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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號:11692144閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件,該半導(dǎo)體器件包括:襯底,其包括第一區(qū)和第二區(qū);第一區(qū)的襯底上的第一柵極結(jié)構(gòu)和第二柵極結(jié)構(gòu);第二區(qū)的襯底上的第三柵極結(jié)構(gòu)和第四柵極結(jié)構(gòu);第一層間絕緣膜,其位于第一區(qū)的襯底上,并且包括第一下層間絕緣膜和第一上層間絕緣膜;第二層間絕緣膜,其位于第二區(qū)的襯底上,并且包括第二下層間絕緣膜和第二上層間絕緣膜;第一接觸部分,其位于第一柵極結(jié)構(gòu)與第二柵極結(jié)構(gòu)之間和第一層間絕緣膜中;以及第二接觸部分,其形成在第三柵極結(jié)構(gòu)與第四柵極結(jié)構(gòu)之間,并且位于第二層間絕緣膜中。

技術(shù)研發(fā)人員:金成洙;樸起寬;崔正憲;柳庚玟;李宣姃
受保護的技術(shù)使用者:三星電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.26
技術(shù)公布日:2017.07.21
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