本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學與技術(shù)領(lǐng)域、集成電路科學與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學與技術(shù)領(lǐng)域、光電子科學與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域,涉及到平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作,具體涉及到碳納米管陰極的平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作,特別涉及到一種前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的顯示器制作及其制作工藝。
背景技術(shù):
碳納米管是一種具有優(yōu)異特性的半導(dǎo)體材料,非常適合于用作平面發(fā)光顯示器的冷陰極:由于碳納米管的極強耐高溫特性,使得平面發(fā)光顯示器中的陰極燒毀現(xiàn)象得到徹底消除;由于碳納米管的冷場發(fā)射電子特性,使得無需對碳納米管施加額外能量即可作為平面發(fā)光顯示器的陰極材料;由于絲網(wǎng)印刷碳納米管層技術(shù)的引進和擴展,使得制作大面積平面發(fā)光顯示器成為可能;由于門極結(jié)構(gòu)的引入,使得用低壓電路來對場發(fā)射平面發(fā)光顯示器進行驅(qū)動有了基礎(chǔ),等。故隨著碳納米管電子源材料的引入,場發(fā)射發(fā)光顯示器的研究得到了長足進展。
但是,在目前的三極結(jié)構(gòu)碳納米管陰極場發(fā)射發(fā)光顯示器中,還有許多技術(shù)難題需要加以解決。例如,其一,門極工作電壓偏高問題。過高的門極工作電壓,會顯著加大發(fā)光顯示器的功率損耗、降低發(fā)光顯示器的使用壽命,這并不符合低壓平面顯示器件的高品質(zhì)要求。若加大門極-碳納米管陰極之間的有效距離,可繼續(xù)使得門極工作電壓偏得更高;若減小門極-碳納米管陰極之間的有效距離,可以使得門極工作電壓下降,但又會提高對門極-碳納米管陰極之間絕緣材料的絕緣性能的要求,從而增大發(fā)光顯示器的制作成本。其二,陽極工作電流偏小問題。若沒有足夠數(shù)量的碳納米管進行電子發(fā)射,那形成小的陽極工作電流也就不足為奇了;但若碳納米管層陰極的制作面積過大,則會顯著降低發(fā)光顯示器的顯示分辨率。同樣,在同樣制作面積的碳納米管層中,若沒有足夠數(shù)量的碳納米管進行電子發(fā)射,那么也無法形成大的陽極工作電流,但這需要對碳納米管層的制作結(jié)構(gòu)進行大幅度改進。其三,門極對碳納米管層發(fā)射電子的截留問題也不容忽視。由于門極位于碳納米管層的正上方,且門極上又施加正電勢,故對碳納米管層發(fā)射的電子進行吸引、截留,這是不可避免的;但門極對碳納米管層發(fā)射電子截留過多的話,就會引起發(fā)光顯示器的大功率損耗,嚴重情況下會導(dǎo)致門極結(jié)構(gòu)燒毀損壞。另外,門極制作結(jié)構(gòu)的簡單易行性、碳納米管層的電子發(fā)射效率問題等,也都需要進一步解決。此外,在實際場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作過程中,發(fā)光顯示器的制作工藝可行性、制作成品率,以及發(fā)光顯示器的制作成本等問題,也值得關(guān)注。這些技術(shù)難題的解決,還需要進行大量的研究和探索。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷和不足,本發(fā)明提供一種發(fā)光亮度高的、發(fā)光灰度可調(diào)節(jié)性能優(yōu)異的、制作工藝穩(wěn)定可靠的、制作成品率高的帶有前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器。
技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器,包括由上抗壓密封平板、下抗壓密封平板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室;在上抗壓密封平板上有陽極方形膜層、與陽極方形膜層相連的陽極銀連線層以及制備在陽極方形膜層上面的熒光粉層;在下抗壓密封平板上有前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu);位于真空室內(nèi)的消氣劑和支撐柱附屬元件。
