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一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器的制作方法

文檔序號(hào):12749996閱讀:343來源:國(guó)知局
一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器的制作方法與工藝

本發(fā)明屬于激光器技術(shù)領(lǐng)域,更具體地,涉及一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器。



背景技術(shù):

半導(dǎo)體激光器泵浦的全固態(tài)激光器因具有穩(wěn)定性好、高效率、結(jié)構(gòu)緊湊、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),吸引著眾多研究者的關(guān)注與研究。其中半導(dǎo)體激光器泵浦的固體鎖模超快脈沖激光器由于獨(dú)特的物理特性在高精度冷加工、超快化學(xué)及非線性光學(xué)等眾多領(lǐng)域有著重要應(yīng)用。

通過鎖模可以獲得超快激光脈沖輸出,而隨著技術(shù)發(fā)展,半導(dǎo)體可飽和吸收鏡(Semiconductor Saturable Absorber Mirror,SESAM)被動(dòng)鎖模技術(shù)使鎖模更容易實(shí)現(xiàn)。獲得超快激光脈沖要求增益介質(zhì)有寬的發(fā)射譜,鈦寶石的發(fā)射譜很寬,是一種實(shí)現(xiàn)超快鎖模激光脈沖的增益介質(zhì),但是鈦寶石的吸收譜在綠光波段,所以鈦寶石的泵浦源也是一個(gè)技術(shù)難點(diǎn)。釹玻璃也具有比較寬的發(fā)射譜,而且其吸收譜在近紅外波段,現(xiàn)在半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展是容易為其提供泵浦源的,所以也有很多學(xué)者對(duì)釹玻璃鎖模超快激光進(jìn)行過研究,但是受限于釹玻璃不良的導(dǎo)熱性能,半導(dǎo)體泵浦的釹玻璃鎖模超快脈沖激光器的平均輸出功率很低,影響了其實(shí)用性。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種基于半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器,獲得更高功率、高光束質(zhì)量以及高轉(zhuǎn)換效率的超快脈沖激光輸出。

為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo),本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器,包括半導(dǎo)體激光器泵浦模塊、旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)和激光諧振腔,其中:

所述半導(dǎo)體激光器泵浦模塊包括半導(dǎo)體激光器和泵浦光耦合系統(tǒng),所述激光諧振腔包括組成諧振腔的鏡片以及鎖模器件;所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)設(shè)置于所述激光諧振腔中;

所述半導(dǎo)體激光器發(fā)出的泵浦光經(jīng)泵浦光耦合系統(tǒng)整形后耦合進(jìn)入所述激光諧振腔中的旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì),從而旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)在泵浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射,受激輻射生成的激光在所述激光諧振腔內(nèi)振蕩并模式鎖定后從所述激光諧振腔輸出;

所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)為處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的圓盤狀、或者橢圓盤狀、或者圓環(huán)狀、或者橢圓環(huán)狀的增益介質(zhì),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)的圓盤狀增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過,在旋轉(zhuǎn)過程中,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的不同位置產(chǎn)生受激輻射。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)以其邊緣處泵浦光入射位置的法線為中心軸公轉(zhuǎn),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過;或者,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)以自身中心軸線為中心軸自轉(zhuǎn),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述激光諧振腔需使激光模式與泵浦光良好匹配,并且使激光器滿足穩(wěn)定的連續(xù)鎖模條件。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述泵浦光耦合系統(tǒng)由透鏡或者光纖構(gòu)成。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述激光諧振腔包括分色鏡、輸出鏡以及鎖模器件,泵浦光經(jīng)泵浦光耦合系統(tǒng)入射到旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì),旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)在泵浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射,受激輻射產(chǎn)生的激光在激光諧振腔內(nèi)振蕩,振蕩激光通過分色鏡反射到增益介質(zhì)上,通過增益介質(zhì)后經(jīng)鎖模器件,再由輸出鏡輸出部分激光并反射剩余激光再經(jīng)鎖模器件與增益介質(zhì)來回振蕩。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述鎖模器件為半導(dǎo)體可飽和吸收鏡,或者二硫化鉬飽和吸收體,或者石墨烯可飽和吸收體。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述增益介質(zhì)為釹玻璃,或者Yb:KGW,或者Nd:YVO4。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在所述激光諧振腔內(nèi)或者激光諧振腔外加入脈寬壓縮器件,以抵消色散獲得更窄的脈沖輸出。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,使振蕩激光以布儒斯特角入射所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì),或者不以布儒斯特角入射增益介質(zhì)但在激光諧振腔內(nèi)插入布儒斯特片,以獲得線偏振光輸出。

