本技術(shù)涉及電池片生產(chǎn),具體為一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置。
背景技術(shù):
1、電池片生產(chǎn)加工時(shí),需要將生產(chǎn)電池片的硅片放入電解池內(nèi)進(jìn)行熱氧氧化處理,使生產(chǎn)電池的硅片表面產(chǎn)生一層致密的二氧化硅薄膜,利用堿溶液不易與二氧化硅反應(yīng)的特性,在拋光工藝過程中對正表面進(jìn)行保護(hù),避免堿拋對正面se進(jìn)行腐蝕破壞原輔材料。
2、然而,現(xiàn)有的電池片熱氧氧化裝置在使用時(shí),由于氧化裝置用電解池通常都在敞開的環(huán)境中進(jìn)行,在氧化過程中,電解池的氧化溶液容易出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象,對工作環(huán)境造成污染的同時(shí),還影響工作人員的身體健康,其次,生產(chǎn)電池片的硅片通過電解池內(nèi)的溶液氧化完成后,取出的同時(shí)表面附著大量的氧化溶液,滴落在工作臺表面,造成浪費(fèi)的同時(shí),還需要工作人員對其進(jìn)行清理,增強(qiáng)工作人員的工作強(qiáng)度,針對上述問題,發(fā)明人提出一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置用于解決上述問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決現(xiàn)有的電池片熱氧氧化裝置在使用時(shí),由于氧化裝置用電解池通常都在敞開的環(huán)境中進(jìn)行,在氧化過程中,電解池的氧化溶液容易出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象,對工作環(huán)境造成污染的同時(shí),還影響工作人員身體健康的問題;本實(shí)用新型的目的在于提供一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置。
2、為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,包括箱體,箱體的頂面安裝有輸送裝置,輸送裝置包括固定架,固定架內(nèi)頂面中間固定安裝有電動(dòng)滑軌,電動(dòng)滑軌的表面滑動(dòng)套設(shè)有電動(dòng)滑塊,電動(dòng)滑塊的底面固定安裝有安裝板,安裝板的底面中間固定安裝有電動(dòng)升降桿,電動(dòng)升降桿的輸出端固定安裝有連接盤,連接盤的底面固定安裝有磁力吸盤,箱體頂面內(nèi)開設(shè)有電解池,電解池的頂面安裝有密封蓋,安裝板的底面一側(cè)固定安裝有連接架,連接架遠(yuǎn)離安裝板的一端固定安裝在密封蓋的頂面一側(cè),密封蓋的底面對稱安裝有滑條,箱體頂面位于電解池的兩側(cè)對稱開設(shè)有滑槽,滑條滑動(dòng)安裝在滑槽內(nèi);
3、將氧化電池片硅片的氧化溶液注入電解池內(nèi)進(jìn)行存放備用,通過固定架完成輸送裝置在箱體頂面的限位固定,通過輸送裝置完成硅片氧化的輸送工作,通過磁力吸盤對需要氧化的硅片進(jìn)行吸附,打開電動(dòng)滑軌的開關(guān),通過電動(dòng)滑軌控制電動(dòng)滑塊控制安裝板左移,將磁力吸盤吸附的硅片輸送至電解池的正上方停止輸送,打開電動(dòng)升降桿的開關(guān),通過電動(dòng)升降桿控制磁力吸盤將硅片送入電解池內(nèi)進(jìn)行氧化工作,通過密封蓋完成對電解池的密封防護(hù),硅片輸送過程,在連接架的配合下,密封蓋跟隨安裝板在電解池頂面左移,使其密封蓋打開,硅片氧化完成從電解池內(nèi)通過輸送裝置取出時(shí),密封蓋跟隨安裝板的移動(dòng)進(jìn)行閉合,完成電解池的密封,解決了由于現(xiàn)有氧化裝置用電解池通常都在敞開的環(huán)境中進(jìn)行,在氧化過程中,電解池的氧化溶液容易出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象,對工作環(huán)境造成污染的同時(shí),還影響工作人員的身體健康的問題,通過兩個(gè)滑條和兩個(gè)滑槽的配合,增加密封蓋移動(dòng)時(shí)穩(wěn)定性的同時(shí),完成密封蓋導(dǎo)向工作。
