本發(fā)明涉及半導(dǎo)體分選設(shè)備領(lǐng)域，更具體地，涉及一種分選機的工作臺組件。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體行業(yè)，分選機會對劃切好的晶片按照規(guī)格尺寸進行分類，并放在工作臺相應(yīng)的料盒中，隨后料盒會被人工取下用無塵紙進行封存。在此當(dāng)中料盒的更換(安裝和拆卸)會非常頻繁，并且需要非常謹慎以防晶片的受損。在料盒的更換過程中，經(jīng)常會出現(xiàn)以下問題影響整個工藝流程：

1.在人工卸下或安裝料盒時，需要在機器旁側(cè)進行拆裝，這樣身體一部分進入機器內(nèi)部會對人員有一定的潛在威脅，并且由于空間限制，更換效率不會太高，易對料盒和晶片造成損傷；

2.當(dāng)從工作臺卸下料盒時，目前固定料盒的結(jié)構(gòu)經(jīng)常會磕到料盒，使得料盒震動，料盒里的晶片彈出，這不僅對產(chǎn)品晶片造成極大的損失，還會影響整個工業(yè)的流程的順暢性；

3.相對于整體工藝流程而言，卸料所需時間太多，影響了整體進程。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種分選機的工作臺組件。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種分選機的工作臺組件，包括：

托盤底板；

擋板，所述擋板沿所述托盤底板的周向延伸地設(shè)在所述托盤底板的多個側(cè)面且所述擋板的一個側(cè)面不被所述擋板包覆，所述擋板的至少一部分超出所述托盤底板的上表面以與所述托盤底板的上表面之間限定出配合凹槽；

托盤，所述托盤設(shè)在所述配合凹槽內(nèi)且與所述擋板間隙配合，所述托盤與所述托盤底板可拆卸地相連；

料盒，所述料盒可拆卸地設(shè)在所述托盤上；

料盒壓塊，所述料盒壓塊可活動地設(shè)在所述托盤上以固定和松開所述料盒。

進一步來說，所述托盤上設(shè)有上鎖扣，所述托盤底板上設(shè)有下鎖扣，所述上鎖扣與所述下鎖扣可拆卸地相連。

進一步來說，所述上鎖扣和所述下鎖扣分別為一個，所述上鎖扣設(shè)在所述托盤的中心，所述下鎖扣設(shè)在所述托盤底板的中心。

進一步來說，所述上鎖扣和所述下鎖扣分別為多個，多個所述上鎖扣對稱設(shè)在所述托盤上，多個所述下鎖扣以所述托盤的對稱軸對稱設(shè)在所述托盤底板上。

進一步來說，所述擋板和所述托盤的外周壁上設(shè)有位置相對應(yīng)的定位孔，所述工作臺組件還包括鎖緊銷，所述鎖緊銷穿過所述定位孔以定位和鎖緊所述托盤。

進一步來說，所述托盤底板上設(shè)有真空槽，所述托盤上設(shè)有與所述真空槽位置相對應(yīng)的真空孔，所述工作臺組件還包括真空吸附裝置，所述真空吸附裝置與所述真空槽和所述真空孔配合以吸附或松開所述托盤和所述托盤底板。

進一步來說，所述托盤為磁吸件，所述托盤底板上設(shè)有電磁線圈，所述電磁線圈的電路可通斷以吸附或松開所述托盤和所述托盤底板。

進一步來說，所述托盤上設(shè)有多個安裝凹槽，每個所述安裝凹槽的一側(cè)設(shè)有至少一個定位銷，每個所述安裝凹槽的另一側(cè)設(shè)有至少一個所述料盒壓塊，所述料盒為多個且分別通過所述定位銷和所述料盒壓塊安裝在對應(yīng)的所述安裝凹槽內(nèi)。

進一步來說，所述料盒壓塊上設(shè)有適于卡緊或松開所述料盒的卡扣部，所述料盒壓塊的頂端設(shè)有按壓部，所述按壓部可按壓以通過所述卡扣部卡緊或松開所述料盒，所述按壓部的上表面形成為粗糙面。

進一步來說，所述按壓部的自由端設(shè)有防滑凸起。

本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下：本發(fā)明的分選機的工作臺組件，優(yōu)化了料盒與托盤的裝配結(jié)構(gòu)，方便料盒的安裝和拆卸；改進了托盤與托盤底板的連接方式，使其更方便快捷的進行安裝和拆卸，提高此環(huán)節(jié)的工作效率；另外，該工作臺組件節(jié)約了人力和物力，有效降低了運行成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例中分選機的工作臺組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中的局部放大示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例中分選機的工作臺組件的托盤與托盤底板的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例中分選機的工作臺組件的托盤與側(cè)板的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5本發(fā)明實施例中分選機的工作臺組件的托盤的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例的附圖，對本發(fā)明實施例的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