所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃,可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是下抗壓密封平板;下抗壓密封平板上的印刷的絕緣漿料層形成模糊隔離層;模糊隔離層上的印刷的銀漿層形成陰極銀連線層;陰極銀連線層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極柱臺底層;陰極柱臺底層為圓臺形狀,即:陰極柱臺底層的上、下表面均為圓面,陰極柱臺底層的上表面半徑與下表面半徑相等,陰極柱臺底層的外側(cè)面為向外凸起的類半圓弧面;陰極柱臺底層中存在方形孔,方形孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極豎直連接層;陰極豎直連接層和陰極銀連線層相互連通;陰極柱臺底層上表面的印刷的銀漿層形成陰極中間傳導(dǎo)夾層;陰極中間傳導(dǎo)夾層為圓面形狀、位于陰極柱臺底層上表面上,陰極中間傳導(dǎo)夾層的圓面外邊緣與陰極柱臺底層的上表面外邊緣重合;陰極中間傳導(dǎo)夾層和陰極豎直連接層相互連通;陰極柱臺底層外側(cè)面上的印刷的銀漿層形成陰極下傳導(dǎo)條層;陰極下傳導(dǎo)條層為條狀,位于陰極柱臺底層外側(cè)面上;陰極下傳導(dǎo)條層的上端和陰極中間傳導(dǎo)夾層相連接,陰極下傳導(dǎo)條層的下端朝向陰極柱臺底層下表面方向;陰極下傳導(dǎo)條層和陰極中間傳導(dǎo)夾層相互連通;陰極中間傳導(dǎo)夾層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極柱臺頂層;陰極柱臺頂層為弧面圓錐形狀,即:陰極柱臺頂層的下表面為圓面,陰極柱臺頂層下表面外邊緣和陰極中間傳導(dǎo)夾層的圓面外邊緣重合,陰極柱臺頂層的錐尖位于陰極柱臺頂層中心垂直軸線上,陰極柱臺頂層中心垂直軸線和陰極柱臺底層中心垂直軸線重合,陰極柱臺頂層的外側(cè)面為向外凸起的彎弧面;陰極柱臺頂層外側(cè)面上的印刷的銀漿層形成陰極上傳導(dǎo)條層;陰極上傳導(dǎo)條層為條狀,位于陰極柱臺頂層外側(cè)面上;陰極上傳導(dǎo)條層的上端朝向陰極柱臺頂層錐尖方向,陰極上傳導(dǎo)條層的下端和陰極中間傳導(dǎo)夾層相連接;陰極上傳導(dǎo)條層和陰極中間傳導(dǎo)夾層相互連通;陰極柱臺底層外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極紋波電極下層;陰極紋波電極下層覆蓋于陰極下傳導(dǎo)條層下端上、且和陰極下傳導(dǎo)條層相互連通;陰極紋波電極下層呈現(xiàn)閉合的凸面紋波邊環(huán)面形狀、環(huán)繞在陰極柱臺底層外側(cè)面上,陰極紋波電極下層的環(huán)面上邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極中間傳導(dǎo)夾層方向但不與陰極中間傳導(dǎo)夾層相接觸,陰極紋波電極下層的環(huán)面下邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極柱臺底層下表面方向;陰極柱臺頂層外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極紋波電極上層;陰極紋波電極上層覆蓋于陰極上傳導(dǎo)條層上端上、且和陰極上傳導(dǎo)條層相互連通;陰極紋波電極上層呈現(xiàn)閉合的凸面紋波邊環(huán)面形狀、環(huán)繞在陰極柱臺頂層外側(cè)面上,陰極紋波電極上層的環(huán)面上邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極柱臺頂層錐尖方向,陰極紋波電極上層的環(huán)面下邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極中間傳導(dǎo)夾層方向但不與陰極中間傳導(dǎo)夾層相接觸;模糊隔離層上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底下層;門極臺底下層的下表面為平面,位于模糊隔離層上;門極臺底下層中存在圓形孔,圓形孔中暴露出陰極紋波電極上層、陰極紋波電極下層、陰極柱臺頂層、陰極柱臺底層、陰極上傳導(dǎo)條層和陰極下傳導(dǎo)條層;門極臺底下層中圓形孔在門極臺底下層上、下表面形成的截面為中空圓面,圓形孔的內(nèi)側(cè)壁為垂直于下抗壓密封平板的圓筒面;門極臺底下層上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極一層;門極平凹電極一層為平直的平面形、位于門極臺底下層上表面上靠近圓形孔位置;門極臺底下層上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極二層;門極平凹電極二層為向內(nèi)凹陷的凹面形狀、位于門極臺底下層上表面遠離圓形孔位置;門極平凹電極一層的高度與門極平凹電極二層的最低高度相同、且門極平凹電極一層和門極平凹電極二層相互連通;門極平凹電極一層和門極平凹電極二層上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底中層;門極臺底中層上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極三層;門極平凹電極三層為平直的平面形、位于門極臺底中層上表面上,門極平凹電極三層和門極平凹電極一層相互平行,門極平凹電極三層的高度不高于門極平凹電極二層的最高高度,門極平凹電極三層和門極平凹電極二層相互連通;模糊隔離層上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底外層;門極臺底外層的下表面為平面,位于模糊隔離層上;門極臺底外層上表面的印刷的銀漿層形成門極銀連線層;門極銀連線層和門極平凹電極二層相互連通;門極平凹電極二層和門極平凹電極三層上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底三層;碳納米管制備在陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層上。
