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一種具有變截面激光晶體的激光器的制作方法

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一種具有變截面激光晶體的激光器的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及一種激光器,尤其涉及一種具有變截面激光晶體的激光器。



背景技術(shù):

隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,激光器已成為工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)探測(cè)、現(xiàn)代軍事等領(lǐng)域不可或缺的重要工具。光束質(zhì)量是激光器的一項(xiàng)重要指標(biāo),是激光束定向傳輸能力或聚焦焦斑能量集中程度的度量標(biāo)準(zhǔn),因此在實(shí)際應(yīng)用中,具有變截面激光晶體的激光一直是行業(yè)追求的方向。但隨著激光器輸出功率的增加,熱效應(yīng)等因素會(huì)逐漸放大,從而影響光束質(zhì)量,因此高功率與高光束質(zhì)量是對(duì)立存在的,是激光器研發(fā)制作中必須衡量的一個(gè)問(wèn)題。

目前激光器生產(chǎn)企業(yè)中常規(guī)的做法是通過(guò)增加工作物質(zhì)即激光晶體的長(zhǎng)度減少熱梯度造成的光束質(zhì)量劣化程度,從而獲得具有高功率與高光束質(zhì)量的激光。但該方法增加了激光器的腔長(zhǎng),制約了激光器向小型化集成化發(fā)展,并提高了激光器的生成成本和周期,增加了調(diào)試難度,降低了企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型提供了一種具有變截面激光晶體的激光器,采用具有軸向變截面的激光晶體,且激光晶體側(cè)面鍍有對(duì)泵浦光的全反膜,使泵浦光在激光晶體內(nèi)部經(jīng)過(guò)數(shù)次反射后被充分吸收,增強(qiáng)激光晶體的儲(chǔ)能性及泵浦光的轉(zhuǎn)換效率;在激光輸出功率相同的條件下,縮短激光晶體長(zhǎng)度,降低摻雜濃度和熱梯度,改善熱透鏡效應(yīng),提高光束質(zhì)量,獲得具有變截面激光晶體的激光。

為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):

一種具有變截面激光晶體的激光器,包括沿光路依次設(shè)置的光纖耦合系統(tǒng)、前腔鏡、激光晶體、聲光調(diào)Q裝置和后腔鏡;所述光纖耦合系統(tǒng)由泵浦源、傳輸光纖和聚焦耦合系統(tǒng)組成;激光晶體的兩端大小不等且沿軸向具有均勻過(guò)渡的變截面,其中小端一側(cè)置于光路前端;激光晶體外表面均為拋光面,兩端面分別鍍有對(duì)于泵浦光和基頻光的增透膜,激光晶體側(cè)表面鍍有對(duì)于泵浦光的高反膜。

所述激光晶體的形狀為圓臺(tái)、棱臺(tái)或梯形體。

所述激光晶體的兩端面平行或具有一個(gè)夾角,夾角≤5°。

所述泵浦源為中心波長(zhǎng)為808nm、880nm、914nm、938nm、940nm或946nm的泵浦源。

所述激光晶體為Nd:YAG晶體、Nd:YVO4晶體、Nd:GGG晶體、Nd:YLF晶體、Nd:GdVO4晶體、Nd:YAP晶體、Nd:LuvO4晶體或Yb:YAG晶體。

所述前腔鏡、后腔鏡為平透鏡、凹透鏡或凸透鏡。

激光器的腔型為直腔、V型腔、L型腔、Z型腔或環(huán)型腔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:

工作物質(zhì)為圓臺(tái)狀,側(cè)面有一定的小角度,防止自激出光。

1)激光晶體具有軸向變截面,可防止自激出光;激光晶體側(cè)面的全反膜可以令泵浦光在晶體中多次反射,使泵浦光充分吸收,增強(qiáng)儲(chǔ)能性能,提高泵浦光轉(zhuǎn)換效率;

2)解決了摻雜濃度過(guò)低導(dǎo)致泵浦光吸收不充分的問(wèn)題,在激光輸出功率相同的條件下,降低摻雜濃度和熱梯度,改善熱透鏡效應(yīng),提高光束質(zhì)量,為獲得具有變截面激光晶體的激光提供了新的途徑;

3)有利于縮短激光晶體的長(zhǎng)度,并縮短所需晶體生成時(shí)間;壓縮激光諧振腔腔長(zhǎng),減小激光器尺寸;降低機(jī)械成本,提高效益,推進(jìn)固體激光器的小型化集成化進(jìn)程;

