本申請為發(fā)明名稱為“一種離子源的電源系統(tǒng)及離子源”的分案申請，原申請的申請日為2016.8.31，申請?zhí)枮?01610792691.2。本發(fā)明涉及離子束
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種離子源的電源系統(tǒng)及離子源。
背景技術(shù)：
：離子束加工是當(dāng)代微電子機(jī)械系統(tǒng)(mems)微納精密加工的重要工藝之一，而離子源是離子束加工系統(tǒng)的核心?？ǚ蚵x子源是目前最常用的電子轟擊寬束離子源(bbis)，采用主陰極、弧板陽極、屏柵、加速柵和中和器等構(gòu)成，其中主陰極可以采用直熱電子發(fā)射絲放電陰極，屏柵和加速柵組成雙柵離子光學(xué)系統(tǒng)，中和器為浸沒式中和陰極，主陰極在陽極電場的作用下發(fā)射電子，進(jìn)入氣體放電區(qū)的惰性氣體受電子轟擊引發(fā)放電形成等離子體，雙柵離子光學(xué)系統(tǒng)將該等離子體抽取出來，經(jīng)中和器中和后形成中性離子束。該離子源在工作過程中需要對應(yīng)的陰極、弧極、屏極、加速、耦合和中和共6路電源供電?，F(xiàn)有卡夫曼離子源的電源大多都是6路電源彼此獨(dú)立設(shè)置、獨(dú)立運(yùn)行。用戶需要根據(jù)離子源工作時(shí)的狀態(tài)，手工反復(fù)調(diào)節(jié)，導(dǎo)致離子源工作狀態(tài)穩(wěn)定性差，重復(fù)性差，效率不高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有離子源的各路電源彼此獨(dú)立設(shè)置需手動調(diào)節(jié)的缺陷，提供一種根據(jù)工作情況自動調(diào)節(jié)各路電源的離子源的電源系統(tǒng)及采用該系統(tǒng)的離子源。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種離子源的電源系統(tǒng)，所述離子源包括：主陰極、弧板陽極、屏柵、加速柵和中和器；所述電源系統(tǒng)包括：陰極電源，用于為所述主陰極提供加熱電流；弧極電源，用于對所述弧板陽極施加弧極電壓；屏柵電源，用于對所述屏柵施加屏柵電壓；加速電源，用于對所述加速柵施加加速電壓；中和電源，用于為所述中和器的陰極提供中和電流；耦合電源，用于實(shí)現(xiàn)離子束與所述中和器的陰極間的電壓耦合；檢測單元，與所述陰極電源、弧極電源、屏柵電源、加速電源、中和電源和耦合電源連接，用于測量各個(gè)電源的電壓或電流信號反饋值；電源控制器，與所述檢測單元以及陰極電源、弧極電源、屏柵電源、加速電源、中和電源和耦合電源連接，用于根據(jù)所述檢測單元測得的電壓或電流信號反饋值，控制各個(gè)電源的電壓或電流信號等于或接近設(shè)定值。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述電源控制器根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值，控制陰極電源提供的加熱電流或控制屏柵電源施加的屏柵電壓，使加速柵上的加速電流位于參考范圍內(nèi)。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述電源控制器根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值以及參考范圍，確定電流修正值，并通過以下公式計(jì)算屏柵控制信號瞬間值：ms(t)＝kase(t)+kise(t)dt+kdsde(t)/dt；其中，e(t)是電流修正值的瞬時(shí)值，kas、kis和kds為控制參數(shù)；所述電源控制器維持陰極電源提供的加熱電流在一恒定值，并將屏柵控制信號瞬間值輸出給所述屏柵電源調(diào)節(jié)屏柵電壓。