本技術(shù)涉及硅片加工，尤其涉及一種硅片固定夾具。

背景技術(shù)：

1、硅片一般用作太陽(yáng)能電池板，在硅片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，通常需要對(duì)硅片表面進(jìn)行刻蝕操作，刻蝕最簡(jiǎn)單最常用分類(lèi)是：干法刻蝕和濕法刻蝕，顯而易見(jiàn)，它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來(lái)進(jìn)行刻蝕，干法刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕；

2、經(jīng)檢索公開(kāi)號(hào)為cn203391136u的中國(guó)專(zhuān)利，公開(kāi)了一種硅片再加工夾具。

3、上述的技術(shù)方案中：夾具的主體結(jié)構(gòu)為直角梯形的平面立體，其下底面和傾斜的側(cè)面夾角為135度，夾具的上底面與直角面處設(shè)有直角方形凹槽，凹槽的底面與下底面平行，凹槽的兩端設(shè)有擋板。本實(shí)用新型可以對(duì)硅片固定，將硅片在精密磨床上再加工，在不超出規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)的前提下，將硅片從不合格硅片變成合格硅片；

4、但是在上述方案中，該技術(shù)將硅片卡在夾具內(nèi)，從兩側(cè)將硅片進(jìn)行固定，這種方式的設(shè)置不能對(duì)硅片表面進(jìn)行加工，夾持效果差，硅片結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較差，在調(diào)節(jié)的過(guò)程中，夾具對(duì)硅片的點(diǎn)接觸可能造成硅片破碎，硅片由于應(yīng)用場(chǎng)景的不同，硅片的尺寸頁(yè)較較大差異，單一尺寸的夾具并不適用對(duì)不同硅片的加工。

5、為此，我們提出一種硅片固定夾具。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型主要是解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問(wèn)題，提供一種硅片固定夾具。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案，一種硅片固定夾具，包括第一基板，其特征在于：所述第一基板一側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有第二基板，所述第一基板和第二基板上端開(kāi)設(shè)有卡槽，所述第一基板和第二基板內(nèi)均設(shè)置有固定組件，所述固定組件兩端均固定連接有夾具組件，所述夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上；

3、固定組件，所述固定組件包括電磁鐵，所述電磁鐵外纏繞有電磁線(xiàn)圈，所述電磁鐵一側(cè)設(shè)置有第一電磁板，所述電磁鐵另一側(cè)設(shè)置有第二電磁板，所述第一電磁板和第二電磁板反向一側(cè)均與夾具組件固定連接。

4、作為優(yōu)選，所述電磁鐵一側(cè)固定連接有第一彈簧，所述第一彈簧與第一電磁板固定連接，所述電磁鐵另一側(cè)固定連接有第二彈簧，所述第二彈簧與第二電磁板固定連接。

5、作為優(yōu)選，所述固定組件還包括用于安裝固定組件的安裝槽，所述夾具組件滑動(dòng)連接在安裝槽內(nèi)。

6、作為優(yōu)選，所述夾具組件包括連接桿，所述連接桿伸出安裝槽的一端固定連接有彎頭，所述彎頭一端固定連接有固定塊，所述固定塊內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有橡膠滾筒。

7、作為優(yōu)選，所述第一基板和第二基板之間固定連接有調(diào)距組件，所述調(diào)距組件包括固定管，所述固定管內(nèi)開(kāi)設(shè)有螺紋槽。

8、作為優(yōu)選，所述螺紋槽槽內(nèi)螺紋連接有螺桿，所述螺桿一側(cè)固定連接有調(diào)節(jié)塊。

9、作為優(yōu)選，所述調(diào)節(jié)塊一側(cè)固定連接有支撐桿，所述支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定座內(nèi)。

10、本實(shí)用新型提供了一種硅片固定夾具，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下改進(jìn)及優(yōu)點(diǎn)：

11、(1)本實(shí)用新型采用固定組件一端夾具組件對(duì)硅片進(jìn)行固定，設(shè)置第一基板一側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有第二基板，第一基板和第二基板上端開(kāi)設(shè)有卡槽，第一基板和第二基板內(nèi)均設(shè)置有固定組件，固定組件兩端均固定連接有夾具組件，夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上；固定組件，固定組件包括電磁鐵，電磁鐵外纏繞有電磁線(xiàn)圈，電磁鐵一側(cè)設(shè)置有第一電磁板，電磁鐵另一側(cè)設(shè)置有第二電磁板，第一電磁板和第二電磁板反向一側(cè)均與夾具組件固定連接,電磁鐵一側(cè)固定連接有第一彈簧，第一彈簧與第一電磁板固定連接，電磁鐵另一側(cè)固定連接有第二彈簧，第二彈簧與第二電磁板固定連接,固定組件還包括用于安裝固定組件的安裝槽，夾具組件滑動(dòng)連接在安裝槽內(nèi),夾具組件包括連接桿，連接桿伸出安裝槽的一端固定連接有彎頭，彎頭一端固定連接有固定塊，固定塊內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有橡膠滾筒，將硅片放置在卡槽上，通過(guò)電磁線(xiàn)圈通電，對(duì)電磁鐵賦予強(qiáng)磁性，電磁鐵吸引第一電磁板和第二電磁板向其靠近，第一電磁板或第二電磁板的靠近帶動(dòng)夾具組件向內(nèi)移動(dòng)，從而將橡膠滾筒移動(dòng)到硅片上，對(duì)硅片進(jìn)行固定，橡膠滾筒的設(shè)置能夠減少與硅片接觸處的壓強(qiáng)，避免壓碎硅片，能夠?qū)⒐杵砻媛懵┏鰜?lái)，便于對(duì)硅片表面進(jìn)行加工，橡膠滾筒的設(shè)置能夠保護(hù)硅片不被壓碎。

