本發(fā)明涉及一種對至少包括光學(xué)單元和電源單元的激光振蕩器進(jìn)行控制的控制裝置。

背景技術(shù)：

一般來說，激光振蕩器與對工件進(jìn)行加工的激光加工機(jī)連接。如日本特開2006-156634號公報所示，激光振蕩器包括至少一個光學(xué)單元以及對至少一個光學(xué)單元進(jìn)行驅(qū)動的電源單元。并且，在包括多個光學(xué)單元的情況下，激光振蕩器有時包括將從多個光學(xué)單元輸出的激光合成后輸出的合成單元。也就是說，激光振蕩器包括多個單元。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在這種激光振蕩器輸出激光時某一個單元發(fā)生了異常的情況下，操作者需要打開激光振蕩器的機(jī)殼(cabinet)來確認(rèn)各單元的狀態(tài)。由于激光振蕩器包括多個單元例如電源單元、光學(xué)單元以及合成單元，因此判別哪個單元發(fā)生了異常要耗費(fèi)大量時間。

另外，在由于輸出激光時發(fā)生異常而被通知了警報、因而對激光振蕩器的內(nèi)部進(jìn)行確認(rèn)的情況下，需要使激光振蕩器從激光加工機(jī)的系統(tǒng)電分離且物理分離。另外，根據(jù)激光振蕩器的周圍的環(huán)境條件例如溫度、濕度，在打開激光振蕩器的機(jī)殼時有時會發(fā)生結(jié)露。由于這種結(jié)露，有可能連沒有發(fā)生異常的單元都發(fā)生故障。

本發(fā)明是鑒于這種情形而完成的，其目的在于提供一種不用打開激光振蕩器的內(nèi)部就能夠掌握激光振蕩器的各單元的狀態(tài)等的控制裝置。

為了達(dá)到前述的目的，根據(jù)第一發(fā)明，提供一種對激光振蕩器進(jìn)行控制的控制裝置，該激光振蕩器包括：第一組裝體，其包括第一電源單元以及具備由該第一電源單元驅(qū)動的至少一個光源的第一光學(xué)單元；以及第二組裝體，其包括第二電源單元以及具備由該第二電源單元驅(qū)動的至少一個光源的第二光學(xué)單元，該控制裝置具備：激光輸出指令控制部，其控制針對所述第一光學(xué)單元的第一激光輸出指令和針對所述第二光學(xué)單元的第二激光輸出指令；監(jiān)視部，其監(jiān)視來自所述第一電源單元的第一電流輸出和來自所述第二電源單元的第二電流輸出、以及來自所述第一光學(xué)單元的第一激光輸出和來自所述第二光學(xué)單元的第二激光輸出；異常判斷部，其在所述第一激光輸出指令與所述第一激光輸出之間的第一偏差處于規(guī)定的第一范圍外的情況下判斷為所述第一組裝體存在異常，并且，在所述第二激光輸出指令與所述第二激光輸出之間的第二偏差處于所述規(guī)定的第一范圍外的情況下判斷為所述第二組裝體存在異常；指令部，在由該異常判斷部判斷為所述第一組裝體和所述第二組裝體中的至少一方存在異常的情況下，該指令部對所述第一電源單元和所述第二電源單元中的至少一方指示規(guī)定的電流指令；異常判斷停止部，在基于所述規(guī)定的電流指令對所述第一電源單元和所述第二電源單元中的至少一方進(jìn)行驅(qū)動時，該異常判斷停止部停止由所述異常判斷部進(jìn)行的對異常的判斷；存儲部，在基于所述規(guī)定的電流指令對所述第一電源單元和所述第二電源單元中的至少一方進(jìn)行驅(qū)動時，該存儲部存儲所述規(guī)定的電流指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述第一電流輸出之間的第一電流關(guān)系、所述規(guī)定的電流指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述第二電流輸出之間的第二電流關(guān)系、與所述規(guī)定的電流指令對應(yīng)的所述第一光學(xué)單元的第一激光輸出指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述第一激光輸出之間的第一激光關(guān)系、以及與所述規(guī)定的電流指令對應(yīng)的所述第二光學(xué)單元的第二激光輸出指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述第二激光輸出之間的第二激光關(guān)系中的至少一個；以及推測部，其基于由該存儲部存儲的所述第一電流關(guān)系、所述第二電流關(guān)系、所述第一激光關(guān)系以及所述第二激光關(guān)系中的至少一個，來推測所述第一電源單元、所述第二電源單元、所述第一光學(xué)單元以及所述第二光學(xué)單元中的至少一個單元的異常。

