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一種硅棒粘接自動化生產(chǎn)線的制作方法

文檔序號:12065911閱讀:187來源:國知局
一種硅棒粘接自動化生產(chǎn)線的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于自動化生產(chǎn)線技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種自動化程度高,勞動強度低,可有效提高生產(chǎn)效率,實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)的硅棒粘接自動化生產(chǎn)線。



背景技術(shù):

由于單晶硅是制造半導體硅器件的原料,其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等,是當代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的支柱;并且綠色環(huán)保,在未來具有非常廣闊的前景,從而使得硅棒加工生產(chǎn)成為了新型熱門行業(yè)。在硅棒生產(chǎn)加工過程中,必須要先將晶托上料,然后對晶托進行清洗、涂膠、上玻璃并且壓緊,清洗多余的膠水以及其他雜物;再進行涂膠、放硅棒,最終將晶托下料,對硅棒進行切割。

現(xiàn)階段的半導體硅器件原料生產(chǎn)廠,大多以人工操作來完成硅棒的加工。這種人工操作的作業(yè)方式,浪費勞動力,作業(yè)人員勞動強度大,并且生產(chǎn)效率極低,無法保證生產(chǎn)節(jié)奏,嚴重影響連續(xù)化生產(chǎn)。另外,硅棒粘接工藝中涂膠、酒精擦拭及底劑涂抹等工序,不但需要很大的操作空間,而且長期操作這些化學制劑,對人體存在一定的危害性。故有必要對現(xiàn)有技術(shù)的硅棒粘接生產(chǎn)線進行改進。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明就是針對上述問題,提供一種自動化程度高,勞動強度低,可有效提高生產(chǎn)效率,實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)的硅棒粘接自動化生產(chǎn)線。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:該硅棒粘接自動化生產(chǎn)線包括傳送線和運輸托盤,其特征在于:沿所述傳送線的輸送方向依次設(shè)置有晶托自動上料單元,晶托清洗單元,晶托涂膠單元,玻璃自動上料單元,玻璃壓緊單元,玻璃清洗單元,玻璃在線涂膠單元,硅棒自動上料單元和自動下料單元;所述晶托自動上料單元包括滑移上料裝置,智能移栽裝置和機架Ⅰ,智能移栽裝置設(shè)置在機架Ⅰ上部,滑移上料裝置和傳送線分別布置在機架Ⅰ的兩側(cè),機架Ⅰ的中部設(shè)置有自動對中裝置,傳送線的下方設(shè)置有頂升裝置;所述晶托清洗單元包括機架Ⅱ,傳送線布置在機架Ⅱ的中部,傳送線上方設(shè)置有移動機構(gòu),移動機構(gòu)上設(shè)置有清洗噴底劑機構(gòu),傳送線的下方設(shè)置有升降裝置Ⅰ;所述晶托涂膠單元包括機架Ⅲ,傳送線布置在機架Ⅲ的中部,傳送線上方設(shè)置有直角坐標機械手,傳送線的下方設(shè)置有升降裝置Ⅱ;所述玻璃自動上料單元包括雙工位玻璃上料裝置,上料機械手和機架Ⅳ,上料機械手設(shè)置在機架Ⅳ上部,雙工位玻璃上料裝置和傳送線分別布置在機架Ⅳ的兩側(cè),機架Ⅳ的中部設(shè)置有玻璃清洗裝置,玻璃清洗裝置的下方設(shè)置有頂升玻璃裝置,頂升玻璃裝置和傳送線之間設(shè)置有玻璃翻轉(zhuǎn)裝置;所述玻璃壓緊單元包括機架Ⅴ,傳送線布置在機架Ⅴ的中部,傳送線上方設(shè)置有玻璃壓緊機構(gòu),傳送線下方設(shè)置有升降裝置Ⅲ;所述玻璃清洗單元的結(jié)構(gòu)與晶托清洗單元相同;所述玻璃在線涂膠單元包括設(shè)置在傳送線上方的涂膠直線模組;所述硅棒自動上料單元包括上料傳輸裝置,雙夾爪移栽裝置和機架Ⅵ,雙夾爪移栽裝置設(shè)置在機架Ⅵ上部,上料傳輸裝置和傳送線分別布置在機架Ⅵ的兩側(cè),機架Ⅵ的中部設(shè)置有硅棒清潔裝置,硅棒清潔裝置的下方設(shè)置有硅棒翻轉(zhuǎn)裝置,傳送線的下方設(shè)置有舉升定位裝置;所述自動下料單元包括移栽平臺,移栽機械手和機架Ⅶ,移栽機械手設(shè)置在機架Ⅶ上部,所述移栽平臺和傳送線分別布置在機架Ⅶ的兩側(cè)。

所述傳送線是由上層傳送線和下層傳送線構(gòu)成雙層傳輸線體,上層傳送線與下層傳送線平行布置,傳送線的兩端分別設(shè)置有托盤升降機。

所述晶托自動上料單元的滑移上料裝置包括上料導軌Ⅰ,上料導軌Ⅰ上設(shè)置有滑移底盤,滑移底盤的下部設(shè)置有滑移氣缸,滑移底盤上設(shè)置有定位塊Ⅰ;所述智能移栽裝置包括移動平臺Ⅰ,移動平臺Ⅰ通過下部設(shè)置的平移機構(gòu)Ⅰ布置在機架Ⅰ頂部的橫梁上,平移機構(gòu)Ⅰ的驅(qū)動端與平移電機Ⅰ相連,移動平臺Ⅰ中部的開孔處設(shè)置有豎直布置的升降導桿Ⅰ,升降導桿Ⅰ上設(shè)置有升降機構(gòu)Ⅰ,升降機構(gòu)Ⅰ的驅(qū)動端與升降電機Ⅰ相連;升降導桿Ⅰ的下端設(shè)置有電磁吸盤;所述自動對中裝置包括對中架體,對中架體的一側(cè)設(shè)置有正面對中機構(gòu),正面對中機構(gòu)包括正面對中氣缸,正面對中氣缸的伸縮端設(shè)置有長條形的正面對中推板,正面對中推板的兩端分別設(shè)置有導向機構(gòu);對中架體的一端設(shè)置有側(cè)面對中機構(gòu),側(cè)面對中機構(gòu)包括側(cè)面對中氣缸,側(cè)面對中氣缸的伸縮端設(shè)置有側(cè)面對中推板;對中架體上與正面對中機構(gòu)相對的一側(cè)設(shè)置有正面固定擋塊,對中架體上與側(cè)面對中機構(gòu)相對的一側(cè)設(shè)置有側(cè)面固定擋塊;所述頂升裝置包括頂升板,頂升板上設(shè)置有豎直布置的對中錐形釘,頂升板的兩端設(shè)置有擋停機構(gòu)Ⅰ,頂升板的下部設(shè)置有定位頂升機構(gòu),定位頂升機構(gòu)的驅(qū)動端與頂升氣缸相連。