下面結(jié)合附圖具體描述根據(jù)本發(fā)明實施例的分選機的工作臺組件。

如圖1至圖5所示，根據(jù)本發(fā)明實施例的分選機的工作臺組件包括料盒1、料盒壓塊2、擋板3、托盤底板4和托盤5。所述擋板沿所述托盤底板的周向延伸地設(shè)在所述托盤底板的多個側(cè)面且所述擋板的一個側(cè)面不被所述擋板包覆。

具體而言，擋板3沿托盤底板4的周向延伸地設(shè)在托盤底板4的多個側(cè)面且擋板3的外周的一側(cè)不被擋板3包覆，擋板3的至少一部分超出托盤底板4的上表面以與托盤底板4的上表面之間限定出配合凹槽。托盤5設(shè)在配合凹槽內(nèi)且與擋板3間隙配合，托盤5與托盤底板4可拆卸地相連，料盒1可拆卸地設(shè)在托盤5上，料盒壓塊2可活動地設(shè)在托盤5上以固定和松開料盒1。

換言之，如圖1所示，工作臺組件主要由托盤底板4、設(shè)在托盤底板4周圍的擋板3、設(shè)在托盤底板4上的托盤5、設(shè)在托盤5上的料盒1以及固定和松開料盒1的料盒壓塊2，其中，托盤底板4可以與滾軸絲杠相連，托盤5設(shè)在托盤底板4上且兩面大小基本相同。托盤底板4的截面大致形成為矩形，擋板3包括前擋板、后擋板和側(cè)擋板，前擋板、后擋板和側(cè)擋板包圍并且固定托盤底板4的三個側(cè)面，擋板3的上端超出托盤底板4的上表面向上延伸，前擋板、后擋板和側(cè)擋板與托盤底板4的上表面配合形成配合凹槽(未示出)，配合凹槽可以容納托盤5并且與托盤5之間留有很小的配合間隙，由此可以通過擋板3完成對托盤5的水平方向的基本限位。在托盤5上設(shè)有晶片料盒1，料盒1通過料盒壓塊2可拆卸地與托盤5相連，料盒壓塊2通過按壓可以方便地對料盒1進行定位和拆裝。

在分選機內(nèi)，晶片經(jīng)過分選后放入料盒1內(nèi)，當(dāng)一個工作臺的所有料盒1內(nèi)的晶片裝滿，會自動切換下一個空置工作臺。裝滿晶片的料盒1需要從托盤5上卸下封裝，完成一道工序。

由此，根據(jù)本發(fā)明實施例的分選機的工作臺組件，通過在托盤底板4周圍設(shè)置擋板3，可以對托盤5進行水平限位，再將托盤5與托盤底板4可拆卸相連，可以便于托盤5余托盤底板4的安裝和拆卸，通過料盒壓塊2的按壓可以實現(xiàn)料盒1的定位和拆裝，從而可以有效提高料盒的更換效率。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，托盤5上設(shè)有多個安裝凹槽，每個安裝凹槽的一側(cè)設(shè)有至少一個定位銷9，每個安裝凹槽的另一側(cè)設(shè)有至少一個料盒壓塊2，料盒1為多個且分別通過定位銷9和料盒壓塊2安裝在對應(yīng)的安裝凹槽內(nèi)。

具體地，如圖1所示，托盤5上設(shè)有多個適于安裝料盒壓塊2的安裝凹槽，安裝凹槽的形狀優(yōu)選可以為矩形，每個安裝凹槽的一側(cè)設(shè)有兩個定位銷9，每個安裝凹槽的另一側(cè)設(shè)有一個料盒壓塊2，每個料盒1通過兩個定位銷9、安裝凹槽和料盒壓塊2的配合，可以快速實現(xiàn)定位和拆裝。

如圖5所示，在本發(fā)明的另一些實施例中，托盤5可以根據(jù)實際料盒1的大小設(shè)計成不同類型，在工作空間允許下可以設(shè)計多個托盤5，也可以在托盤5上設(shè)計多個排布不同的安裝凹槽以安裝料盒1。

在本發(fā)明的一些具體實施方式中，料盒壓塊2上設(shè)有適于卡緊或松開料盒1的卡扣部，料盒壓塊2的頂端設(shè)有按壓部21，按壓部21可按壓以通過卡扣部卡緊或松開料盒1，按壓部21的上表面形成為粗糙面。

具體參見圖2所示，料盒壓塊2形成為設(shè)在托盤5上的長條形卡扣，料盒壓塊2的高度略高于料盒1的高度，料盒壓塊2上的卡扣部可以卡緊料盒1，料盒壓塊2的上端設(shè)有按壓部21，通過按壓部21可以帶動卡扣部松開或者卡緊料盒1。由于按壓部21需要人工用手進行扳動，按壓部21的上表面為手指主要接觸面，通過將按壓部21的上表面設(shè)置為粗糙面，增大與手指接觸面的粗糙程度，有助于方便手指扳動料盒壓塊2，極大的減少了操作失誤。

