣多色顯示器的其它方法。
一般說，在用相同或較低帶隙和能級的發(fā)光材料(例如，圖11a的紅、綠、藍(lán)有機淀積物34、36和38)摻雜具有較高帶隙和能級的發(fā)光材料(例如，圖11a的藍(lán)光緩沖層40)時，在加偏壓時，所得材料產(chǎn)生較低帶隙和能級材料的顏色。在優(yōu)選實施方案中，需要少于約25％的摻雜材料擴散到緩沖層40中，以實現(xiàn)這種顏色的改變。如圖所示，圖12a示出了在聚合物系中引入不同濃度的MEH-PPV時，聚(對亞苯基)(PPP)LED的發(fā)光顏色是如何變化的。圖12b示出了不管MEH-PPV的濃度如何，I-V特性保持相同的情況。
在圖13a和13b所示的另外一些替代實施方案中，利用設(shè)置于印刷有預(yù)構(gòu)圖行電極56的透明基片12上的氧化硅(SiO2)或聚合物分隔件54，制造紅、綠和藍(lán)LEDs。SiO2分隔件54允許直接在行電極56上IJP共軛有機緩沖層16和紅、綠、藍(lán)導(dǎo)電／電荷傳遞聚合物34、36和38，并用作淀積第二電極22的掩模。
發(fā)光共軛有機半導(dǎo)體器件10的另一應(yīng)用是有機LELs和單色或多色發(fā)射器件，其中IJP控制為印刷導(dǎo)電／電荷傳遞共軛有機材料圖形。與多色顯示器相反，彩色圖形，正如觀察者看到的那樣恒定的變化，LELs和單色或多色發(fā)射器件一般包括較大但固定顏色的發(fā)射區(qū)。為形成這種器件，直接在共軛有機緩沖層16(見圖7a)上或在替代實施方案中直接在透明第一電極14(見圖7b)上，印刷導(dǎo)電／電荷傳遞和／或發(fā)光共軛有機淀積物20。共軛有機淀積物20的圖形限定發(fā)光區(qū)。通過在第二電極22和第一電極14間加電壓，LELs可以發(fā)光。由于電流流過共軛有機淀積物20，但不由之?dāng)y帶，共軛有機淀積物20可有斷開點(物理隔離圖形)。通過調(diào)節(jié)偏置電壓，可以獲得與背景具有高對比度的LELs，并且LEL的亮度可以在從幾十坎德拉(cd)／m2到大于100cd／m2的很寬范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。
圖14a示出了根據(jù)本發(fā)明一個優(yōu)選實施方案的LEL制造。首先，依次利用洗滌劑、去離子(DI)水、丙酮和乙醇，對淀積于玻璃基片60上的ITO電極58進(jìn)行例行超聲波清洗，洗掉表面沾污。然后，在升高的溫度下烘焙ITO電極58和玻璃基片60約12小時。然后，用IJP，由3，4-聚乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸酯(PEDOT)的水溶液，在ITO電極58上淀積導(dǎo)電聚合物標(biāo)志62。然后，在約100℃的溫度下，在空氣中干燥PEDOT導(dǎo)電聚合物標(biāo)志62約12小時。在替代的實施方案中，可以使用淀積PEDOT導(dǎo)電聚合物標(biāo)志62的其它方法，例如J．A．Rogers等人在Adv．Materials第9卷，第475-477(1997年)中的“在彎曲基片上的微接觸印刷和電鍍獨立三維金屬微結(jié)構(gòu)的制造”一文中介紹的模壓法，這里引用該文獻(xiàn)。如圖14b所示，然后，在PEDOT導(dǎo)電聚合物標(biāo)志62上，以每分鐘約2500轉(zhuǎn)(RPM)，旋涂由約1％的MEH-PPV溶液制備的MEH-PPV緩沖層64，并在MEH-PPV緩沖層64上淀積鈣(Ca)陰極材料66。用環(huán)氧樹脂粘合有源陰極區(qū)與鋁或覆蓋玻璃68，從而包封完成的器件。應(yīng)注意，該制造工藝也可以用具有與上述特定材料類似特性的其它材料。