所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下抗壓密封平板;陰極紋波電極上層可以為金屬銀、鋁、銅、鎳、鉬、鉻;陰極紋波電極下層可以為金屬銀、鋁、銅、鎳、鉬、鉻。
本發(fā)明同時提供一種帶有前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝,包括以下步驟:
1)下抗壓密封平板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成下抗壓密封平板;
2)模糊隔離層的制作:在下抗壓密封平板上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成模糊隔離層;
3)陰極銀連線層的制作:在模糊隔離層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀連線層;
4)陰極柱臺底層的制作:在陰極銀連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極柱臺底層;
5)陰極豎直連接層的制作:在陰極柱臺底層的方形孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極豎直連接層;
6)陰極中間傳導(dǎo)夾層的制作:在陰極柱臺底層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中間傳導(dǎo)夾層;
7)陰極下傳導(dǎo)條層的制作:在陰極柱臺底層外側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下傳導(dǎo)條層;
8)陰極柱臺頂層的制作:在陰極中間傳導(dǎo)夾層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極柱臺頂層;
9)陰極上傳導(dǎo)條層的制作:在陰極柱臺頂層外側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極上傳導(dǎo)條層;
10)陰極紋波電極下層的制作:在陰極柱臺底層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極紋波電極下層;
11)陰極紋波電極上層的制作:在陰極柱臺頂層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極紋波電極上層;
12)門極臺底下層的制作:在模糊隔離層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底下層;
13)門極平凹電極一層的制作:在門極臺底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極一層;
14)門極平凹電極二層的制作:在門極臺底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極二層;
15)門極臺底中層的制作:在門極平凹電極一層和門極平凹電極二層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底中層;
16)門極平凹電極三層的制作:在門極臺底中層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極三層;
17)門極臺底外層的制作:在模糊隔離層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底外層;
18)門極銀連線層的制作:在門極臺底外層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀連線層;
19)門極臺底三層的制作:在門極平凹電極二層和門極平凹電極三層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底三層;
20)前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的清潔:對前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;
21)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層上,形成碳納米管層;
22)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理,改善其場發(fā)射特性;