所述玻璃自動上料單元的雙工位玻璃上料裝置,包括上料導軌Ⅱ,上料導軌Ⅱ上設(shè)置有移動底盤,移動底盤的下部設(shè)置有移位氣缸,移動底盤上設(shè)置有定位塊;所述上料機械手包括移動平臺Ⅱ,移動平臺Ⅱ通過下部設(shè)置的平移機構(gòu)Ⅱ布置在機架Ⅳ頂部的橫梁上,平移機構(gòu)Ⅱ的驅(qū)動端與平移電機Ⅱ相連,移動平臺Ⅱ中部的開孔處設(shè)置有豎直布置的升降導桿Ⅱ,升降導桿Ⅱ上設(shè)置有升降機構(gòu)Ⅱ,升降機構(gòu)Ⅱ的驅(qū)動端與升降電機Ⅱ相連;升降導桿Ⅱ的下端設(shè)置有抓取吸盤,抓取吸盤的抽真空端與真空發(fā)生器相連;所述玻璃清洗裝置包括清洗支架,清洗支架下部設(shè)置有絲杠滑軌機構(gòu),絲杠滑軌機構(gòu)的驅(qū)動端與滑動清洗電機相連;清洗支架上部設(shè)置有兩個平行布置的氣脹軸,氣脹軸沿著與清洗支架移動方向相垂直的水平方向布置,其中一個氣脹軸的驅(qū)動端與卷取電機相連;兩個氣脹軸的下方設(shè)置有過渡輥機構(gòu)和毛刷機構(gòu),過渡輥機構(gòu)的兩側(cè)分別設(shè)置有酒精霧化噴嘴和底劑霧化噴嘴;所述頂升玻璃裝置包括清洗頂升機構(gòu),清洗頂升機構(gòu)位于玻璃清洗裝置毛刷機構(gòu)的下方,清洗頂升機構(gòu)的兩端分別設(shè)置有歸正機構(gòu);所述玻璃翻轉(zhuǎn)裝置包括翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸,翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸布置在頂升玻璃裝置靠近傳送線的一側(cè)、并位于清洗頂升機構(gòu)的下方,翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸的兩端分別設(shè)置有翻轉(zhuǎn)吸盤,翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動端與翻轉(zhuǎn)電機相連。

所述硅棒自動上料單元的上料傳輸裝置,包括傳輸機構(gòu),傳輸機構(gòu)的前端設(shè)置有上料限位機構(gòu),傳輸機構(gòu)的兩側(cè)分別設(shè)置有擋邊;所述雙夾爪移栽裝置包括連接平臺,連接平臺通過下部設(shè)置的水平移動機構(gòu)布置在機架Ⅵ頂部的橫梁上,水平移動機構(gòu)的驅(qū)動端與平移氣缸相連,連接平臺上沿著平臺的移動方向、分別設(shè)置有豎直布置的第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu),第一升降機構(gòu)的驅(qū)動端與第一升降氣缸相連,第二升降機構(gòu)的驅(qū)動端與第二升降氣缸相連;第一升降機構(gòu)的下端設(shè)置有第一夾爪,第二升降機構(gòu)的下端設(shè)置有第二夾爪,第二夾爪與第二升降機構(gòu)之間還設(shè)置有直線擺放模組,直線擺放模組沿著與連接平臺移動方向相垂直的水平方向布置;所述硅棒翻轉(zhuǎn)裝置包括分別布置在兩端的固定軸承座和移動軸承座,移動軸承座與夾緊氣缸相連,夾緊氣缸的一側(cè)設(shè)置有位移傳感器,移動軸承座下部設(shè)置有夾緊滑軌機構(gòu),固定軸承座與旋轉(zhuǎn)氣缸的輸出端相連;固定軸承座和移動軸承座之間設(shè)置有頂升機構(gòu);所述硅棒清潔裝置包括清潔支架,清潔支架下部設(shè)置有絲杠滑軌機構(gòu),絲杠滑軌機構(gòu)的驅(qū)動端與滑動清潔電機相連;清潔支架上部設(shè)置有擦拭機構(gòu),擦拭機構(gòu)的下方設(shè)置有壓緊機構(gòu),擦拭機構(gòu)的兩側(cè)設(shè)置有噴灑機構(gòu);所述舉升定位裝置包括舉升托盤,舉升托盤的前端設(shè)置有擋停機構(gòu)Ⅴ,舉升托盤的下部設(shè)置有定位舉升機構(gòu),定位舉升機構(gòu)的驅(qū)動端與定位舉升氣缸相連。

所述自動下料單元的機架Ⅶ包括框架結(jié)構(gòu)的架體,架體的一側(cè)設(shè)置有傳送支架,架體的上部設(shè)置有平移導軌和平移齒條,傳送線布置在機架Ⅶ的傳送支架上;所述移栽平臺包括移栽導軌,移栽導軌上設(shè)置有移栽底盤,移栽底盤的下部設(shè)置有移栽氣缸,移栽底盤上設(shè)置有定位塊Ⅲ;所述移栽機械手包括移動平臺Ⅲ,移動平臺Ⅲ通過下部設(shè)置的平移滑塊布置在機架Ⅶ上部的平移導軌上,移動平臺Ⅲ上設(shè)置有平移電機Ⅲ和升降電機Ⅲ,平移電機Ⅲ的輸出端與平移減速機相連,升降電機Ⅲ的輸出端與升降減速機相連;移動平臺Ⅲ中部的開孔處設(shè)置有豎直布置的升降導桿Ⅲ,升降導桿Ⅲ上設(shè)置有升降導軌和升降齒條;平移減速機輸出端設(shè)置的齒輪與架體上部的平移齒條相嚙合,升降減速機輸出端設(shè)置的齒輪則與升降導桿上的升降齒條相嚙合;升降導桿的下端設(shè)置有移栽夾具,移栽夾具包括夾具連接板,夾具連接板的兩側(cè)設(shè)置有至少一對移栽夾爪,兩側(cè)移栽夾爪分別與布置在夾具連接板上的夾爪導軌相連,移栽夾爪的驅(qū)動端與設(shè)置在夾爪導軌上方的夾爪氣缸相連。

所述移栽機械手移栽夾具兩側(cè)設(shè)置的移栽夾爪的數(shù)量為四個;相應(yīng)地,夾爪氣缸的數(shù)量也為四個。

所述晶托自動上料單元移動平臺Ⅰ下部設(shè)置的平移機構(gòu)Ⅰ,以及升降導桿Ⅰ上設(shè)置的升降機構(gòu)Ⅰ,均為齒條滑軌機構(gòu);所述玻璃自動上料單元移動平臺Ⅱ下部設(shè)置的平移機構(gòu)Ⅱ,以及升降導桿Ⅱ上設(shè)置的升降機構(gòu)Ⅱ,均為齒條滑軌機構(gòu)。

所述硅棒自動上料單元雙夾爪移栽裝置連接平臺上、設(shè)置的第一升降機構(gòu)和第二升降機構(gòu),均為由光軸和直線軸承構(gòu)成的滑動升降機構(gòu);連接平臺下部設(shè)置的水平移動機構(gòu)為由直線導軌構(gòu)成的滑軌機構(gòu)。

本發(fā)明的有益效果:由于本發(fā)明采用沿傳送線的輸送方向依次設(shè)置晶托自動上料單元,晶托清洗單元,晶托涂膠單元,玻璃自動上料單元,玻璃壓緊單元,玻璃清洗單元,玻璃在線涂膠單元,硅棒自動上料單元和自動下料單元;晶托自動上料單元包括滑移上料裝置,智能移栽裝置和機架Ⅰ,智能移栽裝置設(shè)置在機架Ⅰ上部,滑移上料裝置和傳送線分別布置在機架Ⅰ的兩側(cè),機架Ⅰ的中部設(shè)置自動對中裝置,傳送線的下方設(shè)置頂升裝置;玻璃自動上料單元包括雙工位玻璃上料裝置,上料機械手和機架Ⅳ,上料機械手設(shè)置在機架Ⅳ上部,雙工位玻璃上料裝置和傳送線分別布置在機架Ⅳ的兩側(cè),機架Ⅳ的中部設(shè)置玻璃清洗裝置,玻璃清洗裝置的下方設(shè)置頂升玻璃裝置,頂升玻璃裝置和傳送線之間設(shè)置玻璃翻轉(zhuǎn)裝置;硅棒自動上料單元包括上料傳輸裝置,雙夾爪移栽裝置和機架Ⅵ,雙夾爪移栽裝置設(shè)置在機架Ⅵ上部,上料傳輸裝置和傳送線分別布置在機架Ⅵ的兩側(cè),機架Ⅵ的中部設(shè)置硅棒清潔裝置,硅棒清潔裝置的下方設(shè)置硅棒翻轉(zhuǎn)裝置,傳送線的下方設(shè)置舉升定位裝置;自動下料單元包括移栽平臺,移栽機械手和機架Ⅶ,移栽機械手設(shè)置在機架Ⅶ上部,移栽平臺和傳送線分別布置在機架Ⅶ的兩側(cè)的結(jié)構(gòu)形式,所以其設(shè)計合理,結(jié)構(gòu)緊湊,實現(xiàn)全機械化上料、輸送和下料,節(jié)省人力,勞動強度低,自動化程度高,可有效提高生產(chǎn)效率,實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的一種整體布置示意圖(之一)。

