專利名稱:?jiǎn)尉Ч杵飨虍愋愿g夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種電子器件制備中用于單晶硅片各向異性腐蝕的夾具。
目前,電子技術(shù)中已廣泛使用半導(dǎo)體體微加工(BulkMicromaching)工藝制備各種電子器件,如以硅為基底的力傳感器、麥克風(fēng)和熱釋電紅外探測(cè)器等。這些器件的實(shí)現(xiàn)通常是在單晶硅片上制備所要求的器件,將器件下面的單晶硅通過各向異性腐蝕去除,只留下很薄一層硅、二氧化硅或氮化硅膜作為器件的感應(yīng)層或支撐層。通常采用KOH系統(tǒng)或EPW系統(tǒng)腐蝕溶液在80℃左右下對(duì)單晶硅進(jìn)行各向異性腐蝕。根據(jù)制備工藝的要求,有時(shí)需要首先在單晶硅片的一面制備所需器件,然后從另一面進(jìn)行單晶硅的各向異性腐蝕。在對(duì)單晶硅片腐蝕時(shí),應(yīng)將有器件的一面保護(hù)起來,以免器件受到腐蝕液的腐蝕。但目前常使用的氮化硅保護(hù)膜由于無(wú)法去除而不能采用,而黑膠等保護(hù)膠在80℃下的腐蝕液中由于起皮和脫膠等問題也無(wú)法使用。
本實(shí)用新型的目的是提供一種用于單晶硅片各向異性腐蝕夾具,它能有效防止在對(duì)單晶硅片腐蝕時(shí),已制備的器件受到腐蝕液的腐蝕。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的它包括兩塊膠合板,在這兩塊膠合板之間夾有三塊橡膠塊,在垂直于膠合板和橡膠塊的平面中心開有一貫穿整個(gè)膠合板和橡膠塊的通孔;一片玻璃片位于橡膠塊的一個(gè)夾層之間,固定整個(gè)夾具的螺絲和螺母均勻分布在夾具的四周。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
本夾具包括兩塊膠合板1、夾在兩塊膠合板1之間的三塊橡膠塊2、在垂直于膠合板1和橡膠塊2的平面中心開有一貫穿整個(gè)膠合板1和橡膠塊2的通孔4,一塊玻璃片5位于橡膠塊2的一個(gè)夾層之間,固定整個(gè)夾具的螺絲和螺母3均勻分布在夾具的四周;通孔4的尺寸略小于欲腐蝕單晶硅片6的尺寸,大于欲腐蝕單晶硅片6上腐蝕區(qū)域;玻璃片5的選取與欲腐蝕單晶硅片6大小相同。
使用時(shí),將欲腐蝕單晶硅片6插入夾具中橡膠塊2的另一個(gè)夾層之間,這樣在玻璃片5和欲腐蝕單晶硅片6之間形成一個(gè)密閉空間7。欲腐蝕單晶硅片6放置時(shí),應(yīng)將其上有器件的一面在密閉空間7內(nèi),欲腐蝕的一面在密閉空間7外,使得有器件的一面與腐蝕液隔離。玻璃片5朝外的一側(cè)形成的窗口作為觀察窗口,它用于透過玻璃片5觀察腐蝕過程中密閉空間7內(nèi)是否有腐蝕液滲入。欲腐蝕單晶硅片6朝外的一側(cè)形成的窗口作為腐蝕窗口。將整個(gè)夾具浸沒在腐蝕液中,腐蝕液通過腐蝕窗口與欲腐蝕單晶硅片6的被腐蝕面相接觸,進(jìn)行腐蝕反應(yīng)。整個(gè)夾具的放置應(yīng)使得腐蝕窗口朝側(cè)面或上面,而不應(yīng)朝下面,以免腐蝕過程中產(chǎn)生的部分氣體由于無(wú)法逃逸,而在腐蝕窗口內(nèi)形成一層反應(yīng)氣體層,隔離了欲腐蝕單晶硅片6與腐蝕液,使得腐蝕反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。
這種夾具通過將單晶硅上有器件的一面密封在夾具內(nèi),使其與腐蝕液隔離,而單晶硅上被腐蝕的一面暴露在外面,與腐蝕液接觸進(jìn)行腐蝕,實(shí)現(xiàn)在腐蝕過程中保護(hù)器件的目的。它具有結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便,并可反復(fù)使用等特點(diǎn)。
權(quán)利要求1.單晶硅片各向異性腐蝕夾具,它包括夾板和固定螺絲,其特征在于所述的夾板為兩塊膠合板,在這兩塊膠合板之間夾有三塊橡膠塊,在垂直于膠合板和橡膠塊的平面中心開有一貫穿整個(gè)膠合板和橡膠塊的通孔;一片玻璃片位于橡膠塊的夾層之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅片各向異性腐蝕夾具,其特征在于所述的玻璃片尺寸與欲腐蝕單晶硅片相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅片各向異性腐蝕夾具,其特征在于所述的通孔的尺寸略小于欲腐蝕單晶硅片,大于欲腐蝕區(qū)域。
專利摘要一種電子器件制備中用于單晶硅片各向異性腐蝕的夾具。它包括兩塊膠合板和在這兩塊膠合板之間夾有的三塊橡膠塊、在膠合板和橡膠塊中心開有一貫穿整個(gè)膠合板和橡膠塊的通孔、一片玻璃片位于橡膠塊的一個(gè)夾層之間。本夾具通過將單晶硅片上制備有器件的一面密封在由玻璃片和單晶硅片形成的密閉空間內(nèi),使其與腐蝕液隔離,可以實(shí)現(xiàn)在各向異性腐蝕過程中保護(hù)器件的目的。
文檔編號(hào)H01L21/68GK2258656SQ9623613
公開日1997年7月30日 申請(qǐng)日期1996年9月20日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月20日
發(fā)明者任巍, 耿春琦, 張良瑩, 姚熹 申請(qǐng)人:西安交通大學(xué)