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背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu)的制作方法

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背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

目前太陽(yáng)能電池中使用的硅材料主要有兩類(lèi),分別為N型硅材料和P型硅材料。其中,N型硅材料與P型硅材料相比,具有以下的優(yōu)點(diǎn):N型材料中的雜質(zhì)對(duì)少子空穴的捕獲能力低于P型材料中的雜質(zhì)對(duì)少子電子的捕獲能力。相同電阻率的N型硅片的少子壽命比P型硅片的高,達(dá)到毫秒級(jí)。N型硅片對(duì)金屬污雜的容忍度要高于P型硅片,F(xiàn)e、Cr、 Co、W、 Cu、 Ni等金屬對(duì)P型硅片的影響均比N型硅片大。N型硅電池組件在弱光下表現(xiàn)出比常規(guī)P型硅組件更優(yōu)異的發(fā)電特性。N型雙面電池利用背表面發(fā)光,在不同的反光地面條件下,可以多發(fā)電30%。人們?cè)絹?lái)越關(guān)注少子壽命更高、發(fā)展?jié)摿Ω蟮腘型電池。

但是,在N型雙面電池中制約效率的重要因素是背表面場(chǎng)帶來(lái)的復(fù)合,特別是背表面摻雜區(qū)域的復(fù)合。

上述問(wèn)題是在太陽(yáng)能電池的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)過(guò)程中應(yīng)當(dāng)予以考慮并解決的問(wèn)題。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的是提供一種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu),背表面設(shè)置局部背場(chǎng)區(qū)域,降低背表面摻雜區(qū)域的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的背表面復(fù)合嚴(yán)重,制約N型雙面電池效率的問(wèn)題。

本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是:

一種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu),包括基體,基體為N型,基體正面為摻硼的發(fā)射極,發(fā)射極上沉積有第一鈍化減反膜層,第一鈍化減反膜層上設(shè)有正面電極,正面電極通過(guò)第一鈍化減反膜與發(fā)射極形成歐姆接觸;基體背面為磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域,基體背面沉積第二鈍化減反膜層,第二鈍化減反膜層上有局部背面電極,局部背面電極通過(guò)第二鈍化減反膜與背場(chǎng)區(qū)域形成歐姆接觸。

進(jìn)一步地,基體正面的發(fā)射極采用三溴化硼B(yǎng)Br3高溫?cái)U(kuò)散、常壓氣相沉積APCVD 法沉積硼硅玻璃BSG退火或離子注入硼源退火工藝形成。

進(jìn)一步地,第一減反射鈍化膜采用SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm;第二鈍化減反膜是SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm。

進(jìn)一步地,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域采用絲網(wǎng)印刷含磷漿料退火、激光摻雜磷漿料或離子注入磷源退火工藝形成;局部背面電極采用絲網(wǎng)印刷、電鍍、化學(xué)鍍、噴墨打印或物理氣相沉積金屬層形成,其中,金屬采用Ni、Cu、 Ag、Ti、Pd、Cr中一種或多種的組合。

進(jìn)一步地,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域采用連續(xù)直線或者分離的線段、圓點(diǎn)、不規(guī)則形狀,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域占基體背面面積的比例為5%-30%。

進(jìn)一步地,磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域采用直線時(shí),基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域的直線寬度為80微米-600微米;磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域采用圓點(diǎn)時(shí),圓點(diǎn)直徑為200微米-600微米,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域的方阻為10-90ohm/sq。

進(jìn)一步地,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域形成有局部背面電極,當(dāng)磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域與局部背面電極均采用直線時(shí),連接主柵將各個(gè)局部背面電極相互連接,連接主柵不與局部背場(chǎng)區(qū)域形成歐姆接觸。

進(jìn)一步地,局部背面電極為寬度10-100μm的直線,連接主柵的寬度為0.5mm-1.5mm,連接主柵采用絲網(wǎng)印刷燒結(jié)、導(dǎo)電膠粘接或者金屬線焊接而成,連接主柵為Ag或表面包覆有鍍In、Sn、Pb的Cu帶或者含有金屬顆粒的有機(jī)物。

進(jìn)一步地,基體背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域形成有局部背面電極,當(dāng)磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域?yàn)榉蛛x的區(qū)域時(shí), 連接細(xì)柵將各個(gè)局部背面電極相互連接,再匯流到連接主柵上,連接細(xì)柵與連接主柵均不與局部背場(chǎng)區(qū)域形成歐姆接觸。

進(jìn)一步地,局部背面電極采用線段或圓形,局部背面電極為線段時(shí)寬度為10-100μm,圓形時(shí)直徑為30-100μm,連接細(xì)柵寬度為20μm-100μm,連接主柵的寬度為0.5mm-1.5mm;連接細(xì)柵和連接主柵分別采用絲網(wǎng)印刷燒結(jié)、導(dǎo)電膠粘接或者金屬線焊接而成,連接細(xì)柵和連接主柵為Ag或表面包覆有鍍In、Sn、Pb的Cu帶或者含有金屬顆粒的有機(jī)物。

本實(shí)用新型的有益效果是:該種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu),采用背表面設(shè)置局部背場(chǎng)區(qū)域,降低背表面摻雜區(qū)域帶來(lái)的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合。本實(shí)用新型能夠降低背表面的復(fù)合,從而提高電池效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是實(shí)施例二中基體背面的局部背場(chǎng)區(qū)域示意圖;