圖2是本發(fā)明的一種整體布置示意圖(之二)。

圖3是本發(fā)明的一種整體布置示意圖(之三)。

圖4是本發(fā)明的一種整體布置示意圖(之四)。

圖5是本發(fā)明的晶托自動上料單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是圖5中的滑移上料裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是圖5中的智能移栽裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是圖5中的自動對中裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖9是圖5中的頂升裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖10是本發(fā)明的晶托清洗單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖11是本發(fā)明的晶托涂膠單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖12是本發(fā)明的玻璃自動上料單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖13是圖12的A向視圖。

圖14是圖12中的雙工位玻璃上料裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖15是圖12中的上料機械手的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖16是圖12中的玻璃清洗裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖17是圖12中的頂升玻璃裝置和玻璃翻轉(zhuǎn)裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖18是本發(fā)明的玻璃壓緊單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖19是本發(fā)明的玻璃在線涂膠單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖20是本發(fā)明的硅棒自動上料單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖21是圖20的B向視圖。

圖22是圖20中的上料傳輸裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖23是圖20中的雙夾爪移栽裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖24是圖20中的硅棒翻轉(zhuǎn)裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖25是圖20中的硅棒清潔裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖26是圖20中的舉升定位裝置的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖27是本發(fā)明的自動下料單元的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖28是圖27中的機架Ⅶ的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖29是圖27中的移栽平臺的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖30是圖27中的移栽機械手的一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中序號說明:1托盤升降機、2晶托自動上料單元、3上層傳送線、4晶托清洗單元、5下層傳送線、6晶托涂膠單元、7玻璃自動上料單元、8玻璃壓緊單元、9玻璃清洗單元、10玻璃在線涂膠單元、11硅棒自動上料單元、12自動下料單元、13滑移上料裝置、14料堆、15智能移栽裝置、16機架Ⅰ、17晶托、18頂升裝置、19自動對中裝置、20上料導軌Ⅰ、21滑移氣缸、22滑移底盤、23定位塊Ⅰ、24緩沖防撞機構(gòu)Ⅰ、25光電檢測開關(guān)Ⅰ、26平移機構(gòu)Ⅰ、27移動平臺Ⅰ、28平移電機Ⅰ、29升降電機Ⅰ、30升降機構(gòu)Ⅰ、31機械限位機構(gòu)、32升降導桿Ⅰ、33電磁吸盤、34緩沖彈簧機構(gòu)、35紅外檢測裝置、36對中架體、37側(cè)面固定擋塊、38正面固定擋塊、39側(cè)面對中推板、40側(cè)面對中氣缸、41導向機構(gòu)、42正面對中推板、43正面對中氣缸、44頂升板、45對中錐形釘、46擋停機構(gòu)Ⅰ、47定位頂升機構(gòu)、48頂升氣缸、49機架Ⅱ、50移動機構(gòu)、51清洗噴底劑機構(gòu)、52擋停機構(gòu)Ⅱ、53升降裝置Ⅰ、54機架Ⅲ、55直角坐標機械手、56升降裝置Ⅱ、57擋停機構(gòu)Ⅲ、58雙工位玻璃上料裝置、59成品玻璃垛、60機架Ⅳ、61玻璃清洗裝置、62頂升玻璃裝置、63玻璃翻轉(zhuǎn)裝置、64上料機械手、65玻璃板、66上料導軌Ⅱ、67移位氣缸、68移動底盤、69定位塊Ⅱ、70油壓緩沖器、71升降電機Ⅱ、72升降機構(gòu)Ⅱ、73平移電機Ⅱ、74升降導桿Ⅱ、75抓取吸盤、76壓下緩沖裝置、77真空發(fā)生器、78平移機構(gòu)Ⅱ、79移動平臺Ⅱ、80滑動清洗電機、81絲杠滑軌機構(gòu)、82清洗支架、83卷取電機、84無紡布卷、85氣脹軸、86底劑霧化噴嘴、87毛刷機構(gòu)、88過渡輥機構(gòu)、89酒精霧化噴嘴、90清洗頂升機構(gòu)、91歸正機構(gòu)、92翻轉(zhuǎn)電機、93翻轉(zhuǎn)吸盤、94翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸、95機架Ⅴ、96玻璃壓緊機構(gòu)、97擋停機構(gòu)Ⅳ、98升降裝置Ⅲ、99涂膠直線模組、100機架Ⅵ、101上料傳輸裝置、102雙夾爪移栽裝置、103硅棒翻轉(zhuǎn)裝置、104硅棒清潔裝置、105舉升定位裝置、106待清潔硅棒、107已翻轉(zhuǎn)硅棒、108傳輸機構(gòu)、109上料限位機構(gòu)、110對射傳感器、111擋邊、112第一升降氣缸、113第一升降機構(gòu)、114第一夾爪、115第二升降氣缸、116第二升降機構(gòu)、117第二夾爪、118水平移動機構(gòu)、119緩沖器、120連接平臺、121直線擺放模組、122平移氣缸、123夾緊氣缸、124位移傳感器、125移動軸承座、126接觸墊片、127夾緊滑軌機構(gòu)、128頂升機構(gòu)、129固定軸承座、130旋轉(zhuǎn)氣缸、131滑動清潔電機、132絲杠滑軌機構(gòu)、133擦拭機構(gòu)、134壓緊機構(gòu)、135噴灑機構(gòu)、136清潔支架、137擋停機構(gòu)Ⅴ、138定位舉升氣缸、139定位舉升機構(gòu)、140舉升托盤、141移栽平臺、142機架Ⅶ、143硅棒、144移栽機械手、145架體、146平移導軌、147平移齒條、148傳送支架、149移栽導軌、150移栽氣缸、151移栽底盤、152定位塊Ⅲ、153移動平臺Ⅲ、154平移滑塊、155平移電機Ⅲ、156升降導軌、157升降齒條、158升降導桿Ⅲ、159升降電機Ⅲ、160夾爪氣缸、161夾爪導軌、162移栽夾爪、163夾具連接板、164移栽夾具。

具體實施方式

根據(jù)圖1~30詳細說明本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)。如圖1~4所示,該硅棒粘接自動化生產(chǎn)線包括由相平行布置的上層傳送線3和下層傳送線5構(gòu)成的雙層傳送線,傳送線的兩端分別設(shè)置有用于在兩層傳送線之間升降運輸托盤的托盤升降機1;沿傳送線的輸送方向依次設(shè)置有晶托17自動上料單元2,晶托17清洗單元4,晶托17涂膠單元6,玻璃自動上料單元7,玻璃壓緊單元8,玻璃清洗單元9,玻璃在線涂膠單元10,硅棒自動上料單元11和自動下料單元12。

