本申請涉及太陽能電池，尤其涉及一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池及其制備方法、光伏組件、光伏系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、隨著光伏技術(shù)的快速發(fā)展，晶體硅太陽電池的轉(zhuǎn)換效率逐年提高。目前，主流的p型雙面perc（發(fā)射極及背面鈍化）電池已經(jīng)遇到效率瓶頸，各個廠家也開始了針對n型高效電池的布局。其中，topcon（隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池）電池憑借效率高、衰減低、與perc產(chǎn)線兼容性高等諸多優(yōu)點脫穎而出，行業(yè)內(nèi)topcon電池目前已經(jīng)替代perc電池成為主流。

2、目前，為了提高topcon電池的開路電壓，采取雙層隧穿結(jié)構(gòu)來代替研發(fā)初期的單層隧穿鈍化接觸結(jié)構(gòu)，但雙層隧穿結(jié)構(gòu)嚴重壓縮了電極漿料的選擇窗口和燒結(jié)的工藝窗口，同時容易造成電池的良率的波動。

3、需要說明的是，上述內(nèi)容并不必然是現(xiàn)有技術(shù)，也不用于限制本申請的專利保護范圍。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施例提供一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池及其制備方法、光伏組件、光伏系統(tǒng)，以解決或緩解上面提出的一項或更多項技術(shù)問題。

2、第一方面，提供一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，包括：襯底；第一隧穿氧化層，所述第一隧穿氧化層位于襯底的背面；第一磷摻雜層，所述第一磷摻雜層位于所述第一隧穿氧化層遠離所述襯底的一側(cè)面；第二隧穿氧化層，所述第二隧穿氧化層位于所述第一磷摻雜層遠離所述第一隧穿氧化層的一側(cè)面的部分區(qū)域，所述第二隧穿氧化層呈間隔排布，相鄰兩個所述第二隧穿氧化層之間的區(qū)域為電極連接區(qū)；第二磷摻雜層，所述第二磷摻雜層位于所述第二隧穿氧化層遠離所述第一磷摻雜層的一側(cè)表面，以及位于所述電極連接區(qū)。

3、本申請實施例的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，具有較高的良率，以及具有較好的接觸，并表現(xiàn)出較高的光電轉(zhuǎn)換效率。這是在于，第二隧穿氧化層呈間隔排布，間隔區(qū)為電極連接區(qū)，這樣在后續(xù)形成第一電極過程中，使得第一電極的燒穿過程避開了第二隧穿氧化層的阻擋，從而與磷摻雜層之間形成良好的接觸，進而實現(xiàn)完美的雙層隧穿層鈍化接觸結(jié)構(gòu)。這種第一電極與第一磷摻雜層之間的接觸，是在幾乎不破壞第一隧穿氧化層的前提下形成的，從而提升了電池的鈍化效果，進而提升電池的良率。

4、根據(jù)本申請的實施例，所述第一隧穿氧化層的厚度為0.8-2nm。

5、根據(jù)本申請的實施例，所述第二隧穿氧化層的厚度為0.5-1.6nm。

6、根據(jù)本申請的實施例，在所述第二磷摻雜層的延伸方向上，所述第二磷摻雜層的長度與所述電極連接區(qū)的長度比1∶(0.5-2.5)。

7、根據(jù)本申請的實施例，還包括第一電極，所述第一電極穿過所述電極連接區(qū)與所述第一磷摻雜接觸，在所述第二磷摻雜層的延伸方向上，所述電極的長度與所述電極連接區(qū)的長度比1∶(1-2)。

8、第二方面，提供制備第一方面所述的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：提供襯底；在所述襯底的背面進行沉積第一隧穿氧化層；在所述第一隧穿氧化層遠離所述襯底的一側(cè)面沉積第一磷摻雜層；在所述第一磷摻雜層遠離所述第一隧穿氧化層的一側(cè)面的部分區(qū)域沉積呈間隔排布的第二隧穿氧化層；在所述第二隧穿氧化層遠離所述第一磷摻雜層的一側(cè)面沉積第二磷摻雜層。

9、本申請實施例的方法，在所述第一磷摻雜層遠離所述襯底的一側(cè)面的部分區(qū)域沉積呈間隔排布的第二隧穿氧化層，這樣獲得的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池具有較好的接觸和良率。另外，本申請實施例的方法，通過形成間隔排布的第二隧穿氧化層，使得相臨兩個第二隧穿氧化層之間形成電極連接區(qū)，該電極連接區(qū)可以降低后續(xù)形成第一電極的工藝條件。即第一電極與第一磷摻雜層之間的接觸是在幾乎不破壞第一隧穿氧化層的前提下形成的，使得電極漿料的選擇窗口變得較為寬泛（漿料的配方可選擇范圍更廣，如腐蝕性較小的電極漿料），電極漿料的燒結(jié)的工藝窗口也同步降低（燒結(jié)峰值溫度660-770℃）。

