1.一種太陽能電池片的制作方法,其特征在于,包括如下步驟:
S1:提供一經(jīng)過清洗制絨、擴散制結(jié)的晶體硅電池片,于所述電池片正面的磷硅玻璃層上形成石蠟保護膜;
S2:采用第一KOH溶液拋光所述電池片背面,以去除所述電池片背面的PN結(jié);
S3:采用第一水槽對所述電池片進行清洗;
S4:去除所述石蠟保護膜;
S5:采用氫氟酸溶液去除所述石蠟保護膜及所述電池片正面的磷硅玻璃層;
S6:采用第二水槽對所述電池片進行清洗;
S7:采用激光刻蝕法對所述電池片進行邊緣刻蝕,以去除所述電池片邊緣的PN結(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于,所述太陽能電池片的制作方法包括如下步驟:
S1:提供一經(jīng)過清洗制絨、擴散制結(jié)的晶體硅電池片,于所述電池片正面的磷硅玻璃層上形成石蠟保護膜;
S2:采用第一KOH溶液拋光所述電池片背面,以去除所述電池片背面的PN結(jié);
S3:采用第一水槽對所述電池片進行清洗;
S4:去除所述石蠟保護膜;
S401:采用第二KOH溶液噴淋去除所述電池片正面及背面的污染物;
S402:采用第三水槽對所述電池片進行清洗;
S5:采用氫氟酸溶液去除所述石蠟保護膜及所述電池片正面的磷硅玻璃層;
S6:采用第二水槽對所述電池片進行清洗;
S7:采用激光刻蝕法對所述電池片進行邊緣刻蝕,以去除所述電池片邊緣的PN結(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:進行所述邊緣刻蝕之前,還包括在所述電池片正面進行PECVD鍍膜、絲網(wǎng)印刷及燒結(jié)的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:在300~500℃的含氧氣氛下去除所述石蠟保護膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:所述石蠟保護膜的厚度范圍是5-15nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:所述步驟S2在第一堿槽中進行;所述第一堿槽中設(shè)有若干平行排列的用于承載電池片并傳送電池片的滾輪;所述滾輪包括主體軸及若干環(huán)繞所述主體軸表面的用于在傳動過程中將所述第一KOH溶液帶至所述電池片背面的凸紋。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:各凸紋之間分立設(shè)置且平行排列。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:所述凸紋的徑面與所述主體軸的軸線垂直。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:所述凸紋的高度范圍是1-6毫米,相鄰?fù)辜y之間的距離為1-10毫米。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:當所述滾輪停止轉(zhuǎn)動時,所述第一KOH溶液的液面低于所述電池片背面。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池片的制作方法,其特征在于:所述第一KOH溶液的濃度范圍是10-40wt%,溫度范圍是40-60℃;所述第二KOH溶液的濃度范圍是3-8wt%。