如圖5~9所示,晶托17自動上料單元2包括分別布置在機架Ⅰ16兩側(cè)的滑移上料裝置13和上層傳送線3,以及智能移栽裝置15,其中,機架Ⅰ16的中部設(shè)置有用于歸正晶托17位置的自動對中裝置19,上層傳送線3的下方設(shè)置有用于對中放置晶托17的頂升裝置18。布置在機架Ⅰ16一側(cè)的滑移上料裝置13包括上料導軌Ⅰ20,上料導軌Ⅰ20上設(shè)置有滑移底盤22,滑移底盤22上布置有兩個工位;滑移底盤22上每個工位的四角都設(shè)置有定位塊Ⅰ23,滑移底盤22的下部設(shè)置有用于變換工位位置的滑移氣缸21。為了確?;粕狭涎b置13在工位轉(zhuǎn)換時的起停平穩(wěn)性,滑移上料裝置13上料導軌Ⅰ20的兩端分別設(shè)置有緩沖防撞機構(gòu)Ⅰ24;為了在工位轉(zhuǎn)換時,標記滑移底盤22的具體位置,上料導軌Ⅰ20的兩端以及中部,分別設(shè)置有光電檢測開關(guān)Ⅰ25。

智能移栽裝置15包括布置在機架Ⅰ16頂部的移動平臺Ⅰ27,移動平臺Ⅰ27通過下部設(shè)置的、由齒輪齒條以及直線導軌構(gòu)成的齒條滑軌平移機構(gòu)Ⅰ26,布置在機架Ⅰ16頂部的橫梁上,平移機構(gòu)Ⅰ26的驅(qū)動端與平移電機Ⅰ28相連接。移動平臺Ⅰ27中部的開孔處設(shè)置有豎直布置的升降導桿Ⅰ32,升降導桿Ⅰ32上設(shè)置有由齒輪齒條以及直線導軌構(gòu)成的齒條滑軌升降機構(gòu)Ⅰ30,升降機構(gòu)Ⅰ30的驅(qū)動端與升降電機Ⅰ29相連接;采用齒輪齒條以及直線導軌的傳動方式,有利于智能移栽裝置15的平穩(wěn)定位。升降導桿Ⅰ32的下端設(shè)置有兩個用于吸取晶托17的電磁吸盤33,電磁吸盤33通過使內(nèi)部線圈通電而產(chǎn)生磁力,經(jīng)過導磁面板將晶托17緊緊吸住;然后再通過線圈斷電,使磁力消失,以松開晶托17。為了在智能移栽裝置15向下吸取晶托17時,緩沖電磁吸盤33的壓力,智能移栽裝置15升降導桿Ⅰ32下端的電磁吸盤33上設(shè)置緩沖彈簧機構(gòu)34;為了探測晶托17的具體位置,電磁吸盤33上設(shè)置紅外檢測裝置35。出于限制智能移栽裝置15上升和下降極限位置的考慮,智能移栽裝置15的升降導桿Ⅰ32上設(shè)置有限制上、下升降位置的機械限位機構(gòu)31。

機架Ⅰ16中部設(shè)置的自動對中裝置19包括對中架體36,對中架體36長邊的一側(cè)設(shè)置有正面對中機構(gòu),對中架體36短邊的一端設(shè)置有側(cè)面對中機構(gòu)。正面對中機構(gòu)包括布置在長邊一側(cè)的正面對中氣缸43,正面對中氣缸43的伸縮端設(shè)置有長條形的正面對中推板42,正面對中推板42的兩端分別設(shè)置有由導桿和導套構(gòu)成的滑動導向機構(gòu)41。側(cè)面對中機構(gòu)包括布置在短邊一端的側(cè)面對中氣缸40,側(cè)面對中氣缸40的伸縮端設(shè)置有側(cè)面對中推板39。對中架體36上與正面對中機構(gòu)的正面對中推板42相對的一側(cè)設(shè)置有兩塊正面固定擋塊38,對中架體36上與側(cè)面對中機構(gòu)的側(cè)面對中推板39相對的一側(cè)設(shè)置有一塊側(cè)面固定擋塊37;以通過正面對中推板42和側(cè)面對中推板39與固定擋塊的配合,來對晶托17進行對中歸正。上層傳送線3下方設(shè)置的頂升裝置18包括用于定位晶托17放置位置的頂升板44,頂升板44上部的兩端分別設(shè)置有豎直布置的對中錐形釘45,對中錐形釘45與晶托17下表面設(shè)置的錐形凹槽的位置相對應(yīng),以便于晶托17在頂升板44上的定位放置。頂升板44兩端的外側(cè)分別設(shè)置有用于擋停晶托17的升降擋停機構(gòu)Ⅰ46,頂升板44的下部設(shè)置有由導桿和導套構(gòu)成的定位頂升機構(gòu)47,定位頂升機構(gòu)47的驅(qū)動端則與頂升氣缸48相連接。

如圖10~11所示,晶托17清洗單元4包括機架Ⅱ49,上層傳送線3布置在機架Ⅱ49的中部,上層傳送線3的上方設(shè)置有用于清洗噴底劑機構(gòu)51移動的移動機構(gòu)50,移動機構(gòu)50上設(shè)置有清洗噴底劑機構(gòu)51。清洗噴底劑機構(gòu)51包括擦拭機構(gòu),擦拭機構(gòu)的下方設(shè)置有壓緊機構(gòu),擦拭機構(gòu)的兩側(cè)設(shè)置有噴灑機構(gòu)。上層傳送線3的下方設(shè)置有用于舉升晶托17的升降裝置Ⅰ53,升降裝置Ⅰ53的前端設(shè)置有擋停機構(gòu)Ⅱ52。晶托17涂膠單元6包括機架Ⅲ54,上層傳送線3布置在機架Ⅲ54的中部,上層傳送線3上方設(shè)置有可按S型行走曲線、對晶托17上表面涂抹厭氧膠的直角坐標機械手55,直角坐標機械手55可以采用XYMP650-A1-1200-200-P-K型直交機械手。上層傳送線3的下方設(shè)置有用于舉升晶托17的升降裝置Ⅱ56,升降裝置Ⅱ56的前端設(shè)置有擋停機構(gòu)Ⅲ57。

如圖12~17所示,玻璃自動上料單元7包括分別布置在機架Ⅳ60兩側(cè)的雙工位玻璃上料裝置58和上層傳送線,以及上料機械手64,其中,機架Ⅳ60的中部設(shè)置有用于對待粘接玻璃板65進行酒精噴涂及擦拭的玻璃清洗裝置61,玻璃清洗裝置61毛刷機構(gòu)87的下方設(shè)置有用于舉升玻璃板65的頂升玻璃裝置62,頂升玻璃裝置62和上層傳送線之間設(shè)置有用于翻轉(zhuǎn)清洗完畢玻璃板65的玻璃翻轉(zhuǎn)裝置63。布置在機架Ⅳ60一側(cè)的雙工位玻璃上料裝置58,包括上料導軌Ⅱ66,上料導軌Ⅱ66上設(shè)置有移動底盤68,移動底盤68上布置有兩個工位;移動底盤68上每個工位的四角都設(shè)置有定位塊Ⅱ69,移動底盤68的下部設(shè)置有用于變換工位位置的移位氣缸67。為了保證雙工位玻璃上料裝置58在工位轉(zhuǎn)換時的起停平穩(wěn)性,雙工位玻璃上料裝置58的移動底盤68下部設(shè)置有油壓緩沖器70。