根據(jù)第二發(fā)明，在第一發(fā)明中，所述激光振蕩器還具備合成單元，該合成單元將來自所述第一光學(xué)單元的所述第一激光輸出與來自所述第二光學(xué)單元的所述第二激光輸出合成后輸出，所述監(jiān)視部還對由所述合成單元合成得到的激光合成輸出進(jìn)行監(jiān)視，所述推測部還基于所述激光合成輸出來推測所述合成單元的異常。

根據(jù)第三發(fā)明，在第一發(fā)明或第二發(fā)明中，在由所述異常判斷部判斷為所述第一組裝體和所述第二組裝體中僅有一方存在異常的情況下，所述指令部首先對與所述第一組裝體和所述第二組裝體中的另一方對應(yīng)的電源單元指示所述規(guī)定的電流指令，接著對與所述第一組裝體和所述第二組裝體中的所述一方對應(yīng)的電源單元指示所述規(guī)定的電流指令。

根據(jù)第四發(fā)明，在第一發(fā)明至第三發(fā)明中的任一發(fā)明中，所述規(guī)定的電流指令是預(yù)燃(simmer)電流指令。

根據(jù)第五發(fā)明，在第一發(fā)明至第四發(fā)明中的任一發(fā)明中，所述規(guī)定的電流指令是持續(xù)規(guī)定時間地指示的。

根據(jù)第六發(fā)明，在第一發(fā)明至第三發(fā)明中的任一發(fā)明中，使所述規(guī)定的電流指令從預(yù)燃電流指令階段性地變化到額定最大輸出指令。

根據(jù)第七發(fā)明，提供一種對激光振蕩器進(jìn)行控制的控制裝置，該激光振蕩器包括組裝體，該組裝體包括電源單元以及具備由該電源單元驅(qū)動的至少一個光源的光學(xué)單元，該控制裝置具備：激光輸出指令控制部，其控制針對所述光學(xué)單元的激光輸出指令；監(jiān)視部，其監(jiān)視來自所述電源單元的電流輸出以及來自所述光學(xué)單元的激光輸出；異常判斷部，其在所述激光輸出指令與所述激光輸出之間的偏差大于規(guī)定的閾值的情況下判斷為所述組裝體存在異常；指令部，在由該異常判斷部判斷為所述組裝體存在異常的情況下，該指令部對所述電源單元指示規(guī)定的電流指令；異常判斷停止部，在基于所述規(guī)定的電流指令對所述電源單元進(jìn)行驅(qū)動時，該異常判斷停止部停止由所述異常判斷部進(jìn)行的對異常的判斷；存儲部，在基于所述規(guī)定的電流指令對所述電源單元進(jìn)行驅(qū)動時，該存儲部存儲所述規(guī)定的電流指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述電流輸出之間的電流關(guān)系以及與所述規(guī)定的電流指令對應(yīng)的所述光學(xué)單元的激光輸出指令與由所述監(jiān)視部監(jiān)視到的所述激光輸出之間的激光關(guān)系；以及推測部，其基于由該存儲部存儲的所述電流關(guān)系和所述激光關(guān)系中的至少一個，來推測所述電源單元和所述光學(xué)單元中的至少一個單元的異常。

通過附圖所示的本發(fā)明的典型的實(shí)施方式的詳細(xì)說明，本發(fā)明的這些目的、特征和優(yōu)點(diǎn)以及其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)會變得更明確。

附圖說明

圖1是基于本發(fā)明的控制裝置的功能框圖。

圖2A是表示圖1所示的控制裝置的動作的第一流程圖。

圖2B是表示圖1所示的控制裝置的動作的第一流程圖。

圖3是推測部判斷第一電源單元或第一光學(xué)單元的異常時的流程圖。

圖4是基于本發(fā)明的其它實(shí)施方式的控制裝置的功能框圖。

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。在下面的附圖中，對同樣的構(gòu)件標(biāo)注同樣的參照標(biāo)記。對于這些附圖適當(dāng)變更了比例尺以易于理解。

