專利名稱：標(biāo)線片的裝入和取出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種相對(duì)于一個(gè)盒子裝入/取出標(biāo)線片的標(biāo)線片裝入和取出裝置。


圖1所示的一般結(jié)構(gòu)的標(biāo)線片有一塊晶片或者基板，上面有原圖，用以構(gòu)成電極圖樣(例如用于液晶的顯示裝置)。參照?qǐng)D1，一標(biāo)線片100包括玻璃基板101，在其上表面或者下表面上形成一預(yù)先確定的曝光圖樣；玻璃基板101的上表面和下表面上分別裝配有上膜102和下膜102，以使外界物質(zhì)(灰塵顆粒)不致附著到該玻璃基板上。
由于標(biāo)線片的高成本及易碎性，在整個(gè)制作過(guò)程中都極為小心地保護(hù)標(biāo)線片。將標(biāo)線片放在一個(gè)盒子內(nèi)，以便存放許多這類標(biāo)線片。這種盒子被支承在位于操縱器前方的支承臺(tái)架上，以便在制作過(guò)程中間歇地將標(biāo)線片插入盒內(nèi)/自盒內(nèi)抽出。為了在晶片上或者基板上形成電極圖樣，曝光操作需要將該標(biāo)線片從盒內(nèi)取出，處理之后，再重新插入盒中。操縱器就用來(lái)插入/抽出標(biāo)線片。
當(dāng)利用操縱器將一特定的標(biāo)線片從盒內(nèi)取出時(shí)，操縱器中的控制部份記下其中存放該標(biāo)線片的盒的精確位置。然而，萬(wàn)一發(fā)生操縱器故障，無(wú)論是由于操縱者的錯(cuò)誤，或是機(jī)械故障或程序錯(cuò)誤，由操縱器移送的標(biāo)線片就可能與已經(jīng)存在于盒內(nèi)的被裝入的標(biāo)線片相碰撞，從而損壞該昂貴的標(biāo)線片。
為了解決這個(gè)問(wèn)題，可在每個(gè)盒的位置裝設(shè)一個(gè)檢測(cè)標(biāo)線片用的傳感器，以便判定已存放于其中的一標(biāo)線片的存在。但是，盒子的簡(jiǎn)單且氣密的結(jié)構(gòu)妨礙著傳感器的裝設(shè)。再有，由于不能帶有驅(qū)動(dòng)器，因其電場(chǎng)/電荷將吸引外界顆粒之故，就使這樣的傳感器的選擇大大受到限制。因此，該操縱器的動(dòng)作往往起到不利的作用。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，當(dāng)利用操縱器插入標(biāo)線片時(shí)，通過(guò)檢測(cè)盒內(nèi)是否已裝入了一標(biāo)線片，以避免標(biāo)線片之間碰撞。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，它具有當(dāng)確定盒內(nèi)是否已裝有標(biāo)線片時(shí)，能減少外界顆粒引入的檢測(cè)裝置。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的一個(gè)方面，正如這里所具體舉例概括描述的那樣，一種標(biāo)線片裝入和取出裝置包括一帶門的盒子，門比盒的前面寬度長(zhǎng)；一帶臂的操縱器，用于將標(biāo)線片插入盒內(nèi)，或者從盒內(nèi)抽出該標(biāo)線片，該操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，用來(lái)開啟和關(guān)閉所述的門；以及在該臂的至少一邊和開關(guān)機(jī)構(gòu)上的檢測(cè)裝置，用以檢查盒內(nèi)是否已裝入標(biāo)線片。
按照本發(fā)明的另一方面，一種標(biāo)線片裝入和取出裝置包括一帶門的盒子，門位于該盒的前面；一帶臂的操縱器，用以將標(biāo)線片插入盒內(nèi)或者從盒內(nèi)抽出標(biāo)線片；操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)、用于開啟和關(guān)閉所述的門；以及檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用以檢查盒內(nèi)是否已裝入標(biāo)線片，該檢測(cè)機(jī)構(gòu)存在于該盒子的至少一個(gè)側(cè)面。
按照本發(fā)明的再一方面，一種標(biāo)線片裝入和取出裝置包括一支承臺(tái)架，用以支承彼此分開一預(yù)定距離的若干個(gè)盒子；一帶臂的操縱器，用于將標(biāo)線片選擇性地插入支承臺(tái)架所支承的多個(gè)盒子中的每一個(gè)中，或者選擇性地從這些盒子的每一個(gè)抽出標(biāo)線片；操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，用以開啟和關(guān)閉所述的門；一重量傳感器，用以檢測(cè)對(duì)應(yīng)的各盒當(dāng)中之一的重量，該重量傳感器位于支承臺(tái)架中相應(yīng)盒子的下面，和一控制部分，根據(jù)由該傳感器測(cè)得的重量確定該盒內(nèi)是否已裝入了標(biāo)線片。