4、優(yōu)選地,箱體頂面位于電解池的一側(cè)開設(shè)有槽體,槽體內(nèi)固定安裝有濾板,箱體內(nèi)位于槽體的底部安裝有收集箱,收集箱的一側(cè)固定安裝有排放管,收集箱位于排放管的一側(cè)固定安裝有固定座,固定座的頂面固定安裝有泵體,排放管遠(yuǎn)離收集箱的一端與泵體的輸入端固定連接,泵體的輸出端固定安裝有輸送管,輸送管遠(yuǎn)離泵體的一端固定安裝在電解池一側(cè)內(nèi),當(dāng)需要氧化的硅片通過輸送裝置從電解池內(nèi)取出后,放置在槽體內(nèi)安裝的濾板頂面,氧化完成后硅片表面附著的氧化溶液通過濾板流至收集箱內(nèi)存放,防止滴落在工作臺表面,減少工作人員的工作強(qiáng)度,當(dāng)收集箱內(nèi)的氧化溶液收集至一定量后,打開泵體的開關(guān),在泵體的工作下,將收集箱內(nèi)收集的氧化溶液通過排放管和輸送管輸送至電解池內(nèi)繼續(xù)使用,減少氧化溶液浪費(fèi)。
5、優(yōu)選地,安裝板的兩側(cè)均固定安裝有滑套,滑套的數(shù)量為兩個(gè),兩個(gè)滑套內(nèi)均套設(shè)有滑桿,兩個(gè)滑套分別滑動(dòng)套設(shè)在兩個(gè)滑桿的表面,滑套與滑桿相互配合,當(dāng)控制安裝板進(jìn)行移動(dòng)時(shí),安裝在安裝板兩側(cè)的滑套跟隨安裝板的移動(dòng)滑動(dòng)在指定的滑桿表面,在兩個(gè)滑套和兩個(gè)滑桿的配合下,增加安裝板移動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性,安裝板的底面位于電動(dòng)升降桿的兩側(cè)對稱安裝有伸縮桿,伸縮桿的數(shù)量為兩個(gè),兩個(gè)伸縮桿的一端固定安裝在連接盤的頂面,當(dāng)通過電動(dòng)升降桿配合連接盤控制磁力吸盤進(jìn)行升降時(shí),兩個(gè)伸縮桿跟隨電動(dòng)升降桿進(jìn)行升降,在兩個(gè)伸縮桿的配合下,增加磁力吸盤升降時(shí)的穩(wěn)定性。
6、優(yōu)選地,兩個(gè)滑桿的兩端均固定安裝有固定件,固定件固定安裝在固定架內(nèi)頂面,固定件與滑桿相互配合,每個(gè)滑桿的兩端均安裝有兩個(gè)固定件,通過四個(gè)固定件完成兩個(gè)滑桿的安裝固定,配合滑套使用,箱體的一側(cè)內(nèi)開設(shè)有安裝槽,收集箱固定安裝在安裝槽內(nèi),通過安裝槽完成收集箱的安裝固定,安裝槽與槽體相互貫通,便于滴落在槽體的溶液通過濾板流入收集箱內(nèi),箱體的底面兩側(cè)固定安裝有均勻分布的支撐腿,支撐腿與箱體相互配合,支撐腿的數(shù)量為六個(gè),通過六個(gè)支撐腿完成箱體的支撐,配合箱體將本裝置安裝在指定區(qū)域完成電池片的氧化工作。
7、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果在于:
8、1、本實(shí)用新型中,將氧化電池片硅片的氧化溶液注入電解池內(nèi)進(jìn)行存放備用,通過輸送裝置完成硅片氧化的輸送工作,通過密封蓋完成對電解池的密封防護(hù),硅片輸送過程,在連接架的配合下,密封蓋跟隨安裝板在電解池頂面左移,使其密封蓋打開,硅片氧化完成從電解池內(nèi)通過輸送裝置取出時(shí),密封蓋跟隨安裝板的移動(dòng)進(jìn)行閉合,完成電解池的密封,解決了由于現(xiàn)有氧化裝置用電解池通常都在敞開的環(huán)境中進(jìn)行,在氧化過程中,電解池的氧化溶液容易出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象,對工作環(huán)境造成污染的同時(shí),還影響工作人員的身體健康的問題;
