本技術(shù)涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、專利文獻(xiàn)cn109860012b公開一種離子注入機(jī)垂直掃描裝置，離子注入機(jī)包括真空腔室及位于真空腔室內(nèi)的靶臺，垂直掃描裝置包括支架、主軸、用于驅(qū)動(dòng)主軸升降的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、以及用于驅(qū)動(dòng)主軸旋轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，真空腔室設(shè)于支架上，主軸上端與靶臺相連，主軸下端延伸至所述真空腔室外、并與第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，可減少占用真空工藝腔室空間，避免影響工藝腔室極限真空度。然而，這種掃描裝置采用的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，在離子注入機(jī)中占用較大的空間，其本身的運(yùn)行穩(wěn)定性難以得到保證。因此，有必要對其進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化，以克服上述缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

2、本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括：

4、支撐裝配組件，該支撐裝配組件安裝于機(jī)座中，其內(nèi)部具有裝配空間；

5、動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件，該動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件安裝于支撐裝配組件中，可在支撐裝配組件中運(yùn)行；

6、轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件，該轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件安裝于支撐裝配組件中，并與動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件銜接，由動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件帶動(dòng)轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件在支撐裝配組件中回轉(zhuǎn)；

7、回轉(zhuǎn)感測組件，該回轉(zhuǎn)感測組件安裝于轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件與支撐裝配組件之間，可對轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件的回轉(zhuǎn)狀態(tài)進(jìn)行感測；

8、承轉(zhuǎn)支托組件，該承轉(zhuǎn)支托組件安裝于支撐裝配組件中，其內(nèi)部具有回轉(zhuǎn)空間；

9、周向回轉(zhuǎn)組件，該周向回轉(zhuǎn)組件安裝于承轉(zhuǎn)支托組件中，并與轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件銜接，由轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件帶動(dòng)周向回轉(zhuǎn)組件在承轉(zhuǎn)支托組件中做周向回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；

10、軸向傳動(dòng)組件，該軸向傳動(dòng)組件安裝于周向回轉(zhuǎn)組件上，并與靶盤組件銜接，由周向回轉(zhuǎn)組件帶動(dòng)周向移換組件沿軸向移動(dòng)，使靶盤組件進(jìn)行垂直掃描運(yùn)動(dòng)。

11、具體地，支撐裝配組件包括：

12、支撐框架，該支撐框架采用板件圍合形成，在其內(nèi)部形成裝配空間，支撐框架側(cè)部通過連接螺栓固定于基座中。

13、動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件包括：

14、驅(qū)動(dòng)座板，該驅(qū)動(dòng)座板位于支撐框架下方，并通過連接螺栓固定于支撐框架底部；

15、驅(qū)動(dòng)電機(jī)，該驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于驅(qū)動(dòng)座板底部，其動(dòng)力輸出軸貫穿驅(qū)動(dòng)座板后伸向驅(qū)動(dòng)座板上方。

16、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)座板與支撐框架之間安裝有緩沖墊塊，由緩沖墊塊對驅(qū)動(dòng)電機(jī)進(jìn)行緩沖，吸收驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)行時(shí)形成的振動(dòng)能量，保證其運(yùn)行穩(wěn)定性。

17、轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件包括：

18、傳動(dòng)端柱，該傳動(dòng)端柱位于驅(qū)動(dòng)座板上方，并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸末端接合，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)端柱回轉(zhuǎn)。

19、回轉(zhuǎn)感測組件包括：

20、感測安裝板，該感測安裝板安裝于支撐框架中，并位于驅(qū)動(dòng)座板上方，傳動(dòng)端柱貫穿感測安裝板后延伸至感測安裝板上方；

21、光電傳感器，該光電傳感器安裝于感測安裝板上，并與傳動(dòng)端柱位置對應(yīng)；

22、旋轉(zhuǎn)編碼盤，該旋轉(zhuǎn)編碼盤安裝于傳動(dòng)端柱中，并與光電傳感器配合，由光電傳感器與旋轉(zhuǎn)編碼盤共同對傳動(dòng)端柱的轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行計(jì)量。