10、根據(jù)本申請的實施例，所述沉積第二隧穿氧化層的方式包括：在所述第一磷摻雜層遠離所述襯底的一側(cè)面沉積第三隧穿氧化層后，按照預(yù)定圖案對所述第三隧穿氧化層進行刻蝕，以得到間隔排布的所述第二隧穿氧化層，且相鄰兩個所述第二隧穿氧化層之間的區(qū)域形成電極連接區(qū)。

11、根據(jù)本申請的實施例，所述沉積第二隧穿氧化層的方式包括：按照預(yù)定圖案，在所述第一磷摻雜層遠離所述第一隧穿氧化層的一側(cè)面沉積第二隧穿氧化層，以得到間隔排布的所述第二隧穿氧化層，且相鄰兩個所述第二隧穿氧化層之間的區(qū)域形成電極連接區(qū)。

12、根據(jù)本申請的實施例，所述方法還包括制備鈍化層和第一電極，所述鈍化層沉積在所述第二磷摻雜層遠離襯底的一側(cè)面；所述第一電極形成在所述鈍化層遠離所述第二磷摻雜層的一側(cè)面，并穿過所述電極連接區(qū)與所述第一磷摻雜層接觸。

13、根據(jù)本申請的實施例，形成所述第一電極的過程包括燒結(jié)，所述燒結(jié)的峰值溫度為600-770℃。

14、第三方面，提供一種光伏組件。所述光伏組件采用第一方面的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池。

15、本申請實施例的光伏組件，具有較好的可靠性。這是在于在制備光伏組件過程中，采用隔離膠將焊接區(qū)保護起來，可以阻擋層壓時膠膜流入焊接區(qū)，所造成的焊接不良等問題。

16、第四方面，提供一種光伏系統(tǒng)，包括以第三方面的光伏組件。上述光伏組件所具備的優(yōu)勢，該光伏系統(tǒng)同樣具備，在此不再贅述。

技術(shù)特征：

1.一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，其特征在于，所述第一隧穿氧化層的厚度為0.8-2nm；

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，其特征在于，在所述第二磷摻雜層的延伸方向上，所述第二磷摻雜層的長度與所述電極連接區(qū)的長度比1∶(0.5-2.5)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，其特征在于，還包括第一電極，所述第一電極穿過所述電極連接區(qū)與所述第一磷摻雜接觸，

5.一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述沉積第二隧穿氧化層的方式包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述沉積第二隧穿氧化層的方式包括：按照預(yù)定圖案，在所述第一磷摻雜層遠離所述第一隧穿氧化層的一側(cè)面沉積第二隧穿氧化層，以得到間隔排布的所述第二隧穿氧化層，且相鄰兩個所述第二隧穿氧化層之間的區(qū)域形成電極連接區(qū)。

8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一項所述的制備方法，其特征在于，所述方法還包括制備鈍化層和第一電極，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，形成所述第一電極的過程包括燒結(jié)，

10.一種光伏組件，其特征在于，所述光伏組件包括權(quán)利要求1-4中任一項所述的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池。

11.一種光伏系統(tǒng)，其特征在于，所述光伏系統(tǒng)包括如權(quán)利要求10所述的光伏組件。

技術(shù)總結(jié)
本申請實施例提供一種隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池及其制備方法、光伏組件、光伏系統(tǒng)。該隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池包括：襯底；第一隧穿氧化層，所述第一隧穿氧化層位于襯底的背面；第一磷摻雜層，所述第一磷摻雜層位于所述第一隧穿氧化層遠離所述襯底的一側(cè)面；第二隧穿氧化層，所述第二隧穿氧化層位于所述第一磷摻雜層遠離所述第一隧穿氧化層的一側(cè)面的部分區(qū)域，所述第二隧穿氧化層呈間隔排布，相鄰兩個第二隧穿氧化層之間的區(qū)域為電極連接區(qū)；第二磷摻雜層，所述第二磷摻雜層遠離所述第二隧穿氧化層遠離第一磷摻雜層的一側(cè)表面，以及位于所述電極連接區(qū)。本申請實施例的隧穿氧化層鈍化背接觸太陽能電池，具有較高的良率和較好的接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：楊睿,柳偉
受保護的技術(shù)使用者：天合光能股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19