圖1是基于本發(fā)明的控制裝置的功能框圖。圖1所示的系統(tǒng)1主要包括激光振蕩器5以及對激光振蕩器5進(jìn)行控制的控制裝置30。此外，雖然在附圖中沒有示出，但是系統(tǒng)1也可以包括利用從激光振蕩器5輸出的激光對工件進(jìn)行加工的激光加工機(jī)。

如圖1所示，激光振蕩器5包括第一組裝體10和第二組裝體20，其中，該第一組裝體10包括第一電源單元11和第一光學(xué)單元12，該第二組裝體20包括第二電源單元21和第二光學(xué)單元22。第一光學(xué)單元12包括至少一個光源12a、12b，第二光學(xué)單元22也包括至少一個光源22a、22b。

此外，第一電源單元11對第一光學(xué)單元12的光源12a、12b進(jìn)行驅(qū)動，并且，第二電源單元21對第二光學(xué)單元22的光源22a、22b進(jìn)行驅(qū)動。另外，設(shè)第一光學(xué)單元12和第二光學(xué)單元22各自包括諧振管、放電電極等并以公知的方法輸出激光。

此外，第一組裝體10與第二組裝體20為彼此相同的結(jié)構(gòu)。另外，也可以是，激光振蕩器5包括至少一個追加的組裝體(未圖示)，該追加的組裝體包括同樣的電源單元和光學(xué)單元。

并且，如圖1所示，在激光振蕩器5包括多個組裝體10、20的情況下，激光振蕩器5也可以還包括共用的合成單元25。合成單元25將來自第一組裝體10的第一光學(xué)單元12的激光輸出和來自第二組裝體20的第二光學(xué)單元22的激光輸出合成后輸出。

根據(jù)圖1可知，第一電源單元11和第二電源單元21中均具備檢測在第一電源單元11和第二電源單元21中實(shí)際流通的電流值的第一電流檢測部13和第二電流檢測部23。

另外，第一光學(xué)單元12、第二光學(xué)單元22以及合成單元25中均具備檢測從這些單元12、22、25分別輸出的激光的強(qiáng)度的激光檢測部14、24、26。由電流檢測部13、23檢測出的電流值和由激光檢測部14、24、26檢測出的激光輸出被提供到后述的監(jiān)視部32。

控制裝置30是數(shù)字計算機(jī)，對激光振蕩器5的動作進(jìn)行控制。如圖1所示，控制裝置30包括激光輸出指令控制部31，該激光輸出指令控制部31控制針對第一光學(xué)單元12的第一激光輸出指令和針對第二光學(xué)單元22的第二激光輸出指令。

并且，控制裝置30包括監(jiān)視部32，該監(jiān)視部32監(jiān)視來自第一電源單元11的第一電流輸出和來自第二電源單元21的第二電流輸出、以及來自第一光學(xué)單元12的第一激光輸出和來自第二光學(xué)單元22的第二激光輸出。監(jiān)視部32還對由合成單元25合成得到的激光合成輸出進(jìn)行監(jiān)視。

并且，控制裝置30還包括異常判斷部33，該異常判斷部33在第一激光輸出指令與第一激光輸出之間的第一偏差處于規(guī)定的第一范圍外的情況下判斷為第一組裝體存在異常，并且，在第二激光輸出指令與第二激光輸出之間的第二偏差處于規(guī)定的第一范圍外的情況下判斷為第二組裝體存在異常。

并且，控制裝置30還包括指令部34和異常判斷停止部37，在由異常判斷部33判斷為第一組裝體10和第二組裝體20中的至少一方存在異常的情況下，該指令部34對第一電源單元11和第二電源單元21中的至少一方指示規(guī)定的電流指令，在基于規(guī)定的電流指令對第一電源單元11和第二電源單元21中的至少一方進(jìn)行驅(qū)動時，該異常判斷停止部37停止由異常判斷部33進(jìn)行的對異常的判斷。