23、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，光電傳感器與旋轉(zhuǎn)編碼盤由現(xiàn)有技術(shù)的伺服編碼器充任，旋轉(zhuǎn)編碼盤上有若干個(gè)等距的槽口，每個(gè)槽口代表一個(gè)計(jì)數(shù)單位，當(dāng)旋轉(zhuǎn)編碼盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，槽口的變化會被光電傳感器檢測到，并將其轉(zhuǎn)換為電信號后傳送回控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)根據(jù)這些信號來計(jì)算傳動(dòng)端柱的準(zhǔn)確位置，并進(jìn)行反饋控制。

24、承轉(zhuǎn)支托組件包括：

25、支托座板，該支托座板安裝于支撐框架中，并位于感測安裝板上方；

26、承轉(zhuǎn)端頭，該承轉(zhuǎn)端頭通過軸承安裝于支托座板中，可在支托座板中回轉(zhuǎn)。

27、周向回轉(zhuǎn)組件包括：

28、回轉(zhuǎn)螺桿，該回轉(zhuǎn)螺桿安裝于承轉(zhuǎn)端頭中，其頂端向支托座板上方延伸；

29、回轉(zhuǎn)端管，該回轉(zhuǎn)端管位于支托座板與感測安裝板之間，其兩端分別與回轉(zhuǎn)螺桿及傳動(dòng)端柱接合，傳動(dòng)端柱通過回轉(zhuǎn)端管帶動(dòng)回轉(zhuǎn)螺桿做周向回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

30、軸向傳動(dòng)組件包括：

31、傳動(dòng)螺母，該傳動(dòng)螺母套設(shè)于回轉(zhuǎn)螺桿上，可沿回轉(zhuǎn)螺桿做軸向移動(dòng)；

32、配接端頭，該配接端頭安裝于傳動(dòng)螺母上，其通過連接件與靶盤組件接合，傳動(dòng)螺母可通過配接端頭與靶盤組件銜接，以攜帶靶盤組件進(jìn)行垂直掃描運(yùn)動(dòng)。

33、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

34、該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過支撐裝配組件、動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件、轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件、回轉(zhuǎn)感測組件、承轉(zhuǎn)支托組件、周向回轉(zhuǎn)組件和軸向傳動(dòng)組件等部件的配合，各個(gè)組件緊密安裝在支撐裝配組件中，占用空間小，可以有效利用設(shè)備空間，實(shí)現(xiàn)了對靶盤組件垂直掃描運(yùn)動(dòng)的精確控制，驅(qū)動(dòng)座板與支撐框架之間的緩沖墊塊可以吸收驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)能量，保證驅(qū)動(dòng)的穩(wěn)定性，從而使轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，通過光電傳感器和旋轉(zhuǎn)編碼盤對傳動(dòng)端柱的轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行計(jì)量，可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地感知轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件的回轉(zhuǎn)狀態(tài)，并將信息傳輸給控制系統(tǒng)進(jìn)行反饋控制，滿足離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)需求，使得離子注入過程運(yùn)行穩(wěn)定精準(zhǔn)，有利于提升集成電路的性能。

技術(shù)特征：

1.一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，支撐裝配組件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，回轉(zhuǎn)感測組件包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，承轉(zhuǎn)支托組件包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，周向回轉(zhuǎn)組件包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，軸向傳動(dòng)組件包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提出一種用于離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包括支撐裝配組件、動(dòng)力驅(qū)轉(zhuǎn)組件、轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件、回轉(zhuǎn)感測組件、承轉(zhuǎn)支托組件、周向回轉(zhuǎn)組件及軸向傳動(dòng)組件，各個(gè)組件緊密安裝在支撐裝配組件中，占用空間小，可以有效利用設(shè)備空間，實(shí)現(xiàn)了對靶盤組件垂直掃描運(yùn)動(dòng)的精確控制，驅(qū)動(dòng)座板與支撐框架之間的緩沖墊塊可以吸收驅(qū)動(dòng)電機(jī)運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)能量，保證驅(qū)動(dòng)的穩(wěn)定性，從而使轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，通過光電傳感器和旋轉(zhuǎn)編碼盤對傳動(dòng)端柱的轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行計(jì)量，可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地感知轉(zhuǎn)接傳動(dòng)組件的回轉(zhuǎn)狀態(tài)，并將信息傳輸給控制系統(tǒng)進(jìn)行反饋控制，滿足離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)的需求，使得離子注入過程穩(wěn)定精準(zhǔn)，有利于提升集成電路的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：彭強(qiáng)祥,劉仁杰,劉青隆
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江中科尚弘離子裝備工程有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231225
技術(shù)公布日：2024/12/23