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述電源控制器根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值以及參考范圍，確定電流修正值，并通過以下公式計(jì)算主陰極控制信號瞬間值：mc(t)＝kace(t)+kice(t)dt+kdcde(t)/dt；其中，e(t)是電流修正值的瞬時(shí)值，kac、kic和kdc為控制參數(shù)；所述電源控制器維持屏柵電源施加的屏柵電壓在一恒定值，并將主陰極控制信號瞬間值輸出給所述陰極電源調(diào)節(jié)加熱電流。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述陰極電源的正極和負(fù)極與所述主陰極的兩端連接；所述弧極電源的正極接所述弧板陽極，弧極電源的負(fù)極接所述陰極電源的正極；所述屏柵電源的正極接屏柵以及所述弧極電源的負(fù)極；所述加速電源的正極接所述屏柵電源的負(fù)極，加速電源的負(fù)極接所述加速柵；所述中和電源的正極和負(fù)極與所述中和器的陰極的兩端連接；所述耦合電源的正極接所述屏柵電源的負(fù)極，耦合電源的負(fù)極接所述中和電源的正極并連接公共端。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述電源控制器包括弧極電源控制單元，用于在啟動離子源時(shí)將所述弧極電源調(diào)節(jié)為第一電壓水平，在預(yù)設(shè)時(shí)間后將所述弧極電源調(diào)節(jié)為第二電壓水平，且所述第二電壓水平低于所述第一電壓水平。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述第一電壓水平為60～70v。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述第二電壓水平為35～40v。在根據(jù)本發(fā)明所述的離子源的電源系統(tǒng)中，所述電源控制器還包括異常檢測單元，用于在檢測到電源短路、欠壓或滅弧的狀態(tài)時(shí)提醒用戶。本發(fā)明還提供了一種離子源，包括如前所述的離子源的電源系統(tǒng)。本發(fā)明的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明可以在離子源工作過程中，根據(jù)反饋的各路電源電壓或電流信號，對各路電源進(jìn)行自動調(diào)節(jié)，克服了現(xiàn)有離子源各路電源獨(dú)立工作、手動調(diào)整的缺陷，能夠使離子束自動調(diào)諧至最佳傳送狀態(tài)，從而保證離子源系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠、高效運(yùn)行。附圖說明圖1為根據(jù)本發(fā)明離子源的電源系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施例的原理圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中電源控制器的模塊示意圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明離子源的離子束流密度分布曲線。具體實(shí)施方式為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請參閱圖1，為根據(jù)本發(fā)明離子源的電源系統(tǒng)的優(yōu)選實(shí)施例的原理圖。本發(fā)明離子源的電源系統(tǒng)適用于卡夫曼離子源。如圖1所示，該實(shí)施例的離子源包括：主陰極1、弧板陽極2、屏柵3、加速柵4和中和器5等。其中，離子源置于真空室內(nèi)，真空室可為圓筒形，其上設(shè)有氣孔用于通入惰性氣體?；“尻枠O2中間的區(qū)域構(gòu)成氣體放電區(qū)?；“尻枠O2外還纏有電磁線圈，用于產(chǎn)生高頻電場。主陰極1在弧極電場的作用下發(fā)射電子。