并且，控制裝置30還包括存儲部35，在基于規(guī)定的電流指令對第一電源單元11和第二電源單元21中的至少一方進(jìn)行驅(qū)動時，該存儲部35存儲規(guī)定的電流指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第一電流輸出之間的第一電流關(guān)系、規(guī)定的電流指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第二電流輸出之間的第二電流關(guān)系、與規(guī)定的電流指令對應(yīng)的第一光學(xué)單元12的第一激光輸出指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第一激光輸出之間的第一激光關(guān)系、以及與規(guī)定的電流指令對應(yīng)的第二光學(xué)單元22的第二激光輸出指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第二激光輸出之間的第二激光關(guān)系中的至少一個。此外，也可以由激光輸出指令控制部31生成與規(guī)定的電流指令對應(yīng)的第一光學(xué)單元12的第一激光輸出指令等。

并且，控制裝置30還包括推測部36，該推測部36基于由存儲部35存儲的第一電流關(guān)系、第二電流關(guān)系、第一激光關(guān)系以及第二激光關(guān)系中的至少一個，來推測第一電源單元11、第二電源單元21、第一光學(xué)單元12以及第二光學(xué)單元22中的至少一個單元的異常。此外，推測部36還基于激光合成輸出來推測合成單元25的異常。

圖2A和圖2B是表示基于本發(fā)明的控制裝置的動作的流程圖。下面，參照圖2A和圖2B來說明本發(fā)明的控制裝置30的動作。

首先，在步驟S10中，從激光輸出指令控制部31輸出針對第一光學(xué)單元12的第一激光輸出指令和針對第二光學(xué)單元22的第二激光輸出指令。設(shè)也根據(jù)這些指令來分別驅(qū)動第一電源單元11和第二電源單元21。

接著，在步驟S11中，監(jiān)視部32通過第一電流檢測部13來獲取流過第一電源單元11的實(shí)際的電流值、即第一電流輸出，并且通過第二電流檢測部23來獲取流過第二電源單元21的實(shí)際的電流值、即第二電流輸出。并且，監(jiān)視部32通過激光檢測部14來獲取來自第一光學(xué)單元12的第一激光輸出，并且通過激光檢測部24來獲取來自第二光學(xué)單元22的第二激光輸出。并且，監(jiān)視部32通過激光檢測部26來獲取來自合成單元25的激光合成輸出。

接著，在步驟S12中，異常判斷部33計算第一激光輸出指令與第一激光輸出之間的第一偏差以及第二激光輸出指令與第二激光輸出之間的第二偏差。并且，異常判斷部33判定第一偏差和第二偏差是否處于規(guī)定的第一范圍外。此外，設(shè)規(guī)定的第一范圍和后述的其它范圍是通過實(shí)驗等而預(yù)先求出的。

然后，在第一偏差和第二偏差中的至少一方處于第一范圍外的情況下，進(jìn)入步驟S14。在第一偏差和第二偏差這兩方均不處于第一范圍外的情況下，在圖2B的步驟S18中異常判斷部33判斷為第一組裝體10和第二組裝體20這兩方均不存在異常。

下面，設(shè)第一偏差和第二偏差這兩方均處于第一范圍外來繼續(xù)說明。在第一偏差處于第一范圍外的情況下，異常判斷部33判定為第一組裝體10存在異常(步驟S14a)。同樣地，在第二偏差處于第一范圍外的情況下，異常判斷部33判定為第二組裝體20存在異常(步驟S14b)。此外，在這種情況下，異常判斷部33也可以通過警報來向操作者通知第一組裝體10和第二組裝體20存在異常。

接著，進(jìn)入步驟S15，異常判斷停止部37使由異常判斷部33進(jìn)行的異常判斷暫時停止。然后，指令部34持續(xù)規(guī)定時間地對第一電源單元11指示規(guī)定的電流指令(步驟S15a)。同樣地，指令部34持續(xù)相同時間地對第二電源單元21指示規(guī)定的電流指令(步驟S15b)。設(shè)規(guī)定的電流指令是通過實(shí)驗等而預(yù)先決定的。

由此，基于規(guī)定的電流指令對第一電源單元11和第二電源單元21進(jìn)行驅(qū)動。接著，在步驟S16a中，獲取規(guī)定的電流指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第一電流輸出之間的第一電流關(guān)系以及與規(guī)定的電流指令對應(yīng)的第一光學(xué)單元12的第一激光輸出指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第一激光輸出之間的第一激光關(guān)系，將這些關(guān)系存儲于存儲部35。