23)上抗壓密封平板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成上抗壓密封平板;
24)陽極方形膜層的制作:對覆蓋于上抗壓密封平板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕,形成陽極方形膜層;
25)陽極銀連線層的制作:在上抗壓密封平板上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀連線層;
26)熒光粉層的制作:在陽極方形膜層上印刷熒光粉,經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層;
27)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝固定在上抗壓密封平板的非顯示區(qū)域;然后,將上抗壓密封平板、下抗壓密封平板、透明玻璃框和支撐柱裝配到一起,用夾子固定;
28)顯示器器件封裝:對已經(jīng)裝配的顯示器器件進行封裝工藝形成成品件。
所述步驟25具體為:在上抗壓密封平板的非顯示區(qū)域印刷銀漿,經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度:150oC,最高烘烤溫度保持時間:5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度:532 oC,最高燒結(jié)溫度保持時間:10分鐘)。
所述步驟26具體為:在上抗壓密封平板的陽極方形膜層上印刷熒光粉,然后放置在烘箱中進行烘烤(最高烘烤溫度:135oC,最高烘烤溫度保持時間:8分鐘)。
所述步驟28具體為對已裝配的顯示器器件進行如下的封裝工藝:將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。
有益效果:本發(fā)明具備以下顯著的進步:
首先,在所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)中,制作了凸面上下紋波邊陰極。眾所周知,在碳納米管陰極場發(fā)射發(fā)光顯示器中,具有“邊緣電場增強”現(xiàn)象,而凸面上下紋波邊陰極正是充分利用了這一現(xiàn)象。在陰極紋波電極上層的邊緣位置、以及陰極紋波電極下層的邊緣位置,電場強度會顯著增強,從而迫使位于陰極紋波電極上層、陰極紋波電極下層邊緣處的碳納米管能夠發(fā)射出更多電子。由于制作了陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層結(jié)構(gòu),使得陰極的邊緣得以增大;同時,陰極紋波電極上層以及陰極紋波電極下層的上、下邊緣又呈現(xiàn)凸面紋波邊型,這就更加增多了陰極邊緣,這對于進一步增強發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度、使得發(fā)光顯示器具有性能更優(yōu)異的發(fā)光灰度可調(diào)節(jié)度是非常有益的。
其次,在所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)中,制作了前雙平直后凹型門極。當在門極銀連線層上施加適當門極工作電壓時,門極電勢就會通過門極平凹電極二層同時傳遞給門極平凹電極一層和門極平凹電極三層,使得碳納米管層表面形成強大電場強度,迫使碳納米管發(fā)射電子;且碳納米管發(fā)射電子的數(shù)量多少隨著門極工作電壓的大小而變化,這就體現(xiàn)了前雙平直后凹型門極對碳納米管陰極的強有力調(diào)控作用。同時,由于門極平凹電極一層主要用于控制陰極紋波電極下層上的碳納米管,而門極平凹電極三層主要用于控制陰極紋波電極上層上的碳納米管,這樣,同一個門極工作電壓,就可以同時調(diào)控更多碳納米管進行電子發(fā)射,這對于進一步改善發(fā)光顯示器的發(fā)光灰度可調(diào)節(jié)性也是有幫助的。
第三,在所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)中,碳納米管制作在了陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層上。陰極紋波電極下層位于陰極柱臺底層外側(cè)面上,而陰極紋波電極上層位于陰極柱臺頂層外側(cè)面上,二者都具有更大的制作表面積;由于碳納米管同時被制備在了陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層表面上,這也就意味著碳納米管層制作面積被擴大了,從而參與場電子發(fā)射的碳納米管數(shù)量被有效增多了。既然參與電子發(fā)射的碳納米管數(shù)量增多了,那么能夠大幅度增大發(fā)光顯示器的陽極工作電流也就不言而喻了,這對于進一步增強發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度是非常有利的。
此外,在所述的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)中,并沒有采用特殊的制作工藝,對制作材料的絕緣性能、漿料制備易行性等也沒有特殊要求,這能夠顯著降低發(fā)光顯示器的制作成本。