進(jìn)入氣體放電區(qū)的惰性氣體受電子轟擊引發(fā)放電形成等離子體。屏柵3和加速柵4在同一中心線上軸向間隔設(shè)置，構(gòu)成雙柵離子光學(xué)系統(tǒng)。屏柵3從等離子體中抽取離子束，并經(jīng)加速柵5加速。中和器5用于向經(jīng)過加速柵4加速的離子束發(fā)射電子，中和成為中性離子束。該離子源的電源系統(tǒng)至少包括：陰極電源6、弧極電源7、屏柵電源8、加速電源9、中和電源11和耦合電源10，這六路電源同時(shí)為離子源供電實(shí)現(xiàn)離子束發(fā)射的過程。其中陰極電源6用于為主陰極1提供加熱電流，其正極和負(fù)極與主陰極1的兩端連接。在一定范圍內(nèi)，主陰極1的加熱電流越大，放電電流越大，放電電流增加引起放電等離子體中離子密度及電子溫度增加，使離子束流增加?；O電源7用于對弧板陽極2施加弧極電壓，其正極接弧板陽極2，負(fù)極接陰極電源6的正極。屏柵電源8用于對屏柵3施加屏柵電壓，其正極接屏柵3以及弧極電源7的負(fù)極。屏柵電壓反應(yīng)離子束中離子的能量。因等離子體電位與弧極電壓相近，離子所得到的凈加速能量是弧極電壓與屏柵電壓之和。由于弧極電壓遠(yuǎn)小于屏柵電壓，所以通常認(rèn)為屏柵電壓就是離子束的能量，如屏柵電壓是1000v，離子束的能量就是1000ev。屏柵電源8的屏柵電流則反應(yīng)離子束的大小，但真正從離子源引出去的離子束的大小應(yīng)是屏柵電流與加速電流之差。加速電源9用于對加速柵4施加加速電壓。加速電源9的正極接屏柵電源8的負(fù)極，加速電源9的負(fù)極接加速柵4。加速電源9給加速柵施加的是負(fù)偏壓，一方面是為了引出更大的束流，另一方面是為了抑制二次電子和中和電子返流進(jìn)入放電室。電子返流是不參與工作的，是假的離子束流。如果加速電壓過低，則因電子返流而使離子束流急劇上升。但是如果采用加速電壓太高，則會使離子束發(fā)散電場加強(qiáng)，使離子束過于發(fā)散，不便于離子束聚焦。加速電流是離子打到加速柵4上產(chǎn)生的電流。中和電源10用于為中和器5的陰極提供中和電流，用于加熱中和器5的陰極，發(fā)射電子與離子束中和。中和電源10的正極和負(fù)極與中和器5的陰極的兩端連接。中和電源10的中和電流是直接浸沒在離子束中的中和陰極懸絲的加熱電流，控制向離子束發(fā)射中和電子的能力。耦合電源11用于實(shí)現(xiàn)離子束與中和器5的陰極間的電壓耦合。耦合電源11的正極接屏柵電源8的負(fù)極，耦合電源11的負(fù)極接中和電源11的正極。該耦合電源11提供的耦合電壓是為了改變中和器5的陰極對束等離子體的電位使之負(fù)偏，改善離子束與中和器陰極間的電壓耦合。本發(fā)明中離子源的電源系統(tǒng)還包括檢測單元12以及電源控制器13。其中檢測單元12與陰極電源6、弧極電源7、屏柵電源8、加速電源9、中和電源10和耦合電源11連接，用于測量各個(gè)電源的電壓或電流信號反饋值。電源控制器13與檢測單元12以及陰極電源6、弧極電源7、屏柵電源8、加速電源9、中和電源10和耦合電源11連接，用于根據(jù)檢測單元12測得的電壓或電流信號反饋值，控制各個(gè)電源的電壓或電流信號等于或接近設(shè)定值。各個(gè)電源的輸出電壓及電流范圍如表格1所示。表格1陰極弧極屏極加速耦合中和電壓(v)0～200～1000～10000～6000～400～20電流(a)0～200～50～0.50～0.10～10～20在離子源實(shí)際工作過程中，用戶需要根據(jù)離子束參數(shù)要求設(shè)置前述陰極電源6、弧極電源7、屏柵電源8、加速電源9、中和電源10和耦合電源11的電壓或電流，例如啟動時(shí)，設(shè)定陰極電流：5.5a；弧極電壓：45v；屏柵電壓：750v；加速電壓：280v；中和電流：3a；耦合電壓：20v。電源控制器13根據(jù)各個(gè)反饋值，對相應(yīng)電源進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得各個(gè)電源的電壓或電流信號等于或接近設(shè)定值。