同樣地，在步驟S16b中，獲取規(guī)定的電流指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第二電流輸出之間的第二電流關(guān)系以及與規(guī)定的電流指令對應(yīng)的第二光學(xué)單元22的第二激光輸出指令與由監(jiān)視部32監(jiān)視到的第二激光輸出之間的第二激光關(guān)系，將這些關(guān)系存儲于存儲部35。

接著，在步驟S17a中，推測部36通過后述的方法來推測第一組裝體10中的第一電源單元11和第一光學(xué)單元12中的哪一個存在異常。同樣地，在步驟S17b中，推測部36推測第二組裝體20中的第二電源單元21和第二光學(xué)單元22中的哪一個存在異常。

圖3是推測部判斷第一電源單元或第一光學(xué)單元的異常時的流程圖。下面，參照圖3來詳細(xì)說明步驟S17a的動作。此外，步驟S17b的動作也大致相同，因此省略對步驟S17b的動作的說明。

首先，在步驟S31中，根據(jù)第一電流關(guān)系來獲取規(guī)定的電流指令與第一電流輸出之間的第一電流偏差。然后，在步驟S32中，判定第一電流偏差是否處于規(guī)定的電流范圍外。設(shè)規(guī)定的電流范圍是通過實(shí)驗等而預(yù)先求出的。在第一電流偏差處于規(guī)定的電流范圍外的情況下，在步驟S33中，推測部36推測為第一電源單元11異常。在第一電流偏差不處于規(guī)定的電流范圍外的情況下，在步驟S34中，推測部36推測為第一電源單元11正常。

接著，在步驟S35中，根據(jù)第一激光關(guān)系來獲取前述的第一激光輸出指令與第一激光輸出之間的第一激光偏差。然后，在步驟S36中判定第一激光偏差是否處于規(guī)定的激光范圍外。設(shè)規(guī)定的激光范圍是通過實(shí)驗等而預(yù)先求出的。在第一激光偏差處于規(guī)定的激光范圍外的情況下，在步驟S37中，推測部36推測為第一光學(xué)單元12異常。在第一激光偏差不處于規(guī)定的激光范圍外的情況下，在步驟S38中，推測部36推測為第一光學(xué)單元12正常。

另外，再次參照圖2B，在步驟S18中判定為第一組裝體10和第二組裝體20正常的情況下，在步驟S19～步驟S21中，推測部36推測合成單元25是否存在異常。

具體地說，推測部36在步驟S19中判定激光合成輸出是否等于第一激光輸出與第二激光輸出之和。然后，在激光合成輸出同第一激光輸出與第二激光輸出之和相當(dāng)或者相對于第一激光輸出與第二激光輸出之和在容許的衰減量以內(nèi)的情況下，在步驟S20中推測為合成單元25正常。另外，在激光合成輸出比第一激光輸出與第二激光輸出之和低了容許的衰減量以上的情況下，在步驟S21中推測為合成單元25存在異常。在該情況下，推測部36也可以通過警報來向操作者通知合成單元25存在異常。

另外，在步驟S14中判斷為第一組裝體10和第二組裝體20中的至少一方存在異常的情況下，在圖2B的步驟S22～步驟S24中，推測部36推測合成單元25是否存在異常。

具體地說，推測部36判定激光合成輸出是否處于規(guī)定的第二范圍內(nèi)。然后，在激光合成輸出處于規(guī)定的第二范圍內(nèi)的情況下，在步驟S23中推測為合成單元25正常。另外，在激光合成輸出不處于規(guī)定的第二范圍內(nèi)的情況下，在步驟S24中推測為合成單元25存在異常。

這樣，在本發(fā)明中，對于在步驟S14中被判斷為存在異常的第一組裝體10和/或第二組裝體20，在步驟S15中持續(xù)規(guī)定時間地指示規(guī)定的電流指令，并且使異常判斷部33暫時停止。然后，在指示規(guī)定的電流指令的期間，獲取并存儲第一電流關(guān)系和第二電流關(guān)系以及第一激光關(guān)系和第二激光關(guān)系，基于這些關(guān)系來推測第一組裝體10和/或第二組裝體20所包括的哪個單元存在異常。

