專利名稱：平板顯示器與集成電路器件的接合方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶顯示器、等離子體顯示器等平板顯示器上裝配IC(集成電路)器件并將IC器件的電極與平板顯示器的電極相結(jié)合的方法及檢查方法。
已有技術(shù)如

圖10所示，驅(qū)動(dòng)平板顯示器的IC器件，是在粘附有導(dǎo)電粘接材料或膜(ACF各向異性導(dǎo)電膜)20的平板顯示器2上粘貼TCP(Tape Carrlen Package)元件25后，用工具將其熱壓接合。
此時(shí)的加壓工具的溫度雖可通過(guò)熱電對(duì)等進(jìn)行控制，但I(xiàn)C器件的溫度難以測(cè)定，只好根據(jù)經(jīng)驗(yàn)預(yù)定條件加熱接合。
各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的導(dǎo)電粒子有必要通過(guò)加壓使其達(dá)到某種程度的變形，而加壓是根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件一直進(jìn)行的。
IC器件及各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的加熱是通過(guò)接觸加壓工具熱傳導(dǎo)其溫度進(jìn)行的。
若將各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜粘附于平板顯示器上時(shí)，必須在別的場(chǎng)所識(shí)別平板顯示器未粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的部分，算出其接合位置實(shí)施接合，由于不斷重復(fù)上述過(guò)程接合，所以使IC器件裝配精度下降。
然而，在上述接合方法中，工具的溫度雖可通過(guò)熱電對(duì)等進(jìn)行控制，但I(xiàn)C器件的溫度難以測(cè)定，在短時(shí)間提高生產(chǎn)率情況下，會(huì)發(fā)生IC器件或各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜沒(méi)上升到必要溫度的情況，成為生產(chǎn)次品的原因。
IC器件及各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的加熱由于是通過(guò)接觸工具熱傳導(dǎo)其溫度進(jìn)行的，所以要有必要的加熱時(shí)間，且使生產(chǎn)率下降。
各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的導(dǎo)電粒子有必要通過(guò)某種程度的加壓使其變形，其變形度是依據(jù)預(yù)先設(shè)定條件確定的。但是，存在著因工具平行度或加壓壓力變化引起不良變形的情況，雖可在后續(xù)工序中經(jīng)目視檢查發(fā)現(xiàn)不良變形后實(shí)施對(duì)策，但由于時(shí)間的差異會(huì)產(chǎn)生大量的次品。
再有，若將各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜粘附于平板顯示器上時(shí)，必須在別的場(chǎng)所識(shí)別平板顯示器未粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的部分，算出其接合位置，實(shí)施接合，因重復(fù)上述過(guò)程而使IC器件的裝配精度下降。
本發(fā)明鑒于上述已有技術(shù)存在的問(wèn)題，其目的在于提供一種當(dāng)將IC器件與平板顯示器接合時(shí)能提高可靠性具有良好裝配精度的IC器件的接合方法。
本發(fā)明的平板顯示器與IC器件的接合方法，有感知IC器件溫度的傳感器，有判定是否達(dá)到預(yù)定溫度的判定部，有在判定部發(fā)送等待的判定信號(hào)時(shí)使按壓IC器件處于等待的定時(shí)器。
還有用紅外線加熱IC器件及各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的紅外線加熱部。
有由感知涂覆于或粘附于平面顯示裝置上的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的導(dǎo)電粒子的壓壞、變形程度的攝像機(jī)或傳感器構(gòu)成的檢知部，有將攝像機(jī)或傳感器檢出的壓壞變形程度與預(yù)先確定的壓壞變形程度進(jìn)行比較的判定部，最好還有借助判定部來(lái)的判定信號(hào)反饋控制加壓力或IC器件位置的電路。
另外還有IC器件至平板顯示器的裝載部、加壓部、檢查工序?yàn)椴煌ば蚯闆r下將判定部來(lái)的信號(hào)送給各工序的電路。