該電源控制器13還可以根據(jù)離子源工作情況隨時(shí)調(diào)整各個(gè)電源的電壓或者電流值的設(shè)定值，使離子束被調(diào)諧至最佳傳送狀態(tài)，有利于延長離子源的壽命，并能減少損耗。本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，該離子源的電源系統(tǒng)可以對加速柵4上產(chǎn)生的加速電流進(jìn)行控制。如前所述，加速電流是離子打到加速柵4上產(chǎn)生的電流，該電流不應(yīng)大于20ma，否則，會對加速柵4的柵網(wǎng)本身造成嚴(yán)重的損害。因此，本發(fā)明中電源控制器13根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值，控制陰極電源6提供的加熱電流或控制屏柵電源8施加的屏柵電壓，使加速柵4上的加速電流位于參考范圍內(nèi)。優(yōu)選地，該加速電流的參考范圍為10～20ma。本發(fā)明中可以通過兩種方式來調(diào)節(jié)加速柵4上的加速電流ia。第一種方式中，電源控制器13維持陰極電源6提供的加熱電流在一恒定值，通過調(diào)節(jié)屏柵電源8的屏柵電壓來控制加速電流。首先，電源控制器13根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值if以及參考范圍，確定電流修正值ie。設(shè)加速電流的參考范圍為[ia,ib]。當(dāng)ia≤if≤ib時(shí)，表明加速電流位于參考范圍內(nèi)，不需要調(diào)整，該電流修正值ie＝0。當(dāng)if＜ia時(shí)，表明加速電流需要調(diào)大，電流修正值ie＝if-ia。當(dāng)if＞ib時(shí)，表明加速電流需要調(diào)小，電流修正值ie＝ib-if。當(dāng)確定電流修正值后，電源控制器13通過以下公式(1)計(jì)算屏柵控制信號瞬間值：ms(t)＝kase(t)+kise(t)dt+kdsde(t)/dt；(1)其中，e(t)是電流修正值ie的瞬時(shí)值，kas、kis和kds為控制參數(shù)。該控制參數(shù)kas、kis和kds可以預(yù)先通過優(yōu)化以得到最佳控制結(jié)果。電源控制器13將通過公式(1)計(jì)算的屏柵控制信號瞬間值ms(t)輸出給屏柵電源8調(diào)節(jié)屏柵電壓。通過上述方法，可以在加速電流偏高時(shí)，適當(dāng)提高屏柵電壓來減小加速柵4感應(yīng)的加速電流；在加速電流偏小時(shí)，適當(dāng)減小屏柵電壓來增加加速柵4感應(yīng)的加速電流。第二種方式中，電源控制器13維持屏柵電源8施加的屏柵電壓在一恒定值，通過調(diào)節(jié)陰極電源6的加熱電流來控制加速電流。首先，電源控制器13根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值if以及參考范圍，確定電流修正值ie。設(shè)加速電流的參考范圍為[ia,ib]。該步驟中確定電流修正值的方法與第一種方式中相反。當(dāng)ia≤if≤ib時(shí)，表明加速電流位于參考范圍內(nèi)，不需要調(diào)整，該電流修正值ie＝0。當(dāng)if＜ia時(shí)，表明加速電流需要調(diào)大，電流修正值ie＝ia-if。當(dāng)if＞ib時(shí)，表明加速電流需要調(diào)小，電流修正值ie＝if-ib。當(dāng)確定電流修正值后，電源控制器13通過以下公式(2)計(jì)算主陰極控制信號瞬間值：mc(t)＝kace(t)+kice(t)dt+kdcde(t)/dt；(2)其中，e(t)是電流修正值ie的瞬時(shí)值，kac、kic和kdc為控制參數(shù)。該控制參數(shù)kac、kic和kdc可以預(yù)先通過優(yōu)化以得到最佳控制結(jié)果。