圖15展示了具有(參見符號70)和沒有(參見符號78)PEDOT導(dǎo)電聚合物層的器件的典型亮度-電壓(L-V)曲線，示出了得益于附加的PEDOT導(dǎo)電聚合物層的增強性能。例如，當(dāng)器件在5V下工作時，具有PEDOT導(dǎo)電聚合物層的LEDs可產(chǎn)生約為200cd／m2的亮度，而沒有PEDOT導(dǎo)電聚合物層的LEDs產(chǎn)生小3個數(shù)量級左右的亮度。
在本發(fā)明的替代實施方案中，LELs的特定應(yīng)用可用于產(chǎn)生灰度發(fā)光圖像。圖16a示出了由發(fā)光點的密度限定的四級灰度80，圖16b示出了表示亮度和發(fā)光點密度間典型關(guān)系的亮度曲線82。通過改變光點尺寸或點密度，可連續(xù)調(diào)節(jié)利用本發(fā)明各實施方案的灰度。
除有機EL標(biāo)志和顯示器外，本發(fā)明的各實施方案還可應(yīng)用于其它有機電子和光電子器件。例子有晶體管、光伏電池、仿真鼻子、物理器件、化學(xué)器件、生物器件及電子集成電路，但不限于這些。物理器件包括光傳感器(陣列)、X-射線探測器(陣列)、圖像傳感器(陣列)、光電探測器和光伏器件等，但不限于這些。化學(xué)器件包括氣體傳感器(陣列)、和濕度(溶劑)傳感器，但不限于這些。生物傳感器件包括用于探測血糖(葡萄糖)、酶等傳感器，但不限于這些。此外，IJP提供在半導(dǎo)體晶片上制造LEDs作為用于計算機、通信器件等芯片內(nèi)和芯片外聯(lián)系的光源的有效方式。適用于本發(fā)明實施方案構(gòu)圖成電子器件的材料包括有機共軛分子、共軛聚合物、無機納米晶體、有機納米晶體、顏料分子、及它們的組合，但不限于這些。如先前所述，這些器件可提供發(fā)光、導(dǎo)電或熒光形式的輸出。
用仿真鼻(artificial nose)作使用導(dǎo)電或熒光作為指示項形式的本發(fā)明實施方案的例示實例。如圖17a所示，利用先前所述的技術(shù)，在基片12上形成多層共軛有機淀積物20和共軛有機緩沖層16。然而，在每個共軛有機淀積物20的IJP之前，設(shè)置兩個電極84，使共軛有機淀積物20形成于兩電極84上。每個共軛有機淀積物20可由獨特材料構(gòu)成，以便在流體或蒸汽樣品86擴散到共軛有機緩沖層16和共軛有機淀積物20中時，每個共軛有機淀積物20的導(dǎo)電性改變。每個共軛有機淀積物20的導(dǎo)電性由共軛有機淀積物20內(nèi)的兩個電極84探測。每層上的多個共軛有機淀積物20可提供可用于識別流體或蒸汽樣品86的化學(xué)組成的導(dǎo)電性“特征”。在另外的替代實施方案中，多個共軛有機緩沖層16可由獨特材料構(gòu)成，以便每個共軛有機緩沖層16用作流體或蒸汽隔離膜。所以每層共軛有機淀積物20可設(shè)計成只測試一種特定類別的流體或蒸汽，而其它類別的流體或蒸汽將被多個共軛有機緩沖層16濾出。
在圖17b所示本發(fā)明的替代實施方案中，多個共軛有機淀積物20在某些條件下發(fā)熒光，而共軛有機淀積物20內(nèi)沒有電極。每個共軛有機淀積物20可以由獨特材料構(gòu)成，以便在流體或蒸氣樣品86擴散到共軛有機緩沖層16和共軛有機淀積物20中時，每個共軛有機淀積物20的熒光會改變。通過用紫外(UV)光照射器件，可以探測到每個共軛有機淀積物的熒光。每層上的多個共軛有機淀積物20都可以提供用于識別流體或蒸汽樣品86化學(xué)組成的熒光“特征”。在另外的替代實施方案中，多個共軛有機緩沖層16可由獨特材料構(gòu)成，以便每個共軛有機緩沖層16用作流體或蒸汽隔離膜。所以，每層共軛有機淀積物20可設(shè)計成只測試一種特定類別的流體或蒸汽，而其它類別的流體或蒸汽將被多個共軛有機緩沖層16濾出。