優(yōu)選地，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，按壓部21的自由端設(shè)有防滑凸起22。

如圖2所示，在按壓部21的末端設(shè)有大致垂直于手指按動方向的防滑凸起22，當(dāng)手指按壓按壓部21時，防滑凸起22可以有效防止手指從按壓部21上滑落，避免料盒壓塊2反彈磕到料盒1，有效減少了晶片的損失，大大提高了整個工藝流程的流暢性。

下面具體描述托盤5與托盤底板4的裝配結(jié)構(gòu)。

考慮到在實際運動中，工作臺整體由導(dǎo)軌絲杠前后左右運動，因此運動是在一個平面內(nèi)低速平穩(wěn)運動，所以托盤5與托盤底板4之間的聯(lián)接可以為簡單固緊和方便拆裝裝置。

如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，托盤5上設(shè)有上鎖扣6，托盤底板4上設(shè)有下鎖扣7，上鎖扣6與下鎖扣7可拆卸地相連。

具體地，在工作臺組件中，前擋板、后擋板和側(cè)擋板已初步完成托盤底板4和托盤5的定位，再通過托盤5上的上鎖扣6和托盤底板4上的下鎖扣7的結(jié)合和分離實現(xiàn)托盤5與托盤底板4的配合，可以進一步方便托盤5與托盤底板4的配合，便于人工操作，提高拆裝效率。

其中需要說明的是，上鎖扣6和下鎖扣7配合時，可以通過計算將上鎖扣6與下鎖扣7的安裝位置進行確定，并通過實驗使上鎖扣6與下鎖扣7中的一個偏移少許，使托盤5緊靠擋板3兩側(cè)，以擋板3、上鎖扣6與下鎖扣7完成托盤5的精確定位。

由于此工作臺的移動是水平低速移動，因此不需要太多的鎖扣結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的一些具體實施方式中，上鎖扣6和下鎖扣7分別為一個，上鎖扣6設(shè)在托盤5的中心，下鎖扣7設(shè)在托盤底板4的中心。在本發(fā)明的另一些具體實施方式中，上鎖扣6和下鎖扣7也可以分別為多個，多個上鎖扣6以托盤5的對稱軸對稱設(shè)在托盤5上，多個下鎖扣7對稱設(shè)在托盤底板4上。

如圖4所示，根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，擋板3和托盤5的外周壁上設(shè)有位置相對應(yīng)的定位孔，工作臺組件還包括鎖緊銷8，鎖緊銷8穿過定位孔以定位和鎖緊托盤5。

具體地，可以在前擋板和后擋板上分別設(shè)置定位孔，在托盤5相對應(yīng)的位置也設(shè)置定位孔，然后通過鎖緊銷8結(jié)構(gòu)依次穿過擋板和托盤5上的定位孔，便可實現(xiàn)擋板3與托盤5的定位配合。該結(jié)構(gòu)可以與上鎖扣6和下鎖扣7的配合結(jié)構(gòu)結(jié)合應(yīng)用，也可以獨立應(yīng)用。

在本發(fā)明的一些具體實施方式中，托盤底板4上設(shè)有真空槽，托盤5上設(shè)有與真空槽位置相對應(yīng)的真空孔，工作臺組件還包括真空吸附裝置，真空吸附裝置與真空槽和真空孔配合以吸附或松開托盤5和托盤底板4。由此，通過打開和關(guān)閉真空吸附裝置，便可以快速實現(xiàn)托盤5與托盤底板4的吸附和松開，裝配結(jié)構(gòu)方便。

在本發(fā)明的另一些具體實施方式中，托盤5為磁吸件，托盤底板4上設(shè)有電磁線圈，電磁線圈的電路可通斷以吸附或松開托盤5和托盤底板4。由此通過實現(xiàn)電磁線圈的通斷電，同樣可以快速實現(xiàn)托盤5與托盤底板4的吸附和松開。

總而言之，根據(jù)本發(fā)明實施例的分選機的工作臺組件，優(yōu)化了料盒1與托盤5的裝配結(jié)構(gòu)，方便料盒1的安裝和拆卸；改進了托盤5與托盤底板4的連接方式，使其更方便快捷的進行安裝和拆卸，提高此環(huán)節(jié)的工作效率；另外，該工作臺組件節(jié)約了人力和物力，有效降低了運行成本。該分選機的工作臺組件具有簡單緊湊、安裝方便、操作簡單、成本低廉的特點，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)輸出工作臺的快速定位、更換。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。