應(yīng)當(dāng)理解，上面的一般描述以及下面的詳細(xì)描述均為舉例性和說(shuō)明性的，意在像所要求的那樣給出對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步說(shuō)明。
給出幾幅附圖，以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步的理解，而且它們也被歸入并構(gòu)成本說(shuō)明書的一部分，它們表示了本發(fā)明的幾種具體實(shí)施方式
，并與本描述一起用作說(shuō)明本發(fā)明的原理。
參照附圖，通過(guò)詳細(xì)描述優(yōu)選的實(shí)施例將使本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)變得愈加清楚，其中圖1是本發(fā)明及現(xiàn)有技術(shù)中所用普通標(biāo)線片的透視圖；圖2是本發(fā)明標(biāo)線片裝入和取出裝置的透視圖；圖3是表示一個(gè)盒子的門被開啟/關(guān)閉部分開啟狀態(tài)下的透視圖；圖4和5是本發(fā)明標(biāo)線片檢測(cè)裝置另一種實(shí)施例的透視圖；圖6是表示本發(fā)明標(biāo)線片檢測(cè)裝置再一種實(shí)施例的側(cè)視圖。
根據(jù)本發(fā)明的一標(biāo)線片裝入和取出裝置來(lái)檢查盒內(nèi)是否已裝入標(biāo)線片，以及將標(biāo)線片插入盒內(nèi)或從其中抽出標(biāo)線片，圖2和3表示它的一種實(shí)施例。
本發(fā)明的標(biāo)線片裝入和取出裝置包括一操縱器300，它裝有XY平臺(tái)302；一個(gè)由支柱410支撐的支承臺(tái)架400，它靠近操縱器300，其中布置著多個(gè)盒子200，每個(gè)盒子用于存放標(biāo)線片100；一個(gè)開啟/關(guān)閉裝置500，用以開啟和關(guān)閉盒子的門203，它被裝在XY平臺(tái)302上；還包括一傳感器600，用來(lái)檢測(cè)所選的盒內(nèi)是否已裝入了標(biāo)線片，它裝在操縱器上或者開啟/關(guān)閉裝置500上。
如圖3所示，多個(gè)盒子200當(dāng)中的每一個(gè)均包括一個(gè)主體202，其中提供一個(gè)容納標(biāo)線片100的空間201；還包括門203，門的一端從主體202一側(cè)伸出一預(yù)定之長(zhǎng)度，它被可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在主體202的前面，用以將到空間201的入口緊密地關(guān)閉。
操縱器300包括一主體301，該主體上安裝著一個(gè)以向上、向下以及沿著X和Y方向移動(dòng)之XY平臺(tái)302，還包括一臂310，用以將標(biāo)線片100插入盒內(nèi)或者從其中抽出標(biāo)線片。該臂310裝在XY平臺(tái)302上，可相對(duì)于該XY平臺(tái)沿X方向向后和向前移動(dòng)。該臂310具有互相平行的支承指狀物311，得以支承標(biāo)線片100的兩個(gè)側(cè)緣，它還有吸孔312，通過(guò)這些吸孔在支承指狀物311的上表面形成抽吸力作用。臂310借助于裝在XY平臺(tái)302上的諸如液壓缸501之類的部件向后和向前移動(dòng)。另外，XY平臺(tái)302為可沿X-及Y-軸方向移動(dòng)的普通平臺(tái)。該XY平臺(tái)302借助由馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)并裝在一個(gè)主體內(nèi)的球狀螺旋(未示出)向上和向下垂直移動(dòng)。
開啟和關(guān)閉裝置500包括一個(gè)與臂310平行的支承在主體301之XY平臺(tái)302上的液壓缸501，還包括一個(gè)與液壓缸501的桿502相連的輥輪503。當(dāng)桿502朝前移動(dòng)之后回移時(shí)，輥輪503與203接觸。
按照?qǐng)D3實(shí)施例的傳感器600來(lái)檢測(cè)標(biāo)線片100是否被裝入堆置于支承臺(tái)架400中的多個(gè)盒子200的每一個(gè)。該傳感器600包括裝于臂310兩側(cè)的支座601和602；裝于一側(cè)支座上的一發(fā)光元件610，在門203被打開的情況下，將光射入盒200內(nèi)；還包括一個(gè)裝于另一側(cè)支座上的受光元件620，檢測(cè)從發(fā)光元件610射入盒200內(nèi)、隨之由標(biāo)線片100反射的光。這里，可將發(fā)光元件610及受光元件620裝入臂310的支承指狀物311上。另外，諸如發(fā)射二極管或激光二極管之類的任何發(fā)光元件均可能用作為光源。
