本技術(shù)涉及基板檢測領(lǐng)域，具體而言，涉及一種檢測托盤。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，在基板制備完成后，通常需要檢測基板的正面貼裝以及基板的背面是否存在缺陷。現(xiàn)有技術(shù)中，通常利用檢測托盤進(jìn)行承載放置檢測基板上的缺陷，然而，現(xiàn)有的檢測托盤材料為金屬材料制備，容易在其金屬材料周圍以及表面產(chǎn)生靜電，從而導(dǎo)致基板上的芯片/器件受靜電擊穿導(dǎo)致失效，影響基板安全性和可靠性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種檢測托盤，其能夠減少靜電的產(chǎn)生，并能夠消除治具周圍的靜電，從而避免檢查基板時受到靜電擊穿導(dǎo)致基板上的器件受到影響。

2、本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

3、第一方面，本實(shí)用新型提供一種檢測托盤，包括靜電板和承載治具，所述承載治具采用絕緣材料制成，且所述承載治具的一側(cè)表面設(shè)置有用于承載基板的承載臺面，所述靜電板采用導(dǎo)電材料制成，并可拆卸地貼附在所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)，用于消除所述承載治具周圍的靜電。

4、在可選的實(shí)施方式中，所述檢測托盤還包括接地連接件，所述接地連接件可拆卸地穿設(shè)于所述靜電板，并連接至所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)。

5、在可選的實(shí)施方式中，所述檢測托盤還包括底座治具，所述底座治具采用絕緣材料制成，并設(shè)置在所述靜電板遠(yuǎn)離所述承載治具的一側(cè)，所述接地連接件可拆卸地設(shè)置在所述底座治具上，以使所述底座治具、所述靜電板和所述承載治具連接位一體。

6、在可選的實(shí)施方式中，所述接地連接件包括接地螺母，所述底座治具上開設(shè)有第一連接孔，所述靜電板上開設(shè)有第二連接孔，所述承載治具上設(shè)置有靜電盲孔，所述接地螺帽依次穿過所述第一連接孔和所述第二連接孔后裝配在所述靜電盲孔中。

7、在可選的實(shí)施方式中，所述靜電盲孔與所述承載臺面的間隔距離在1mm-10mm之間。

8、在可選的實(shí)施方式中，所述接地連接件為多個，多個接地連接件分設(shè)在所述底座治具的頂角處，至少一個所述接地連接件用于連接至接地線。

9、在可選的實(shí)施方式中，所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)開設(shè)有靜電凹槽，所述靜電板對應(yīng)裝配在所述靜電凹槽中。

10、在可選的實(shí)施方式中，所述底座治具靠近所述承載治具的一側(cè)開設(shè)有靜電凹槽，所述靜電板對應(yīng)裝配在所述靜電凹槽中。

11、在可選的實(shí)施方式中，所述靜電凹槽的深度小于或等于與所述靜電板的厚度相同。

12、在可選的實(shí)施方式中，所述承載臺面上設(shè)置有基板放置槽，所述基板放置槽的兩端貫穿所述承載臺面。

13、本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果包括：

14、本實(shí)用新型實(shí)施例提供檢測托盤，采用絕緣材料制成承載治具，以減少靜電，同時在承載治具的一側(cè)表面設(shè)置有承載臺面，而靜電板采用導(dǎo)電材料制成，并可拆卸地貼附在承載治具的底側(cè)，能夠消除承載治具周圍的靜電。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型通過采用絕緣材料承載基板，能夠減少靜電的產(chǎn)生，而增設(shè)靜電板，能夠消除治具周圍的靜電，從而避免檢查基板時受到靜電擊穿導(dǎo)致基板上的器件受到影響。

技術(shù)特征：

1.一種檢測托盤，其特征在于，包括靜電板和承載治具，所述承載治具采用絕緣材料制成，且所述承載治具的一側(cè)表面設(shè)置有用于承載基板的承載臺面，所述靜電板采用導(dǎo)電材料制成，并可拆卸地貼附在所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)，用于消除所述承載治具周圍的靜電。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測托盤，其特征在于，所述檢測托盤還包括接地連接件，所述接地連接件可拆卸地穿設(shè)于所述靜電板，并連接至所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測托盤，其特征在于，所述檢測托盤還包括底座治具，所述底座治具采用絕緣材料制成，并設(shè)置在所述靜電板遠(yuǎn)離所述承載治具的一側(cè)，所述接地連接件可拆卸地設(shè)置在所述底座治具上，以使所述底座治具、所述靜電板和所述承載治具連接位一體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測托盤，其特征在于，所述接地連接件包括接地螺母，所述底座治具上開設(shè)有第一連接孔，所述靜電板上開設(shè)有第二連接孔，所述承載治具上設(shè)置有靜電盲孔，所述接地螺母依次穿過所述第一連接孔和所述第二連接孔后裝配在所述靜電盲孔中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測托盤，其特征在于，所述靜電盲孔與所述承載臺面的間隔距離在1mm-10mm之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測托盤，其特征在于，所述接地連接件為多個，多個接地連接件分設(shè)在所述底座治具的頂角處，至少一個所述接地連接件用于連接至接地線。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測托盤，其特征在于，所述承載治具遠(yuǎn)離所述承載臺面的一側(cè)開設(shè)有靜電凹槽，所述靜電板對應(yīng)裝配在所述靜電凹槽中。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測托盤，其特征在于，所述底座治具靠近所述承載治具的一側(cè)開設(shè)有靜電凹槽，所述靜電板對應(yīng)裝配在所述靜電凹槽中。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的檢測托盤，其特征在于，所述靜電凹槽的深度小于或等于與所述靜電板的厚度相同。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測托盤，其特征在于，所述承載臺面上設(shè)置有基板放置槽，所述基板放置槽的兩端貫穿所述承載臺面。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種檢測托盤，涉及基板檢測領(lǐng)域，該檢測托盤包括靜電板和承載治具，承載治具采用絕緣材料制成，且承載治具的一側(cè)表面設(shè)置有用于承載基板的承載臺面，靜電板采用導(dǎo)電材料制成，并可拆卸地貼附在承載治具遠(yuǎn)離承載臺面的一側(cè)，用于消除承載治具周圍的靜電。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本技術(shù)通過采用絕緣材料承載基板，能夠減少靜電的產(chǎn)生，而增設(shè)靜電板，能夠消除治具周圍的靜電，從而避免檢查基板時受到靜電擊穿導(dǎo)致基板上的器件受到影響。

技術(shù)研發(fā)人員：何正鴻,汪明進(jìn),魏宇暉,陳澤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：甬矽半導(dǎo)體（寧波）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240425
技術(shù)公布日：2024/12/26