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一種雙波段探測器的制作方法與流程

文檔序號:11692206閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
一種雙面紅外/紫外雙波段探測器制作方法,通過紅外探測區(qū)以及紫外探測區(qū)的結構和位置的設置,紫外探測區(qū)域在正面入射光探測時使用正面入光p-i-n結構,在背面入射光探測時使用背面入光p-i-n結構,紅外探測區(qū)域分別使用襯底正面和背面的探測結構進行探測,使制作的雙面紅外/紫外雙波段探測器,能夠對于正面/背面入射的紅外/紫外光都能夠進行探測,并且紅外和紫外光探測區(qū)域互不干擾,從而實現(xiàn)了雙面探測的功能。

技術研發(fā)人員:張清
受保護的技術使用者:張清
技術研發(fā)日:2017.03.25
技術公布日:2017.07.21
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