電源控制器13將通過公式(2)計(jì)算的主陰極控制信號瞬間值mc(t)輸出給陰極電源6調(diào)節(jié)加熱電流。通過上述方法，可以在加速電流偏高時(shí)，適當(dāng)減小主陰極的加熱電流來減小加速柵4感應(yīng)的加速電流；在加速電流偏小時(shí)，適當(dāng)提高主陰極的加熱電流來增加加速柵4感應(yīng)的加速電流。在本發(fā)明的更優(yōu)選實(shí)施例中，該離子源的電源系統(tǒng)還包括與電源控制器13連接的人機(jī)交互模塊14和/或外控接口15。該人機(jī)交互模塊14包括但不限于鍵盤和顯示器等設(shè)備。通過鍵盤可以設(shè)置6路電源模塊的啟動時(shí)間、停止時(shí)間、電源總的工作時(shí)間等參數(shù)，并可以存儲3個(gè)不同的參數(shù)。通過顯示器可以顯示6路電源的啟動時(shí)間、停止時(shí)間、電源總的工作時(shí)間，以及實(shí)際功率和實(shí)際電壓或電流值，例如前述電壓或電流信號的反饋值。顯示器還可以顯示短路、欠壓、滅弧等各種不同的故障狀態(tài)。外控接口15則用于接收外部控制設(shè)備發(fā)出的控制信號，例如單片機(jī)系統(tǒng)或plc等，從而對電源控制器13進(jìn)行控制。請參閱圖2，為根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中電源控制器的模塊示意圖。如圖2所示，該電源控制器13至少包括：陰極電源控制單元131、屏柵電源控制單元132和加速電源控制單元133。在第一種方式中，加速電源控制單元133根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值if以及參考范圍，確定電流修正值ie，并通過公式(1)計(jì)算屏柵控制信號瞬間值ms(t)，輸出給屏柵電源控制單元132對屏柵電壓進(jìn)行調(diào)節(jié)。同時(shí)，陰極電源控制單元131維持陰極電源6提供的加熱電流在一恒定值。在第二種方式中，加速電源控制單元133根據(jù)檢測的加速電源的電流反饋值if以及參考范圍，確定電流修正值ie，并通過公式(2)計(jì)算主陰極控制信號瞬間值mc(t)，輸出給陰極電源控制單元131調(diào)節(jié)陰極電源6的加熱電流。同時(shí)，屏柵電源控制單元132維持屏柵電源8施加的屏柵電壓在一恒定值。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，該電源控制器13還包括弧極電源控制單元134，用于控制弧極電源7的弧極電壓。本發(fā)明中根據(jù)離子起弧特性，通過對弧極電壓的分階段控制來幫助起弧，并減少能量損耗。本發(fā)明在啟動離子源時(shí)將弧極電源調(diào)節(jié)為第一電壓水平，在預(yù)設(shè)時(shí)間后將弧極電源調(diào)節(jié)為第二電壓水平。前述第一電壓水平高于第二電壓水平。優(yōu)選地，第一電壓水平為60～70v，第二電壓水平為35～40v。這樣，在啟動離子源時(shí)采用60～70v的弧極電壓容易起弧且能獲得較大的放電電流。一般情況下惰性氣體被電離產(chǎn)生單荷離子，例如ar+，但是當(dāng)電壓達(dá)到約48v左右將出現(xiàn)雙荷離子ar++，因此60～70v的放電電壓會使雙荷離子數(shù)量增加到占總離子數(shù)的10～20％，雙荷離子具有單荷離子兩倍的能量，在60～70v時(shí)為120～140ev。離子源中所有材料的濺射閾值一般為20～35ev，在40～140ev能量范圍濺射額隨離子能量迅速增加。10～20％的雙荷離子ar++以120～140ev能量轟擊燈絲表面，濺射量可增加10～100倍，其結(jié)果是陰極燈絲被大量濺射逸出而侵蝕，使用壽命大大縮短，同時(shí)單荷ar+離子很少從柵孔抽出形成有效離子流，并且燈絲材料鎢w+離子一同抽出在真空室內(nèi)污染薄膜材料。