在將IC器件裝配于平板顯示器時(shí)，各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜位于上述兩者之間，該各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的粘接劑含有達(dá)一定溫度時(shí)色度變化且比導(dǎo)電粒子直徑小的材料。
介于IC器件與平板顯示器之間的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜上設(shè)有切口部，平板顯示器接合面的背面設(shè)有識(shí)別攝像機(jī)或傳感器與IC器件的位置的識(shí)別部，以便從平板顯示器的背面觀測(cè)器件的部分，還具有使與平板顯示器電極面對(duì)準(zhǔn)位置將IC器件安裝于平板顯示器的按壓部。
結(jié)構(gòu)上還具有向平板顯示器涂覆、粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜之后除去部分各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的除去部；設(shè)于平板顯示器接合面背面的攝像機(jī)或傳感器；識(shí)別IC器件位置的識(shí)別部；及與平板顯示器電極面位置對(duì)準(zhǔn)并將IC器件安裝于平板顯示器上的按壓部。
本發(fā)明的平板顯示器與IC器件的結(jié)合方法具有感知IC器件溫度的傳感器，用該傳感器可感知IC器件達(dá)到預(yù)定的溫度，故不需提出預(yù)先測(cè)定IC器件溫度的條件。
因?yàn)橛信卸ㄊ欠襁_(dá)到預(yù)定溫度的判定部，所以可設(shè)置定時(shí)器使得在判定部發(fā)送等待(待機(jī))的判定信號(hào)時(shí)使按壓IC器件處于等待，從而防止IC器件的按壓不良，提高了可靠性。
由于用紅外線加熱IC器件及各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜，所以能短時(shí)間內(nèi)升溫，提高了生產(chǎn)率。
通過(guò)用攝像機(jī)或傳感器感知涂覆粘附于平板顯示器上的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的導(dǎo)電粒子的壓壞或變形程度，并將該壓壞或變形程度與預(yù)定的壓壞程度進(jìn)行比較，從而提高了接合的可靠性。
用判定部來(lái)的判定信號(hào)向IC器件的加壓部進(jìn)行反饋控制，不必給出加壓條件，從而能提高生產(chǎn)率，并可進(jìn)行高可靠度的接合。
在IC器件至平板顯示器的裝載部、加壓部、檢查工序?yàn)椴煌ば蚯闆r下，通過(guò)將判定部來(lái)的信號(hào)送給各工序，可將次品防患于未然，提高產(chǎn)品的可靠性。
將IC器件安裝于平板顯示器時(shí)，各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜介于上述兩者之間情況下，因各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的粘接材料中分布有隨溫度改變色度的材料，所以通過(guò)目視、攝像機(jī)、傳感器等可容易判定各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜是否升溫到預(yù)定溫度，從而提高了生產(chǎn)率和可靠性。
介于IC器件和平板顯示器之間的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜上設(shè)有預(yù)先設(shè)計(jì)的切口，且在平板顯示器接合面的背面設(shè)有攝像機(jī)或傳感器，以便從粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的平板顯示器的背面觀察到IC器件的部分，通過(guò)識(shí)別IC器件的位置，提高IC器件與平板顯示器的電極的位置對(duì)準(zhǔn)精度，從而提高了質(zhì)量和可靠性。
進(jìn)而，在涂敷粘附至平板顯示器的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜之后，除去部分各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜，并用設(shè)于平板顯示器接合面背面?zhèn)鹊臄z像機(jī)或傳感器識(shí)別IC器件的位置，與平板顯示器的電極面進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，將IC器件安裝于平板顯示器上，從而提高了位置對(duì)準(zhǔn)精度并提高了質(zhì)量和可靠性。
下面，參照?qǐng)D1至圖9說(shuō)明本發(fā)明平板顯示器的IC器件的接合方法的實(shí)施例。