上料機械手64包括布置在機架Ⅳ60頂部的移動平臺Ⅱ79,移動平臺Ⅱ79通過下部設(shè)置的、由齒輪齒條以及直線導軌構(gòu)成的齒條滑軌平移機構(gòu)Ⅱ78,布置在機架Ⅳ60頂部的橫梁上,平移機構(gòu)Ⅱ78的驅(qū)動端與平移電機Ⅱ73相連接。移動平臺Ⅱ79中部的開孔處設(shè)置有豎直布置的升降導桿Ⅱ74,升降導桿Ⅱ74上設(shè)置有由齒輪齒條以及直線導軌構(gòu)成的齒條滑軌升降機構(gòu)Ⅱ72,升降機構(gòu)Ⅱ72的驅(qū)動端與升降電機Ⅱ71相連接。采用齒輪齒條以及直線導軌的傳動方式,有利于上料機械手64的平穩(wěn)定位。升降導桿Ⅱ74的下端部設(shè)置有用于吸取玻璃板65的抓取吸盤75,抓取吸盤75的抽真空端口與真空發(fā)生器77相連接,以使抓取吸盤75與玻璃板65的接觸面形成真空,方便對玻璃板65的吸取。為了在上料機械手64向下吸取玻璃板65時,緩沖抓取吸盤75的壓力,防止玻璃板65出現(xiàn)變形或破裂等情況,上料機械手64升降導桿Ⅱ74下端的抓取吸盤75上設(shè)置帶有緩沖彈簧的壓下緩沖裝置76。出于限制上料機械手64上升和下降極限位置的考慮,上料機械手64的升降導桿Ⅱ74上設(shè)置有機械手的機械限位機構(gòu)。

設(shè)置在機架Ⅳ60中部的玻璃清洗裝置61包括清洗支架82,清洗支架82下部設(shè)置有由傳動絲杠和直線導軌構(gòu)成的絲杠滑軌機構(gòu)81,絲杠滑軌機構(gòu)81的驅(qū)動端與滑動清洗電機80相連接,以通過滑動清洗電機80的驅(qū)動,使清洗支架82能夠沿著直線導軌往復運動。清洗支架82的上部,設(shè)置有沿與清洗支架82移動方向相垂直的水平方向布置的兩個氣脹軸85,兩個用來安設(shè)無紡布卷84的氣脹軸85相平行布置,氣脹軸85通過軸表面高壓充氣后的突起,來實現(xiàn)對無紡布卷84的固定;并且其中用于安設(shè)臟無紡布卷84的氣脹軸85的驅(qū)動端與卷取電機83相連接。兩個平行布置的氣脹軸85的下方,設(shè)置有用于纏繞無紡布的過渡輥機構(gòu)88,過渡輥機構(gòu)88的中部設(shè)置有用于壓緊無紡布、并與無紡布配合對玻璃板65進行擦拭的毛刷機構(gòu)87。過渡輥機構(gòu)88沿著清洗支架82移動方向的前后兩側(cè),分別設(shè)置有用于噴涂酒精的酒精霧化噴嘴89,以及用于噴涂底劑的底劑霧化噴嘴86。為了對干凈無紡布的放卷速度以及臟無紡布的回收速度進行監(jiān)測和控制,并計量無紡布的使用長度,玻璃清洗裝置61過渡輥機構(gòu)88的一側(cè)設(shè)置帶有光電測速裝置的測量輥機構(gòu),以提示操作人員及時對無紡布卷84進行更換。

設(shè)置在玻璃清洗裝置61下方的頂升玻璃裝置62,包括由舉升板和舉升氣缸構(gòu)成的清洗頂升機構(gòu)90,清洗頂升機構(gòu)90位于玻璃清洗裝置61的毛刷機構(gòu)87的下方;并且清洗頂升機構(gòu)90沿著清洗支架82移動方向的兩端,分別設(shè)置有用于對玻璃板65擺放位置進行歸正定位的歸正機構(gòu)91;清洗頂升機構(gòu)90的另外兩側(cè)則分別設(shè)置有定位卡板和定位氣缸,以在清洗過程中,夾緊玻璃板65。布置在頂升玻璃裝置62和上層傳送線之間的玻璃翻轉(zhuǎn)裝置63,包括布置在頂升玻璃裝置62靠近上層傳送線一側(cè)的翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94,翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94位于清洗頂升機構(gòu)90舉升板的下方;翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94的兩端,分別設(shè)置有用于吸附住上表面已清洗完畢的玻璃板65下表面的翻轉(zhuǎn)吸盤93,翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94的驅(qū)動端與翻轉(zhuǎn)電機92相連接。以通過吸附住玻璃板65的翻轉(zhuǎn)吸盤93隨翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94的轉(zhuǎn)動,來實現(xiàn)對玻璃板65的翻轉(zhuǎn)。

如圖18~19所示,玻璃壓緊單元8包括機架Ⅴ95,上層傳送線3布置在機架Ⅴ95的中部,上層傳送線3上方設(shè)置有用于壓緊玻璃板與晶托17結(jié)合面的玻璃壓緊機構(gòu)96;玻璃壓緊機構(gòu)96包括壓緊板,壓緊板上部設(shè)置有豎直布置的兩個壓緊氣缸,壓緊板下表面設(shè)置有若干個尼龍壓塊,尼龍壓塊上設(shè)置有壓縮彈簧。上層傳送線3下方設(shè)置有用于頂升玻璃板的升降裝置Ⅲ98。玻璃清洗單元9的結(jié)構(gòu)與晶托17清洗單元4相同。玻璃在線涂膠單元10包括設(shè)置在傳送線上方的涂膠直線模組99,涂膠直線模組99可以采用RMH13-L20-200-BC-C4型直線模組。

如圖20~26所示,硅棒自動上料單元11包括分別布置在機架Ⅵ100兩側(cè)的上料傳輸裝置101和上層傳送線,以及雙夾爪移栽裝置102,其中,機架Ⅵ100的中部設(shè)置有用于對待清潔硅棒106進行酒精噴涂及擦拭的硅棒清潔裝置104,硅棒清潔裝置104壓緊機構(gòu)134的下方設(shè)置有用于夾緊并翻轉(zhuǎn)清潔完畢硅棒的硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103,上層傳送線的下方設(shè)置有用于頂升晶托的舉升定位裝置105。布置在機架Ⅵ100一側(cè)的上料傳輸裝置101包括由傳送帶構(gòu)成的傳輸機構(gòu)108,傳輸機構(gòu)108的前端設(shè)置有用于擋停待清潔硅棒106的上料限位機構(gòu)109,傳輸機構(gòu)108的兩側(cè)分別設(shè)置有擋邊111。為了檢測上料傳輸裝置101的上料區(qū)域是否有待清潔硅棒106,上料傳輸裝置101前端的上料限位機構(gòu)109的兩側(cè),分別設(shè)置有光電對射傳感器110。