除了上面所述的本發(fā)明解決的技術(shù)問題、構(gòu)成技術(shù)方案的技術(shù)特征以及由這些技術(shù)方案的技術(shù)特征所帶來的優(yōu)點外,本發(fā)明的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器所能解決的其他技術(shù)問題、技術(shù)方案中包含的其他技術(shù)特征以及這些技術(shù)特征帶來的優(yōu)點,將結(jié)合附圖做出進一步詳細的說明。
附圖說明
圖1是本發(fā)明實施例中單個前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明實施例中前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本發(fā)明實施例中前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中:下抗壓密封平板1、模糊隔離層2、陰極銀連線層3、陰極柱臺底層4、陰極豎直連接層5、陰極中間傳導(dǎo)夾層6、陰極下傳導(dǎo)條層7、陰極柱臺頂層8、陰極上傳導(dǎo)條層9、陰極紋波電極下層10、陰極紋波電極上層11、門極臺底下層12、門極平凹電極一層13、門極平凹電極二層14、門極臺底中層15、門極平凹電極三層16、門極臺底外層17、門極銀連線層18、門極臺底三層19、碳納米管層20 上抗壓密封平板21、陽極方形膜層22、陽極銀連線層23、熒光粉層24、消氣劑25、透明玻璃框26、支撐柱27。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明,但本發(fā)明并不局限于本實施例。
本實施例的前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器如圖1、圖2和圖3所示,包括由上抗壓密封平板、下抗壓密封平板1和透明玻璃框26所構(gòu)成的真空室;在上抗壓密封平板上有陽極方形膜層22、與陽極方形膜層22相連的陽極銀連線層23以及制備在陽極方形膜層22上面的熒光粉層24;在下抗壓密封平板1上有前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu);位于真空室內(nèi)的消氣劑25和支撐柱27附屬元件。
前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)包括下抗壓密封平板1、模糊隔離層2、陰極銀連線層3、陰極柱臺底層4、陰極豎直連接層5、陰極中間傳導(dǎo)夾層6、陰極下傳導(dǎo)條層7、陰極柱臺頂層8、陰極上傳導(dǎo)條層9、陰極紋波電極下層10、陰極紋波電極上層11、門極臺底下層12、門極平凹電極一層13、門極平凹電極二層14、門極臺底中層15、門極平凹電極三層16、門極臺底外層17、門極銀連線層18、門極臺底三層19和碳納米管層部分。
前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃,可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃,也就是下抗壓密封平板1;下抗壓密封平板1上的印刷的絕緣漿料層形成模糊隔離層2;模糊隔離層2上的印刷的銀漿層形成陰極銀連線層3;陰極銀連線層3上的印刷的絕緣漿料層形成陰極柱臺底層4;陰極柱臺底層4為圓臺形狀,即:陰極柱臺底層4的上、下表面均為圓面,陰極柱臺底層4的上表面半徑與下表面半徑相等,陰極柱臺底層4的外側(cè)面為向外凸起的類半圓弧面;陰極柱臺底層4中存在方形孔,方形孔內(nèi)印刷的銀漿層形成陰極豎直連接層5;陰極豎直連接層5和陰極銀連線層3相互連通;陰極柱臺底層4上表面的印刷的銀漿層形成陰極中間傳導(dǎo)夾層6;陰極中間傳導(dǎo)夾層6為圓面形狀、位于陰極柱臺底層4上表面上,陰極中間傳導(dǎo)夾層6的圓面外邊緣與陰極柱臺底層4的上表面外邊緣重合;陰極中間傳導(dǎo)夾層6和陰極豎直連接層5相互連通;陰極柱臺底層4外側(cè)面上的印刷的銀漿層形成陰極下傳導(dǎo)條層7;陰極下傳導(dǎo)條層7為條狀,位于陰極柱臺底層4外側(cè)面上;陰極下傳導(dǎo)條層7的上端和陰極中間傳導(dǎo)夾層6相連接,陰極下傳導(dǎo)條層7的下端朝向陰極柱臺底層4下表面方向;陰極下傳導(dǎo)條層7和陰極中間傳導(dǎo)夾層6相互連通;陰極中間傳導(dǎo)夾層6上的印刷的絕緣漿料層形成陰極柱臺頂層8;陰極柱臺頂層8為弧面圓錐形狀,即:陰極柱臺頂層8的下表面為圓面,陰極柱臺頂層8下表面外邊緣和陰極中間傳導(dǎo)夾層6的圓面外邊緣重合,陰極柱臺頂層8的錐尖位于陰極柱臺頂層8中心垂直軸線上,陰極柱臺頂層8中心垂直軸線和陰極柱臺底層4中心垂直軸線重合,陰極柱臺頂層8的外側(cè)面為向外凸起的彎弧面;陰極柱臺頂層8外側(cè)面上的印刷的銀漿層形成陰極上傳導(dǎo)條層9;陰極上傳導(dǎo)條層9為條狀,位于陰極柱臺頂層8外側(cè)面上;陰極上傳導(dǎo)條層9的上端朝向陰極柱臺頂層8錐尖方向,陰極上傳導(dǎo)條層9的下端和陰極中間傳導(dǎo)夾層6相連接;陰極上傳導(dǎo)條層9和陰極