按照?qǐng)D4和5所示的本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的標(biāo)線片傳感器包括一個(gè)由半透明材料或透明材料制成盒200的主體202，盒有門203，一發(fā)射光的發(fā)光元件31和一檢測(cè)從發(fā)光元件31發(fā)出的光的受光元件32，它們可選擇地安裝于盒子200的上部和下部，或者裝在它們的兩側(cè)，該發(fā)光元件31和受光元件32被裝在支承臺(tái)架400上，盒子200就安全地裝在架上。另外，由受光元件32測(cè)得的信息被送至操縱器300的控制部份，以使臂310可依該信息受到控制。
圖6表示本發(fā)明一標(biāo)線片傳感器的再一種實(shí)施例，其中若干個(gè)盒子200被支承在支承臺(tái)架400上，以預(yù)定的距離被分開。裝在支承臺(tái)架400上的重量傳感器900檢測(cè)盒子200的重量?？蓪y(cè)壓儀用作為重量傳感器900。將該重量傳感器900測(cè)得的盒的重量3信息送至操縱器300的控制部分，以與所存盒200的預(yù)先測(cè)定的重量相比較，使得操縱器的臂310依該比較信息受到控制。
以下描述具有上述結(jié)構(gòu)之本發(fā)明標(biāo)線片裝入和取出裝置的工作過(guò)程。
首先通過(guò)XY平臺(tái)302，使開啟和關(guān)閉裝置的液壓缸501位于要插入或取出的盒200右側(cè)的前方，該302裝在操縱器300的主體301上。許多盒子200被分開預(yù)定的距離而安置在支承臺(tái)架400中。工作時(shí)，液壓缸501，繼而桿502沿X-方向朝前移動(dòng)，使附于桿端的輥輪503向前移至盒200的門203前頭。為做到這一點(diǎn)，先用XY平臺(tái)302沿Y方向?qū)⒁簤焊?01移至盒200的一側(cè)，從而可使輥輪503位于伸出于盒子側(cè)面的門的后面。最后，液壓缸501沿著X方向動(dòng)作，使輥輪503向后移動(dòng)。因此如圖3所示，門203被支承于桿502上的輥輪503開啟。同時(shí)，由裝于支座601上的發(fā)光元件610發(fā)射的光射入盒200中。若標(biāo)線片100被裝入盒200內(nèi)，從標(biāo)線片100反射的光為受光元件620所測(cè)得，隨后停止由操縱器300的臂310插入標(biāo)線片100。若從發(fā)光元件610發(fā)射的光未被受光元件620測(cè)得，標(biāo)線片100尚未被裝入盒200內(nèi)，臂310就將標(biāo)線片100插入該盒內(nèi)。
圖5表示本發(fā)明的另一種實(shí)施例，其中盒200由半透明材料或透明材料制成，在那里利用來(lái)自發(fā)光元件31的光照射到該由透明或半透明材料制成的盒中，再以受光元件32檢測(cè)反射的光，以此判定是否有標(biāo)線片100被裝入盒200中。也即，當(dāng)標(biāo)線片100被裝入到盒200中時(shí)，則從發(fā)光元件31發(fā)射的光被標(biāo)線片100發(fā)射，并隨之由受光元件32測(cè)得。若標(biāo)線片100尚未被裝入盒內(nèi)，則從發(fā)光元件31發(fā)射的光通過(guò)盒200，并且不被受光元件32所測(cè)得。因而，根據(jù)由受光元件32測(cè)得的光，即可確定盒200內(nèi)是否裝入標(biāo)線片。臂310以及用來(lái)開啟和關(guān)閉一門的液壓缸以如上所述之相同方式動(dòng)作。
圖6表示本發(fā)明的再一種實(shí)施例，它通過(guò)采用預(yù)先測(cè)得的盒的參考重量判定標(biāo)線片100是否已被裝入盒200內(nèi)，其中借助裝在支承臺(tái)架400上的重量傳感器900檢測(cè)盒內(nèi)的重量。通過(guò)將此重量信息與存儲(chǔ)在操縱器300的控制部份中的參考重量相比較，以確定標(biāo)線片100是否已被裝入該盒。操縱器的臂310根據(jù)這一比較而動(dòng)作。
如上所述，該標(biāo)線片檢測(cè)裝置確定一標(biāo)線比是否已被裝入盒內(nèi)，然后相應(yīng)地控制操縱器，從而防止由于裝于盒內(nèi)的標(biāo)線片與由臂支承的標(biāo)線片之間碰撞所致的損壞。
上面所描述的裝置包括本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。然而，對(duì)于本領(lǐng)域的熟練技術(shù)人員而言，應(yīng)該清楚的是，在本發(fā)明的這些裝置和方法中可做各種改進(jìn)和變型，也不會(huì)脫離本發(fā)明的精神和范圍。本發(fā)明包括這樣的改進(jìn)和變型，它們?cè)谒降臋?quán)利要求書及其等同物的范圍內(nèi)。例如，本發(fā)明可用于標(biāo)線片降塵裝置和標(biāo)線片清潔裝置等。