本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述激光諧振腔中的分色鏡雙面鍍泵浦光增透膜,用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;全反鏡中用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;輸出鏡的兩面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光部分透過膜,透過率根據(jù)使激光輸出功率最佳來選取。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下有益效果:本發(fā)明采用半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)的增益介質(zhì),采用鎖模技術(shù)獲得脈沖激光輸出。首先,增益介質(zhì)中受半導(dǎo)體激光器泵浦的區(qū)域周期性變化,增益介質(zhì)同一區(qū)域可以避免長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)吸收熱量,吸熱與散熱交替進(jìn)行,所以增益介質(zhì)可以承受更高功率的泵浦光以獲得更高功率的激光輸出;其次,低溫流體冷卻使增益介質(zhì)的溫度降低,減小熱效應(yīng);再者,半導(dǎo)體激光器發(fā)出的泵浦光與激光模式良好匹配,提高轉(zhuǎn)換效率;最后,采用適合的諧振腔結(jié)構(gòu)可以得到穩(wěn)定的連續(xù)鎖模脈沖。

總而言之,本發(fā)明提出的半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器方案能得到高功率、高穩(wěn)定性以及高轉(zhuǎn)換效率的穩(wěn)定的連續(xù)鎖模激光脈沖輸出。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例中一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是為本發(fā)明實(shí)施例中一種旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)示意圖;

圖3是為本發(fā)明實(shí)施例中另一種旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)示意圖;

圖4是本發(fā)明實(shí)施例中另一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5是本發(fā)明實(shí)施例中另一種的半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6是本發(fā)明實(shí)施例中另一種的半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器結(jié)構(gòu)示意圖;

在所有附圖中,相同的附圖標(biāo)記用來表示相同的元件或結(jié)構(gòu),其中:

1-半導(dǎo)體激光器泵浦模塊 2-旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì) 3-激光諧振腔 11-半導(dǎo)體激光器 12-耦合系統(tǒng) 121-第一耦合透鏡 122-第二耦合透鏡 31-分色鏡 32-第一折疊鏡 33-第二折疊鏡 34-輸出鏡 35-SESAM。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。此外,下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。

本發(fā)明采用半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的方案,增益介質(zhì)中受半導(dǎo)體激光器泵浦的區(qū)域周期性變化,增益介質(zhì)同一區(qū)域可以避免長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)吸收熱量,吸熱與散熱交替進(jìn)行,所以增益介質(zhì)可以承受更高功率的泵浦光,可以突破靜態(tài)釹玻璃導(dǎo)熱性能差的限制,再通過SESAM鎖模獲得高平均功率的超快激光脈沖輸出;對(duì)于其他材料的增益介質(zhì),此設(shè)計(jì)也能使其承受更高功率泵浦,獲得高功率鎖模激光輸出。增益介質(zhì)可以為釹玻璃,或者Yb:KGW,或者Nd:YVO4。

具體地,如圖1所示,本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器,包括半導(dǎo)體激光器泵浦模塊1、旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2和激光諧振腔3,其中:

所述半導(dǎo)體激光器泵浦模塊1包括半導(dǎo)體激光器11和泵浦光耦合系統(tǒng)12,所述激光諧振腔3包括組成諧振腔的鏡片以及鎖模器件;所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)設(shè)置于所述激光諧振腔3中;

所述半導(dǎo)體激光器11發(fā)出的泵浦光經(jīng)泵浦光耦合系統(tǒng)12整形后耦合進(jìn)入所述激光諧振腔3中的旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2,從而旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2在泵浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射,受激輻射生成的激光在激光諧振腔3內(nèi)振蕩并模式鎖定后從所述激光諧振腔3輸出。

在本發(fā)明實(shí)施例中,所述泵浦光耦合系統(tǒng)由透鏡或者光纖構(gòu)成,泵浦光經(jīng)透鏡組整形成合適尺寸耦合進(jìn)入增益介質(zhì),也可以將泵浦光經(jīng)光纖耦合進(jìn)入增益介質(zhì)。本發(fā)明實(shí)施例中,以透鏡組為作為泵浦光耦合系統(tǒng)說明本發(fā)明技術(shù)方案。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)為處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)的圓盤狀、或者橢圓盤狀、或者圓環(huán)狀、或者橢圓環(huán)狀的增益介質(zhì),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)的圓盤狀增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過,在旋轉(zhuǎn)過程中,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的不同位置產(chǎn)生受激輻射。