4)增加了激光晶體的傳熱面積,一定程度上降低了控溫難度;激光穩(wěn)定性提高,降低了設(shè)計(jì)難度,且安裝調(diào)試簡(jiǎn)單,便于工程化推廣。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型所述泵浦光在激光晶體內(nèi)反射路徑示意圖。

圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1.光纖耦合系統(tǒng)2.前腔鏡3.激光晶體4.聲光調(diào)Q裝置5.后腔鏡6.0°HR1064HT532透鏡7.倍頻晶體8.后腔鏡全反鏡9.45°全反鏡10.和頻晶體11.0°HR 1064&532HT355透鏡

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明:

見(jiàn)圖1,是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖,本實(shí)用新型所述一種具有變截面激光晶體的激 光器,包括沿光路依次設(shè)置的光纖耦合系統(tǒng)1、前腔鏡2、激光晶體3、聲光調(diào)Q裝置4和后腔鏡5;所述光纖耦合系統(tǒng)1由泵浦源、傳輸光纖和聚焦耦合系統(tǒng)組成;激光晶體3的兩端大小不等且沿軸向具有均勻過(guò)渡的變截面,其中小端一側(cè)置于光路前端;激光晶體3的外表面均為拋光面,兩端面分別鍍有對(duì)于泵浦光和基頻光的增透膜,激光晶體3側(cè)表面鍍有對(duì)于泵浦光的高反膜。

所述激光晶體3的形狀為圓臺(tái)、棱臺(tái)或梯形體。

所述激光晶體3的兩端面平行或具有一個(gè)夾角,夾角≤5°。

所述泵浦源為中心波長(zhǎng)為808nm、880nm、914nm、938nm、940nm或946nm的泵浦源。

所述激光晶體3為Nd:YAG晶體、Nd:YVO4晶體、Nd:GGG晶體、Nd:YLF晶體、Nd:GdVO4晶體、Nd:YAP晶體、Nd:LuvO4晶體或Yb:YAG晶體。

所述前腔鏡2、后腔鏡5為平透鏡、凹透鏡或凸透鏡。

激光器的腔型為直腔、V型腔、L型腔、Z型腔或環(huán)型腔。

本實(shí)用新型采用的激光晶體3不是常規(guī)的圓柱體,而是軸向具有漸變截面的圓臺(tái)、棱臺(tái)或梯形體,激光晶體3的側(cè)面具有一個(gè)小的傾斜角,防止自激出光。激光晶體側(cè)面的全反膜可以令泵浦光在晶體中多次反射,使泵浦光充分吸收,增強(qiáng)儲(chǔ)能性能,提高泵浦光轉(zhuǎn)換效率。(如圖2所示)

本實(shí)用新型所述一種具有變截面激光晶體的激光器的工作原理是:泵浦源產(chǎn)生的泵浦光由傳輸光纖射出,經(jīng)過(guò)聚焦耦合系統(tǒng)(耦合透鏡)后聚焦在激光晶體3上,激光晶體3受激輻射出光,光通過(guò)聲光調(diào)Q裝置4后,由后腔鏡5輸出,前腔鏡2(圖1中為0°全反透鏡),與后腔鏡5(圖1中為0°全反透鏡)構(gòu)成諧振腔,使激光穩(wěn)定輸出。該激光器結(jié)構(gòu)緊湊,裝校簡(jiǎn)單,方便量化生產(chǎn)。

專利申請(qǐng)?zhí)枮?00920153040.4(申請(qǐng)日為2009年5月27日)的中國(guó)專利公開(kāi)了一種“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”,包括多個(gè)激光二極管,一個(gè)圓形凸透鏡以及圓臺(tái)形增益介質(zhì)。所述圓臺(tái)形增益介質(zhì)的具有較大面積的截面位于圓形凸透鏡一側(cè)(激光入射端),增益介質(zhì)與圓形凸透鏡以接觸的方式放置。所述圓臺(tái)形增益介質(zhì)的具有較大面積的截面上鍍有泵浦光透射且對(duì)增益介質(zhì)內(nèi)產(chǎn)生的激光反射的光學(xué)薄膜,圓臺(tái)表增益介質(zhì)的具有較小面積的截面上鍍有對(duì)增益介質(zhì)內(nèi)產(chǎn)生的激光半透半反的光學(xué)薄膜,以此來(lái)形成諧振腔。

“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”專利中雖然采用了圓臺(tái)形增益介質(zhì),但其工作原理及作用及本實(shí)用新型所述激光晶體3完全不同,具體區(qū)別如下:

1)本實(shí)用新型中,激光晶體3側(cè)面鍍有泵浦光全反膜,令泵浦光在激光晶體3中反射,使泵浦光被充分吸收增加激光晶體3儲(chǔ)能性能,提高泵浦光轉(zhuǎn)換效率;而“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”所述圓臺(tái)形增益介質(zhì)只在兩端鍍膜。

