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波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器的制作方法

文檔序號(hào):12372188閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,包括:

增益芯片(1);

閃耀光柵(5);以及

掃描振鏡(4),

其中:

所述增益芯片(1)的發(fā)射光經(jīng)所述掃描振鏡(4)反射到所述閃耀光柵(5);

所述閃耀光柵(5)的反饋光經(jīng)所述掃描振鏡(4)返回至所述增益芯片(1),形成諧振,產(chǎn)生激光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述掃描振鏡(4)在一定偏轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述掃描振鏡(4)在一定偏轉(zhuǎn)角度范圍內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)的頻率最高為1200Hz。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述掃描振鏡(4)包括驅(qū)動(dòng)線圈(41)、光束反射鏡(42)、掃描轉(zhuǎn)子(44)、磁鐵(45),其中:

驅(qū)動(dòng)線圈(41)在磁鐵(45)產(chǎn)生的磁場(chǎng)中產(chǎn)生電磁力矩,驅(qū)動(dòng)掃描轉(zhuǎn)子(44)帶動(dòng)光束反射鏡(42)旋轉(zhuǎn);

掃描轉(zhuǎn)子(44)上通過機(jī)械紐簧或電子的方法加有復(fù)位力矩,大小與掃描轉(zhuǎn)子(44)偏離平衡位置的角度成正比;

當(dāng)驅(qū)動(dòng)線圈(41)通以一定的驅(qū)動(dòng)電流而掃描轉(zhuǎn)子(44)發(fā)生偏轉(zhuǎn)到一定的角度時(shí),電磁力矩與復(fù)位力矩大小相等,偏轉(zhuǎn)角與電流成正比;

通過掃描驅(qū)動(dòng)電流,使光束反射鏡(42)在一定角度范圍內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述閃耀光柵(5)的光柵周期及閃耀角度隨增益芯片(1)所發(fā)射光波段的不同而不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述入射光入射到閃耀光柵(5)的入射角度與閃耀光柵(5)的閃耀角度之差小于5度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,所述增益芯片(1)為半導(dǎo)體發(fā)光芯片。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,還包括:

驅(qū)動(dòng)及控制電路(6),用于激勵(lì)所述增益芯片(1)發(fā)光,控制所述增益芯片(1)的溫度和電流穩(wěn)定,以及控制所述掃描振鏡(4)的轉(zhuǎn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其中:

所述增益芯片(1)包括反饋端和發(fā)射端;

所述增益芯片(1)的反饋端發(fā)射光經(jīng)所述掃描振鏡(4)反射到所述閃耀光柵(5);以及

所述激光從所述發(fā)射端輸出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的波長(zhǎng)掃描外腔半導(dǎo)體激光器,其特征在于,還包括:

反饋端準(zhǔn)直透鏡(3),位于所述增益芯片(1)的反饋端與所述掃描振鏡之間;

輸出端準(zhǔn)直透鏡(2),所述諧振后產(chǎn)生的激光經(jīng)所述輸出端準(zhǔn)直透鏡后輸出。

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