雙夾爪移栽裝置102包括布置在機架Ⅵ100頂部的連接平臺120,連接平臺120通過下部設(shè)置的、由直線導軌構(gòu)成的滑軌水平移動機構(gòu)118,布置在機架Ⅵ100頂部的橫梁上,水平移動機構(gòu)118的驅(qū)動端與平移氣缸122相連接。連接平臺120上沿著平臺的移動方向、分別設(shè)置有豎直布置的第一升降機構(gòu)113和第二升降機構(gòu)116,第一升降機構(gòu)113和第二升降機構(gòu)116均為由光軸和直線軸承構(gòu)成的滑動升降機構(gòu);并且,第一升降機構(gòu)113的驅(qū)動端與第一升降氣缸112相連接,第二升降機構(gòu)116的驅(qū)動端與第二升降氣缸115相連接;以便于雙夾爪移栽裝置102的平穩(wěn)移動和定位。第一升降機構(gòu)113的下端設(shè)置有用于抓取待清潔硅棒106的第一夾爪114,第二升降機構(gòu)116的下端則設(shè)置有用于抓取清潔后的已翻轉(zhuǎn)硅棒107的第二夾爪117;第二夾爪117與第二升降機構(gòu)116之間還設(shè)置有由導軌機構(gòu)和擺放電機構(gòu)成的直線擺放模組121,直線擺放模組121沿著與連接平臺120移動方向相垂直的水平方向布置;第二夾爪117在直線擺放模組121上往復運動,以將若干個清潔后的已翻轉(zhuǎn)硅棒107,依次擺放到舉升定位裝置105的舉升托盤140上。第一夾爪114和第二夾爪117都是通過夾爪氣缸和夾爪導軌實現(xiàn)對硅棒夾緊的。為了確保雙夾爪移栽裝置102的起停平穩(wěn)性,雙夾爪移栽裝置102水平移動機構(gòu)118的直線導軌兩端,分別設(shè)置有彈簧緩沖器119。

設(shè)置在機架Ⅵ100中部的硅棒清潔裝置104包括清潔支架136,清潔支架136下部設(shè)置有由傳動絲杠和直線導軌構(gòu)成的絲杠滑軌機構(gòu)132,絲杠滑軌機構(gòu)132的驅(qū)動端與滑動清潔電機131相連接,以通過滑動清潔電機131的驅(qū)動,使清潔支架136能夠沿著直線導軌往復運動。清潔支架136的上部設(shè)置有擦拭機構(gòu)133,擦拭機構(gòu)133包括沿與清潔支架136移動方向相垂直的水平方向布置的兩個氣脹軸,兩個用來安設(shè)無紡布卷的氣脹軸相平行布置,氣脹軸通過軸表面高壓充氣后的突起,來實現(xiàn)對無紡布卷的固定;并且其中用于安設(shè)臟無紡布卷的氣脹軸的驅(qū)動端與卷取電機相連接。兩個平行布置的氣脹軸的下方,設(shè)置有用于纏繞無紡布的過渡輥機構(gòu),過渡輥機構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有用于計量無紡布使用長度的測量輥機構(gòu);過渡輥機構(gòu)的中部設(shè)置有用于壓緊無紡布、并與無紡布配合對待清潔硅棒106進行擦拭的毛刷壓緊機構(gòu)134。擦拭機構(gòu)133兩側(cè)設(shè)置的噴灑機構(gòu)135,包括用于噴涂酒精的酒精霧化噴嘴,以及用于噴涂底劑的底劑霧化噴嘴。

硅棒清潔裝置104壓緊機構(gòu)134下方設(shè)置的硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103,包括分別布置在待清潔硅棒106兩端的固定軸承座129和移動軸承座125,移動軸承座125的外側(cè)與用于夾緊硅棒的夾緊氣缸123相連接,夾緊氣缸123的一側(cè)設(shè)置有用于檢測所夾持硅棒長度的位移傳感器124,移動軸承座125的下部與直線夾緊滑軌機構(gòu)127相連接;固定軸承座129的回轉(zhuǎn)軸套與旋轉(zhuǎn)氣缸130的輸出端相連接。固定軸承座129與移動軸承座125之間設(shè)置有由舉升板和舉升氣缸構(gòu)成的頂升機構(gòu)128,頂升機構(gòu)128位于夾緊滑軌機構(gòu)127的下方,頂升機構(gòu)128舉升板布置在夾緊滑軌機構(gòu)127兩條滑軌的中間。為了增大固定軸承座129和移動軸承座125內(nèi)側(cè),與待清潔硅棒106兩端接觸面的摩擦力,便于硅棒的夾緊、清潔和翻轉(zhuǎn),硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103的固定軸承座129和移動軸承座125相對的內(nèi)側(cè),分別設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)的聚氨酯材料接觸墊片126。上層傳送線下方設(shè)置的舉升定位裝置105包括用于頂升晶托的舉升托盤140,舉升托盤140的前端設(shè)置有用于擋停晶托的升降擋停機構(gòu)Ⅴ137;舉升托盤140的下部設(shè)置有由光軸和直線軸承構(gòu)成的定位舉升機構(gòu)139,定位舉升機構(gòu)139的驅(qū)動端則與定位舉升氣缸138相連接。

如圖27~30所示,自動下料單元包括分別布置在機架Ⅶ142兩側(cè)的移栽平臺141和上層傳送線,以及移栽機械手144,其中,機架Ⅶ142包括一側(cè)設(shè)置有傳送支架148的框架結(jié)構(gòu)架體145,用于輸送晶托的上層傳送線布置在機架Ⅶ142的傳送支架148上。架體145的上部設(shè)置有用于為移栽機械手144水平移動導向的平移導軌146,以及與平移減速機配合驅(qū)動移栽機械手144水平移動的平移齒條147。布置在機架Ⅶ142一側(cè)的移栽平臺141包括移栽導軌149,移栽導軌149上設(shè)置有移栽底盤151,移栽底盤151上布置有兩個工位;移栽底盤151上每個工位的四角都設(shè)置有定位塊Ⅲ152,移栽底盤151的下部設(shè)置有用于變換工位位置的移栽氣缸150。為了確保移栽平臺141在工位轉(zhuǎn)換時的起停平穩(wěn)性,移栽平臺141移栽導軌149的兩端分別設(shè)置有緩沖防撞機構(gòu);為了在工位轉(zhuǎn)換時,標記移栽底盤151的具體位置,移栽導軌149的兩端以及中部,分別設(shè)置有光電檢測開關(guān)。

移栽機械手144包括布置在架體145頂部的移動平臺Ⅲ153,移動平臺Ⅲ153通過其下部設(shè)置的平移滑塊154布置在機架Ⅶ142上部的平移導軌146上。移動平臺Ⅲ153上還設(shè)置有輸出端與平移減速機相連接的平移電機Ⅲ155,以及輸出端與升降減速機相連接的升降電機Ⅲ159;移動平臺Ⅲ153的中部開孔處,豎直布置有用于帶動移栽夾具164上下移動的的升降導桿Ⅲ158。升降導桿Ⅲ158上設(shè)置有用于為移栽夾具164升降導向的升降導軌156,以及與升降減速機配合驅(qū)動移栽夾具164升降的升降齒條157。與平移電機Ⅲ155相連的平移減速機輸出端設(shè)置的齒輪,與架體145上部的平移齒條147相嚙合,以實現(xiàn)移栽機械手144的水平移動;與升降電機Ⅲ159相連的升降減速機輸出端設(shè)置的齒輪,與升降導桿Ⅲ158上的升降齒條157相嚙合,以實現(xiàn)移栽機械手144移栽夾具164的升降。

移栽機械手144升降導桿Ⅲ158下端設(shè)置的移栽夾具164包括夾具連接板163,夾具連接板163的兩側(cè)設(shè)置有兩對(四個)移栽夾爪162,兩對移栽夾爪162分別布置在夾具連接板163兩端的兩條夾爪導軌161上,每對移栽夾爪162的驅(qū)動端分別與設(shè)置在夾爪導軌161上方的兩個夾爪氣缸160相連接;以通過夾爪氣缸160驅(qū)動移栽夾爪162在夾爪導軌161上的移動,來實現(xiàn)對晶托的夾取。為了在移栽機械手144向下抓取粘接完硅棒143的晶托時,緩沖移栽夾具164的壓力,移栽機械手144升降導桿Ⅲ158下端的移栽夾具164上設(shè)置緩沖彈簧機構(gòu);為了探測晶托的具體位置,移栽夾具164上設(shè)置紅外檢測裝置。出于限制移栽機械手144上升和下降極限位置的考慮,移栽機械手144的升降導桿Ⅲ158上設(shè)置有限制上、下升降位置的機械限位機構(gòu)。