因此，根據(jù)上述介紹，本發(fā)明的各實施方案提供一種利用噴墨印刷技術(shù)制造有機半導(dǎo)體器件的方法，及系統(tǒng)和引入該系統(tǒng)的器件，該方法對于基片表面缺陷較不敏感，并且結(jié)合了常規(guī)半導(dǎo)體的電學(xué)和光學(xué)性質(zhì)、和低成本加工性，柔韌、重量輕且具有常規(guī)有機物的可大規(guī)模加工性。此外，本發(fā)明的各實施方案允許精確地形成構(gòu)圖的單色或多色發(fā)射顯示器、器件、標(biāo)志和灰度圖像，包括隔離發(fā)射區(qū)。本發(fā)明的各實施方案還能形成制造半導(dǎo)體器件、生物傳感器、光伏器件及光電探測器等高質(zhì)量掩模。
為了例示和介紹的目的，上面介紹了本發(fā)明的優(yōu)選實施方案。并不想將本發(fā)明窮舉到所公開的精確形式，或?qū)⒈景l(fā)明限于這些精確形式。本發(fā)明的范圍不由這些詳細(xì)介紹限定，而由所附權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件，該半導(dǎo)體器件包括支撐該半導(dǎo)體器件的基片；由基片支撐的至少一個第一電極；由基片支撐的至少一個第二電極，用于在至少一個第一電極和至少一個第二電極間產(chǎn)生電流；支撐在至少一個第一電極和至少一個第二電極間的至少一個共軛有機緩沖層，用于調(diào)節(jié)該至少一個第一電極和該至少一個第二電極間的電流；及至少一個噴墨印刷共軛有機淀積物，該淀積物至少與一個共軛有機緩沖層接觸，并位于該至少一個第一電極和該至少一個第二電極間，用于產(chǎn)生由半導(dǎo)體器件響應(yīng)于激勵源形成的指示項。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的器件，其中至少一個共軛有機淀積物包括導(dǎo)電材料，用于響應(yīng)于加在至少一個第一電極和至少一個第二電極上的電壓激勵源，使電流通過共軛淀積物和通過至少一個共軛有機緩沖層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的器件，其中該基片和至少一個第一電極是透明的，并且，至少一個共軛有機緩沖層由能夠在電流流過該材料時發(fā)光的材料構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的器件，其中該基片和至少一個第一電極是透明的，并且，至少一個共軛有機淀積物由能夠在電流流過該材料時發(fā)光的材料構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的器件，其中該基片和至少一個第一電極是透明的，至少一個共軛有機淀積物由能夠變得發(fā)光的客體材料構(gòu)成，至少一個共軛有機緩沖層是能夠變得發(fā)光的主體材料，并且，客體材料部分?jǐn)U散到主體材料中，客體材料具有不大于主體材料的帶隙和能極，使得該半導(dǎo)體器件響應(yīng)于加于至少一個第一電極和至少一個第二電極上的電壓激勵源，根據(jù)客體材料發(fā)光，使電流流過至少一個第一電極和至少一個第二電極間的客體材料和主體材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的器件，其中包括多組共軛有機淀積物，每組包括三個由能夠發(fā)紅、綠和藍(lán)光的客體材料構(gòu)成的共軛有機淀積物。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的器件，其中至少一個共軛有機緩沖層由聚芴衍生物構(gòu)成，至少一個共軛有機淀積物由可溶聚(對亞苯基乙烯基)衍生物和聚芴衍生物構(gòu)成，該至少一個第一電極由氧化銦錫構(gòu)成。