所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2并非固定靜態(tài)不動(dòng),而是處于動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。為了使增益界面得到均勻的受激輻射,可以使用圓盤狀增益介質(zhì),并且應(yīng)處于勻速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。具體實(shí)施時(shí),可將圓盤狀增益介質(zhì)夾持于一個(gè)小輥筒內(nèi),中間為通光孔,小輥筒分別與兩個(gè)軸承的內(nèi)圈過盈配合,兩個(gè)軸承的外圈分別與另一個(gè)大輥筒的內(nèi)圈過盈配合,而大輥筒固定在基座上,一個(gè)大的同步帶輪與小輥筒固定在一起通過鍵連接傳力轉(zhuǎn)動(dòng),一個(gè)小的同步帶輪與電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定在一起通過鍵連接傳力轉(zhuǎn)動(dòng),而小的同步帶輪與大的同步帶輪之間通過同步帶傳力轉(zhuǎn)動(dòng),因此圓盤狀的增益介質(zhì)在電機(jī)、軸承及相關(guān)組件驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)。而泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)的圓盤狀增益介質(zhì)的邊緣處入射并通過,增益介質(zhì)受激輻射的區(qū)域周期性變化。

而旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2通過低溫的空氣流動(dòng)帶走熱量而冷卻,從而減小增益介質(zhì)中的熱效應(yīng),獲得高功率高光束質(zhì)量激光輸出。

具體地,如圖2所示,為本發(fā)明實(shí)施例中一種旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)示意圖,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2以其邊緣處泵浦光入射位置的法線為中心軸公轉(zhuǎn),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過;

如圖3所示,為本發(fā)明實(shí)施例中另一種旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的旋轉(zhuǎn)示意圖,所述旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2以自身中心軸線為中心軸自轉(zhuǎn),所述泵浦光與激光振蕩光路從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的非中心位置入射或通過。

圖4所示,為本發(fā)明實(shí)施例中另一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中,旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的實(shí)施方案與圖1所述實(shí)施例相同。

所述泵浦光耦合系統(tǒng)12包括第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122,所述第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122分別是焦距為35mm與150mm的聚焦鏡,并鍍802nm光高透過率膜。

所述激光諧振腔包括:分色鏡31、第一折疊鏡32、第二折疊鏡33、輸出鏡34和SESAM35,SESAM35作為鎖模器件的同時(shí)也是諧振腔的全反尾鏡。具體地,鎖模器件可以為半導(dǎo)體可飽和吸收鏡SESAM,或者二硫化鉬飽和吸收體,或者石墨烯可飽和吸收體,本發(fā)明實(shí)施例中以SESAM為例。

本實(shí)施例中,泵浦光經(jīng)第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122入射到旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2,旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2在泵浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射,受激輻射產(chǎn)生的激光在激光諧振腔3內(nèi)振蕩,通過第一折疊鏡32和第二折疊鏡33入射到由SESAM35上,由SESAM35反射,再由第二折疊鏡33、第一折疊鏡32反射到增益介質(zhì)2上,通過增益介質(zhì)2后由分色鏡31反射,再由輸出鏡34輸出激光。

優(yōu)選地,半導(dǎo)體激光器泵浦模塊1放置于旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的通光方向上,泵浦光光軸從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的端面通過,并與旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的端面中心軸成一定角度,第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122的中心位于泵浦光光軸上,第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122位于半導(dǎo)體激光器11和旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2之間;分色鏡31中心位于泵浦光光軸上,其反射面法線與泵浦光光軸成一定角度,增益介質(zhì)2位于分色鏡31與第一折疊鏡32中間,第一折疊鏡31與第二折疊鏡32分別與泵浦光光軸成一定角度,第一折疊鏡32、第二折疊鏡33、分色鏡31以及增益介質(zhì)2端面中心軸分別與泵浦光光軸成的角度由考慮象散的大小決定。

優(yōu)選地,上述增旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2可選用釹玻璃;釹玻璃尺寸可選為Φ15mm×5mm,通光方向?yàn)棣?5mm尺寸方向,厚度為5mm,Φ15mm面鍍泵浦光和激光增透膜。也可以為Nd:YVO4,Yb:KGW。

優(yōu)選地,半導(dǎo)體激光器11發(fā)出的泵浦光經(jīng)過泵浦光耦合系統(tǒng)12整形后在旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2端面是圓光斑,光斑尺寸與諧振腔3內(nèi)基模尺寸匹配。

優(yōu)選地,上述半導(dǎo)體激光器1可選用的中心波長(zhǎng)為802nm。

優(yōu)選地,分色鏡31雙面鍍泵浦光增透膜,用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;第一折疊鏡32、第二折疊鏡33用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;輸出鏡34兩面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光部分透過膜,透過率根據(jù)使激光輸出功率最佳來選取。

優(yōu)選地,第一折疊鏡32與分色鏡31的曲率為500mm,第二折疊鏡33的曲率為200mm,SESAM35的調(diào)制深度為1.2%,第一折疊鏡32、第二折疊鏡33與分色鏡31的曲率及SESAM35參數(shù)由滿足穩(wěn)定連續(xù)鎖模條件及激光模式與泵浦光良好匹配選取。

