1.一種離子注入裝置，包括用于產(chǎn)生等離子體的離子源和用于引出帶狀離子束的引出電極系統(tǒng)，其特征在于：還包括第一裝卸載腔室、第一加速腔室、掃描腔室、第二加速腔室、第二裝卸載腔室；所述第一裝卸載腔室、第一加速腔室內(nèi)設(shè)有第一真空閘閥和用于與外部連通的第一大氣閘閥；所述第二裝卸載腔室、第二加速腔室內(nèi)設(shè)有第二真空閘閥和用于與外部連通的第二大氣閘閥；所述第一加速腔室和第二加速腔室內(nèi)設(shè)有加速軌道；所述掃描腔室內(nèi)設(shè)有磁懸浮軌道；在所述第一加速腔室、第二加速腔室、掃描腔室的加速軌道和磁懸浮軌道上設(shè)有掃描基板夾具；所述第一裝卸載腔室與所述第二裝卸載腔室內(nèi)分別設(shè)有第一裝卸載基板夾具與第二裝卸載基板夾具；所述第一裝卸載基板夾具連接第一旋轉(zhuǎn)基座；所述第二裝卸載基板夾具連接第二旋轉(zhuǎn)基座；所述掃描基板夾具連接第三旋轉(zhuǎn)基座；
所述掃描基板夾具攜帶基板傾斜至設(shè)定角度后在推進(jìn)裝置的帶動下在第一加速腔室的加速軌道上做加速運(yùn)動并進(jìn)入掃描腔室中；所述掃描基板夾具攜帶所述基板在所述掃描腔室的磁懸浮軌道的電磁支撐下勻速滑行并進(jìn)行離子注入。
2.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入裝置，其特征在于：所述第一旋轉(zhuǎn)基座和第二旋轉(zhuǎn)基座分別連接有第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)和第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)，通過所述第一旋轉(zhuǎn)電機(jī)和第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動所述第一旋轉(zhuǎn)基座和第二旋轉(zhuǎn)基座旋轉(zhuǎn)并帶動所述第一裝卸載基板夾具和第二裝卸載基板夾具旋轉(zhuǎn)至裝卸載位置或轉(zhuǎn)換位置。
3.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入裝置，其特征在于：所述第三旋轉(zhuǎn)基座連接有第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)，通過所述第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動所述第三旋轉(zhuǎn)基座并帶動所述掃描基板夾具旋轉(zhuǎn)至裝卸載位置或掃描位置。
4.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入裝置，其特征在于：所述基板通過外部機(jī)械手裝載至所述第一裝卸載基板夾具中，并通過外部機(jī)械手從第二裝卸載基板夾具卸載已進(jìn)行離子注入的基板。
5.如權(quán)利要求1所述的一種離子注入裝置，其特征在于：所述推進(jìn)裝置為無刷式直線電機(jī)。