2)本實(shí)用新型中的泵浦光是由激光晶體3小端入射,大端出射;而“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”中,激光光源是從圓臺(tái)形增益介質(zhì)大端入射。本實(shí)用新型從小端入射時(shí),由朗格拉日不變量可知,泵浦光入射到激光晶體3再出射的過(guò)程可以由公式表示為:

nuy=n1u1y1=n2u2y2;

上式中:

n、n1、n2分別表示激光所在介質(zhì)的折射率,即空氣折射率n,激光介質(zhì)折射率n1,空氣折射率n2;

u、u1、u2分別表示激光在激光晶體入射端、激光晶體內(nèi)和激光晶體出射端光束發(fā)散角;

y、y1、y2分別表示激光在激光晶體入射端、激光晶體內(nèi)和激光晶體出射端光束邊緣光到光軸的距離;

假設(shè)所用激光晶體為Nd:YAG,各個(gè)折射率分別為n=1,n1=1.81,n2=1;本實(shí)用新型中y、y1、y2,相當(dāng)于激光晶體3端面高度的一半,則y2>y1>y>1;

綜上可知u2<u,因此本實(shí)用新型采用從激光晶體3小端入射的方式,有利于壓縮泵浦光發(fā)散角,進(jìn)而達(dá)到提高光束質(zhì)量,獲得具有變截面激光晶體的激光的實(shí)用新型目的。

3)本實(shí)用新型中的激光晶體3包括兩端大小不等且沿軸向具有均勻過(guò)渡的變截面的所有形狀,如圓臺(tái)、棱臺(tái)或梯形體。而“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”中的圓臺(tái)形增益介質(zhì)很明顯形狀只能為圓臺(tái)形。

4)本實(shí)用新型中采用特殊形狀及表面全鍍膜的激光晶體3的作用是使泵浦光在激光晶體3內(nèi)部經(jīng)過(guò)數(shù)次反射后被充分吸收,增強(qiáng)激光晶體3的儲(chǔ)能性及泵浦光的轉(zhuǎn)換效率;在激光輸出功率相同的條件下,縮短激光晶體3長(zhǎng)度,降低摻雜濃度和熱梯度,改善熱透鏡效應(yīng),提高光束質(zhì)量,獲得具有變截面激光晶體的激光;而“倍頻晶體和光纖泵浦裝置的固體激光器”中采用圓臺(tái)形增益介質(zhì)的作用是提高泵浦的均勻性,降低增益介質(zhì)的溫度差及由此帶來(lái)的各種影響。

以下實(shí)施例在以本實(shí)用新型技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施,給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過(guò)程,但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。下述實(shí)施例中所用方法如無(wú)特別說(shuō)明均為常規(guī)方法。

【實(shí)施例1】

如圖3所示,是基于本實(shí)用新型基本結(jié)構(gòu)的一種激光器形式,808nm泵浦光由光纖耦合系統(tǒng)1出射并聚焦在3Nd:YVO4激光晶體3上;激光晶體3受激輻射出1064nm的基頻光,1064nm基頻光通過(guò)聲光調(diào)Q裝置4調(diào)制。

本實(shí)施例中,前腔鏡2為45°全反鏡9,將直腔變換成折疊腔;再利用0°HR1064HT532透鏡6折疊光路,與后腔鏡全反鏡8構(gòu)成諧振腔,利用倍頻晶體7,將1064nm的基頻光倍頻為532nm的綠光,由0°HR1064HT532透鏡6輸出。

本實(shí)施例中,因基頻光光束質(zhì)量高,能量密度高,所以光-光轉(zhuǎn)化效率提高,損耗少,最終得到的532nm激光,其脈寬窄,峰值功率高,光束質(zhì)量好,有利于工業(yè)加工應(yīng)用。

【實(shí)施例2】

如圖4所示,本實(shí)施便中,在【實(shí)施例2】的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上,在倍頻晶體7前加上和頻晶體9,將0°HR1064HT532透鏡6替換為0°HR1064&532HT355透鏡11,將1064nm的光通過(guò)倍頻和頻后得到355nm紫外光。

本實(shí)施例得到的紫外光有波長(zhǎng)短、易聚焦、能量高、模式好等優(yōu)點(diǎn),是微細(xì)鉆孔,激光刻劃的理想激光光源;該光源在超高密度光驅(qū),精密材料加工,光印刷等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

以上所述,僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式,但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其構(gòu)思加以等同替換或改變,都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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