9、2、本實(shí)用新型中,當(dāng)需要氧化的硅片通過輸送裝置從電解池內(nèi)取出后,放置在槽體內(nèi)安裝的濾板頂面,氧化完成后硅片表面附著的氧化溶液通過濾板流至收集箱內(nèi)存放,防止滴落在工作臺表面,減少工作人員的工作強(qiáng)度,當(dāng)收集箱內(nèi)的氧化溶液收集至一定量后,打開泵體的開關(guān),在泵體的工作下,將收集箱內(nèi)收集的氧化溶液通過排放管和輸送管輸送至電解池內(nèi)繼續(xù)使用,減少氧化溶液浪費(fèi)。
1.一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,包括箱體(1),其特征在于:所述箱體(1)的頂面安裝有輸送裝置(2),所述輸送裝置(2)包括固定架(21),所述固定架(21)內(nèi)頂面中間固定安裝有電動(dòng)滑軌(22),所述電動(dòng)滑軌(22)的表面滑動(dòng)套設(shè)有電動(dòng)滑塊(23),所述電動(dòng)滑塊(23)的底面固定安裝有安裝板(24),所述安裝板(24)的底面中間固定安裝有電動(dòng)升降桿(26),所述電動(dòng)升降桿(26)的輸出端固定安裝有連接盤(261),所述連接盤(261)的底面固定安裝有磁力吸盤(27);
2.如權(quán)利要求1所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,所述箱體(1)頂面位于電解池(11)的一側(cè)開設(shè)有槽體(12),所述槽體(12)內(nèi)固定安裝有濾板(121),所述箱體(1)內(nèi)位于槽體(12)的底部安裝有收集箱(4),所述收集箱(4)的一側(cè)固定安裝有排放管(41),所述收集箱(4)位于排放管(41)的一側(cè)固定安裝有固定座(42),所述固定座(42)的頂面固定安裝有泵體(5),所述排放管(41)遠(yuǎn)離收集箱(4)的一端與泵體(5)的輸入端固定連接,所述泵體(5)的輸出端固定安裝有輸送管(51),所述輸送管(51)遠(yuǎn)離泵體(5)的一端固定安裝在電解池(11)一側(cè)內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,所述安裝板(24)的兩側(cè)均固定安裝有滑套(241),所述滑套(241)的數(shù)量為兩個(gè),兩個(gè)所述滑套(241)內(nèi)均套設(shè)有滑桿(242),兩個(gè)所述滑套(241)分別滑動(dòng)套設(shè)在兩個(gè)滑桿(242)的表面,所述滑套(241)與滑桿(242)相互配合。
4.如權(quán)利要求1所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,所述安裝板(24)的底面位于電動(dòng)升降桿(26)的兩側(cè)對稱安裝有伸縮桿(271),所述伸縮桿(271)的數(shù)量為兩個(gè),兩個(gè)所述伸縮桿(271)的一端固定安裝在連接盤(261)的頂面。
5.如權(quán)利要求3所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,兩個(gè)所述滑桿(242)的兩端均固定安裝有固定件(211),所述固定件(211)固定安裝在固定架(21)內(nèi)頂面,所述固定件(211)與滑桿(242)相互配合。
6.如權(quán)利要求2所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,所述箱體(1)的一側(cè)內(nèi)開設(shè)有安裝槽(13),所述收集箱(4)固定安裝在安裝槽(13)內(nèi)。
7.如權(quán)利要求1所述的一種電池片生產(chǎn)用熱氧氧化裝置,其特征在于,所述箱體(1)的底面兩側(cè)固定安裝有均勻分布的支撐腿(6),所述支撐腿(6)與箱體(1)相互配合。