并且，在本發(fā)明中，無論第一組裝體10和第二組裝體20是否存在異常，都能夠基于激光合成輸出來推測合成單元25是否存在異常(步驟S19、步驟S22)。

因此，在本發(fā)明中，能夠不產(chǎn)生警報地在短時間內(nèi)推測出第一組裝體10和/或第二組裝體20中的電源單元11、21和/或光學(xué)單元12、22、或者合成單元25中的哪個單元存在異常。這種推測動作是自動實(shí)施的，因此操作者不用打開激光振蕩器5的機(jī)殼就能夠掌握各單元的正常、異常。因此，在本發(fā)明中，能夠大幅削減激光振蕩器5的復(fù)原工時。

另外，在圖2A的步驟S13中，在僅有第一偏差處于第一范圍外的情況下，第二組裝體20是正常的，因此也可以省略步驟S14b～步驟S17b。同樣地，在僅有第二偏差處于第一范圍外的情況下，第一組裝體10是正常的，因此也可以省略步驟S14a～步驟S17a。

但是，優(yōu)選的是，即使在判斷為第一組裝體10和第二組裝體20中僅有一方存在異常的情況下，也實(shí)施步驟S14a～步驟S17a和步驟S14b～步驟S17b這兩方。例如，考慮判斷為第一組裝體10存在異常并且第二組裝體20正常的情況。在該情況下，優(yōu)選的是，先實(shí)施針對第二組裝體20的步驟S15b～步驟S17b，之后實(shí)施針對第一組裝體10的步驟S15a～步驟S17a。

其理由如下：即使在第一組裝體10存在異常的情況下在步驟S15a中指示了規(guī)定的電流指令，也有可能發(fā)生第一電源單元11和/或第一光學(xué)單元12完全沒有反應(yīng)的情形。在先實(shí)施了針對被判斷為正常的第二組裝體20的步驟S15b～步驟S17b的情況下，即使圖2A和圖2B所示的過程中途停止，也能夠獲取針對第二組裝體20的前述的第二電流關(guān)系和第二激光關(guān)系。另外，對于被異常判斷部33判斷為正常的第二組裝體20實(shí)際上是否正常，也能夠使用推測部36來重新推測。因而，能夠提高異常判斷部33進(jìn)行的判斷的可靠性。

另外，在步驟S15a和步驟S15b中使用的規(guī)定的電流指令也可以是預(yù)燃電流指令。預(yù)燃電流指令是激光不會振蕩、即不會得到激光的輸出的程度的微小的電流指令。通過使用預(yù)燃電流指令獲取電流關(guān)系等，在激光振蕩開始的準(zhǔn)備狀態(tài)之前就能夠判別是能夠動作、還是各單元因電擊穿而處于絕緣。

另外，在指示了預(yù)燃電流的狀態(tài)下電源單元11、21的輸出特性(電流值、電壓值)等與正常時不同時，推測部36能夠推測為電源單元11、21異常(步驟S33)。

而且，在判斷為電源單元11、21正常的情況下未根據(jù)預(yù)燃電流指令從光學(xué)單元12、22測定出與預(yù)燃電流指令相應(yīng)的電響應(yīng)時，推測部36能夠推測為由于在光學(xué)單元12、22內(nèi)部發(fā)生電擊穿而光學(xué)單元12、22異常(步驟S36)。

另外，也可以在步驟S15a和步驟S15b中持續(xù)短時間、例如20毫秒地指示規(guī)定的電流指令。在該情況下也有可能無法得到充分的輸出。然而，只要能夠得到某種程度的輸出，推測部36就能夠根據(jù)光學(xué)單元12、22內(nèi)的光源12a、12b、22a、22b的故障而推測為光學(xué)單元12、22異常。

并且，也可以使步驟S15a和步驟S15b中的規(guī)定的電流指令從預(yù)燃電流指令階段性地變化到額定最大輸出指令。在該情況下，例如可知相對于某個大小的電流指令能夠得到什么程度的大小的輸出。因此，能夠推測是否變更電流指令來繼續(xù)進(jìn)行激光加工。另外，也能夠確認(rèn)與電流指令相對應(yīng)的實(shí)際的激光強(qiáng)度的特性。