8.一種響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件，該半導(dǎo)體器件包括支撐該半導(dǎo)體器件的基片；由該基片支撐的多個源極，用于產(chǎn)生電流；由該基片支撐的多個柵極，用于控制所說電流，支撐于多個源極和用于控制所說電流的多個柵極間的多個晶體管，每個晶體管具有耦合到源極的源端，耦合到柵極的柵端，和漏端；由多個晶體管支撐的第二電極，用于促進(jìn)在多個晶體管的漏端和第二電極間的電流；支撐在多個晶體管和第二電極間的共軛有機緩沖層，該緩沖層與多個晶體管的漏端和第二電極接觸，用于調(diào)節(jié)在多個晶體管的漏端和第二電極間的電流；及由每個晶體管支撐的多個噴墨印刷共軛有機淀積物，該淀積物與共軛有機緩沖層接觸，用于產(chǎn)生由半導(dǎo)體器件響應(yīng)于激勵源形成的指示項。
9.一種響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件，該半導(dǎo)體器件包括支撐半導(dǎo)體器件的基片；由該基片支撐的至少一個共軛有機緩沖層，用于過濾流體流；及至少一個噴墨印刷共軛有機淀積物，該淀積物設(shè)置于至少一個共軛有機緩沖層中，用于產(chǎn)生由該半導(dǎo)體器件響應(yīng)于激勵源形成的指示項。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的器件，其中每個共軛有機淀積物響應(yīng)于擴散到共軛有機淀積物中的流體樣品的激勵源發(fā)出熒光。
11.根據(jù)權(quán)利要求9的器件，還包括設(shè)置于每個共軛有機淀積物內(nèi)的第一和第二電極對，用于探測共軛有機淀積物的導(dǎo)電性，其中每個共軛有機淀積物的導(dǎo)電性響應(yīng)于擴散到共軛有機淀積物中的流體樣品的激勵源而改變。
12.一種制造能夠響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件的方法，該方法包括在基片上支撐至少一個第一電極；在至少一個第一電極上支撐至少一個共軛有機緩沖層，使得一個共軛有機緩沖層與每個第一電極接觸；在至少一個第一電極上噴墨印刷至少一個共軛有機淀積物，使得每個共軛有機淀積物與至少一個共軛有機緩沖層接觸；及在最上層的共軛有機緩沖層上支撐至少一個第二電極。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其中在最上層的共軛有機緩沖層上支撐至少一個第二電極的步驟包括以下步驟在最上層共軛有機緩沖層上，噴墨印刷至少一個有機掩模，并使之與所說最上層接觸，在與最上層共軛有機緩沖層接觸時，至少一個有機掩模具有低粘合強度；在至少一個有機掩模和最上層共軛有機緩沖層上，支撐第二電極材料，使之與所說有機掩模和最上層共軛有機緩沖層接觸，在與該最上層共軛有機緩沖層和該至少一個有機掩模接觸時，所說第二電極材料具有高粘合強度；在第二電極材料上加粘合薄片；及去掉該粘合薄片，其中還將去掉該至少一個有機掩模和在該至少一個有機掩模上的第二電極材料。
14.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其中在最上層共軛有機緩沖層上支撐至少一個第二電極的步驟包括以下步驟利用分隔件，掩蔽將不淀積第二電極材料的那部分最上層共軛有機緩沖層的區(qū)域；及在分隔件之間噴墨印刷第二電極材料。
15.一種制造能夠響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件的方法，該方法包括在基片上支撐多個源極；在基片上支撐多個柵極；在多個源極和多個柵極間支撐多個晶體管，每個晶體管具有耦合到源極的源端、耦合到柵極的柵端和漏端；在多個晶體管上支撐第二電極；在多個晶體管和第二電極間支撐共軛有機緩沖層，使該共軛有機緩沖層與多個晶體管的漏端和第二電極接觸；在每個晶體管上，噴墨印刷多個共軛有機淀積物，使得該多個共軛有機淀積物與共軛有機緩沖層和第二電極接觸。