圖1表示IC安裝裝置整體概略結(jié)構(gòu)的立體圖；圖2為表示本發(fā)明第一實(shí)施例中裝載IC之前狀態(tài)的縱剖面圖；圖3為表示安裝工具的縱剖面圖；圖4為表示本發(fā)明第一實(shí)施例中將IC器件按壓于平板顯示器上狀態(tài)的縱剖面圖；圖5表示本發(fā)明第一實(shí)施例中IC器件的平板顯示器的安裝算法；圖6為表示本發(fā)明第二實(shí)施例中裝載IC前狀態(tài)的縱剖面圖；圖7為表示本發(fā)明第三實(shí)施例中按壓IC時(shí)狀態(tài)的縱剖面圖；圖8為表示本發(fā)明第四實(shí)施例中粘附在平板顯示器上的各向異性導(dǎo)電膜狀態(tài)的縱剖面圖；圖9為表示本發(fā)明第五實(shí)施例中將IC器件接合于平板顯示器之前狀態(tài)的立體視圖；圖10為已有技術(shù)中TCP裝載于平板顯示器后的立體視圖。
圖1為表示用于本發(fā)明的IC安裝裝置整體概略構(gòu)成立體視圖。圖1中，安裝裝置主體1前上部分分別配置有搬送平板顯示器2置于預(yù)定位置的搬送手段3，和供給IC器件5的IC供給部4。
在確定平板顯示器2位置和進(jìn)行搬送的搬送手段3的上方，設(shè)有使按壓IC器件的接壓頭7移動(dòng)的X-Y自動(dòng)裝置(robot)8。
如圖3所示，按壓頭7上延伸設(shè)置有用設(shè)于X-Y自動(dòng)裝置可動(dòng)部8a上的升降用電動(dòng)機(jī)9和傳動(dòng)螺桿機(jī)構(gòu)10升降的升降軸11，其下端裝有吸附咀12，該咀12可伸縮，且借助彈簧13彈向下方。安裝軸16可繞軸心旋轉(zhuǎn)地安裝在升降體14上，且借助確定旋轉(zhuǎn)位置用電動(dòng)機(jī)15可置于任意確定的旋轉(zhuǎn)位置上。升降軸11中形成連通于按壓頭7的吸引孔17的吸引通路18，并通過(guò)設(shè)置在安裝軸16上部的旋轉(zhuǎn)偶聯(lián)器19連接于未圖示的吸引源。也可用氣缸(air cylinder)來(lái)代替升降用電動(dòng)機(jī)9和升降軸10使按壓頭7作上下運(yùn)動(dòng)。感知IC器件溫度的傳感器6，如圖2所示對(duì)著IC器件設(shè)在主體1內(nèi)。
下面，參照?qǐng)D1-圖4，說(shuō)明IC的安裝動(dòng)作。首先，由IC供給部4將IC器件吸附保持在按壓頭7的吸附咀12中，另一方面，搬送部3將平板顯示器2搬送置于預(yù)定位置上。一旦平板顯示器位置確定，則吸附保持IC器件5的按壓頭7上升，接著驅(qū)動(dòng)X-Y自動(dòng)裝置，將按壓頭7移動(dòng)到傳感器6的正上方，檢測(cè)IC器件的溫度。
接著，向著平板顯示器2的預(yù)定接合位置移動(dòng)按壓頭7，并定位在平板顯示器電極2a的正上方。
再接著，用升降用電動(dòng)機(jī)9驅(qū)動(dòng)升降體14下降，通過(guò)升降軸11按壓頭7按圖2空白箭頭所示下降，將IC器件5按壓在平板顯示器2上，進(jìn)而，吸附咀12抵抗彈簧13的彈力，下降停止在預(yù)定縮入量的位置上。但在沒(méi)有彈簧的情況下，由氣缸壓力直接按壓。因此，如圖4所示，借助彈簧13固有的彈力按空白箭頭B所示將IC器件5加壓固定在安裝的位置上。這種按壓臨時(shí)按壓著IC器件，但要真正按壓則要求有預(yù)定的溫度和壓力。由于事先可用傳感器6感知IC器件的溫度，所以不存在不接合而能使接合具有良好的可靠性。并且，在IC器件未升溫到預(yù)定溫度情況下，等待升溫到預(yù)定溫度后再接合。這樣，即使以短時(shí)間周期接合IC器件，也能使結(jié)合具有良好的可靠性。圖5為上述IC器件接合方法的安裝算法。
下面參照?qǐng)D6說(shuō)明IC器件接合中用各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的第二實(shí)施例。首先，用紅外線放射部21對(duì)著吸附保持IC器件的按壓頭7照射紅外線，使IC器件加熱后定位在平板顯示器電極2a上進(jìn)行接合。該實(shí)施例中，因用紅外線放射線部加熱IC器件，使按壓頭7能保持較低的溫度，所以按壓頭容易維持平行，從而使接合具有高可靠性。并且也能夠一邊用紅外線對(duì)各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜加熱一邊壓接。此時(shí)，可將能透過(guò)紅外線的石英、玻璃等用于工作臺(tái)22。
進(jìn)而設(shè)有溫度傳感器6a，一邊檢測(cè)IC器件及各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜20的溫度，一邊進(jìn)行接合，可進(jìn)一步提高接合的可靠性。
