技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基于柔性基板的高穩(wěn)定霍爾元件及其制備方法，該柔性的霍爾元件結(jié)構(gòu)為對(duì)稱的四葉草結(jié)構(gòu)、缺角矩陣結(jié)構(gòu)、十字星形結(jié)構(gòu)等各種不同的結(jié)構(gòu)。所述霍爾元件結(jié)構(gòu)包括柔性基底、以真空蒸鍍方式堆棧而成的兩層或多層不同溫度霍爾系數(shù)的薄膜層、電極以及起保護(hù)作用的殼體。所述的柔性基底為塑料或超薄鋁片。本發(fā)明的一種柔性、高穩(wěn)定的霍爾元件可減小溫度對(duì)霍爾電壓的影響，提升霍爾元件穩(wěn)定性，并且它的柔性使其具有廣泛的應(yīng)用前景，比如可以嵌入智能紡織物，用這種紡織物制成的服裝可以隨時(shí)監(jiān)控人體的各種功能；也可將其作為機(jī)器人的控制單元傳感元件。

技術(shù)研發(fā)人員：邵鵬;丁利蘋;孫立蓉;張方輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：陜西科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611230253
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.27
技術(shù)公布日：2017.05.31