該硅棒粘接自動化生產(chǎn)線使用時,首先,操作人員用叉車將合格的晶托17料堆14及木托放置在晶托17自動上料單元2滑移上料裝置13的滑移底盤22上,木托的放置位置通過定位塊Ⅰ23來保證;料堆14放置完成,光電檢測開關(guān)Ⅰ25檢測到有料后,驅(qū)動滑移氣缸21帶動滑移底盤22上的料堆14沿著上料導軌Ⅰ20運行至取料工位,此時,滑移底盤22上的另一工位區(qū)域移動到上料工位,操作人員可對此工位區(qū)域進行備料的上料。在玻璃自動上料單元7雙工位玻璃上料裝置的移動底盤上,放置合格的成品玻璃垛;成品玻璃垛的放置位置通過定位塊Ⅱ來保證;成品玻璃垛放置完成,光電檢測裝置檢測到有料后,驅(qū)動移位氣缸帶動移動底盤上的成品玻璃垛沿著上料導軌Ⅱ運行至取料工位,此時,移動底盤上的另一工位區(qū)域移動到上料工位,可對此工位區(qū)域進行備料的上料。

然后,位于下層傳送線5上的運輸托盤通過托盤升降機1提升到上層傳送線3上,當運輸托盤運行至晶托17自動上料單元2位置時,擋停機構(gòu)Ⅰ46擋停運輸托盤;驅(qū)動晶托17自動上料單元2智能移栽裝置15的平移電機Ⅰ28,使智能移栽裝置15下部的電磁吸盤33定位到料堆14的上方;再驅(qū)動智能移栽裝置15的升降電機Ⅰ29,使智能移栽裝置15下部的電磁吸盤33下降,當兩個電磁吸盤33與晶托17上表面接觸后,紅外檢測裝置35發(fā)出信號,為電磁吸盤33通電,電磁吸盤33利用通電后具有磁性的導磁面板將待運送的晶托17穩(wěn)穩(wěn)吸住。

晶托17自動上料單元2智能移栽裝置15的電磁吸盤33吸取住晶托17之后,驅(qū)動升降電機Ⅰ29使電磁吸盤33上升,再驅(qū)動平移電機Ⅰ28,使電磁吸盤33以及晶托17一同移動到自動對中裝置19的上方,并下降電磁吸盤33、將晶托17放置在自動對中裝置19的對中架體36上;紅外檢測裝置35發(fā)出信號,為電磁吸盤33斷電,以讓電磁吸盤33松開晶托17。晶托17放置到自動對中裝置19上之后,智能移栽裝置15的電磁吸盤33向上移動一小段距離,以便于自動對中裝置19對晶托17的對中歸正。自動對中裝置19的正面對中氣缸43和側(cè)面對中氣缸40,分別驅(qū)動正面對中推板42和側(cè)面對中推板39對晶托17擺放后的位置進行對中歸正,以確保晶托17向上層傳送線3上放置時的位置準確性。

晶托17歸正完成后,再次驅(qū)動晶托17自動上料單元2智能移栽裝置15的升降電機Ⅰ29,通過電磁吸盤33將歸正后的晶托17吸起,然后,驅(qū)動平移電機Ⅰ28,使電磁吸盤33下部吸附的晶托17定位到上層傳送線3的中心上方,同時升起頂升裝置18的頂升板44和擋停機構(gòu)Ⅰ46。驅(qū)動升降電機Ⅰ29,使電磁吸盤33下部吸附的晶托17下降到已升起的頂升板44上,晶托17通過其下部與頂升板44對中錐形釘45相配合的錐形凹槽準確定位,之后,電磁吸盤33斷電、松開晶托17。最后,頂升裝置18的頂升板44緩慢下降,使晶托17與運轉(zhuǎn)的上層傳送線3接觸后(此時頂升板44已位于上層傳送線3的下方),降下頂升裝置18的擋停機構(gòu)Ⅰ46,讓晶托17隨著上層傳送線3運動到下一工序。智能移栽裝置15回到初始位置,準備進行下一次的吸取晶托17、對中歸正、放置晶托17的作業(yè)循環(huán)。

上層傳送線3將晶托17輸送到晶托17清洗單元4,擋停機構(gòu)Ⅱ52將晶托17擋停,升降裝置Ⅰ53將晶托17舉起,清洗噴底劑機構(gòu)51對晶托17表面進行清洗。晶托17清洗完畢之后,上層傳送線3繼續(xù)帶動晶托17運行至晶托17涂膠單元6,擋停機構(gòu)Ⅲ57將晶托17擋停,升降裝置Ⅱ56將晶托17舉起,直角坐標機械手55在晶托17表面沿S型軌跡涂抹厭氧膠。

之后,上層傳送線繼續(xù)將晶托輸送到玻璃自動上料單元,驅(qū)動上料機械手64的平移電機Ⅱ73,使上料機械手64下部的抓取吸盤75定位到成品玻璃垛59的上方;再驅(qū)動上料機械手64的升降電機Ⅱ71,使上料機械手64下部的抓取吸盤75下降,當抓取吸盤75與玻璃板65接觸后,真空發(fā)生器77產(chǎn)生真空將玻璃板65吸住。

玻璃自動上料單元上料機械手64的抓取吸盤75吸取玻璃板65之后,驅(qū)動升降電機Ⅱ71使抓取吸盤75上升,再驅(qū)動平移電機Ⅱ73,使抓取吸盤75以及玻璃板65一同移動到頂升玻璃裝置62的上方,并下降抓取吸盤75、將玻璃板65放置在頂升玻璃裝置62的舉升板上;斷開真空發(fā)生器77,以讓抓取吸盤75松開玻璃板65。然后,驅(qū)動頂升玻璃裝置62的舉升氣缸,使玻璃板65上升到與玻璃清洗裝置61毛刷機構(gòu)87下部壓緊的無紡布相接觸的位置,再通過歸正機構(gòu)91將玻璃板65歸正定位并夾緊,以防止玻璃板65在清洗過程中的竄動;之后開啟酒精霧化噴嘴89,將酒精噴涂在玻璃板65的上表面,同時,驅(qū)動滑動清洗電機80,使玻璃清洗裝置61在玻璃板65上往復運動,對玻璃板65進行邊噴酒精邊用無紡布擦拭的清洗。在清洗過程中,卷取電機83帶動兩個氣脹軸85一主動、一隨動,以實現(xiàn)干凈無紡布的放卷和臟無紡布的回收。玻璃板65清洗擦拭干凈后,再使用底劑霧化噴嘴86在玻璃板65上表面噴涂一層用于輔助厭氧膠粘結(jié)的底劑。

清洗完畢之后,松開玻璃自動上料單元歸正機構(gòu)91,頂升玻璃裝置62帶著玻璃板65下降。玻璃翻轉(zhuǎn)裝置63翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸94兩端的翻轉(zhuǎn)吸盤93吸附住玻璃板65的下表面,然后,驅(qū)動玻璃翻轉(zhuǎn)裝置63的翻轉(zhuǎn)電機92,使翻轉(zhuǎn)吸盤93帶動玻璃板65翻轉(zhuǎn)180度(已清洗完畢的上表面朝下)。驅(qū)動上料機械手64吸附住玻璃板65未清洗的一面,將玻璃板65放置到位于上層傳送線上的晶托上部,使玻璃板65經(jīng)過清洗的一面與晶托的上表面進行緊固粘接;上層傳送線向前移動一個工位,為粘接下一個晶托做準備。重復上述上料機械手64吸取待粘接玻璃板65,清洗玻璃板65上表面,翻轉(zhuǎn)玻璃板65,將玻璃板65粘接在晶托上等步驟,對生產(chǎn)線上的玻璃板65進行連續(xù)自動的粘接操作。

