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探測(cè)范圍可調(diào)的IV族紅外光電探測(cè)器及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12478887閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種探測(cè)范圍可調(diào)的IV族紅外光電探測(cè)器的制備方法,其特征在于,所述紅外光電探測(cè)器包括Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu)。所述制備方法包括步驟:

(a)選取N型Ge襯底;

(b)在280℃~300℃,利用UHV-CVD工藝,在所述N型Ge襯底上形成N型GeSiSn緩沖層;

(c)在280℃~300℃,利用UHV-CVD工藝,在所述N型GeSiSn緩沖層上形成所述Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu);

(d)在280℃~300℃,利用UHV-CVD工藝,在所述Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu)上形成P型Ge接觸層;

(e)在280℃~300℃,利用UHV-CVD工藝,在所述P型Ge接觸層上形成氧化層;

(f)金屬化并光刻引線形成所述紅外光電探測(cè)器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述N型GeSiSn緩沖層包括組分為0~0.15的Ge,組分為0~0.20的Sn,所述Ge和所述Sn的組分從下到上組分依次增加。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu)層包括組分為0.05~0.15的Si,組分為0.10~0.20的Sn,所述Si、所述Sn的組分可調(diào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu)層數(shù)為10~25層,厚度為200~750nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,所述P型Ge接觸層厚度為50~100nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(c)包括:

(c1)在280℃~300℃,利用UHV-CVD生長(zhǎng)工藝,在所述N型GeSiSn緩沖層上形成Ge層;

(c2)在280℃~300℃,利用UHV-CVD生長(zhǎng)工藝,在所述Ge層上形成GeSiSn層;

(c3)重復(fù)生長(zhǎng)所述Ge層和所述GeSiSn層,最終在所述N型GeSiSn緩沖層上形成所述Ge層、所述GeSiSn層周期排列的所述Ge/GeSiSn量子阱結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述Ge層的厚度為10~12nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,所述GeSiSn層的厚度為12~15nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,步驟(f)包括:

(f1)在所述氧化層上光刻形成金屬接觸窗口;

(f2)在所述金屬接觸窗口內(nèi)沉積金屬材料;

(f3)在所述金屬材料上光刻引線以形成所述紅外光電探測(cè)器。

10.一種探測(cè)范圍可調(diào)的IV族紅外光電探測(cè)器,其特征在于,所述紅外光電探測(cè)器采用如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的方法制得。

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