下面參照?qǐng)D7說(shuō)明在平板顯示器安裝IC器件的背面一側(cè)設(shè)置檢知部的第三實(shí)施例。圖7中，IC器件5吸附保持在按壓頭7中，接著將其按壓在平板顯示器2上。此時(shí)，在平板顯示器2安裝IC器件5的背面?zhèn)仍O(shè)有由高倍率的攝像機(jī)或紅外線傳感器等構(gòu)成的檢知部23，用該檢知部檢查IC器件的凸部5a和平板顯示器2電極2a之間各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜20中導(dǎo)電粒子20a的壓壞情況，或檢查各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜20的色變以及IC器件的凸部5a與平板顯示器電極2a的偏差。通過(guò)這種檢查，能更準(zhǔn)確可靠壓接，并能防止導(dǎo)通不良。勿用置言，這種檢查即使在按壓后進(jìn)行也同樣有效。并且用人眼觀察檢查也當(dāng)然可行。
在檢知部用紅外線傳感器的情況下，受熱的IC器件的表面，由于用于配線的Al及Si基板和用于凸部的Au的紅外線輻射率不同，因此可從平板顯示器下部通過(guò)各向異性導(dǎo)電膜檢測(cè)出IC器件凸部的位置。
由于在IC器件按壓前對(duì)平板顯示器電極2a與IC器件凸部5a位置的配合進(jìn)行檢查，所以不需要因IC器件按壓后產(chǎn)生的偏差，因壓接不良產(chǎn)生IC器件的損壞所需的重貼各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜、重新接合IC器件的維修工序。
由于對(duì)導(dǎo)電粒子的壓壞，各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的變色，IC器件凸部與平板顯示器電極的偏差等不良現(xiàn)象進(jìn)行反饋、增減加壓力、進(jìn)行IC器件定位校正，故可進(jìn)一步提高接合的可靠性。
在該檢查工序和IC器件的接合工序?yàn)閮蓚€(gè)不同的工序情況下，按照檢查工序?qū)ψ鳛闄z查工序的前工序的壓接工序的加壓力進(jìn)行反饋控制調(diào)節(jié)加壓。
下面，圖8所示第四實(shí)施例，其特征在于在其各向異性導(dǎo)電膜中分布有當(dāng)將IC器件經(jīng)各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜20安裝于平板顯示器2時(shí)隨溫度而色變且粒徑比導(dǎo)電粒子20a小的示溫涂料(ther-mopaint)等的感溫材料20b。因此，接合后各向異性導(dǎo)電膜的受熱部分變色，能方便判斷加熱情況，也容易自動(dòng)檢查。作為感溫材料20b可用氨絡(luò)鹽或環(huán)氧液晶等。
圖9所示第五實(shí)施例，在將IC器件5安裝于平板顯示器2上時(shí)予先粘附于平板顯示器電極2a上的各向異性導(dǎo)電膜20上，設(shè)有切口部20c，能借助設(shè)置于平板顯示器電極2a背側(cè)的攝像機(jī)或傳感器24對(duì)部分IC器件進(jìn)行識(shí)別，從而使IC器件的凸部5a與平板顯示器電極2a在位置上進(jìn)行精密配合。
也可在將各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜粘附于平板顯示器之后，用膜除去部除去膜的一部分來(lái)替代切口部。
本發(fā)明的平板顯示器的IC器件的接合方法，具有感知IC器件溫度的傳感器，用該傳感器可感知IC器件達(dá)到預(yù)定溫度的情況，從而不必預(yù)先測(cè)定IC器件的溫度條件。
用判定部判定IC器件的規(guī)定溫度，在判定部發(fā)出等待(待機(jī))的判定信號(hào)時(shí)用定時(shí)器使IC器件的按壓處于等待，從而能防止壓接不良，提高了可靠性。
由于用紅外線對(duì)IC器件和各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜進(jìn)行加熱，可在短時(shí)間使IC器件或各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜升溫，從而提高了生產(chǎn)率。
用攝像機(jī)或傳感器來(lái)感知涂敷粘附于平板顯示器上的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的導(dǎo)電粒子的壓壞、變形程度、定位情況，并將由攝像機(jī)或傳感器所檢測(cè)的壓壞、變形程度與預(yù)先確定的壓壞變形程度作比較，從而提高了接合的可靠性。通過(guò)全面壓接前的檢查，可不必作位置偏差的維修。
用判定部來(lái)的判定信號(hào)向IC器件的加壓部進(jìn)行反饋控制，這樣不必提出加壓條件，提高了生產(chǎn)率，進(jìn)而使接合具有良好的可靠性。
在IC器件至平板顯示器的裝載部、加壓部、檢查工序?yàn)椴煌ば蚯闆r下，將判定部來(lái)的信號(hào)送給各工序，從而使次品防患于未然，提高了產(chǎn)品的可靠性。