12、(2)本實(shí)用新型采用調(diào)距組件調(diào)節(jié)第一基板和第二基板的間距，設(shè)置第一基板和第二基板之間固定連接有調(diào)距組件，調(diào)距組件包括固定管，固定管內(nèi)開(kāi)設(shè)有螺紋槽，螺紋槽槽內(nèi)螺紋連接有螺桿，螺桿一側(cè)固定連接有調(diào)節(jié)塊，調(diào)節(jié)塊一側(cè)固定連接有支撐桿，支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定座內(nèi)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)塊，調(diào)節(jié)塊的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)螺桿在固定管內(nèi)的螺紋槽上移動(dòng)，從而將螺桿向固定管外側(cè)移動(dòng)，從而增加了第一基板和第二基板的間距，能夠?qū)⒉煌叽绲墓杵湃耄瑢?duì)硅片尺寸的適用性好，能夠固定不同尺寸的硅片。

技術(shù)特征：

1.一種硅片固定夾具，包括第一基板(10)，其特征在于：所述第一基板(10)一側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有第二基板(11)，所述第一基板(10)和第二基板(11)上端開(kāi)設(shè)有卡槽(12)，所述第一基板(10)和第二基板(11)內(nèi)均設(shè)置有固定組件(20)，所述固定組件(20)兩端均固定連接有夾具組件(30)，所述夾具組件(30)可貼合在第一基板(10)或第二基板(11)上；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述電磁鐵(22)一側(cè)固定連接有第一彈簧(24)，所述第一彈簧(24)與第一電磁板(25)固定連接，所述電磁鐵(22)另一側(cè)固定連接有第二彈簧(26)，所述第二彈簧(26)與第二電磁板(27)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述固定組件(20)還包括用于安裝固定組件(20)的安裝槽(21)，所述夾具組件(30)滑動(dòng)連接在安裝槽(21)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述夾具組件(30)包括連接桿(31)，所述連接桿(31)伸出安裝槽(21)的一端固定連接有彎頭(32)，所述彎頭(32)一端固定連接有固定塊(33)，所述固定塊(33)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有橡膠滾筒(34)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述第一基板(10)和第二基板(11)之間固定連接有調(diào)距組件(40)，所述調(diào)距組件(40)包括固定管(41)，所述固定管(41)內(nèi)開(kāi)設(shè)有螺紋槽(42)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述螺紋槽(42)槽內(nèi)螺紋連接有螺桿(43)，所述螺桿(43)一側(cè)固定連接有調(diào)節(jié)塊(44)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種硅片固定夾具，其特征在于：所述調(diào)節(jié)塊(44)一側(cè)固定連接有支撐桿(45)，所述支撐桿(45)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在固定座(46)內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片固定夾具，包括包括第一基板，所述第一基板一側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有第二基板，所述第一基板和第二基板上端開(kāi)設(shè)有卡槽，所述第一基板和第二基板內(nèi)均設(shè)置有固定組件，所述固定組件兩端均固定連接有夾具組件，所述夾具組件可貼合在第一基板或第二基板上。本技術(shù)通過(guò)電磁線(xiàn)圈通電，對(duì)電磁鐵賦予強(qiáng)磁性，電磁鐵吸引第一電磁板和第二電磁板向其靠近，第一電磁板或第二電磁板的靠近帶動(dòng)夾具組件向內(nèi)移動(dòng)，從而將橡膠滾筒移動(dòng)到硅片上，對(duì)硅片進(jìn)行固定，橡膠滾筒的設(shè)置能夠減少與硅片接觸處的壓強(qiáng)，避免壓碎硅片，能夠?qū)⒐杵砻媛懵┏鰜?lái)，便于對(duì)硅片表面進(jìn)行加工，橡膠滾筒的設(shè)置能夠保護(hù)硅片不被壓碎。

技術(shù)研發(fā)人員：張寬寬,胡根生,趙生龍,張廣東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海容道社半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/19