16.一種制造能夠響應(yīng)于激勵源產(chǎn)生指示項的半導(dǎo)體器件的方法，該方法包括在基片上噴墨印刷至少一個共軛有機淀積物；及在每個共軛有機淀積物上支撐第一共軛有機緩沖層，使每個共軛有機淀積物與第一共軛有機緩沖層接觸。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，其中進(jìn)行在基片上噴墨印刷至少一個共軛有機淀積物的步驟，該方法還包括在基片上支撐至少一個第一電極和第二電極對的步驟，使得每個共軛有機淀積物被噴墨印刷在第一電極和第二電極對上。
18.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，還包括以下步驟在第一共軛有機緩沖層上，噴墨印刷至少一個共軛有機淀積物的一個附加層；及在至少一個共軛有機淀積物的每個附加層上，支撐一個附加共軛有機緩沖層，使得多個共軛有機淀積物的每個附加層與附加共軛有機緩沖層接觸。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的方法，其中，進(jìn)行在第一共軛有機緩沖層上，噴墨印刷至少一個共軛有機淀積物的至少一個附加層的步驟，該方法還包括在第一共軛有機緩站層上支撐至少一個第一電極和第二電極對的步驟，使得每個共軛有機淀積物被噴墨印刷在第一電極和第二電極對上。
20.一種顯示可視圖像的發(fā)射系統(tǒng)，該發(fā)射系統(tǒng)包括支撐發(fā)射系統(tǒng)的基片；由該基片支撐的至少一個第一電極；由該基片支撐的至少一個第二電極，用于在該至少一個第一電極和該至少一個第二電極間產(chǎn)生電流；支撐在該至少一個第一電極和該至少一個第二電極間的至少一個共軛有機緩沖層，用于調(diào)節(jié)所說電流；多個噴墨印刷的共軛有機淀積物，每個共軛有機淀積物與至少一個共軛有機緩沖層接觸，并位于一個第一電極和一個第二電極間，用于在電壓激勵源加于該第一電極和該第二電極上時產(chǎn)生指示項；及電壓源，用于在該至少一個第一電極和該至少一個第二電極上選擇性加電壓激勵源。
21.根據(jù)權(quán)利要求20的系統(tǒng)，其中基片和至少一個第一電極是透明的，多個共軛有機淀積物由導(dǎo)電材料構(gòu)成，用于響應(yīng)于加于電壓激勵源，使局部電流通過至少一個共軛有機淀積物和通過與共軛有機淀積物接觸的每個共軛有機緩沖層，其中至少一個共軛有機緩沖層由在電流流過該共軛有機緩沖層時發(fā)光的發(fā)光材料構(gòu)成。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的系統(tǒng)，其中印刷至少一組鄰近共軛有機淀積物，在電流流過至少一個共軛有機緩沖層時，各組鄰近的共軛有機淀積物形成發(fā)光標(biāo)志。
23.根據(jù)權(quán)利要求21的系統(tǒng)，其中印刷多組不同的共軛有機淀積物，每組具有基本恒定的共軛有機淀積物密度，在電流流過至少一個共軛有機緩沖層時，所印刷的多組形成灰度發(fā)光圖像。
24.根據(jù)權(quán)利要求20的系統(tǒng)，其中基片和至少一個第一電極是透明的，多個共軛有機淀積物排列成共軛有機淀積物組的規(guī)則陣列，每組包括三個由能夠發(fā)紅、綠和藍(lán)光的客體材料構(gòu)成的共軛有機淀積物，在電流流過共軛有機淀積物時，規(guī)則陣列構(gòu)成多色發(fā)光顯示器。