在IC器件安裝于平板顯示器時(shí)使各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜處于上述兩者之間的情況下，將其色度隨溫度變色的材料分布于各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜中，這樣能以目視、攝像機(jī)或傳感器方便地判定各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜是否升溫到規(guī)定的溫度，從而提高了生產(chǎn)率及可靠性。
介于IC器件和平板顯示器之間的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜上預(yù)先設(shè)有切口，使其能從粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的平板顯示器的背面可看到部分IC器件，并在與平板顯示器接合面相反的一側(cè)設(shè)有攝像機(jī)或傳感器，通過(guò)識(shí)別IC器件的位置提高了IC器件與平板顯示器電極的位置對(duì)準(zhǔn)精度，并提高了質(zhì)量和可靠性，同時(shí)也可安裝細(xì)微間距的IC器件的電極間距。
進(jìn)而，在向平板顯示器涂覆粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜之后，除去部分各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜，用設(shè)于與平板顯示器接合面相反側(cè)的攝像機(jī)或傳感器識(shí)別IC器件位置，并與平板顯示器的電極面進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，將IC器件安裝于平板顯示器，從而提高了位置配合精度，并提高了質(zhì)量和可靠性。
權(quán)利要求
1.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用傳感器感知預(yù)加熱的集成電路器件的溫度，在判定達(dá)到規(guī)定溫度后，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用傳感器感知預(yù)加熱的集成電路器件的溫度，判定達(dá)到規(guī)定溫度的情況，在未達(dá)到規(guī)定溫度情況下，等待集成電路器件達(dá)到規(guī)定溫度后，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜作為媒介物接合情況下，用傳感器感知預(yù)加熱的集成電路器件的溫度，在判定達(dá)到規(guī)定溫度后，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
4.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用紅外線預(yù)加熱集成電路器件和各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜。
5.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，在用紅外線加熱集成電路器件和各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜接合情況下，用傳感器感知預(yù)加熱的集成電路器件和各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的溫度，在判定達(dá)到規(guī)定溫度后，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
6.一種集成電路器件的檢查方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平面顯示器時(shí)，用各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜作為媒介物接合情況下，用攝像機(jī)或傳感器從與平板顯示器接合面相反側(cè)檢查分布于各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜中的導(dǎo)電粒子的壓壞、變形程度，各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的粘接材料的色變，及集成電路器件的凸部與平板顯示器電極的位置對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。