優(yōu)選地,可以在激光諧振腔3內(nèi)或者激光諧振腔3外加入脈寬壓縮器件如棱鏡對(duì)、Gires-Tournois反射鏡和光柵對(duì),可以抵消色散獲得更窄的脈沖輸出。

優(yōu)選地,可以使振蕩激光以布儒斯特角入射增益介質(zhì)2,或者不以布儒斯特角入射增益介質(zhì)2但在激光諧振腔3內(nèi)插入布儒斯特片,獲得線偏振光輸出。

如圖5所示,為本發(fā)明實(shí)施例中一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。其與圖4所示結(jié)構(gòu)并無實(shí)質(zhì)性區(qū)別,只是輸出鏡34的擺放位置有所調(diào)整。

如圖6所示,為本發(fā)明實(shí)施例中另一種半導(dǎo)體激光器端面泵浦旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的鎖模激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。

旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)的實(shí)施方案與圖1所述實(shí)施例相同。所述泵浦光耦合系統(tǒng)12包括第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122,所述第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122分別是焦距為35mm與150mm的聚焦鏡,并鍍802nm光高透過率膜。

所述激光諧振腔包括:分色鏡31、第一折疊鏡32、輸出鏡34和SESAM35,SESAM35作為鎖模器件的同時(shí)也是激光諧振腔的全反尾鏡。

本實(shí)施例中,泵浦光經(jīng)第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122入射到旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2,旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2在泵浦光的激勵(lì)下產(chǎn)生受激輻射,激光在激光諧振腔3內(nèi)振蕩,通過第一折疊鏡32入射到由SESAM35上,由SESAM35反射,再由第一折疊鏡32反射到增益介質(zhì)2上,通過增益介質(zhì)2后由分色鏡31反射,再由輸出鏡34輸出激光。

優(yōu)選地,半導(dǎo)體激光器泵浦模塊放置于旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的通光方向上,泵浦光光軸從旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的端面通過,并與旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2的端面中心軸成一定角度,第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122的中心位于泵浦光光軸上,第一耦合透鏡121和第二耦合透鏡122位于半導(dǎo)體激光器11和旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2之間;分色鏡31中心位于泵浦光光軸上,其反射面法線與泵浦光光軸成一定45度角,增益介質(zhì)2位于分色鏡31與第一折疊鏡32中間,第一折疊鏡32以及增益介質(zhì)2端面中心軸分別與泵浦光光軸成的角度由考慮象散的大小決定。

優(yōu)選地,上述增旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2可選用釹玻璃;釹玻璃尺寸可選為Φ15mm×5mm,通光方向?yàn)棣?5mm尺寸方向,厚度為5mm,Φ15mm面鍍泵浦光和激光增透膜。也可以為Nd:YVO4,Yb:KGW。

優(yōu)選地,半導(dǎo)體激光器11發(fā)出的泵浦光經(jīng)過泵浦光耦合系統(tǒng)12整形后在旋轉(zhuǎn)增益介質(zhì)2端面是圓光斑,光斑尺寸與激光諧振腔3內(nèi)基模尺寸匹配。

優(yōu)選地,上述半導(dǎo)體激光器1可選用的中心波長(zhǎng)為802nm。

優(yōu)選地,分色鏡31雙面鍍泵浦光增透膜,用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;第一折疊鏡32用于反射激光的一面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光全反膜;輸出鏡34兩面鍍中心波長(zhǎng)為1053nm的寬帶寬激光部分透過膜,透過率根據(jù)使激光輸出功率最佳來選取。

優(yōu)選地,分色鏡31為平面鏡,第一折疊鏡32的曲率為200mm,SESAM34的調(diào)制深度為1.2%,第一折疊鏡32的曲率及SESAM35參數(shù)由滿足穩(wěn)定連續(xù)鎖模條件及激光模式與泵浦光良好匹配選取。

優(yōu)選地,可以在激光諧振腔3內(nèi)或者激光諧振腔3外加入脈寬壓縮器件如棱鏡對(duì)、Gires-Tournois反射鏡和光柵對(duì),可以抵消色散獲得更窄的脈沖輸出。

優(yōu)選地,可以使振蕩激光以布儒斯特角入射增益介質(zhì)2,或者不以布儒斯特角入射增益介質(zhì)2但在激光諧振腔3內(nèi)插入布儒斯特片,獲得線偏振光輸出。

需要說明的是,上述實(shí)施例中僅對(duì)泵浦光耦合系統(tǒng)和激光諧振腔的結(jié)構(gòu)做了舉例說明,而泵浦光耦合系統(tǒng)和激光諧振腔的結(jié)構(gòu)可以由本領(lǐng)域技術(shù)根據(jù)需求任意搭建,只要保證使激光模式與泵浦光良好匹配,并且使激光器滿足穩(wěn)定的連續(xù)鎖模條件即可。

本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解,以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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