25.根據(jù)權(quán)利要求20的系統(tǒng)，其中基片和至少一個第一電極是透明的，多個共軛有機淀積物由能夠變得發(fā)光的客體材料構(gòu)成，至少一個共軛有機緩沖層是能夠變得發(fā)光的主體材料，客體材料部分?jǐn)U散到主體材料中，且其中多個共軛有機淀積物排列成共軛有機淀積物組的規(guī)則陣列，每組包括三個由能夠發(fā)紅、綠和藍(lán)光的客體材料構(gòu)成的共軛有機淀積物，客體材料具有不大于主體材料的帶隙和能極，使得在加電壓激勵源時，每組發(fā)紅、綠和藍(lán)光，在電流流過共軛有機淀積物時，規(guī)則陣列構(gòu)成多色發(fā)光顯示器。
26.一種顯示可視圖像的發(fā)射系統(tǒng)，該發(fā)射系統(tǒng)包括支撐發(fā)射系統(tǒng)的基片；由該基片支撐的多個源極，用于產(chǎn)生電流；由該基片支撐的多個柵極，用于控制所說電流，支撐于多個源極和用于控制所說電流的多個柵極間的多個晶體管，每個晶體管具有耦合到源極的源端，耦合到柵極的柵端，和漏端；由多個晶體管支撐的第二電極，用于促進(jìn)多個晶體管的漏端和第二電極間的電流；支撐在多個晶體管和第二電極間的共軛有機緩沖層，該緩沖層與多個晶體管的漏端和第二電極接觸，用于調(diào)節(jié)多個晶體管的漏端和第二電極間的電流；支撐于每個晶體管上的多個噴墨印刷共軛有機淀積物，該淀積物與共軛有機緩沖層接觸，用于在電壓激勵源加于源極和第二電極上時，產(chǎn)生指示項；及電耦合到發(fā)射系統(tǒng)的電壓源，用于選擇性在多個源極和第二電極上加電壓激勵源。
27.根據(jù)權(quán)利要求26的系統(tǒng)，其中基片和至少一個第一電極是透明的，多個共軛有機淀積物排列成共軛有機淀積物組的規(guī)則陣列，每組包括三個由能夠發(fā)紅、綠和藍(lán)光的客體材料構(gòu)成的共軛有機淀積物，在電流流過共軛有機淀積物時，規(guī)則陣列構(gòu)成多色發(fā)光顯示器。
28.根據(jù)權(quán)利要求26的系統(tǒng)，其中基片和至少一個第一電極是透明的，多個共軛有機淀積物由能夠變得發(fā)光的客體材料構(gòu)成，至少一個共軛有機緩沖層是能夠變得發(fā)光的主體材料，客體材料部分?jǐn)U散到主體材料中，并且其中多個共軛有機淀積物被排列成共軛有機淀積物組的規(guī)則陣列，每組包括三個由能夠發(fā)紅、綠和藍(lán)光的客體材料構(gòu)成的共軛有機淀積物，客體材料具有不大于主體材料的帶隙和能極，使得在加電壓激勵源時，每組發(fā)紅、綠和藍(lán)光，在電流流過共軛有機淀積物時，規(guī)則陣列構(gòu)成多色發(fā)光顯示器。
全文摘要
公開了一種顯示可視圖像的發(fā)射系統(tǒng)。該發(fā)射系統(tǒng)典型地含有淀積于基片上并與之接觸的第一電極(90)。然后,在第一電極上淀積一個或多個共軛有機緩沖層(40),并使之與第一電極接觸,然后,在共軛有機緩沖層上,淀積第二電極(22)。共軛緩沖層(40)調(diào)節(jié)第一電極(90)和第二電極(22)間的電流。在淀積每個共軛有機緩沖層(40)之前或之后,但在淀積第二電極(22)之前,噴墨印刷共軛有機淀積物(34、36和38),使它們與至少一個共軛有機緩沖層接觸。在電壓激勵源加于第一電極(90)和第二電極(22)上時,共軛有機淀積物(34、36和38)促進(jìn)指示項的產(chǎn)生。根據(jù)共軛有機淀積物(34、36和38)的材料,指示項可以是發(fā)光、發(fā)熒光和導(dǎo)電等。電壓源用于在第一電極(90)和第二電極(22)上選擇性加電壓激勵源。
文檔編號H01L21/48GK1280708SQ98811747
公開日2001年1月17日 申請日期1998年10月14日 優(yōu)先權(quán)日1997年10月17日
發(fā)明者楊洋 申請人:加利福尼亞大學(xué)董事會