7.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜作為媒介物接合情況下，將集成電路器件裝載于平板顯示器，同時(shí)用攝像機(jī)或傳感器從接合裝載狀態(tài)中集成電路器件的平板顯示器的相反側(cè)，檢查分布于各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜中的導(dǎo)電粒子的壓壞、變形程度，粘接材料的色變，及集成電路器件的凸部與平板顯示器電極的位置對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)，在檢查狀態(tài)不合適時(shí)，反饋控制加壓力或集成電路器件的位置，增減按壓力或調(diào)整集電路器件的位置，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
8.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，該集成電路器件以各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜作為媒介物被接合，通過(guò)攝像機(jī)或傳感器從與平板顯示器接合面相反的一側(cè)檢查分布于各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜中的導(dǎo)電粒子的壓壞、變形程度，各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的粘接材料的色變等，檢查狀態(tài)為不合適時(shí)，反饋控制其前道工序的壓接工序的加壓力或集成電路器件的位置，增減按壓力或調(diào)整集成電路器件的位置，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
9.如權(quán)利要求6-8任一權(quán)利要求所述的方法中所用的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，用各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜介于上述兩者之間情況下，在各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜中分布有隨溫度色變、粒徑比導(dǎo)電粒子小的材料。
10.一種各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜與集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，在介于集成電路器件與平板顯示器之間的各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜上預(yù)先設(shè)置切口，使之從粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的面的平板顯示器的背面?zhèn)瓤煽吹讲糠旨呻娐菲骷?，用設(shè)置于與平板顯示器接合面相反一側(cè)的攝像機(jī)或傳感器識(shí)別集成電路器件的位置，并與平板顯示器的電極面進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
11.一種集成電路器件的接合方法，其特征在于，在將集成電路器件安裝于平板顯示器時(shí)，將各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜涂覆粘附于平板顯示器之后，除去部分各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜，使之從粘附各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜的面的平板顯示器的背面?zhèn)瓤煽吹讲糠旨呻娐菲骷?，用設(shè)置于與平板顯示器接合面相反一側(cè)的攝像機(jī)或傳感器識(shí)別集成電路器件的位置，并與平板顯示器的電極面進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，將集成電路器件安裝于平板顯示器上。
全文摘要
一種平板顯示器與IC器件的接合方法，具有檢測(cè)IC器件溫度的傳感器和判定部，根據(jù)判定信號(hào)將IC安裝于該顯示器。用紅外線對(duì)IC、各向異性導(dǎo)電粘接材料或膜加熱以提高生產(chǎn)率。上述材料或膜中含有隨溫度色變的有機(jī)材料。設(shè)有感知上述粘接材料或膜中導(dǎo)電粒子壓壞或變形程度的檢知部和判定部，用該判定信號(hào)對(duì)加壓部進(jìn)行反饋控制。在上述粘接材料或膜上預(yù)設(shè)有切口，以便用傳感器從背面觀測(cè)IC調(diào)節(jié)其位置。從而提高了安裝精度和可靠性。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1135658SQ9610307
公開(kāi)日1996年11月13日 申請(qǐng)日期1996年3月22日 優(yōu)先權(quán)日1995年3月24日
發(fā)明者西田一人 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社