中間傳導(dǎo)夾層6相互連通;陰極柱臺底層4外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極紋波電極下層10;陰極紋波電極下層10覆蓋于陰極下傳導(dǎo)條層7下端上、且和陰極下傳導(dǎo)條層7相互連通;陰極紋波電極下層10呈現(xiàn)閉合的凸面紋波邊環(huán)面形狀、環(huán)繞在陰極柱臺底層4外側(cè)面上,陰極紋波電極下層10的環(huán)面上邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極中間傳導(dǎo)夾層6方向但不與陰極中間傳導(dǎo)夾層6相接觸,陰極紋波電極下層10的環(huán)面下邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極柱臺底層4下表面方向;陰極柱臺頂層8外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極紋波電極上層11;陰極紋波電極上層11覆蓋于陰極上傳導(dǎo)條層9上端上、且和陰極上傳導(dǎo)條層9相互連通;陰極紋波電極上層11呈現(xiàn)閉合的凸面紋波邊環(huán)面形狀、環(huán)繞在陰極柱臺頂層8外側(cè)面上,陰極紋波電極上層11的環(huán)面上邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極柱臺頂層8錐尖方向,陰極紋波電極上層11的環(huán)面下邊緣為凸面紋波邊型、朝向陰極中間傳導(dǎo)夾層6方向但不與陰極中間傳導(dǎo)夾層6相接觸;模糊隔離層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底下層12;門極臺底下層12的下表面為平面,位于模糊隔離層2上;門極臺底下層12中存在圓形孔,圓形孔中暴露出陰極紋波電極上層11、陰極紋波電極下層10、陰極柱臺頂層8、陰極柱臺底層4、陰極上傳導(dǎo)條層9和陰極下傳導(dǎo)條層7;門極臺底下層12中圓形孔在門極臺底下層12上、下表面形成的截面為中空圓面,圓形孔的內(nèi)側(cè)壁為垂直于下抗壓密封平板1的圓筒面;門極臺底下層12上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極一層13;門極平凹電極一層13為平直的平面形、位于門極臺底下層12上表面上靠近圓形孔位置;門極臺底下層12上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極二層14;門極平凹電極二層14為向內(nèi)凹陷的凹面形狀、位于門極臺底下層12上表面遠離圓形孔位置;門極平凹電極一層13的高度與門極平凹電極二層14的最低高度相同、且門極平凹電極一層13和門極平凹電極二層14相互連通;門極平凹電極一層13和門極平凹電極二層14上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底中層15;門極臺底中層15上表面的印刷的銀漿層形成門極平凹電極三層16;門極平凹電極三層16為平直的平面形、位于門極臺底中層15上表面上,門極平凹電極三層16和門極平凹電極一層13相互平行,門極平凹電極三層16的高度不高于門極平凹電極二層14的最高高度,門極平凹電極三層16和門極平凹電極二層14相互連通;模糊隔離層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底外層17;門極臺底外層17的下表面為平面,位于模糊隔離層2上;門極臺底外層17上表面的印刷的銀漿層形成門極銀連線層18;門極銀連線層18和門極平凹電極二層14相互連通;門極平凹電極二層14和門極平凹電極三層16上的印刷的絕緣漿料層形成門極臺底三層19;碳納米管制備在陰極紋波電極上層11和陰極紋波電極下層10上。
前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下抗壓密封平板1;陰極紋波電極上層11可以為金屬銀、鋁、銅、鎳、鉬、鉻;陰極紋波電極下層10可以為金屬銀、鋁、銅、鎳、鉬、鉻。
本實施例的帶有前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝如下:
1)下抗壓密封平板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成下抗壓密封平板;
2)模糊隔離層的制作:在下抗壓密封平板上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成模糊隔離層;
3)陰極銀連線層的制作:在模糊隔離層上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀連線層;
4)陰極柱臺底層的制作:在陰極銀連線層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極柱臺底層;
5)陰極豎直連接層的制作:在陰極柱臺底層的方形孔內(nèi)印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極豎直連接層;