權(quán)利要求
1.一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，它包括一帶門的盒子，該門比盒的前面寬度長(zhǎng)；一帶臂的操縱器，用于將一標(biāo)線片插入所述盒內(nèi)或者從所述盒內(nèi)抽出標(biāo)線片；所述操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，用以開啟和關(guān)閉所述的門；以及在所述臂的至少一側(cè)和所述開啟及關(guān)閉機(jī)構(gòu)上的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用以檢查所述盒內(nèi)是否裝入了標(biāo)線片。
2.一種如權(quán)利要求1所述的標(biāo)線性裝入和取出裝置，其特征在于所述檢測(cè)裝置還包括所述操縱器之臂的兩邊的支座；在所述的二支座之一上的一發(fā)光元件，用以將光射入所述盒內(nèi)；以及一受光元件，用以檢測(cè)從所述發(fā)光元件發(fā)出，隨后再?gòu)脑摌?biāo)線片反射的光。
3.一種如權(quán)利要求2所述的標(biāo)線片裝入和取出裝置，其特征在于所述受光元件和所述發(fā)光元件在所述的臂上。
4.一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，它包括一帶門的盒子，門在盒的前面；一帶臂的操縱器，用以將標(biāo)線片插入所述盒內(nèi)或者從所述盒內(nèi)抽出標(biāo)線片；所述操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，用以開啟和關(guān)閉所述的門；以及檢測(cè)裝置，用以檢查盒內(nèi)是否裝入了該標(biāo)線片，所述檢測(cè)裝置位于所述盒的至少一側(cè)。
5.一種如權(quán)利要求4所述的標(biāo)線片裝入和取出裝置，其特征在于所述檢測(cè)裝置包括一在盒的一側(cè)，用以發(fā)光的發(fā)光元件，和在盒的同一側(cè)的受光元件，用以檢測(cè)從所述發(fā)光元件發(fā)射，隨后又從盒內(nèi)的標(biāo)線片反射的光。
6.一種如權(quán)利要求4所述的標(biāo)線性裝入和取出裝置，其特征在于所述裝置包括一在盒的一側(cè)、用以發(fā)光的發(fā)光元件和在盒的相對(duì)一側(cè)的受光元件，用以檢測(cè)從所述發(fā)光元件發(fā)射，隨后又穿過(guò)該盒的光。
7.一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，它包括一支承臺(tái)架、用以支承多個(gè)互相隔開預(yù)定距離的盒子。一帶臂的操縱器，用于選擇性的將一標(biāo)線片插入支承于所述支承臺(tái)架上各盒子中的每一個(gè)中，或者選擇性地從所述盒子中的每一個(gè)抽出該標(biāo)線片；所述操縱器中的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)，用以開啟和關(guān)閉所述的門；一重量傳感器，用以檢測(cè)所述相應(yīng)的一個(gè)盒子的重量，所述重量傳感器在所述支承臺(tái)架中所述相應(yīng)的盒子下面；一控制部分，通過(guò)由所述傳感器測(cè)得的重量確定該標(biāo)線片是否已裝入了所述的盒內(nèi)。
8.一種如權(quán)利要求7所述的標(biāo)線片裝入和取出裝置，其特征在于所述重量傳感器包括一測(cè)壓儀。
全文摘要
一種標(biāo)線片裝入和取出裝置，包括一帶門的盒子，門比該盒的前面寬度長(zhǎng)；一帶臂的操縱器，用以將標(biāo)線片插入盒內(nèi)或從盒內(nèi)抽出標(biāo)線片；還包括用以開啟和關(guān)閉所述門的開啟和關(guān)閉機(jī)構(gòu)。該標(biāo)線片傳感器檢測(cè)一標(biāo)線片是否已裝入了盒內(nèi)。于是，在檢測(cè)該標(biāo)線片是否裝入了盒內(nèi)之后，該操縱器就可以將標(biāo)線片插入盒內(nèi)或者自盒內(nèi)抽出標(biāo)線片。這種裝置避免已裝入盒內(nèi)的標(biāo)線片與另一個(gè)要插入的標(biāo)線片之間的碰撞。
文檔編號(hào)H01L21/027GK1130260SQ9511712
公開日1996年9月4日 申請(qǐng)日期1995年8月25日 優(yōu)先權(quán)日1994年8月25日
發(fā)明者池元浩 申請(qǐng)人:三星航空產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社