此外，在本發(fā)明的未圖示的實(shí)施方式中，激光振蕩器5不包括合成單元25。在這種情況下，在步驟S11中不獲取激光合成輸出，并省略圖2B所示的步驟S19～步驟S24。在未圖示的實(shí)施方式中也能夠得到與前述同樣的效果，這是顯而易見的。

并且，圖4是基于本發(fā)明的其它實(shí)施方式的控制裝置的功能框圖。如圖4所示，其它實(shí)施方式中的激光振蕩器5僅包括具備電源單元11和光學(xué)單元12的單一的組裝體10，不包括其它組裝體和合成單元25。

在該情況下，在步驟S11中僅獲取組裝體10的電流輸出等，在步驟S12中僅獲取第一偏差，這是顯而易見的。另外，省略圖2A所示的步驟S14b～步驟S17b和圖2B所示的步驟S19～步驟S24，也不獲取激光合成輸出。

也就是說，在其它實(shí)施方式中，在步驟S14a中判斷為單一的組裝體10存在異常的情況下，能夠推測電源單元11和光學(xué)單元12中的哪一個存在異常。因而，在其它實(shí)施方式中也能夠得到與前述同樣的效果。

發(fā)明的效果

在第一發(fā)明中，能夠不產(chǎn)生警報地在短時間內(nèi)推測出第一組裝體和/或第二組裝體中的電源單元和/或光學(xué)單元中的哪個單元存在異常。這種推測動作是自動實(shí)施的，因此操作者不用打開激光振蕩器的機(jī)殼就能夠掌握各單元的正常、異常。因此，在本發(fā)明中，能夠大幅削減激光振蕩器的復(fù)原工時。

在第二發(fā)明中，還能夠推測合成單元是否存在異常。

在第三發(fā)明中，即使過程中途停止，也能夠至少獲取關(guān)于被判斷為正常的組裝體的關(guān)系。

在第四發(fā)明中，僅指示預(yù)燃電流指令來測定其特性，因此在激光振蕩器開始振蕩的準(zhǔn)備狀態(tài)之前就能夠判別是能夠動作還是因電擊穿而處于絕緣。另外，通過與在正常動作時指示預(yù)燃電流指令而得到的電流或電壓的特性進(jìn)行比較，能夠判定電源單元的故障。并且，在電源單元正常的情況下指示了預(yù)燃電流指令的狀態(tài)下未從光學(xué)單元測定出與預(yù)燃電流指令相應(yīng)的電響應(yīng)時，能夠推測為在光學(xué)單元內(nèi)部發(fā)生了電擊穿。

在第五發(fā)明中，持續(xù)規(guī)定時間、例如20毫秒地指示規(guī)定的電流指令。然后，在確認(rèn)了從光學(xué)單元輸出未達(dá)到規(guī)定的輸出值的某種程度的輸出值的情況下，能夠推測為光學(xué)單元內(nèi)部的光源發(fā)生電氣故障。此外，由于持續(xù)較短時間地指示規(guī)定的電流指令，因此針對激光能夠利用簡易的吸收裝置(吸收器(absorber))。

在第六發(fā)明中，使規(guī)定的電流指令階段性地變化，因此能夠多方面地掌握電流指令與檢測出的電流值之間的關(guān)系。例如，可知相對于某個大小的電流指令能夠得到什么程度的大小的輸出。因此，能夠推測是否變更電流指令來繼續(xù)進(jìn)行激光加工。另外，也能夠確認(rèn)與電流指令相對應(yīng)的實(shí)際的激光強(qiáng)度的特性。

在第七發(fā)明中，能夠不產(chǎn)生警報地在短時間內(nèi)推測出單一的組裝體中的電源單元和/或光學(xué)單元中的哪個單元存在異常。這種推測動作是自動實(shí)施的，因此操作者不用打開激光振蕩器的機(jī)殼就能夠掌握各單元的正常、異常。因此，在本發(fā)明中，能夠大幅削減激光振蕩器的復(fù)原工時。

使用典型實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該能夠理解，能夠不脫離本發(fā)明的范圍地進(jìn)行前述的變更以及各種其它變更、省略、追加。