圖3是實(shí)施例三中基體背面的局部背場(chǎng)區(qū)域示意圖;

圖4是實(shí)施例四中基體背面的局部背場(chǎng)區(qū)域示意圖;

圖5是實(shí)施例二中基體背面的局部背面電極與連接主柵的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6是實(shí)施例三中基體背面的局部背面電極與連接細(xì)柵、連接主柵的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7是實(shí)施例四中基體背面的局部背面電極與連接細(xì)柵、連接主柵的結(jié)構(gòu)示意圖;

其中:1-基體,2-發(fā)射極,3-第一鈍化減反膜層,4-正面電極,5-局部背場(chǎng)區(qū)域,6-第二鈍化減反膜層,7-局部背面電極,8-連接細(xì)柵,9-連接主柵。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例。

實(shí)施例一

一種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu),如圖1,包括基體1,基體1為N型,基體1正面為摻硼的發(fā)射極2,發(fā)射極2上沉積有第一鈍化減反膜層3,第一鈍化減反膜層3上設(shè)有正面電極4,正面電極4通過(guò)第一鈍化減反膜與發(fā)射極2形成歐姆接觸;基體1背面為磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5,基體1背面沉積第二鈍化減反膜層6,第二鈍化減反膜層6上有局部背面電極7,局部背面電極7通過(guò)第二鈍化減反膜與背面局部摻雜區(qū)域5形成歐姆接觸。

該種背面局部摻雜的N型雙面電池結(jié)構(gòu),采用背表面設(shè)置局部背場(chǎng)區(qū)域5,降低背表面摻雜區(qū)域的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合。本實(shí)用新型能夠降低背表面的復(fù)合,從而提高電池效率。

第一減反射鈍化膜采用SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm;第二鈍化減反膜是SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm。

基體1背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5采用絲網(wǎng)印刷含磷漿料退火、激光摻雜含磷漿料或離子注入磷源退火工藝形成,基體1背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5的方阻為10-90ohm/sq?;w1背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5采用連續(xù)直線或者分離的線段、圓點(diǎn)、不規(guī)則圖形,基體1背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5占基體1背面面積的比例為5%-30%。磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5采用連續(xù)直線時(shí),基體1背面磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5的直線寬度為80微米-600微米;磷摻雜的局部背場(chǎng)區(qū)域5采用圓點(diǎn)時(shí),圓點(diǎn)直徑為100微米-600微米。

局部背面電極7采用絲網(wǎng)印刷、電鍍、化學(xué)鍍、噴墨打印或物理氣相沉積金屬層形成,其中,金屬采用Ni、Cu、Ag、Ti、Pd、Cr中一種或多種的組合。

實(shí)施例二

實(shí)施例二與實(shí)施例一基本相同,實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處在于:如圖1、圖2和圖5所示,N型基體1的正面采用BBr3高溫?cái)U(kuò)散發(fā)射極2,方阻65ohm/sq,發(fā)射極2上高溫氧化生成10nm SiO2薄膜,并沉積65nmSiNx薄膜,采用絲網(wǎng)印刷印刷AgAl電極。基體1的背面采用絲網(wǎng)印刷磷漿料的方式形成連續(xù)直線,寬度為300μm,所占面積為18%,高溫退火后方阻為40ohm/sq?;w1的背面高溫生長(zhǎng)10nmSiO2薄膜,并沉積65nmSiNx薄膜,采用絲網(wǎng)印刷局部背面電極7,局部背面電極7采用燒穿SiNx薄膜Ag漿料,50μm寬,在局部背面電極7上印刷連接主柵9,連接主柵9采用非燒穿SiNx薄膜Ag漿料,1.5mm寬。

實(shí)施例三

實(shí)施例三與實(shí)施例一基本相同,實(shí)施例三與實(shí)施例一的不同之處在于:如圖1、圖3和圖6所示,N型基體1的正面離子注入硼源高溫退火,方阻75ohm/sq,其上沉積10nm Al2O3薄膜和60nmSiNx薄膜,采用電鍍沉積Ni、Cu、Ag金屬層?;w1背面采用離子注入磷源的方法形成線段,寬度為200μm,所占面積為10%,高溫退火,方阻為30ohm/sq。其上沉積75nmSiNx薄膜,采用電鍍沉積Ni,Cu,Ag金屬層,寬度為40μm,采用Sn包覆的Cu線,直徑200μm,作為連接細(xì)柵8,包覆In的Cu線,寬度1mm作為連接主柵9將電極連接起來(lái)。

實(shí)施例四

實(shí)施例四與實(shí)施例一基本相同,實(shí)施例四與實(shí)施例一的不同之處在于:如圖1、圖4和圖7所示,N型基體1的正面APCVD沉積BSG退火形成發(fā)射極2,方阻75ohm/sq,其上沉積10nm的TiO2薄膜和60nm的SiNx薄膜,采用PVD沉積Ti、Pd、Ag金屬層?;w1的背面采用激光摻雜磷源的方法形成圓形,直徑為300μm,所占面積為12%,方阻為35ohm/sq。其上沉積75nmSiNx薄膜,采用PVD沉積Ti、Pd、Ag金屬層,直徑80μm,采用Sn包覆的Cu線,直徑200μm,作為連接細(xì)柵8,寬度1mm的導(dǎo)電膠作為連接主柵9將電極連接起來(lái)。

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