本實用新型涉及輔助更換燈泡的裝置，具體涉及一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置。

背景技術：

目前300mm半導體晶圓生產(chǎn)技術中，有一種機臺稱之為快速熱處理設備，這種設備主要是給晶圓在生產(chǎn)中加熱到一定的制程溫度，產(chǎn)生高溫的反應腔體包含有409顆燈泡，通過給燈泡加電發(fā)光產(chǎn)生熱量，然后作用到晶圓的表面上，溫度的高低控制由溫度檢測探針反饋給溫度控制器，再由燈泡驅(qū)動器及時分配功率給相對應區(qū)域的燈泡，從而使整個晶圓表面的溫度達到一致，滿足制程工藝所需要的設定制程溫度。

眾所周知，燈泡是耗材，有一定的使用壽命，當燈泡壞的時候需要更換，往往要從眾多燈泡中找出一個或者若干個壞的出來更換新的燈泡，正常的操作流程是通過燈泡設計圖紙的對應位置去找反應腔體對應的位置，這樣的話耽誤時間而且容易看錯位置，基于這種困擾，有必要開發(fā)一種工具既方便又快捷的尋找出壞的燈泡輔助更換新的燈泡。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置，具既方便又快捷的尋找出壞的燈泡并更換新的燈泡。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置，晶圓快速熱處理設備中設有反應腔體，所述反應腔體中分布安裝有產(chǎn)生熱量的多個燈泡，包括平板罩子，所述平板罩子與所述反應腔體的形狀和大小相匹配，所述平板罩子上設有多個圓孔，所述圓孔的個數(shù)與所述燈泡的個數(shù)相同，多個所述圓孔在所述平板罩子上分布的位置分別與多個所述燈泡在所述反應腔體中分布的位置一一對應，且任意相鄰兩個所述圓孔之間的距離與相對應的兩個所述燈泡之間的距離相等。

本實用新型的有益效果是：本實用新型一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置設計一個與反應腔體1:1的裝置模具，通過裝置模具的對應位置去找反應腔對應的位置，這樣可以方便又快捷的尋找出壞的燈泡更換新的燈泡，維修設備效率大大提高，給生產(chǎn)線增加產(chǎn)能提供一定的貢獻。

在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。

進一步，所述平板罩子為圓形結構，且由透明塑料材料構成。

采用上述進一步方案的有益效果是：平板罩子由透明材料構成，方便觀察反應腔體中燈泡，方便快速尋找壞的燈泡。

進一步，所述平板罩子的厚度為3mm。

進一步，所述平板罩子的半徑范圍為300～500mm。

進一步，所述平板罩子的半徑為400mm。

進一步，所述燈泡的個數(shù)范圍為300～500顆。

進一步，所述圓的個數(shù)范圍為300～500個。

進一步，所述燈泡設有409顆。

進一步，所述圓孔設有409個。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術中晶圓快速熱處理設備中反應腔體的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置的結構示意圖。

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1、反應腔體，2、燈泡，3、平板罩子，4、圓孔。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。

如圖1所示，現(xiàn)有技術中，晶圓快速熱處理設備中設有反應腔體1，所述反應腔體1中分布安裝有產(chǎn)生熱量的多個燈泡2，在本具體實施例中安裝有409顆燈泡2，當其中的一個或若干個燈泡2壞的時候需要進行更換，往往要從眾多燈泡2中找出一個或者若干個壞的出來更換新的燈泡2，正常的操作流程是通過燈泡設計圖紙的對應位置去找反應腔體1對應的位置，這樣的話耽誤時間而且容易看錯位置。

本實用新型為了解決上述缺陷，提出如下方案的具體實施例：

如圖2所示，一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置，包括平板罩子3，所述平板罩子3與所述反應腔體1的形狀和大小相匹配，所述平板罩子3上設有多個圓孔4，所述圓孔4的個數(shù)與所述燈泡2的個數(shù)相同，多個所述圓孔4在所述平板罩子3上分布的位置分別與多個所述燈泡2在所述反應腔體1中分布的位置一一對應，且任意相鄰兩個所述圓孔4之間的距離與相對應的兩個所述燈泡2之間的距離相等。也就是說本實用新型一種輔助更換晶圓快速熱處理設備中燈泡的裝置是以反應腔體1為模型而設計的1：1的模具。

具體的：所述平板罩子由透明塑料材料構成；所述平板罩子3的厚度為3mm；所述平板罩子3的半徑范圍為300～500mm，優(yōu)選的，所述平板罩子3的半徑為400mm；所述燈泡2的個數(shù)范圍為300～500顆；所述圓孔4的個數(shù)范圍為300～500個；基于反應腔體1內(nèi)的燈泡2設有409顆，所述圓孔4也設有409個，每一個圓孔代表一顆燈泡。

當反應腔體1內(nèi)有燈泡2損壞時，將平板罩子3罩設在反應腔體1上，每個燈泡2均位于對應的圓孔4中,然后使燈泡2通電發(fā)光，通過觀察圓孔4中燈泡2的亮暗情況，標記出損壞的燈泡2所對應圓孔4的位置，接著使燈泡2斷電，按照圓孔4標記的位置，可以方便、快捷的尋找出壞的燈泡2并更換新的燈泡2。

本實用新型一種輔助更換晶圓快速熱處理設備可以方便又快捷的尋找出壞的燈泡更換新的燈泡，維修設備效率大大提高，給生產(chǎn)線增加產(chǎn)能提供一定的貢獻。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。