上層傳送線3將粘接完玻璃的晶托17輸送到玻璃壓緊單元8,擋停機構(gòu)Ⅳ97將晶托17擋停,升降裝置Ⅲ98將晶托17舉起,玻璃壓緊機構(gòu)96向下壓緊玻璃板,使玻璃板和晶托17充分地粘合,根據(jù)工藝要求,此壓緊過程可持續(xù)90秒左右。之后,上層傳送線3將晶托17輸送到玻璃清洗單元9,對壓緊后的玻璃板上表面進行清洗、并噴底劑。清洗完畢之后,上層傳送線3繼續(xù)帶動晶托17運行至玻璃在線涂膠單元10,在不擋停晶托17的情況下,涂膠直線模組99在玻璃板表面縱向往復運動,進行厭氧膠的涂抹。

然后,上層傳送線繼續(xù)將晶托17輸送到硅棒自動上料單元11。經(jīng)過長度測量和排序的待清潔硅棒106、在硅棒自動上料單元11上料傳輸裝置101的傳輸機構(gòu)108上,沿著擋邊111被上料限位機構(gòu)109擋停;對射傳感器110檢測到待清潔硅棒106后,硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103固定軸承座129與移動軸承座125之間設(shè)置的頂升機構(gòu)128舉升板升起。然后,驅(qū)動雙夾爪移栽裝置102的平移氣缸122,使第一夾爪114定位到上料傳輸裝置101上的待清潔硅棒106上方;再驅(qū)動第一升降氣缸112,帶動第一夾爪114沿著第一升降機構(gòu)113向下夾取待清潔硅棒106。之后,驅(qū)動第一升降氣缸112和平移氣缸122,將待清潔硅棒106放置到硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103升起的頂升機構(gòu)128舉升板上;放置完待清潔硅棒106后,第一夾爪114回到指定位置、等待后續(xù)指令。

硅棒自動上料單元11硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103上的夾緊氣缸123將待清潔硅棒106夾緊,同時,位移傳感器124負責檢測硅棒的長度,并反饋給雙夾爪移栽裝置102的直線擺放模組121。硅棒清潔裝置104的滑動清潔電機131驅(qū)動擦拭機構(gòu)133在絲杠滑軌機構(gòu)132的直線導軌上往復運動,以將擦拭機構(gòu)133下部設(shè)置的無紡布從待清潔硅棒106前端移動到后端;同時,噴灑機構(gòu)135的酒精霧化噴嘴將酒精噴涂在待清潔硅棒106的上表面,以對待清潔硅棒106進行邊噴酒精邊用無紡布擦拭的清潔。在清潔過程中,卷取電機帶動兩個氣脹軸一主動、一隨動,以實現(xiàn)干凈無紡布的放卷和臟無紡布的回收。硅棒清潔擦拭干凈后,再使用噴灑機構(gòu)135的底劑霧化噴嘴在已清潔硅棒的上表面,噴涂一層用于輔助厭氧膠粘結(jié)的底劑。然后,降下硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103的頂升機構(gòu)128,驅(qū)動旋轉(zhuǎn)氣缸130帶動夾持在固定軸承座129和移動軸承座125之間的已清潔硅棒翻轉(zhuǎn)180度(已清洗完畢的上表面朝下)。

驅(qū)動硅棒自動上料單元11舉升定位裝置105的定位舉升氣缸138,使舉升托盤140升起,以將上層傳送線上被擋停機構(gòu)Ⅴ137擋停的晶托17舉升起一定高度。驅(qū)動雙夾爪移栽裝置102的平移氣缸122,使第二夾爪117定位到硅棒翻轉(zhuǎn)裝置103上的已翻轉(zhuǎn)硅棒107上方;再驅(qū)動第二升降氣缸115,帶動第二夾爪117沿著第二升降機構(gòu)116向下夾取已翻轉(zhuǎn)硅棒107;第二夾爪117夾住已翻轉(zhuǎn)硅棒107后,夾緊氣缸123帶動移動軸承座125松開硅棒。然后,再次驅(qū)動第二升降氣缸115和平移氣缸122,將已翻轉(zhuǎn)硅棒107定位到被舉升定位裝置105升起的晶托17上方;最后,驅(qū)動直線擺放模組121的擺放電機,使第二夾爪117按照之前位移傳感器124檢測的硅棒長度,沿著導軌機構(gòu)在晶托17上方移動到相應(yīng)位置,然后驅(qū)動第二夾爪117下降,使已翻轉(zhuǎn)硅棒107經(jīng)過清潔的一面與晶托17上玻璃板的表面進行緊固粘接。能夠理解的是,第二夾爪117通過直線擺放模組121將若干個已翻轉(zhuǎn)硅棒107依次擺放到晶托17上、將晶托17擺滿之后,上層傳送線再向前移動一個工位,為粘接下一個晶托17做準備。重復上述雙夾爪移栽裝置102夾取待清潔硅棒106,夾緊待清潔硅棒106,清潔硅棒上表面,翻轉(zhuǎn)硅棒,將已翻轉(zhuǎn)硅棒107放置、粘接在晶托17上等步驟,對生產(chǎn)線上的硅棒進行連續(xù)自動的粘接操作。

最后,上層傳送線將晶托17輸送到自動下料單元12,驅(qū)動移栽機械手144的平移電機Ⅲ155,使移栽機械手144下部的移栽夾具164定位到上層傳送線上輸送到位的、已粘接完硅棒143的晶托17上方。然后,再驅(qū)動移栽機械手144的升降電機Ⅲ159,使移栽機械手144下部的移栽夾具164下降,當移栽夾具164下降到抓取位置后,紅外檢測裝置35發(fā)出信號,驅(qū)動移栽夾具164的夾爪氣缸160,使移栽夾具164兩側(cè)的移栽夾爪162沿著夾爪導軌161向內(nèi)收縮,以穩(wěn)穩(wěn)夾住晶托17。移栽機械手144的移栽夾具164夾住晶托17之后,驅(qū)動升降電機Ⅲ159使移栽夾具164上升,再驅(qū)動平移電機Ⅲ155,使移栽夾具164以及晶托17一同移動到移栽平臺141的上方,并下降移栽夾具164、將晶托17放置在移栽平臺141上相應(yīng)的晶托17擺放工位上;此時,紅外檢測裝置發(fā)出信號,驅(qū)動夾爪氣缸160帶動移栽夾爪162向外擴張,以松開晶托17,完成晶托17的自動下料。移栽機械手144回到初始位置,準備進行下一次的抓取晶托17、放置晶托17的作業(yè)循環(huán)。

每個晶托17放置到自動下料單元12移栽平臺141上,光電檢測開關(guān)檢測到有料之后,驅(qū)動移栽氣缸150帶動移栽底盤151沿著移栽導軌149運行至下一個待放置晶托17的下料位置。當移栽底盤151上的一個下料工位區(qū)域放滿晶托17后,移栽氣缸150帶動雙工位移栽底盤151移動到另一個備用的下料工位,繼續(xù)裝填下料的晶托17。之后,操作人員使用叉車將滿載工位的晶托17料堆14及木托運走到下一工序,進行后續(xù)的切片等加工。

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