6)陰極中間傳導(dǎo)夾層的制作:在陰極柱臺底層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極中間傳導(dǎo)夾層;
7)陰極下傳導(dǎo)條層的制作:在陰極柱臺底層外側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極下傳導(dǎo)條層;
8)陰極柱臺頂層的制作:在陰極中間傳導(dǎo)夾層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極柱臺頂層;
9)陰極上傳導(dǎo)條層的制作:在陰極柱臺頂層外側(cè)面上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極上傳導(dǎo)條層;
10)陰極紋波電極下層的制作:在陰極柱臺底層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極紋波電極下層;
11)陰極紋波電極上層的制作:在陰極柱臺頂層外側(cè)面上制備出一個金屬鎳層,刻蝕后形成陰極紋波電極上層;
12)門極臺底下層的制作:在模糊隔離層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底下層;
13)門極平凹電極一層的制作:在門極臺底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極一層;
14)門極平凹電極二層的制作:在門極臺底下層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極二層;
15)門極臺底中層的制作:在門極平凹電極一層和門極平凹電極二層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底中層;
16)門極平凹電極三層的制作:在門極臺底中層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極平凹電極三層;
17)門極臺底外層的制作:在模糊隔離層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底外層;
18)門極銀連線層的制作:在門極臺底外層上表面印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀連線層;
19)門極臺底三層的制作:在門極平凹電極二層和門極平凹電極三層上印刷絕緣漿料,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極臺底三層;
20)前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的清潔:對前雙平直后凹型門控凸面上下紋波邊陰極結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理,除掉雜質(zhì)和灰塵;
21)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極紋波電極上層和陰極紋波電極下層上,形成碳納米管層;
22)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理,改善其場發(fā)射特性;
23)上抗壓密封平板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割,形成上抗壓密封平板;
24)陽極方形膜層的制作:對覆蓋于上抗壓密封平板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕,形成陽極方形膜層;
25)陽極銀連線層的制作:在上抗壓密封平板上印刷銀漿,經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀連線層;是在上抗壓密封平板的非顯示區(qū)域印刷銀漿,經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度:150oC,最高烘烤溫度保持時間:5分鐘)之后,放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度:532 oC,最高燒結(jié)溫度保持時間:10分鐘);
26)熒光粉層的制作:在陽極方形膜層上印刷熒光粉,經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層;是在上抗壓密封平板的陽極方形膜層上印刷熒光粉,然后放置在烘箱中進行烘烤(最高烘烤溫度:135oC,最高烘烤溫度保持時間:8分鐘);
27)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝固定在上抗壓密封平板的非顯示區(qū)域;然后,將上抗壓密封平板、下抗壓密封平板、透明玻璃框和支撐柱裝配到一起,用夾子固定;
28)顯示器器件封裝:對已經(jīng)裝配的顯示器器件進行如下的封裝工藝:將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑進行烤消,最后加裝管腳形成成品件。