因此，本發(fā)明在離子源啟動預(yù)定時(shí)間后，判斷離子源已起弧，可以將弧極電源調(diào)低至35～40v，即調(diào)到息弧的臨界值稍大一點(diǎn)即可。這樣，在離子源起弧后采用35～40v的弧極電壓所產(chǎn)生的離子基本上是單荷氬離子ar+。35～40ev的ar+在離子源內(nèi)部不會產(chǎn)生明顯的轟擊陰極燈絲的濺射。所述預(yù)定時(shí)間為經(jīng)驗(yàn)參數(shù)，可由用戶設(shè)置，例如將該預(yù)定時(shí)間設(shè)置為通常離子源啟動至送氣量確定的時(shí)間。在本發(fā)明另一些優(yōu)選的實(shí)施例中，電源控制器13還可以進(jìn)一步包括異常檢測單元，用于在檢測到電源短路、欠壓或滅弧的狀態(tài)時(shí)提醒用戶。綜上所述，本發(fā)明的離子源的電源系統(tǒng)可以控制6路電源自動耦合運(yùn)行且自動跟蹤調(diào)節(jié)，系統(tǒng)功能全面，操作簡便，穩(wěn)定可靠。具體地，該離子源的電源系統(tǒng)具有如下調(diào)控方式：1)開機(jī)可恢復(fù)上次工作狀態(tài)，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動和停止的自動控制，即6路電源模塊根據(jù)設(shè)置的啟動和停止時(shí)間，依次啟動和停止；2)可實(shí)現(xiàn)耦合及屏柵束流的自動跟蹤；3)支持功率時(shí)間設(shè)置，設(shè)定時(shí)間到后，電源自動停止工作；4)通過485通信控制接口實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)控制，可以控制電源控制模塊的啟動和停止；5)輸出功率從最低到最高連續(xù)可調(diào)，在負(fù)載穩(wěn)定情況下，功率可穩(wěn)定在±1w范圍內(nèi)。該離子源的電源系統(tǒng)具有如下安全保護(hù)功能：1)系統(tǒng)設(shè)有安全保護(hù)的程序，無論是在設(shè)備正常還是有故障的情況下，均能保證負(fù)載以及電源的安全使用；2)過壓和過流限制，功率最大值輸入限制，有效防止誤操作；3)允許在任何情況下長期短路；4)絕緣性能良好。本發(fā)明將上述全自動的離子源的電源系統(tǒng)用于發(fā)射口徑為150mm的離子源，并進(jìn)行束流密度分布曲線測試。其中參數(shù)設(shè)定如下：陰極電流：5.5a；弧極電壓：45v；屏柵電壓：750v；加速電壓：280v；中和電流：3a；耦合電壓：20v；一鍵啟動電源。該束流密度的測定過程如下：1)先機(jī)械泵單機(jī)工作、后機(jī)械泵和分子泵雙機(jī)工作，使真空室的真空度抽到本底壓強(qiáng)。2)將氬氣充入氣體輸入口，啟動加熱放電電源產(chǎn)生輝光放電將氬氣原子電離形成等離子體，經(jīng)屏柵陰極、加速柵陽極以及中和器，將等離子體抽取、成束、加速、中和成離子束；3)用法拉第探頭在0～170mm范圍內(nèi)，每隔4mm測試單位面積內(nèi)離子束束流即離子束流密度，所得離子束流密度分布曲線如圖3所示，其中橫軸為橫向距離(單位：mm)，縱軸為束流密度(單位：ma/cm2)。從圖3中可以看到，使用本發(fā)明的離子源電源系統(tǒng)，可以提高束流均勻度達(dá)80％。同時(shí)顯示器上將顯示各個(gè)參數(shù)的實(shí)測值：主陰極：電壓：5.5v，電流：5.5a；弧電極：電壓：45v，電流：1.3a；屏柵極：電壓：750v，電流：70ma；加速極：電壓：280v，電流：14ma；中和極：電壓：3.5v，電流：3a；耦合極：電壓：20v，電流：70ma。本發(fā)明還相應(yīng)提供了一種離子源，采用前述離子源的電源系統(tǒng)來提供電源，該離子源的結(jié)構(gòu)參見結(jié)合圖1和圖2的詳細(xì)描述，在此不再贅述。最后應(yīng)說明的是：以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。當(dāng)前第1頁12